CN115724137A - 振动产生装置及拾取系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了具有优异的机械强度的振动产生装置及拾取系统。振动产生装置具有：载置工件的槽；支承所述槽的脚部；以及对所述槽赋予振动的振动电机，所述脚部具有：能够弹性变形的弹簧部；以及第一固定部，位于所述弹簧部与所述槽之间，并将所述弹簧部固定于所述槽，所述弹簧部与所述第一固定部为一体。另外，所述脚部为切削加工体。

Description

振动产生装置及拾取系统

技术领域

本发明涉及振动产生装置及拾取系统。

背景技术

专利文献1中记载了一种振动移送装置，该振动移送装置具有基台、经由多个弹簧脚支承于基台的框架、配置于框架的输送槽，利用振动电机使输送槽振动来移送粉粒体。

专利文献1：日本登记实用新型第3175501号公报

但是，在专利文献1的振动移送装置中，弹簧脚的结构不明确。例如，若弹簧主体、将弹簧主体的上端部固定于框架的上侧固定部、将弹簧主体的下端部固定于基台的下侧固定部分体构成，则通过振动电机的驱动使弹簧脚振动，由此对弹簧主体与上侧固定部的接合部分、弹簧主体与下侧固定部的接合部分施加应力，该部分有可能被破坏。

发明内容

本发明的振动产生装置具有：载置工件的槽；支承所述槽的脚部；以及对所述槽赋予振动的振动电机，所述脚部具有：能够弹性变形的弹簧部；以及第一固定部，位于所述弹簧部与所述槽之间，并将所述弹簧部固定于所述槽，所述弹簧部与所述第一固定部为一体。

本发明的拾取系统具有：振动产生装置，载置工件，并对所述工件赋予振动而使所述工件的位置变化；影像装置，对载置于所述振动产生装置的所述工件进行拍摄，并基于拍摄结果来检测所述工件的位置；以及机器人，基于所述影像装置的检测结果来拾取载置于所述振动产生装置的所述工件，所述振动产生装置具有：载置所述工件的槽；支承所述槽的脚部；以及对所述槽赋予振动的振动电机，所述脚部具有：能够弹性变形的弹簧部；以及第一固定部，位于所述弹簧部与所述槽之间，并将所述弹簧部固定于所述槽，所述弹簧部与所述第一固定部为一体。

附图说明

图1是表示第一实施方式所涉及的拾取系统的整体结构的主视图。

图2是表示机器人的主视图。

图3是表示振动产生装置的主视图。

图4是表示振动产生装置的俯视图。

图5是表示振动产生装置所具有的脚部的剖视图。

图6是表示拾取系统的驱动方法的流程图。

图7是表示图5所示的脚部的变形例的剖视图。

图8是表示图5所示的脚部的变形例的剖视图。

图9是表示图5所示的脚部的变形例的剖视图。

图10是表示图5所示的脚部的变形例的剖视图。

图11是表示图5所示的脚部的变形例的剖视图。

图12是表示第二实施方式所涉及的振动产生装置所具有的脚部的剖视图。

图13是表示图12所示的脚部的变形例的剖视图。

附图标记说明

100…拾取系统，200…振动产生装置，210…基台，220…脚部，221…弹簧部，222…第一固定部，223…第二固定部，224…凸缘部，225…凸缘部，230…传递部，231…突起部，232…插通孔，233…插通孔，240…槽支承部，250…槽主体，260A…第一振动电机，260B…第二振动电机，261A…旋转轴，261B…旋转轴，290…槽，300…传送带，310…带，320…输送辊，330…输送量传感器，400…影像装置，410…照相机，420…检测部，500…机器人，510…基座，520…机械臂，521…第一臂，522…第二臂，530…作业头，531…花键螺母，532…滚珠丝杠螺母，533…花键轴，540…末端执行器，571…第一驱动装置，572…第二驱动装置，573…第三驱动装置，574…第四驱动装置，600…控制装置，A…横宽，B…纵宽，B1…螺栓，B2…螺栓，B3…螺栓，B4…螺栓，B5…螺栓，B6…螺栓，B7…螺栓，D…图像数据，H1…孔，H2…孔，H3…孔，H4…孔，H5…孔，H6…孔，H7…孔，J…中心轴，J1…第一转动轴，J2…第二转动轴，J3…第三转动轴，P…间距，S1…步骤，S2…步骤，S3…步骤，S4…步骤，S5…步骤，W…工件。

具体实施方式

以下，根据附图对振动产生装置及拾取系统的优选实施方式进行说明。

第一实施方式

图1是表示第一实施方式所涉及的拾取系统的整体结构的主视图。图2是表示机器人的主视图。图3是表示振动产生装置的主视图。图4是表示振动产生装置的俯视图。图5是表示振动产生装置所具有的脚部的剖视图。图6是表示拾取系统的驱动方法的流程图。图7至图11是分别表示图5所示的脚部的变形例的剖视图。此外，以下，将除了图4及图6之外的各图的上侧设为“上”，将下侧设为“下”。

图1所示的拾取系统100具有：载置有作为输送对象的工件W的振动产生装置200；作为输送工件W的输送装置的传送带300；对载置于振动产生装置200的工件W进行拍摄的影像装置400；基于影像装置400的检测结果来拾取载置于振动产生装置200的工件W并将其释放到传送带300上的机器人500；以及控制这些各部的驱动的控制装置600。

机器人500

机器人500是SCARA机器人(水平多关节机器人)。如图2所示，机器人500具有固定于地面的基座510以及与基座510连接的机械臂520。机械臂520具有：第一臂521，其基端部与基座510连接，且相对于基座510绕沿着铅垂方向的第一转动轴J1转动；以及第二臂522，其基端部与第一臂521的前端部连接，且相对于第一臂521绕沿着铅垂方向的第二转动轴J2转动。

另外，在第二臂522的前端部设置有作业头530。作业头530具有：同轴地配置于第二臂522的前端部的花键螺母531及滚珠丝杠螺母532；以及花键轴533，插通于花键螺母531及滚珠丝杠螺母532。花键轴533能够相对于第二臂522绕沿着铅垂方向的第三转动轴J3旋转，并且能够沿着第三转动轴J3升降。

另外，在花键轴533的下端部安装有末端执行器540。末端执行器540是可以自由装卸的，可以适当选择适于目标作业的末端执行器。本实施方式的末端执行器540是夹持并保持工件W的机械手。

另外，机器人500具有：使第一臂521相对于基座510绕第一转动轴J1转动的第一驱动装置571；使第二臂522相对于第一臂521绕第二转动轴J2转动的第二驱动装置572；使花键螺母531旋转而使花键轴533绕第三转动轴J3旋转的第三驱动装置573；以及使滚珠丝杠螺母532旋转而使花键轴533在沿着第三转动轴J3的方向上升降的第四驱动装置574。

另外，在第一、第二、第三、第四驱动装置571、572、573、574分别设置有作为驱动源的电机以及检测电机的旋转量的编码器。控制装置600在拾取系统100运转中，执行使各编码器的输出所表示的机械臂520的位置与作为控制目标的目标位置一致的反馈控制。

以上，对机器人500进行了说明，但作为机器人500，并不特别限定，例如，也可以是具备具有6个旋转轴的机械臂的6轴机器人。

传送带300

如图1所示，传送带300具有：载置工件W的带310；对带310进行输送的输送辊320；驱动输送辊320的未图示的电机；以及将与输送辊320的旋转量相应的信号输出到控制装置600的输送量传感器330。控制装置600在拾取系统100运转中，执行使输送量传感器330的输出所表示的工件W的输送速度与作为控制目标的目标输送速度一致的反馈控制。由此，能够以期望的速度稳定地输送工件W。

影像装置400

如图1所示，影像装置400是从振动产生装置200的上方拍摄振动产生装置200上的工件W，并基于所拍摄的图像来检测工件W的位置、重叠状态的装置。这样的影像装置400具有照相机410以及基于照相机410所拍摄的图像数据来检测振动产生装置200上的至少1个工件W的位置的检测部420。此外，在本实施方式中，检测部420被组装到控制装置600中。

另外，照相机410是能够拍摄各像素具有深度信息(进深信息)的距离图像的3D照相机(立体照相机)。照相机410的各像素通过检测部420与世界坐标建立关联，在照相机410的视场角内存在工件W的情况下，能够基于图像数据内的工件W的位置来确定工件W的坐标。但是，作为影像装置400的结构，并不特别限定，例如，可以是组合了2D照相机和深度传感器的结构，也可以是使用了通过相移法测量三维形状的测量装置的结构。

振动产生装置200

如图3所示，振动产生装置200具有：板状的基台210；竖立设置于基台210的4根脚部220；经由这些脚部220与基台210连接的槽290；以及对槽290赋予振动的第一振动电机260A及第二振动电机260B。另外，槽290具有：板状的传递部230，经由脚部220与基台210连接，并在其下表面配置有第一、第二振动电机260A、260B；板状的槽支承部240，与传递部230的上表面重叠；以及槽主体250，配置于槽支承部240的上表面，载置工件W。此外，作为槽290的结构，没有特别限定，例如，也可以省略传递部230、槽支承部240。

根据这样的结构的振动产生装置200，通过由控制装置600控制第一、第二振动电机260A、260B的驱动，能够对槽290赋予振动，改变载置于槽主体250的工件W的位置、重叠状态。另外，通过使第一、第二振动电机260A、260B的相位(偏心方向的角度差)、旋转方向变化，能够使赋予槽290的振动的方向变化。

板状的传递部230经由4根脚部220大致水平地固定于基台210。因此，传递部230容易相对于基台210摆动，第一、第二振动电机260A、260B的振动被增强而传递到槽290。槽支承部240为板状，重叠配置于传递部230的上表面。而且，槽支承部240通过多个螺钉螺纹固定于传递部230。另外，槽主体250呈箱状，大致水平地配置于槽支承部240的上表面。另外，在槽主体250内随意地收容有多个工件W。

在传递部230的下表面配置有第一振动电机260A及第二振动电机260B。另外，第一振动电机260A的旋转轴261A及第二振动电机260B的旋转轴261B分别沿着水平方向且相互平行。而且，旋转轴261A及旋转轴261B位于同一水平面上。此外，作为第一、第二振动电机260A、260B，只要能够产生振动即可，没有特别限定，例如，能够使用在旋转轴261A、261B配置未图示的偏心锤，且通过偏心锤的作用在旋转轴261A、261B上产生离心力振动的电磁电机。

如图4所示，4根脚部220平衡良好地配置于基台210的四角。以下，对4根脚部220进行说明，但由于它们是相同的结构，因此，以下，对1个脚部220进行说明，对除此以外的脚部220，省略其说明。

如图5所示，脚部220具有：能够弹性变形的弹簧部221；第一固定部222，位于弹簧部221与槽290之间，将弹簧部221固定于槽290；以及第二固定部223，位于弹簧部221与基台210之间，将弹簧部221固定于基台210。另外，弹簧部221是螺旋弹簧。而且，弹簧部221、第一固定部222以及第二固定部223一体地形成。这样，通过一体地形成脚部220整体，与它们分体形成的结构相比，脚部220的机械强度提高，有效地抑制脚部220的破坏。因此，成为可靠性高的振动产生装置200。

而且，在弹簧部221、第一固定部222以及第二固定部223为分体的情况下，通过将第一、第二固定部222、223与弹簧部221连接，弹簧部221的特性(弹簧系数等)发生变化，难以在4个脚部220使弹簧部221的特性一致。具体而言，在用粘接剂固定的情况下，由于粘接剂附着于弹簧部221，弹簧部221的特性发生变化，在通过焊接固定的情况下，由于焊接时的热，使得弹簧部221的特性发生变化。因此，难以使槽290在规定的方向上稳定地振动。与此相对，如本实施方式那样，若一体地形成弹簧部221、第一固定部222以及第二固定部223，则不会产生上述那样的弹簧部221的特性变化，因此能够在4个脚部220容易地使弹簧部221的弹性一致。因此，能够使槽290在规定的方向上稳定地振动。

特别是，在本实施方式中，例如，通过对圆柱状的块体进行切削加工，一体地形成弹簧部221、第一固定部222以及第二固定部223。即，脚部220由切削加工体构成。由此，脚部220的形成廉价且容易，并且能够以高的加工精度形成脚部220。因此，能够使槽290在规定的方向上稳定地振动。

另外，通过切削加工，能够容易地将弹簧部221的横宽A及纵宽B、间距P设定、调整为任意的值。因此，能够使槽290的纵向的振幅及横向的振幅分别独立地符合任意的范围，成为具有优异的振动特性的振动产生装置200。

但是，作为脚部220的形成方法，没有特别限定，例如，也可以是放电加工、注射成型、铸造成型、锻造成型、利用3D打印机的成型等。通过这样的形成方法，也能够比较自由地设计弹簧部221的形状。

位于弹簧部221的铅垂方向上侧的第一固定部222呈上端部封闭的有底的筒状，在其上端部，形成有沿着铅垂方向的孔H1。特别是，在本实施方式中，孔H1沿着脚部220的中心轴J延伸。在孔H1中切有螺纹，紧固有贯通槽支承部240及传递部230的螺栓B1。由此，能够容易地固定第一固定部222和槽290。

但是，作为第一固定部222与槽290的固定方法，没有特别限定，例如，可以是粘接、焊接等。特别是在使用焊接的情况下，优选使第一固定部222沿轴向较长地延伸，以使焊接时的热难以经由第一固定部222传递到弹簧部221。

在此，在从作为弹簧部221和第一固定部222的排列方向的铅垂方向俯视观察时，孔H1位于弹簧部221的内侧。因此，能够实现第一固定部222的小型化。另外，由于能够利用1根螺栓B1固定第一固定部222和槽290，因此能够实现振动产生装置200的构成部件的削减及组装的简易化。

另一方面，位于弹簧部221的铅垂方向下侧的第二固定部223呈下端开口的筒状。另外，第二固定部223具有在从铅垂方向俯视时从弹簧部221向其外周侧突出的环状的凸缘部224，在该凸缘部224形成有沿着铅垂方向的一对孔H2。而且，插通于这些各孔H2的螺栓B2被紧固在形成于基台210的螺纹孔中。由此，弹簧部221经由第二固定部223固定于基台210。

但是，作为第二固定部223与基台210的固定方法，没有特别限定，例如，可以是粘接、焊接等。特别是，在使用焊接的情况下，优选使第二固定部223在轴向上较长地延伸，以使焊接时的热难以经由第二固定部223传递到弹簧部221。

在此，在从铅垂方向俯视观察时，孔H2位于弹簧部221的外侧。因此，如上所述，在从铅垂方向俯视观察时，孔H1比位于弹簧部221的内侧的第一固定部222大型化，但相应地，能够提高第二固定部223的强度及与基台210的接合强度。

若将第二固定部223设为与第一固定部222相同的结构，则能够实现脚部220的进一步小型化、构成部件的削减及组装的简易化，但这样会成为脚部220的上下两端封闭的中空构造，实质上不能通过切削加工形成。因此，在本实施方式中，通过将上端侧的第一固定部222形成为有底的筒状，将下端侧的第二固定部223形成为筒状，即，通过将第一、第二固定部222、223的形状最优化，形成为能够通过切削加工形成的形状，并且形成为小型且能够实现高强度的脚部220。

作为以上那样的脚部220的构成材料，没有特别限定，可以是不锈钢铝系合金等各种金属材料(包括合金)，也可以是各种树脂材料。在本实施方式中，使用不锈钢，由此，成为耐腐蚀性及机械强度优异的脚部220。

控制装置600

控制装置600分别控制振动产生装置200、传送带300、影像装置400以及机器人500的驱动。这样的控制装置600例如由计算机构成，具有处理信息的处理器(CPU)、与处理器可通信地连接的存储器、进行与外部装置的连接的外部接口。在存储器中保存有能够由处理器执行的各种程序，处理器能够读入并执行存储于存储器中的各种程序等。控制装置600的构成要素的一部分或全部也可以配置于机器人500的框体的内侧。另外，控制装置600也可以由多个处理器构成。

以上，对拾取系统100进行了说明。接下来，基于图6对拾取系统100的驱动方法简单地进行说明。首先，作为步骤S1，在使机器人500成为不妨碍拍摄的姿态的状态下，用照相机410拍摄槽主体250内的工件W，获取图像数据D。接下来，作为步骤S2，基于图像数据D检测至少1个工件W的位置、重叠状态。此外，在工件W的位置、重叠状态的检测中，例如，可以使用模板匹配。

接下来，作为步骤S3，从检测出位置的工件W中检测有无可由机器人500把持的工件W。作为能够把持的判断条件，例如能够设定槽250内的位置、与其他工件W的重叠状态等。在存在可由机器人500把持的工件W的情况下，作为步骤S4，由机器人500把持该工件W，释放到传送带300的带310上。由此，工件W被传送带300输送到规定的位置。

另一方面，在步骤S3中，在没有可由机器人500把持的工件W的情况下，作为步骤S5，驱动振动产生装置200，将槽主体250内的工件W的位置复位或消除工件W彼此的重叠，从步骤S1重新开始。根据这样的驱动方法，能够利用机器人500更可靠地把持工件W。

以上，对拾取系统100进行了说明。如上所述，这样的拾取系统100所包含的振动产生装置200具有：载置工件W的槽290；支承槽290的脚部220；以及作为对槽290赋予振动的振动电机的第一、第二振动电机260A、260B，脚部220具有：能够弹性变形的弹簧部221；以及第一固定部222，位于弹簧部221与槽290之间，将弹簧部221固定于槽290，弹簧部221与第一固定部222为一体。由此，与它们分体形成的结构相比，脚部220的机械强度提高，有效地抑制脚部220的破坏。因此，成为可靠性高的振动产生装置200。

另外，如上所述，脚部220为切削加工体。由此，脚部220的形成廉价且容易，并且能够以高的加工精度形成脚部220。因此，能够使槽290在规定的方向上稳定地振动。另外，能够容易地将弹簧部221设定、调整为任意的形状。因此，能够使槽290的纵向的振幅及横向的振幅分别独立地符合任意的范围，成为具有优异的振动特性的振动产生装置200。

另外，如上所述，第一固定部222具有用于固定于槽290的孔H1。由此，能够容易地将第一固定部222固定于槽290。

另外，如上所述，在从弹簧部221与第一固定部222排列的方向即铅垂方向俯视观察时，孔H1位于弹簧部221的内侧。由此，能够实现第一固定部222的小型化。

另外，如上所述，脚部220还具有相对于弹簧部221位于与第一固定部222相反一侧并固定弹簧部221的第二固定部223，弹簧部221与第二固定部223为一体。由此，容易经由第二固定部223将弹簧部221固定于基台210。另外，与它们分体形成的结构相比，脚部220的机械强度提高，有效地抑制脚部220的破坏。因此，成为可靠性高的振动产生装置200。

另外，如上所述，拾取系统100具有：振动产生装置200，载置工件W，并对工件W赋予振动而使工件W的位置变化；影像装置400，对载置于振动产生装置200的工件W进行拍摄，并基于拍摄结果来检测工件W的位置；以及机器人500，基于影像装置400的检测结果来拾取载置于振动产生装置200的工件W。而且，振动产生装置200具有：载置工件W的槽290；支承槽290的脚部220；以及作为对槽290赋予振动的振动电机的第一、第二振动电机260A、260B，脚部220具有：能够弹性变形的弹簧部221；以及第一固定部222，位于弹簧部221与槽290之间，将弹簧部221固定于槽290，弹簧部221与第一固定部222为一体。由此，与它们分体形成的结构相比，脚部220的机械强度提高，有效地抑制脚部220的破坏。因此，成为可靠性高的拾取系统100。

以上，对第一实施方式所涉及的拾取系统100进行了说明，但拾取系统100的结构，特别是脚部220的结构并不限定于此。以下，说明几个第一固定部222的变形例，但这当然也能够适用于第二固定部223。

例如，在图7所示的变形例中，第一固定部222为与本实施方式的第二固定部223相同的结构。即，第一固定部222呈上端开口的筒状，具有向外周侧突出的环状的凸缘部225。另外，在该凸缘部225形成有沿着铅垂方向的一对孔H1。另外，一对孔H1在从铅垂方向俯视观察时，位于弹簧部221的外侧。而且，插通于这些各孔H1的螺栓B1被紧固在形成于传递部230的螺纹孔中。由此，弹簧部221经由第一固定部222固定于传递部230。

这样，在从弹簧部221与第一固定部222排列的方向即铅垂方向俯视观察时，孔H1也可以位于弹簧部221的外侧。由此，能够提高第一固定部222的强度及槽290的接合强度。

另外，在图8所示的变形例中，第一固定部222呈上端开口的筒状，具有在从铅垂方向俯视观察时位于弹簧部221的内周与外周之间的一对孔H1。在这些孔H1中切有螺纹，紧固有插通于槽支承部240及传递部230的螺栓B1。由此，弹簧部221经由第一固定部222固定于传递部230。根据这样的机构，能够实现第一固定部222的小型化。

另外，如图9所示，传递部230具有向下方突出的突起部231。另一方面，第一固定部222为了能够供突起部231插通而呈上端开口的筒状，而且，还具有贯通外周面和内周面并沿水平方向延伸的孔H3。另外，在孔H3中切有螺纹。并且，也可以以突起部231插通于第一固定部222的方式配置脚部220，使螺栓B3与孔H3螺合，紧固螺栓B3并按压在突起部231的侧面，由此将第一固定部222和传递部230固定。根据这样的结构，由于能够从基台210与槽290之间的空间在水平方向上接近孔H3，因此螺栓B3的紧固作业变得容易。特别是，在本实施方式中，作为螺栓B3使用六角止动螺钉。由此，抑制螺栓B3向第一固定部222的外周突出，因此，相应地，能够实现第一固定部222的小型化。

这样，孔H3也可以在与弹簧部221和第一固定部222排列的方向即铅垂方向交叉的方向上延伸。由此，向孔H3的接近变得容易，螺栓B3的紧固作业变得容易。

另外，如图10所示，传递部230具有：向下方突出的突起部231；在突起部231的下表面开口并供第一固定部222插通的插通孔232；以及贯通突起部231的外周面和内周面且沿水平方向延伸的孔H4。另外，在孔H4中切有螺纹。而且，也可以将第一固定部222插通于插通孔232，使螺栓B4螺合于孔H4，紧固螺栓B4并按压于第一固定部222的侧面，由此将第一固定部222和传递部230固定。

另外，如图11所示，传递部230具有：在下表面开口且供第一固定部222插通的插通孔233；以及贯通传递部230的侧面和插通孔233的内周面且沿水平方向延伸的孔H5。另外，在孔H5中切有螺纹。而且，也可以将第一固定部222插通于插通孔233，使螺栓B5螺合于孔H5，紧固螺栓B5并按压于第一固定部222的侧面，由此将第一固定部222和传递部230固定。

第二实施方式

图12是表示第二实施方式所涉及的振动产生装置所具有的脚部的剖视图。图13是表示图12所示的脚部的变形例的剖视图。

本实施方式的振动产生装置200除了脚部220的结构不同以外，与上述的第一实施方式的振动产生装置200相同。因此，在以下的说明中，关于本实施方式，以与上述的第一实施方式的不同点为中心进行说明，关于同样的事项，省略其说明。另外，在本实施方式的图中，对与实施方式相同的结构，标注相同的附图标记。此外，由于4根脚部220是彼此相同的结构，所以以下为了便于说明，对1个脚部220进行说明，对于除此以外的脚部220，省略其说明。

如图12所示，在本实施方式的脚部220中，弹簧部221由板簧构成。而且，在该弹簧部221的两端一体连接有第一、第二固定部222、223。根据这样的结构，由于仅通过使板材在其中途的多个部位弯曲就能够形成脚部220，因此脚部220的形成极其容易。

在第一固定部222形成有孔H6，通过将插通于该孔H6的螺栓B6紧固于传递部230的螺纹孔中，将第一固定部222固定于传递部230。另外，在第二固定部223形成有孔H7，通过将插通于该孔H7的螺栓B7紧固于基台210的螺纹孔，将第二固定部223固定于基台210。但是，第一、第二固定部222、223的固定方法没有特别限定。

如上所述，在本实施方式的振动产生装置200中，弹簧部221为板簧。由此，脚部220成为简单的结构，形成也变得容易。

通过这样的第二实施方式，也能够发挥与上述的第一实施方式相同的效果。此外，作为弹簧部221的形状，没有特别限定，例如，如图13所示，也可以是在中途折弯或弯曲的形状。

以上，根据图示的实施方式对本发明的振动产生装置及拾取系统进行了说明，但本发明并不限定于此，各部的结构可以置换为具有相同的功能的任意的结构。另外，也可以在本发明中附加其他任意的构成物。另外，也可以适当组合各实施方式。

Claims (9)

1.一种振动产生装置，其特征在于，具有：

载置工件的槽；

支承所述槽的脚部；以及

对所述槽赋予振动的振动电机，

所述脚部具有：

能够弹性变形的弹簧部；以及

第一固定部，位于所述弹簧部与所述槽之间，并将所述弹簧部固定于所述槽，

所述弹簧部与所述第一固定部为一体。

2.根据权利要求1所述的振动产生装置，其特征在于，

所述脚部为切削加工体。

3.根据权利要求1或2所述的振动产生装置，其特征在于，

所述第一固定部具有用于固定于所述槽的孔。

4.根据权利要求3所述的振动产生装置，其特征在于，

在从所述弹簧部和所述第一固定部排列的方向俯视观察时，所述孔位于所述弹簧部的外侧。

5.根据权利要求3所述的振动产生装置，其特征在于，

在从所述弹簧部和所述第一固定部排列的方向俯视观察时，所述孔位于所述弹簧部的内侧。

6.根据权利要求3所述的振动产生装置，其特征在于，

所述孔在与所述弹簧部和所述第一固定部排列的方向交叉的方向上延伸。

7.根据权利要求1所述的振动产生装置，其特征在于，

所述脚部还具有相对于所述弹簧部位于与所述第一固定部相反一侧并固定所述弹簧部的第二固定部，

所述弹簧部与所述第二固定部为一体。

8.根据权利要求1所述的振动产生装置，其特征在于，

所述弹簧部为板簧。

9.一种拾取系统，其特征在于，具有：

振动产生装置，载置工件，并对所述工件赋予振动而使所述工件的位置变化；

影像装置，对载置于所述振动产生装置的所述工件进行拍摄，并基于拍摄结果来检测所述工件的位置；以及

机器人，基于所述影像装置的检测结果来拾取载置于所述振动产生装置的所述工件，

所述振动产生装置具有：

载置所述工件的槽；

支承所述槽的脚部；以及

对所述槽赋予振动的振动电机，

所述脚部具有：

能够弹性变形的弹簧部；以及

第一固定部，位于所述弹簧部与所述槽之间，并将所述弹簧部固定于所述槽，

所述弹簧部与所述第一固定部为一体。

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