CN115782418A - 一种喷墨打印大尺寸基板纠姿与转运系统 - Google Patents
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Abstract
本发明属于新型显示喷墨打印设备相关技术领域，并公开了一种喷墨打印大尺寸基板纠姿与转运系统，其包括基板升降模块、基板微调对位模块、基板旋转纠偏模块、基板吸附模块、量测模块和基板转运模块，其中基板微调对位模块用于对基板进行微调定位；基板旋转纠偏模块用于基板在基板吸附模块上的放料角度对齐；基板吸附模块用于将基板均匀吸附和固定，为后道工序做准备；量测模块用于对基板进行有无检测和位置测量，为基板微调对位和旋转纠偏提供数据；基板转运模块用于基板精确转运。通过本发明，能够高效、精确地完成大尺寸基板的上下料、调整、纠姿与转运等一系列工序操作，因而尤其适用于柔性OLED显示器件之类的大尺寸基板喷墨打印用途。
Description
技术领域
本发明属于新型显示喷墨打印设备相关技术领域，更具体地，涉及一种喷墨打印大尺寸基板纠姿与转运系统。
背景技术
柔性OLED显示器件是由柔性基底材料制成，可变形可弯曲的显示装置，可适用于曲面屏幕、可折叠移动设备显示屏等多种应用领域。相比传统的真空热蒸镀工艺，喷墨打印工艺以其生产效率高、设备要求低、材料损耗率低等特点，已成为未来柔性显示器件制造的主要发展趋势之一。但目前的相关喷墨打印制造设备多集中于G6以下的小尺寸基板。随着OLED显示面板尺寸的增加，对大尺寸玻璃基板的高精度、高效率、高质量喷墨打印提出了新的要求。而玻璃基板的放置、对位和转运精度，对喷墨打印精度和OLED显示器件最终良率非常关键。
专利检索发现，现有技术中虽然提出了一些涉及玻璃基板放置、对位和转运的方案，比如CN113424303采用了气浮输送的方式、CA2473766提供了一种非接触高性能支撑平台、CN207876832提供了一种磁轮输送的液晶面板搬运装置等，然而，这些现有方案有的难以保证基板高精度定位和输送，有的采用非接触吸附，气体流动会影响喷墨打印机内的气氛环境，进而影响打印效果。对此，本领域有必要作出进一步的研究和改进。
发明内容
针对现有技术的以上缺陷或需求，本发明的目的在于提供一种喷墨打印大尺寸基板纠姿与转运系统，其中通过对整个系统的构造组成及多个关键组件的针对性改进，相应能够以结构紧凑、吸附平整、更为精确和稳定的方式完成完成大尺寸玻璃基板的上下料、调整、纠姿与转运等一系列工序操作，因而尤其适用于柔性OLED显示器件之类的大尺寸基板喷墨打印用途。
为实现上述目的，按照本发明，提供了一种喷墨打印大尺寸基板纠姿与转运系统，其特征在于，该系统包括基板升降模块(100)、基板微调对位模块(200)、基板旋转纠偏模块(300)、基板吸附模块(400)、量测模块(500)和基板转运模块(600)，其中：
该基板升降模块(100)用于配合外部上料机械手取放基板(700)，并带动基板(700)升降及将其放置于所述基板吸附模块(400)上；该基板微调对位模块(200)用于将基板(700)的不同侧边分别执行微调对位；该基板旋转纠偏模块(300)用于将基板(700)在所述基板吸附模块(400)上的放料角度继续执行纠偏对齐；该基板吸附模块(400)用于将完成微调对位及旋转纠偏后的基板(700)均匀地予以吸附和固定，为下一工序做准备；该量测模块(500)用于对基板(700)进行有无检测和位置感测，相应为基板的微调对位及旋转纠偏提供参考数据；该基板转移模块(600)则用于将基板(700)转移至下一工序；
对于该基板微调对位模块(200)而言，其包括单轮微调对位单元(210)和双轮微调对位单元(220)，其中所述单轮微调对位单元(210)用于推动基板(700)的第一侧边也即长边平齐，所述双轮微调对位单元(220)用于推动基板(700)的第二侧边也即短边平齐，由此相互配合实现基板的微调对位；
对于该基板旋转纠偏模块(300)而言，其包括旋转纠偏底板(301)、旋转纠偏顶板(302)和旋转纠偏驱动(303)，其中所述旋转纠偏顶板(302)安装在所述基板升降模块(100)上，所述旋转纠偏底板(301)安装在所述基板转运模块(600)上，所述旋转纠偏驱动(303)则用于将基板(700)在所述基板吸附模块(400)上的放料角度执行纠偏对齐。
作为进一步优选地，对于该基板升降模块(100)而言，其包括顶针顶起组件(110)和顶针单元(120)，所述顶针顶起组件(110)优选包括直线模组(112)、Z轴支撑一(113)、第一导轨(114)、第二导轨(115)、Z轴支撑二(117)和球头支撑(118)，所述顶针单元(120)优选包括顶针支撑板(125)和顶针(127)；其中所述直线模组(112)用于带动所述Z轴支撑一(113)水平运动，并带动所述第一导轨(114)、第二导轨(115)分别滑动，由此推动所述Z轴支撑二(117)升降；所述球头支撑(118)安装在所述Z轴支撑二(117)的顶部，相应带动与其相连的所述顶针支撑板(125)及所述顶针(127)运动，由此实现基板(700)的升降。
作为进一步优选地，所述单轮微调对位单元(210)优选包括第一安装板(211)、第一微调滑台(214)、第一固定板(215)、第一导杆(216)、第一固定座(219)；其中所述第一安装板(211)固定在所述顶针支撑板(125)上且可随着所述顶针(127)升降；所述第一微调滑台(214)用于带动所述第一固定板(215)、第一导杆(216)及第一固定座(219)运动，由此推动基板(700)的第一侧边也即长边平齐。
作为进一步优选地，所述双轮微调对位单元(220)优选包括第二安装板(221)、第二微调滑台(224)、偏摆组件(225)、第二导杆(227)、第二固定座(229)，其中所述第二安装板(221)同样固定在所述顶针支撑板(125)上且可随着所述顶针(127)升降；所述第二微调滑台(224)用于带动所述偏摆组件(225)、第二导杆(227)及第二固定座(229)运动，进而推动基板(700)的第二侧边也即短边平齐。
作为进一步优选地，对于该基板吸附模块(400)而言，其优选包括基板吸附底座(401)、吸附板一(402)、吸附板二(403)、吸附板三(404)和吸附板四(405)；其中所述吸附板一(402)、吸附板二(403)、吸附板三(404)、吸附板四(405)分别由于微孔陶瓷材料制成，其表面通过磨床磨削加工后，再粘接在所述基板吸附底座(401)上，然后继续研磨至所需的表面平面度。
作为进一步优选地，所述基板吸附底座(401)优选由大理石加工而成；该基板吸附底座(401)优选还设有吸附槽(4011)、进气孔(4012)、吸附凸台(4013)和导套(4014)；其中所述吸附板一(402)、吸附板二(403)、吸附板三(404)和吸附板四(405)均粘接在所述吸附凸台(4013)上，并且与所述吸附槽(4011)形成吸附腔体，同时通过所述进气孔(4012)导入外部负压，为吸附提供动力；此外，所述吸附板一(402)、吸附板二(403)、吸附板三(404)和吸附板四(405)上预留有与所述导套(4014)相配合的孔，以此方式不仅可将该导套(4014)作为定位特征来限制吸附板移动，而且该导套(4014)可用于配合所述顶针(127)的升降。
作为进一步优选地，对于该量测模块(500)而言，其优选包括激光高度传感器(502)、上视相机组件(503)和基板传感器(505)；其中所述基板传感器(505)通过支架二(504)安装在所述基板吸附底座(401)的侧边，用于对基板(700)进行有无检测；所述激光高度传感器(502)和所述上视相机组件(503)分别通过支架一(501)安装在所述基板吸附底座(401)的侧边，用于对基板(700)进行位置测量，进而为基板微调对位和旋转纠偏提供参考数据，同时可以对打印用的喷头进行量测标定。
作为进一步优选地，对于该基板转运模块(600)而言，其优选安装在整个系统的最底部，并通过配置的光栅尺反馈控制来实现基板(700)的转运。
作为进一步优选地，所述基板优选为承载新型显示器件结构的无机或有机功能层的大尺寸基板。
总体而言，通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，具有以下
有益效果：
(1)本发明通过对整个系统及多个关键模块譬如基板升降模块、基板微调对位模块、基板旋转纠偏模块、基板吸附模块等进行针对性的优化设计，与现有技术相比，能够以结构紧凑、吸附平整、更为精确和稳定的方式完成大尺寸基板的上下料、调整、纠姿与转运等一系列操作；
(2)本发明通过进一步对基板升降模块进行改进设计，由于采用水平驱动，通过斜置导轨，转换成顶针竖直方向的升降，可以有效降低基板吸附模块的安装高度，可有效增加吸附稳定性；
(3)本发明通过进一步对基板微调对位模块进行改进设计，相应可确保对基板进行机械手上料时的高精度微调定位；与此同时，还通过基板旋转纠偏模块的配套设计，实现了基板吸附后高精度角度对齐，两级纠偏可以保证基板角度精度；
(4)本发明通过进一步对基板吸附模块进行改进设计，由于吸附板采用刚性好的微孔陶瓷材料制成，通过磨床磨削加工，粘接在基板吸附底座上后，再由人工研磨至表面平面度达到大理石平板00级精度以上等级，可保证基板均匀吸附固定且保持较好的平面度精度；基板吸附底座设有多个气道，可以实现吸附分区控制；
(5)本发明通过进一步对量测模块进行改进设计，由于采用激光高度传感器和相机组件，可以很好地对基板进行有无判断和位置测量，为基板微调定位和旋转纠偏提供数据，并且可以对打印用的喷头进行量测标定，确定其精确位置。
附图说明
图1是按照本发明的喷墨打印大尺寸基板纠姿与转运系统的整体结构示意图；
图2是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了顶针顶起组件的结构立体图；
图3是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了顶针单元的结构立体图；
图4是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了单轮微调对位单元的结构立体图；
图5是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了双轮微调对位单元的结构立体图；
图6是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了偏摆组件的结构立体图
图7是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了基板旋转纠偏模块300的结构示意图；
图8是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了基板吸附模块400的结构示意图；
图9是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了基板吸附底座的结构示意图；
图10是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了量测模块500的结构示意图；
图11是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了基板转运模块600的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
需要说明的包括，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
需要说明的还包括，在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
需要说明的还包括，在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
图1是按照本发明的喷墨打印大尺寸基板纠姿与转运系统的整体结构示意图。该系统主要包括基板升降模块100、基板微调对位模块200、基板旋转纠偏模块300、基板吸附模块400、量测模块500和基板转运模块600等组成结构，下面将逐一进行具体的解释说明。
如图1中所示，该基板升降模块100用于配合外部上料机械手取放基板700，并带动基板700升降及将其放置于所述基板吸附模块400上；该基板微调对位模块200用于将基板700的不同侧边分别执行微调对位；该基板旋转纠偏模块300用于将基板700在所述基板吸附模块400上的放料角度继续执行纠偏对齐；该基板吸附模块400用于将完成微调对位及旋转纠偏后的基板700均匀地予以吸附和固定，为下一工序做准备；该量测模块500用于对基板(700)进行有无检测和位置感测，相应为基板的微调对位及旋转纠偏提供参考数据；该基板转移模块600则用于将基板700转移至下一工序。
下面将分别对以上各个功能模块的具体结构及功能进行详细描述和说明。
对于该基板升降模块100而言，其包括顶针顶起组件110和顶针单元120，所述顶针顶起组件110优选包括直线模组112、Z轴支撑一113、第一导轨114、第二导轨115、Z轴支撑二117和球头支撑118等，所述顶针单元120优选包括顶针支撑板125和顶针127；其中所述直线模块112用于带动所述Z轴支撑一113水平运动，并带动所述第一导轨114、第二导轨115分别滑动，由此推动所述Z轴支撑二117升降；所述球头支撑118安装在所述Z轴支撑二117的顶部，相应带动与其相连的所述顶针支撑板125及所述顶针127运动，由此实现基板700的升降。
如图1、图2、图3所示，所述基板升降模块100更具体地可以包括：顶针顶起组件110和顶针单元120。其中，顶起组件110通过直线模组112安装在基板旋转纠偏模块300中的旋转纠偏底板301上，并通过Z轴支撑二117与顶针支撑板125相连。顶针顶起组件110中电机111旋转，通过直线模组112带动Z轴支撑一113水平运动，并带动第一导轨114和第二导轨115分别在其各自的滑块内滑动，推动Z轴支撑二117升降。基板升降模块100通过直线模组112采用水平驱动，通过斜置第一导轨114和第二导轨115，转换成顶针竖直方向的升降，可以有效降低基板吸附模块400的安装高度，可有效增加吸附稳定性；此外，Z轴支撑二117顶部安装有球头支撑118，进一步带动顶针支撑板125和安装在顶针支撑板125上的顶针127运动，由此配合外部上料机械手，实现基板700的升降取放。
对于该基板微调对位模块200而言，其包括单轮微调对位单元210和双轮微调对位单元220，其中所述单轮微调对位单元210用于推动基板700的第一侧边也即长边平齐，所述双轮微调对位单元220用于推动基板700的第二侧边也即短边平齐，由此相互配合实现基板的微调对位。
按照本发明示范性的实施例，所述单轮微调对位单元210包括第一安装板211、第一微调滑台214、第一固定板215、第一导杆216、第一固定座219；其中所述第一安装板211固定在所述顶针支撑板125上且可随着所述顶针127升降；所述第一微调滑台214用于带动所述第一固定板215、第一导杆216及第一固定座219运动，由此推动基板700的第一侧边也即长边平齐。相应地，所述双轮微调对位单元220包括第二安装板221、第二微调滑台224、偏摆组件225、第二导杆227、第二固定座229，其中所述第二安装板221同样固定在所述顶针支撑板125上且可随着所述顶针127升降；所述第二微调滑台224用于带动所述偏摆组件225、第二导杆227及第二固定座229运动，进而推动基板700的第二侧边也即短边平齐。
如图1、图4、图5所示，单轮微调对位单元210安装在顶针支撑板125上，靠基板吸附底座401的侧边，用于推动基板700第一侧面(基板长边)平齐，双轮微调对位单元220安装在顶针支撑板125上，靠基板吸附底座401的角上，用于推动基板700第二侧面(基板短边)平齐和微调定位。
更具体地，如图4所示，所述单轮微调对位单元210譬如可以包括第一安装板211、第一转接板212、第一气缸213、第一微调滑台214、第一固定板215、第一导杆216、第一弹簧217、第一轴承218和第一固定座219。其中，第一安装板211固定在在顶针支撑板125上，可以随顶针127升降。第一微调滑台214在电机的驱动下，带动第一固定板215、第一导杆216、第一固定座219、第一轴承218运动，推动基板700第一侧面(基板长边)微调对位，当基板700到达第一限位靠销126挡边时，第一轴承218停止前进，第一弹簧217缓冲其前进的阻力，避免基板700受力过大而被压破。
更具体地，如图5、图6所示，所述双轮微调对位单元220譬如可以包括第二安装板221、第二转接板222、第二气缸223、第二微调滑台224、偏摆组件225、第二弹簧226、第二导杆227、第二轴承228和第二固定座229。其中，第二安装板221固定在在顶针支撑板125上，可以随顶针127升降。偏摆组件225譬如可由偏摆固定座2251、偏摆转接板一2252、销轴2253、卡簧2254、偏摆转接板二2255、摆动板2256组成。任一侧的第二轴承228受力时，可带动摆动板2256绕销轴2253摆动，用于推动基板700的第二侧面(基板短边)平齐和微调定位。摆动时第二弹簧226可缓冲第二轴承228前进的阻力，并推动其复位。
对于该基板旋转纠偏模块300而言，其包括旋转纠偏底板301、旋转纠偏模顶板302和旋转纠偏驱动303，其中所述旋转纠偏模顶板302安装在所述基板升降模块100上，所述旋转纠偏底板301安装在所述基板转运模块600上，所述旋转纠偏驱动303则用于将基板700在所述基板吸附模块400上的放料角度执行纠偏对齐。
如图7所示，所述基板旋转纠偏模块300更具体地譬如可以包括：旋转纠偏底板301、旋转纠偏模顶板302、旋转纠偏驱动303，用于基板700在基板吸附模块400上吸附后的高精度放料角度对齐。其中，结合基板微调对位模块200的对位纠偏，两级纠偏可以保证基板700的角度精度。该基板旋转纠偏模块300整体安装在基板转运模块600和基板升降模块100之间。旋转纠偏底板301譬如通过转接板604安装在基板转运模块600上，旋转纠偏模顶板302可安装在顶针单元120的底部。
如图8所示，所述基板吸附模块400更具体地譬如包括：基板吸附底座401、吸附板一402、吸附板二403、吸附板三404、吸附板四405。其中吸附板一402、吸附板二403、吸附板三404、吸附板四405由刚性好的微孔陶瓷材料制成，其表面通过磨床磨削加工后，再粘接在基板吸附底座401上，由人工研磨至表面平面度达到大理石平板00级精度以上等级，由此用于将基板700均匀吸附固定且保持较好的平面度精度，为后道工序做准备。
此外，所述基板吸附底座401优选由大理石加工而成；该基板吸附底座401优选还设有吸附槽4011、进气孔4012、吸附凸台4013和导套4014；其中所述吸附板一402、吸附板二403、吸附板三404和吸附板四405均粘接在所述吸附凸台4013上，并且与所述吸附槽4011形成吸附腔体，同时通过所述进气孔4012导入外部负压，为吸附提供动力；此外，所述吸附板一402、吸附板二403、吸附板三404和吸附板四405上预留有与所述导套4014相配合的孔，以此方式不仅可将该导套4014作为定位特征来限制吸附板移动，而且该导套4014可用于配合所述顶针127的升降。
如图9所示，所述基板吸附底座401由大理石加工而成，用以保持较好的平面精度和抗振能力。基板吸附底座401设有吸附槽4011、进气孔4012、吸附凸台4013、导套4014等特征。多个吸附板粘接在吸附凸台4013上，与吸附槽4011行成吸附腔体，通过进气孔4012导入外部负压，为吸附提供动力。吸附板上预留有与导套4014相配合的孔，一方面导套4014作为定位特征，可以限制吸附板移动；另一方面导套4014与吸附板之间的密封胶，可以避免吸附漏气；同时导套4014作为限位靠销126和顶针127的升降通道，可以配合顶针127升降，完成基板700的升降、取放和纠偏。基板吸附底座401通过吸附槽4011形成多个气道，可以实现吸附分区控制。
对于该量测模块500而言，其优选包括激光高度传感器502、上视相机组件503和基板传感器505；其中所述基板传感器505通过支架二504安装在所述基板吸附底座401的侧边，用于对基板700进行有无检测；所述激光高度传感器502和所述上视相机组件503分别通过支架一501安装在所述基板吸附底座401的侧边，用于对基板700进行位置测量，进而为基板微调对位和旋转纠偏提供参考数据，同时可以对打印用的喷头进行量测标定。
如图10所示，所述量测模块500更具体地譬如包括：支架一501、激光高度传感器502、上视相机组件503、支架二504、基板传感器505。其中，基板传感器505通过支架二504安装在基板吸附底座401的侧边，用于对基板700进行有无检测。激光高度传感器502和上视相机组件503)通过支架一501安装在基板吸附底座401的侧边，用于对基板700进行位置测量，为基板微调定位和旋转纠偏提供数据；并且可以对打印用的喷头进行量测标定，确定其精确位置。
最后，对于该基板转运模块600而言，其优选安装在整个系统的最底部，并通过配置的光栅尺反馈控制来实现基板700的转运。
如图11所示，所述基板转运模块600安装在整个装置的最底部，其中底座601作为整个装置的安装基座，导轨602作为导向部件、直线电机603作为驱动部件，驱动转接板604在导轨602上运动。以此方式，带动该装置的其余模块运动，并通过配置的高精度光栅尺反馈控制，实现基板700的精确转运。
综上，通过本发明，能够以结构紧凑、吸附平整、更为精确和稳定的方式完成大尺寸基板的上下料、调整、纠姿与转运等一系列操作，特别是能够精准地调整大尺寸显示面板的定位和放置，同时确保了基板平面度和位置精度，因而尤其适用于大尺寸新型显显示面板喷墨打印应用场合。
本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种喷墨打印大尺寸基板纠姿与转运系统，其特征在于，该系统包括基板升降模块(100)、基板微调对位模块(200)、基板旋转纠偏模块(300)、基板吸附模块(400)、量测模块(500)和基板转运模块(600)，其中：
该基板升降模块(100)用于配合外部上料机械手取放基板(700)，并带动基板(700)升降及将其放置于所述基板吸附模块(400)上；该基板微调对位模块(200)用于将基板(700)的不同侧边分别执行微调对位；该基板旋转纠偏模块(300)用于将基板(700)在所述基板吸附模块(400)上的放料角度继续执行纠偏对齐；该基板吸附模块(400)用于将完成微调对位及旋转纠偏后的基板(700)均匀地予以吸附和固定，为下一工序做准备；该量测模块(500)用于对基板(700)进行有无检测和位置感测，相应为基板的微调对位及旋转纠偏提供参考数据；该基板转移模块(600)则用于将基板(700)转移至下一工序；
对于该基板微调对位模块(200)而言，其包括单轮微调对位单元(210)和双轮微调对位单元(220)，其中所述单轮微调对位单元(210)用于推动基板(700)的第一侧边也即长边平齐，所述双轮微调对位单元(220)用于推动基板(700)的第二侧边也即短边平齐，由此相互配合实现基板的微调对位；
对于该基板旋转纠偏模块(300)而言，其包括旋转纠偏底板(301)、旋转纠偏顶板(302)和旋转纠偏驱动(303)，其中所述旋转纠偏顶板(302)安装在所述基板升降模块(100)上，所述旋转纠偏底板(301)安装在所述基板转运模块(600)上，所述旋转纠偏驱动(303)则用于将基板(700)在所述基板吸附模块(400)上的放料角度执行纠偏对齐。
2.如权利要求1所述的一种喷墨打印大尺寸基板纠姿与转运系统，其特征在于，对于该基板升降模块(100)而言，其包括顶针顶起组件(110)和顶针单元(120)，所述顶针顶起组件(110)优选包括直线模组(112)、Z轴支撑一(113)、第一导轨(114)、第二导轨(115)、Z轴支撑二(117)和球头支撑(118)，所述顶针单元(120)优选包括顶针支撑板(125)和顶针(127)；其中所述直线模组(112)用于带动所述Z轴支撑一(113)水平运动，并带动所述第一导轨(114)、第二导轨(115)分别滑动，由此推动所述Z轴支撑二(117)升降；所述球头支撑(118)安装在所述Z轴支撑二(117)的顶部，相应带动与其相连的所述顶针支撑板(125)及所述顶针(127)运动，由此实现基板(700)的升降。
3.如权利要求2所述的一种喷墨打印大尺寸基板纠姿与转运系统，其特征在于，所述单轮微调对位单元(210)优选包括第一安装板(211)、第一微调滑台(214)、第一固定板(215)、第一导杆(216)、第一固定座(219)；其中所述第一安装板(211)固定在所述顶针支撑板(125)上且可随着所述顶针(127)升降；所述第一微调滑台(214)用于带动所述第一固定板(215)、第一导杆(216)及第一固定座(219)运动，由此推动基板(700)的第一侧边也即长边平齐。
4.如权利要求3所述的一种喷墨打印大尺寸基板纠姿与转运系统，其特征在于，所述双轮微调对位单元(220)优选包括第二安装板(221)、第二微调滑台(224)、偏摆组件(225)、第二导杆(227)、第二固定座(229)，其中所述第二安装板(221)同样固定在所述顶针支撑板(125)上且可随着所述顶针(127)升降；所述第二微调滑台(224)用于带动所述偏摆组件(225)、第二导杆(227)及第二固定座(229)运动，进而推动基板(700)的第二侧边也即短边平齐。
5.如权利要求1-4任意一项所述的一种喷墨打印大尺寸基板纠姿与转运系统，其特征在于，对于该基板吸附模块(400)而言，其优选包括基板吸附底座(401)、吸附板一(402)、吸附板二(403)、吸附板三(404)和吸附板四(405)；其中所述吸附板一(402)、吸附板二(403)、吸附板三(404)、吸附板四(405)分别由于微孔陶瓷材料制成，其表面通过磨床磨削加工后，再粘接在所述基板吸附底座(401)上，然后继续研磨至所需的表面平面度。
6.如权利要求5所述的一种喷墨打印大尺寸基板纠姿与转运系统，其特征在于，所述基板吸附底座(401)优选由大理石加工而成；该基板吸附底座(401)优选还设有吸附槽(4011)、进气孔(4012)、吸附凸台(4013)和导套(4014)；其中所述吸附板一(402)、吸附板二(403)、吸附板三(404)和吸附板四(405)均粘接在所述吸附凸台(4013)上，并且与所述吸附槽(4011)形成吸附腔体，同时通过所述进气孔(4012)导入外部负压，为吸附提供动力；此外，所述吸附板一(402)、吸附板二(403)、吸附板三(404)和吸附板四(405)上预留有与所述导套(4014)相配合的孔，以此方式不仅可将该导套(4014)作为定位特征来限制吸附板移动，而且该导套(4014)可用于配合所述顶针(127)的升降。
7.如权利要求5或6所述的一种喷墨打印大尺寸基板纠姿与转运系统，其特征在于，对于该量测模块(500)而言，其优选包括激光高度传感器(502)、上视相机组件(503)和基板传感器(505)；其中所述基板传感器(505)通过支架二(504)安装在所述基板吸附底座(401)的侧边，用于对基板(700)进行有无检测；所述激光高度传感器(502)和所述上视相机组件(503)分别通过支架一(501)安装在所述基板吸附底座(401)的侧边，用于对基板(700)进行位置测量，进而为基板微调对位和旋转纠偏提供参考数据，同时可以对打印用的喷头进行量测标定。
8.如权利要求1-7任意一项所述的一种喷墨打印大尺寸基板纠姿与转运系统，其特征在于，对于该基板转运模块(600)而言，其优选安装在整个系统的最底部，并通过配置的光栅尺反馈控制来实现基板(700)的转运。
9.如权利要求1-8任意一项所述的一种喷墨打印大尺寸基板纠姿与转运系统，其特征在于，所述基板优选为承载新型显示器件结构的无机或有机功能层的大尺寸基板。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116811447A (zh) * | 2023-08-25 | 2023-09-29 | 季华实验室 | 一种基板纠偏和定位方法及相关设备 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN202151765U (zh) * | 2011-06-28 | 2012-02-29 | 无锡先导自动化设备有限公司 | 一种硅片自动纠偏装置 |
| CN105774237A (zh) * | 2016-03-25 | 2016-07-20 | 昆山海斯电子有限公司 | 旋转对位装置、具有该装置的喷墨打印机以及打印方法 |
| CN110497698A (zh) * | 2019-08-16 | 2019-11-26 | 华中科技大学 | 一种用于喷墨打印的集成式喷头模组结构 |
| CN111791607A (zh) * | 2020-09-10 | 2020-10-20 | 季华实验室 | 一种基板及其吸附调节装置和喷墨打印设备 |
| CN217280812U (zh) * | 2022-01-27 | 2022-08-23 | 苏州晟成光伏设备有限公司 | 一种电池组件归正机构 |
| CN217847975U (zh) * | 2022-06-29 | 2022-11-18 | 苏州晟成光伏设备有限公司 | 一种光伏组件背板自动合片设备 |
-
2022
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN202151765U (zh) * | 2011-06-28 | 2012-02-29 | 无锡先导自动化设备有限公司 | 一种硅片自动纠偏装置 |
| CN105774237A (zh) * | 2016-03-25 | 2016-07-20 | 昆山海斯电子有限公司 | 旋转对位装置、具有该装置的喷墨打印机以及打印方法 |
| CN110497698A (zh) * | 2019-08-16 | 2019-11-26 | 华中科技大学 | 一种用于喷墨打印的集成式喷头模组结构 |
| CN111791607A (zh) * | 2020-09-10 | 2020-10-20 | 季华实验室 | 一种基板及其吸附调节装置和喷墨打印设备 |
| CN217280812U (zh) * | 2022-01-27 | 2022-08-23 | 苏州晟成光伏设备有限公司 | 一种电池组件归正机构 |
| CN217847975U (zh) * | 2022-06-29 | 2022-11-18 | 苏州晟成光伏设备有限公司 | 一种光伏组件背板自动合片设备 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116811447A (zh) * | 2023-08-25 | 2023-09-29 | 季华实验室 | 一种基板纠偏和定位方法及相关设备 |
| CN116811447B (zh) * | 2023-08-25 | 2023-11-24 | 季华实验室 | 一种基板纠偏和定位方法及相关设备 |
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