CN115728561A - 输送机构、测试装置、检知方法及其应用的作业机 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种输送机构、测试装置、检知方法及其应用的作业机,该输送机构包含至少一第一输送器及至少一取像器,第一输送器设有第一驱动源及第一载台,第一驱动源驱动第一载台沿第一路径位移于第一作业区及第二作业区而供载送电子元件,取像器装配于第一载台,并由第一载台载送至第二作业区,以供对第二作业区的移料器上的电子元件执行取像作业,而检知电子元件是否偏移,以利移料器调整且精准移载电子元件,进而提高输送使用效能。
Description
技术领域
本发明涉及一种可提高输送使用效能的输送机构。
背景技术
在现今,电子元件测试装置以移料器于输送机构的入料载台取出待测的电子元件,并移入测试座而执行电性测试作业。然,入料载台以容置部承置电子元件,并输送电子元件至测试座的侧方,移料器由皮带轮组及移载臂等带动作Y方向位移,由测试区位移至入料载台上方以取出电子元件,再直接将电子元件移入测试座,令电子元件的接点与测试座的探针相接触而执行电性测试作业。
然而,入料载台的容置部尺寸大于电子元件的尺寸,入料载台输送电子元件的过程中,电子元件易于容置部内滑移,以致移料器拾取的电子元件的位置发生偏移问题;又移料器于移载电子元件的过程中,易因移动误差或本身结构组装误差等因素,也会发生移料器拾取的电子元件的位置偏移问题,基于前述问题,均无法使电子元件的接点与测试座的探针精准接触,以致影响测试品质;尤其电子元件日趋精密微小,精准度要求相当高,若移料器移载的电子元件稍有偏移,即无法使电子元件准确执行测试作业而降低测试品质。
发明内容
本发明的目的在于:提供一种输送机构、测试装置、检知方法及其应用的作业机,解决现有技术中存在的上述技术问题。
为实现上述目的,本发明采用的技术方案是:
一种输送机构,其特征在于,包含:
至少一第一输送器:设有第一驱动源及第一载台,该第一驱动源驱动该第一载台沿第一路径位移于第一作业区及第二作业区,该第一载台供承载电子元件;
至少一取像器:装配于该第一载台,以供该第一载台载送该取像器同步位移于该第一作业区及该第二作业区,该取像器能够取像该第二作业区的移料器拾取的电子元件,以检知电子元件是否偏移。
所述的输送机构,其中:还包含至少一该移料器,该移料器能够沿第二路径位移至该第二作业区移载电子元件,以供该取像器取像电子元件。
所述的输送机构,其中:该移料器还包含温控单元,该温控单元于该移料器设置至少一温控件,以供温控电子元件。
所述的输送机构,其中:该第一驱动源为线性马达或包含马达及至少一传动组。
所述的输送机构,其中:该第一载台设有容置部,以供承置电子元件。
所述的输送机构,其中:该取像器能够装配于该第一载台的非承置电子元件的任一部位。
所述的输送机构,其中:该取像器为CCD。
所述的输送机构,其中:还包含第二输送器,该第二输送器设有第二驱动源及第二载台,该第二驱动源驱动该第二载台沿该第一路径位移于第三作业区及该第二作业区,该第二载台供承载电子元件。
一种测试装置,其特征在于,包含:
至少一测试器:设有电性连接的传输件及电路板,以供测试电子元件;
至少一所述的输送机构:该移料器在该第一输送器及该测试器间移载电子元件,该第一输送器输送电子元件,该取像器取像该移料器上的电子元件。
所述的测试装置,其中:该第一输送器的该第一路径位于该测试器的侧方或上方。
所述的测试装置,其中:还包含测试室,该测试室以供罩置该测试器而执行测试作业。
所述的测试装置,其中:该测试室装配至少一输送管,以供输送干燥空气。
一种检知方法,其特征在于,包含:
拾料手段:以移料器拾取电子元件;
输送取像手段:以第一输送器载送取像器沿第一路径位移至第二作业区,以取像该移料器的电子元件;
待位承载手段:在该取像器取像完毕后,该第一输送器位于该第二作业区以供该移料器移入或移出电子元件;
比对手段:以处理器接收该取像器传输的电子元件取像资料,以判断电子元件是否偏移,并补偿调整电子元件的位置。
所述的检知方法,其中:还包含移料取像手段,该移料取像手段以该移料器沿第二路径位移,并搭配该第一输送器载送该取像器沿该第一路径位移,以供该取像器可取像电子元件的不同区块。
所述的检知方法,其中:还包含前置供料手段,该前置供料手段以第二输送器输送电子元件,而供该移料器拾取电子元件。
一种作业机,其特征在于,包含:
机台;
供料装置:配置于该机台,并设有至少一供料容置器,以供容置至少一待测电子元件;
收料装置:配置于该机台,并设有至少一收料容置器,以供容置至少一已测电子元件;
至少一所述的测试装置:装配该机台;
中央控制装置:以控制及整合各装置作动而执行自动化作业。
本发明的优点一,提供一种输送机构,包含至少一第一输送器及至少一取像器,第一输送器设有第一驱动源及第一载台,第一驱动源驱动第一载台沿第一路径位移于第一作业区及第二作业区而供载送电子元件,取像器装配于第一载台,并由第一载台载送至第二作业区,以供对第二作业区的移料器上的电子元件执行取像作业,而检知电子元件是否偏移,以利移料器调整且精准移载电子元件,进而提高输送使用效能。
本发明的优点二,提供一种输送机构,其第一输送器装配取像器,于第一输送器执行承载电子元件而位移至第二作业区的同时,可同步载送取像器至第二作业区,以有效缩减取像器驱动源的配置及简化作动时序,进而有效节省机构成本及利于空间配置。
本发明的优点三,提供一种测试装置,包含至少一测试器及本发明输送机构,至少一测试器设有电性连接的传输件及电路板,以供测试电子元件,本发明输送机构设有至少一第一输送器及至少一取像器,更包含至少一移料器,至少一移料器可沿第二路径位移至第二作业区而移载电子元件,第一输送器沿第一路径位移于第一作业区及第二作业区而供载送电子元件,取像器装配于第一载台,并由第一载台载送至第二作业区,以供对第二作业区的移料器上的电子元件执行取像作业,而检知电子元件是否偏移,以利移料器调整且精准移载电子元件,使电子元件的接点精准对位测试器的传输件,进而提高测试品质。
本发明的优点四,提供一种检知方法,包含拾料手段、输送取像手段、待位承载手段及比对手段;拾料手段以移料器拾取电子元件;输送取像手段以第一输送器载送取像器位移至第二作业区,以取像移料器的电子元件;待位承载手段于取像器取像完毕后,第一输送器位于第二作业区以供移料器移入或移出电子元件;比对手段以处理器接收取像器传输的电子元件取像资料,以判断电子元件是否偏移,并补偿调整电子元件的位置,使移料器精准移载电子元件。
本发明的优点五,提供一种检知方法,更包含移料取像手段,移料取像手段以移料器沿第二路径位移,并搭配第一输送器载送取像器沿第一路径位移,使取像器可取像电子元件的不同区块,以供更精准分析电子元件的位置偏移值,进而更加提高检知精准性。
本发明的优点六,提供一种作业机,包含机台、供料装置、收料装置、具本发明输送机构的测试装置及中央控制装置,供料装置配置于机台,并设有至少一供料容置器,以供容置至少一待测电子元件;收料装置配置于机台,并设有至少一收料容置器,以供容置至少一已测电子元件;测试装置配置于机台,并设有至少一测试器及本发明输送机构,至少一测试器以供测试电子元件,本发明输送机构设有至少一第一输送器、至少一取像器及至少一移料器,移料器以供移载电子元件,第一输送器及装配其上的取像器,以供输送电子元件及检知移料器上的电子元件位置;中央控制装置以控制及整合各装置作动而执行自动化作业。
附图说明
图1是本发明应用于作业机的示意图。
图2是本发明检知方法的示意图。
图3是本发明检知电子元件的动作示意图(一)。
图4是本发明检知电子元件的动作示意图(二)。
图5是本发明检知电子元件的动作示意图(三)。
图6是本发明检知电子元件的动作示意图(四)。
图7是本发明检知电子元件的动作示意图(五)。
图8是本发明检知电子元件的动作示意图(六)。
附图标记说明:机台10;供料装置20;供料容置器21;收料装置30;收料容置器31;测试装置40;电路板41;测试座42;第一输送器43;第一驱动源431;第一载台432;第一容置部4321;取像器44;第二输送器45;第二驱动源451;第二载台452;第二容置部4521;第一移料器46;第二移料器47;第三移料器48;第一作业区A1;第二作业区A2;第三作业区A3。
具体实施方式
为使对本发明作更进一步的了解,兹举一较佳实施例并配合图式,详述如后:
请参阅图1,本发明的作业机包含机台10、供料装置20、收料装置30、具本发明输送机构的测试装置40及中央控制装置(图未示出)。
供料装置20配置于机台10,并设有至少一供料容置器21,以供容置至少一待测电子元件;收料装置30配置于机台10,并设有至少一收料容置器31,以供容置至少一已测电子元件;中央控制装置(图未示出)以控制及整合各装置作动而执行自动化作业。
测试装置40配置于机台10,并设有至少一测试器及本发明输送机构;至少一测试器以供测试电子元件,更进一步,测试器具有电性连接的电路板及传输件(如探针),电路板本身可具有测试程式,或者电性连接一测试机;于本实施例,测试器设有电性连接的电路板41及具有复数支探针的测试座42,测试座42供承置及测试电子元件。
再者,测试装置40设置一测试室,以供测试器位于测试室内而执行测试作业;测试室可装配至少一输送管(图未示出),以供输送干燥空气至测试室,使电子元件(图未示出)位于模拟日后使用环境温度的测试室执行冷测作业。然依作业需求,于热测作业时,测试室内可配置鼓风机(图未示出),以供吹送热风,使测试室的内部升温,也无不可。
本发明输送机构包含至少一第一输送器43及至少一取像器44;第一输送器43设有第一驱动源431及第一载台432,第一驱动源431驱动第一载台432沿第一路径位移于第一作业区A1及第二作业区A2而供载送电子元件,取像器44装配于第一载台432,并由第一载台432载送至第二作业区A2,以供对第二作业区A2的移料器上的电子元件执行取像作业,而检知电子元件是否偏移,以利移料器调整且精准移载电子元件。
更进一步,第一输送器43可承载已测电子元件、待测电子元件,或者承载已测电子元件及待测电子元件。第一路径可位于测试座42的侧方或上方;举例第一路径位于测试座42的侧方,第一输送器43沿第一路径(如X方向)位移至测试座42的侧方,以供移料器作Y-Z方向位移于第一输送器43与测试座间移载取放电子元件;举例第一路径位于测试座42的上方,第一输送器43沿第一路径位移至测试座42的上方,以供测试座42上方的移料器作Z方向位移取放电子元件。
更进一步,第一驱动源431可为线性马达或包含马达及至少一传动组;举例第一驱动源431包含马达及一为皮带轮组的传动组,举例第一驱动源431为线性马达,线性马达包含复数个定子及至少一转子,以供转子作线性位移
。第一载台432可为平板或具容置部(如凹槽)的台座,平板可具有定位部件(如吸孔),以定位电子元件;于本实施例,第一输送器43供承载已测的电子元件,第一驱动源431为线性马达,并配置于第一路径(如X方向),而位于测试座42的侧方,第一驱动源431连结驱动一具第一容置部4321的第一载台432沿第一路径位移于第一作业区A1与第二作业区A2,使第一载台432以第一容置部4321于第二作业区A2供承置已测的电子元件。然,本实施例的第一作业区A1为出料区,第二作业区A2为位于测试座42侧方的待位区,换言之,依作业需求,当第一载台432沿第一路径位移至测试座42的上方,测试座42上方的区域即为第二作业区A2。
取像器44装配于第一输送器43的第一载台432,并由第一载台432载送至第二作业区A2,以供对第二作业区A2的移料器上的电子元件执行取像作业;更进一步,取像器44可装配于第一载台432的非承置电子元件的任一部位,例如装配于第一载台432的侧方或顶面;更进一步,取像器44可直接由下向上取像移料器上的电子元件,或者搭配菱镜使用而取像电子元件,也无不可。于本实施例,取像器44为一CCD,并装配于第一输送器43的第一载台432的前侧,以供由下向上取像移料器上的电子元件。
依作业需求,输送机构更包含至少一移料器,至少一移料器可沿第二路径位移至第二作业区A2移载电子元件;再者,移料器更包含温控单元(图未示出),温控单元于移料器设置至少一温控件,以供温控电子元件;更进一步,温控件可为加热件、致冷晶片或具流体的座体。
于本实施例,输送机构更包含第二输送器45、第一移料器46、第二移料器47及第三移料器48。
第二输送器45包含第二驱动源451及第二载台452,第二驱动源451驱动一具第二容置部4521的第二载台452沿第一路径位移,并以第二容置部4521供承载待测的电子元件;更进一步,第二驱动源451及第一驱动源431可分别为独立的驱动源,以分别带动第二载台452或第一载台432各别独立位移;或者第二驱动源451与第一驱动源431可为同一驱动源(例如同一驱动源为线性马达,线性马达以复数个定子驱动二转子作动,二转子分别带动第一载台432及第二载台452位移),以带动第二载台452及第一载台432位移。再者,取像器44也可装配于第二输送器45,于第二输送器45沿第一路径位移时,并带动取像器44同步位移,使取像器44于第二作业区A2取像第二移料器47上的电子元件,也无不可。
于本实施例,第二驱动源451为独立的驱动源,并配置于第一路径,而位于测试座42的侧方,以连结驱动第二载台452沿第一路径(如X方向)位移于第三作业区A3与第二作业区A2。然,本实施例的第三作业区A3为供料区,换言之,依作业需求,当第一载台432沿第一路径位移至测试座42的上方,测试座42侧方的区域即为第一作业区A1及第三作业区A3,以供移入待测电子元件及取出已测电子元件。
第一移料器46可作第一、二、三方向(如X-Y-Z方向)位移,以供于供料装置20及位于第三作业区A3的第二输送器45间移载待测的电子元件。第二移料器47可作第二、三方向(如Y-Z方向)位移,以供于测试座42与位于第二作业区A2的第一输送器43或第二输送器45移载待测电子元件或已测电子元件,第二移料器47上的待测电子元件并供位于第二作业区A2的取像器44执行取像作业;更进一步,第二移料器47可视作业需求,而执行移载及压接动作,以压接电子元件于测试座42执行测试作业;又第二移料器47可视作业需求,更包含温控单元(图未示出),温控单元于移料器设置至少一温控件,以供温控电子元件;于本实施例,第二移料器47可执行移载待测电子元件及已测电子元件,并压接待测电子元件于测试座42执行测试作业。第三移料器48可作第一、二、三方向(如X-Y-Z方向)位移,以供于收料装置30及位于第一作业区A1的第一输送器43间移载已测的电子元件。
请参阅图2~8,一种检知方法,包含拾料手段、输送取像手段、待位承载手段及比对手段;拾料手段以移料器拾取电子元件;输送取像手段以第一输送器载送取像器位移至第二作业区,以取像移料器的电子元件;待位承载手段于取像器取像完毕后,第一输送器位于第二作业区以供移料器移入或移出电子元件;比对手段以处理器接收取像器传输的电子元件取像资料,以判断电子元件是否偏移,并补偿调整电子元件的位置,使移料器精准移载电子元件。
承上述,更包含移料取像手段,移料取像手段以移料器作第二方向位移,并搭配第一输送器载送取像器作第一方向位移,使取像器可取像电子元件的不同区块,以供更精准分析电子元件的位置偏移值,进而提高检知精准性。
于执行拾料手段前,本发明的检知方法更包含前置供料手段,前置供料手段以第二输送器45输送待测的电子元件,以供移料器拾取待测的电子元件;于本实施例,第一移料器46作X-Y-Z方向位移,于供料装置20的供料容置器21取出待测的电子元件,并移载至第三作业区A3,将待测的电子元件移入第二输送器45的第二载台452的第二容置部4521,第二载台452沿第一路径位移将待测的电子元件由第三作业区A3输送至第二作业区A2,并位于测试座42的侧方。
拾料手段以移料器拾取电子元件;于本实施例,第二移料器47作Y-Z方向位移,于第二输送器45的第二载台452取出待测的电子元件,第二载台452作反向位移复位。输送取像手段以第一输送器载送取像器位移至第二作业区,以取像移料器的电子元件;更佳者,检知方法具有移料取像手段,移料取像手段以移料器沿第二路径位移,并搭配第一输送器载送取像器沿第一路径位移,使取像器可取像电子元件的不同区块,以供更精准分析电子元件的位置偏移值,进而提高检知精准性;于本实施例,输送取像手段以第一输送器43的第一驱动源431驱动第一载台432沿第一路径位移,并带动装配于上的取像器44同步由第一作业区A1位移至第二作业区A2,由于取像器44装配于第一载台432的前侧,取像器44可先位移至第二作业区A2,以对第二移料器47拾取的电子元件执行取像作业;然取像器44作X方向位移,第二移料器47可搭配作Y方向位移,使取像器44由下向上取像电子元件的不同区块,以获得更多取像资料而供分析比对。
待位承载手段于取像器取像完毕后,第一输送器位于第二作业区A2以供移料器移入或移出电子元件;于本实施例,取像器44取像第二移料器47上的电子元件完毕后,第一输送器43的第一驱动源431驱动第一载台432再沿第一路径位移,令第一载台432空的第一容置部4231先行待位于第二移料器47的放料位置,以待第二移料器47作Y-Z位移而移入已测的电子元件;因此,第一载台432沿第一路径位移而执行承载已测电子元件的动作前,可先行载送取像器44对第二移料器47上的电子元件执行取像作业,不仅缩减取像器驱动用元件,并有效简化取像作动时序,进而节省成本及提高使用效能。
比对手段以处理器(图未示出)接收取像器44传输的电子元件取像资料,以判断电子元件是否偏移,并补偿调整电子元件的位置,使移料器精准移载电子元件;于本实施例,比对手段以处理器接收取像器44传输的电子元件取像资料,将电子元件取像资料与一资料库(图未示出)内的电子元件样本资料作比对,以判断电子元件是否偏移,若偏移值为零,则毋需调整电子元件的位置,若偏移值非为零,则将偏移值补偿调整电子元件的位置,第二移料器47调整电子元件的位置后,第二移料器47将电子元件移入且压接于测试座42,使得电子元件的复数个接点精准对位测试座42的复数个探针而执行测试作业。
由于第一输送器43的第一载台432空的第一容置部4231已先行待位于第二移料器47的放料位置,于电子元件测试完毕,第二移料器47作Y-Z方向位移而移出测试座42的已测电子元件,并将已测电子元件移入第一载台432的第一容置部4231,第一输送器43的第一驱动器431驱动一承载该已测电子元件的第一载台432及装配其上的取像器44同步沿第一路径作反向位移,由第二作业区A2位移至第一作业区A1(即出料区),取像器44离开第二作业区A2,第一载台432载出已测电子元件,第三移料器48作X-Y-Z方向位移至第一作业区A1(即出料区),并于第一载台432取出已测电子元件,依测试结果,将已测电子元件移载至收料装置30的收料容置器31而分类收置。
Claims (16)
1.一种输送机构,其特征在于,包含:
至少一第一输送器:设有第一驱动源及第一载台,该第一驱动源驱动该第一载台沿第一路径位移于第一作业区及第二作业区,该第一载台供承载电子元件;
至少一取像器:装配于该第一载台,以供该第一载台载送该取像器同步位移于该第一作业区及该第二作业区,该取像器能够取像该第二作业区的移料器拾取的电子元件,以检知电子元件是否偏移。
2.如权利要求1所述的输送机构,其特征在于:还包含至少一该移料器,该移料器能够沿第二路径位移至该第二作业区移载电子元件,以供该取像器取像电子元件。
3.如权利要求2所述的输送机构,其特征在于:该移料器还包含温控单元,该温控单元于该移料器设置至少一温控件,以供温控电子元件。
4.如权利要求1所述的输送机构,其特征在于:该第一驱动源为线性马达或包含马达及至少一传动组。
5.如权利要求1所述的输送机构,其特征在于:该第一载台设有容置部,以供承置电子元件。
6.如权利要求1所述的输送机构,其特征在于:该取像器能够装配于该第一载台的非承置电子元件的任一部位。
7.如权利要求1所述的输送机构,其特征在于:该取像器为CCD。
8.如权利要求1所述的输送机构,其特征在于:还包含第二输送器,该第二输送器设有第二驱动源及第二载台,该第二驱动源驱动该第二载台沿该第一路径位移于第三作业区及该第二作业区,该第二载台供承载电子元件。
9.一种测试装置,其特征在于,包含:
至少一测试器:设有电性连接的传输件及电路板,以供测试电子元件;
至少一如权利要求1所述的输送机构:该移料器在该第一输送器及该测试器间移载电子元件,该第一输送器输送电子元件,该取像器取像该移料器上的电子元件。
10.如权利要求9所述的测试装置,其特征在于:该第一输送器的该第一路径位于该测试器的侧方或上方。
11.如权利要求9所述的测试装置,其特征在于:还包含测试室,该测试室以供罩置该测试器而执行测试作业。
12.如权利要求11所述的测试装置,其特征在于:该测试室装配至少一输送管,以供输送干燥空气。
13.一种检知方法,其特征在于,包含:
拾料手段:以移料器拾取电子元件;
输送取像手段:以第一输送器载送取像器沿第一路径位移至第二作业区,以取像该移料器的电子元件;
待位承载手段:在该取像器取像完毕后,该第一输送器位于该第二作业区以供该移料器移入或移出电子元件;
比对手段:以处理器接收该取像器传输的电子元件取像资料,以判断电子元件是否偏移,并补偿调整电子元件的位置。
14.如权利要求13所述的检知方法,其特征在于:还包含移料取像手段,该移料取像手段以该移料器沿第二路径位移,并搭配该第一输送器载送该取像器沿该第一路径位移,以供该取像器可取像电子元件的不同区块。
15.如权利要求13所述的检知方法,其特征在于:还包含前置供料手段,该前置供料手段以第二输送器输送电子元件,而供该移料器拾取电子元件。
16.一种作业机,其特征在于,包含:
机台;
供料装置:配置于该机台,并设有至少一供料容置器,以供容置至少一待测电子元件;
收料装置:配置于该机台,并设有至少一收料容置器,以供容置至少一已测电子元件;
至少一如权利要求9所述的测试装置:装配该机台;
中央控制装置:以控制及整合各装置作动而执行自动化作业。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111004308.XA CN115728561A (zh) | 2021-08-30 | 2021-08-30 | 输送机构、测试装置、检知方法及其应用的作业机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111004308.XA CN115728561A (zh) | 2021-08-30 | 2021-08-30 | 输送机构、测试装置、检知方法及其应用的作业机 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN115728561A true CN115728561A (zh) | 2023-03-03 |
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ID=85290768
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202111004308.XA Pending CN115728561A (zh) | 2021-08-30 | 2021-08-30 | 输送机构、测试装置、检知方法及其应用的作业机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN115728561A (zh) |
-
2021
- 2021-08-30 CN CN202111004308.XA patent/CN115728561A/zh active Pending
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PB01 | Publication | ||
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