CN115686713B - 一种用于半导体设备的智能交互方法及系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种用于半导体设备的智能交互方法及系统；其中，所述方法包括：获取半导体设备的第一数据，对所述第一数据进行评估以获得评估值；获取第一用户的第二数据，根据所述第二数据确定所述第一用户的第一身份数据；根据所述评估值和所述第一身份数据确定所述第一用户的交互界面的显示方案。本发明中的交互界面是动态的，而且是随着半导体设备的实时工作状态数据和用户的身份数据而动态调整的，使得用户可以更加便捷、准确的与半导体设备进行交互。

Description

一种用于半导体设备的智能交互方法及系统

技术领域

本发明涉及半导体生产制造及计算机技术领域，具体而言，涉及一种用于半导体设备的智能交互方法、系统、电子设备及计算机存储介质。

背景技术

在半导体制造过程中，需要对各类制造设备的运行状态进行监控，以及向其发送相关指令以控制其运行。这种状态监控及运行操控需要通过交互界面来完成，然而，现有半导体制造设备的交互界面都是统一制式，界面上会尽可能多的显示更多状态信息、控制按钮等，这对某些操作人员来说是不必要的，反而会因冗余信息而降低工作效率。

发明内容

为了至少解决上述背景技术中存在的技术问题，本发明提供了一种用于半导体设备的智能交互方法、系统、电子设备及计算机存储介质。

本发明的第一方面提供了一种用于半导体设备的智能交互方法，包括如下步骤：

获取半导体设备的第一数据，对所述第一数据进行评估以获得评估值；

获取第一用户的第二数据，根据所述第二数据确定所述第一用户的第一身份数据；

根据所述评估值和所述第一身份数据确定所述第一用户的交互界面的显示方案。

进一步地，所述交互界面通过Labview可视化语言开发。

进一步地，所述第一数据包括属性数据、状态数据；

则所述对所述第一数据进行评估以获得评估值，包括：

根据所述属性数据确定第一数据区间，将所述状态数据与所述第一数据区间进行匹配计算，以获得所述评估值。

进一步地，所述获取第一用户的第二数据，根据所述第二数据确定所述第一用户的第一身份数据，包括：

获取所述第一用户的图像数据，对所述图像数据进行身份识别以获得所述第一用户的第一身份数据；

或者，

通过电连接或非电连接的方式获得所述第一用户的预存数据，对所述预存数据进行解析以获得所述第一用户的第一身份数据。

进一步地，所述根据所述评估值和所述第一身份数据确定所述第一用户的交互界面的显示方案，包括：

根据所述评估值确定第一显示要素；

根据所述第一身份数据确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素；

根据所述第一显示要素和所述第二显示要素生成所述第一用户的交互界面的显示方案。

进一步地，所述根据所述第一身份数据确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素，包括：

根据所述第一身份数据调取第一能力数据，根据所述第一能力数据确定所述第一用户的第一能力评估值；

根据所述第一能力评估值确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素。

进一步地，所述根据所述第一身份数据确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素，还包括：

获取预设范围内的若干第二用户的第二身份数据；

根据所述第二身份数据调取第三能力数据，根据所述第三能力数据确定所述第二用户的第三能力评估值；

根据所述第三能力评估值和所述评估值确定所述第二用户交互界面的显示方案。

本发明的第二方面提供了一种用于半导体设备的智能交互系统，包括接收模块、处理模块、存储模块；所述处理模块与所述接收模块、所述存储模块连接；

所述存储模块，用于存储可执行的计算机程序代码；

所述接收模块，用于获取半导体设备和用户的相关数据并传输给所述处理模块；

所述处理模块，用于通过调用所述存储模块中的所述可执行的计算机程序代码，执行如前任一项所述的方法。

本发明的第三方面提供了一种电子设备，包括：存储有可执行程序代码的存储器；与所述存储器耦合的处理器；所述处理器调用所述存储器中存储的所述可执行程序代码，执行如前任一项所述的方法。

本发明的第四方面提供了一种计算机存储介质，该存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如上任一项所述的方法。

本发明的方案，相比于背景技术中所述的统一制式的交互界面，本发明中的交互界面是动态的，而且是随着半导体设备的实时工作状态数据和用户的第一身份数据而个性化动态调整的，使得用户无需面对数据繁杂的交互界面，尤其是在出现异常时可以面对十分简洁的交互界面，而且还能够更加快速的对异常情况进行处置，使得交互效率得到极大的提高。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本发明实施例公开的一种用于半导体设备的智能交互方法的流程示意图；

图2是本发明实施例公开的一种用于半导体设备的智能交互系统的结构示意图；

图3是本发明实施例公开一种电子设备的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

在本申请实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。在本申请实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义，“多种”一般包含至少两种。

应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

应当理解，尽管在本申请实施例中可能采用术语第一、第二、第三等来描述……，但这些……不应限于这些术语。这些术语仅用来将……区分开。例如，在不脱离本申请实施例范围的情况下，第一……也可以被称为第二……，类似地，第二……也可以被称为第一……。

取决于语境，如在此所使用的词语“如果”、“若”可以被解释成为“在……时”或“当……时”或“响应于确定”或“响应于检测”。类似地，取决于语境，短语“如果确定”或“如果检测(陈述的条件或事件)”可以被解释成为“当确定时”或“响应于确定”或“当检测(陈述的条件或事件)时”或“响应于检测(陈述的条件或事件)”。

还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的商品或者系统不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种商品或者系统所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的商品或者系统中还存在另外的相同要素。

下面结合附图详细说明本发明的优选实施例。

请参阅图1，图1是本发明实施例公开的一种用于半导体设备的智能交互方法的流程示意图。如图1所示，本发明实施例的一种用于半导体设备的智能交互方法，包括如下步骤：

获取半导体设备的第一数据，对所述第一数据进行评估以获得评估值；

获取第一用户的第二数据，根据所述第二数据确定所述第一用户的第一身份数据；

根据所述评估值和所述第一身份数据确定所述第一用户的交互界面的显示方案。

在本发明实施例中，相比于背景技术中所述的统一制式的交互界面，本发明中的交互界面是动态的，而且是随着半导体设备的实时工作状态数据和用户的第一身份数据而个性化动态调整的，使得用户无需面对数据繁杂的交互界面，尤其是在出现异常时可以面对十分简洁的交互界面，而且还能够更加快速的对异常情况进行处置，使得交互效率得到极大的提高。

本发明所涉及的第一/二用户指的是对半导体制造相关设备/设备组进行运维的人员。本发明的方案可以作为常规显示方案，也可以作为常规显示方案的补充，例如仅用于存在设备异常情况。

本发明方案的实施主体可以是交互设备的处理装置，也可以是服务器。其中，处理装置可以是至少包括了处理器的专门处理设备，也可以是手机、平板电脑、笔记本电脑、掌上电脑、个人电脑、智能电视、智能手表等外接终端设备。而涉及的服务器可以是独立的物理服务器，也可以是多个物理服务器构成的服务器集群或者分布式系统。

进一步地，所述交互界面通过Labview可视化语言开发。

在本发明实施例中，Labview能够提供很多外观与传统仪器类似的控件，可用来方便地创建用户界面。所以，本发明所涉及的的交互界面优先选择Labview可视化语言来开发。当然，本发明的该限定并非是对其它可视化语言的排斥。

进一步地，所述第一数据包括属性数据、状态数据；

则所述对所述第一数据进行评估以获得评估值，包括：

根据所述属性数据确定第一数据区间，将所述状态数据与所述第一数据区间进行匹配计算，以获得所述评估值。

在本发明实施例中，对于具体的半导体设备来说，需要预先确定其在不同作业任务下的参数正常范围即第一数据区间，第一数据区间可以是单一连续区间，也可以是多个非连续区间组成的区间集合。此时，通过计算半导体设备实时状态数据(可以是单一数据，也可以是周期内的多个数据)与第一数据区间的匹配关系，即可获得评估值，例如，状态数据完全位于第一数据区间内部，则评估值可设为低，状态数据部分位于第一数据区间内部，则评估值可设为中，状态数据完全脱离第一区间数据，则评估值可设为高。以上举例说明是将评估值定义为异常，除此之外，评估值还可以被定义为正常，其与匹配结果的对应关系适应调整即可，本发明不再赘述。

第一数据区间可以由工作人员基于经验值来确定，也可以采用系统自行确定并辅以人工确认的方式。对于后者，说明如下：

获取与第一设备相关联的若干第二设备，根据所述第一设备和若干所述第二设备的所述属性数据构建第一属性矩阵；

将所述第一属性矩阵与其它属性矩阵进行匹配计算以确定第二属性矩阵；

根据所述第二属性矩阵关联的第二数据区间确定所述第一数据区间。

在该示例中，半导体制造系统是由多个设备协同实施的，交互界面上显示的也可以是多个设备的运行参数，而且设备的协同也可以是分生产环节的。针对该实际情况，本发明根据预设关系确定出属于相同生产制造系统或生产环节的若干设备，将其视作一个队组，构建对组的第一属性矩阵，然后再通过匹配计算来锁定其它相同或高度相似的队组，根据其已经被确认的第二数据区间作为参考来自动确定应用于本队组的第一数据区间。该示例还可以被配置为将自动确定的第一数据区间提示给工作人员，以供其确认、修改，如此设置，可降低工作人员在配备第一数据区间时的工作量，尤其是需要协同调试多台关联设备。

需要进行说明的是，以上涉及的属性数据可以包括设备设置编号(同队设备在编号上具有关联特征)、设备间的通信关系(在各设备相互间连接通信之后，可基于通信信号确认出相互间的通信连接关系；该通信连接关系也可以从主控制器处获取)、设备间的物理连接关系等，这些数据可用于确认哪些设备属于相同队组。以上涉及的属性矩阵可以对应同一生产区域的队组，也可以对应调试人员的所有历史调试记录，具体不作限定。

进一步地，所述获取第一用户的第二数据，根据所述第二数据确定所述第一用户的第一身份数据，包括：

获取所述第一用户的图像数据，对所述图像数据进行身份识别以获得所述第一用户的第一身份数据；

或者，

通过电连接或非电连接的方式获得所述第一用户的预存数据，对所述预存数据进行解析以获得所述第一用户的第一身份数据。

在本发明实施例中，对于用户身份的获取方式主要包括两种，即：1)图像识别，例如人脸识别、身份卡(工牌、照片、姓名、二维/条形码等)识别等；2)刷卡，电连接方式例如可以是插入式的U盘，其中预先存储第一身份数据，而非电连接方式例如可以是RFID身份卡、NFC身份卡、蓝牙身份卡等。

进一步地，所述根据所述评估值和所述第一身份数据确定所述第一用户的交互界面的显示方案，包括：

根据所述评估值确定第一显示要素；

根据所述第一身份数据确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素；

根据所述第一显示要素和所述第二显示要素生成所述显示方案。

在本发明实施例中，根据前述获得的评估值可以确定设备的工作状态是否存在异常，据此可以确定出第一显示要素。在设备工作正常时，第一显示要素可以仅是常规的设备参数显示界面；而在设备工作出现异常时，第一显示要素可以是在常规的设备参数显示界面上附加醒目标识，或者对显示界面的显示效果进行调整(例如将非异常区域视作背景进行虚化处理)以使出现异常的参数变得醒目。

在将特定内容醒目显示设置之后，还可根据当前工作人员的第一身份数据来确定与第一显示要素关联的第二显示要素，于是，根据第一显示要素、第二显示要素生成更为合理的显示方案。第二显示要素用以支持用户的输入操作，例如可以是与异常参数对应的紧急操作按钮(急停键、暂停键等)，当然，还可以同时附加异常情况处置方案等。

进一步地，所述根据所述第一身份数据确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素，包括：

根据所述第一身份数据调取第一能力数据，根据所述第一能力数据确定所述第一用户的第一能力评估值；

根据所述第一能力评估值确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素。

在本发明实施例中，根据第一身份数据可以调取与用户工作能力相关的第一能力数据，例如录入时登记的专业、擅长、岗位、培训等静态技能相关数据，基于实际处置操作数据分析得出的动态技能相关数据，据此可以对该用户的能力进行评估以获得第一能力评估值，然后再据此确定如何显示第二显示要素。

举例说明如下：

根据前述获得的第一能力评估值确定出当前用户A的能力优先级分别为：机械臂运维>监控传感器运维>膜操作设备运维。根据评估值确定机械臂参数异常时，则可设置第一显示要素为：机械臂页面位于最上层(应用于卡片式复合显示界面)，或者在新建页面中显示出机械臂页面(应用于弹窗界面)，或者在原页面(应用于综合页面，即一个页面中显示多个设备的参数)中使用醒目标识、背景虚化处理等方式突出机械臂参数。由于机械臂运维是该用户A所擅长，则可以将相关的干预按钮作为第二显示要素，即在页面上同时显示急停、暂停等处置按钮以供用户A操作。

但是，如果根据评估值确定是膜操作设备异常时，由于膜操作设备的运维并不是用户A的强项，或者超出其能力范围，则此时可不显示第二显示要素，或者对第二显示要素的干预强度进行调节，例如仅显示“暂停”按钮而不显示“紧急停机按钮”或“参数修正按钮”，抑或仅显示“异常处置tips窗口”等，以上仅用于举例说明，并非用于限定本发明的保护范围。

其中，对于根据第一能力数据评估获得用户的第一能力评估值的具体方式，可以基于常规的人工设定或对第一能力数据进行语义分词处理等方式按照预设的评估公式来实现，本发明对此不再赘述。

继续提供一种改进示例，如下：

根据所述第一身份数据调取第二能力数据，根据所述第二能力数据对所述第一能力评估值进行修正，以获得第二能力评估值；其中，所述第二能力数据包括对所述半导体设备的历史操作记录数据；

根据所述第二能力评估值确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素。

在该示例中，出于规范管理的需要，现场的设备都是匹配具体的人员/人员组来轮流负责设备/设备组的运维管理，同时，还会配置一定数量的更高水平的巡视技术人员进行辅助管理。针对该情况，本发明还至少调取这些巡视技术人员的对半导体设备的历史操作记录数据，据此可以获得更为准确的第二能力数据。

通过前述身份获取方式获得的第一身份数据可以同时包括第一用户和巡视技术人员(例如二者同时处于一台交互设备时，被图像识别程序同时识别到)，也可以仅包括第一用户，但第一用户本身即为巡视技术人员。

另外，根据第二能力数据对第一能力评估值进行修正，具体可以是将第一数据和第二数据求交集，进而可以获得新的能力数据，基于其获得第二能力评估值。

再提供一种改进方案，如下：

根据所述第一身份数据调取第一能力数据、所述第二能力数据，包括：

根据所述属性数据确定所述半导体设备的时间评估值，根据所述时间评估值确定时间区间，按照所述时间区间根据所述第一身份数据调取第一能力数据、所述第二能力数据。

针对设备存在更新换代等实际情况，本发明对用户的能力数据的获取设置具体的时间区间(自当前时刻前溯)，以降低针对于老旧型号设备的技能、经验对分析用户对当前新型设备的处理能力的影响；显然，时间评估值越小，设备越新，则时间区间越小，反之则越大。其中的属性数据具体可以包括半导体各设备/设备组在该生产区域的使用/组建时间，甚至可以是该类设备/设备组在半导体生产领域的使用/组建时间，具体可以自由

进一步地，所述根据所述第一身份数据确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素，还包括：

获取预设范围内的若干第二用户的第二身份数据；

根据所述第二身份数据调取第三能力数据，根据所述第三能力数据确定所述第二用户的第三能力评估值；

根据所述第三能力评估值和所述评估值确定所述第二用户交互界面的显示方案。

在本发明实施例中，除了前述的本地交互以外，本发明还设置了辅助式交互，即在交互设备B处有异常时，还可以在周围预设范围内的交互设备C上输出相关的交互信息，以引导周围的第二用户前来处置/协助处置。其中的预设范围指的是与不同交互设备所共处的较小物理区域，例如某车间、某厂区等。对于第二用户交互界面的显示方案，可以与第一用户的交互界面的显示方案的设置方式相同，但需要设置择一接受规则，以避免多个第二用户进行干预操作。

另外，该示例的实施还可以设置前提条件，以避免无效的辅助请求，提高处置效率。具体如下：

计算所述第一能力评估值与所述评估值的匹配度，若所述匹配度低于预设阈值或所述第一能力评估值为空，则执行前述对所述第二用户交互界面的显示方案的确定。

针对该前提条件，只有在交互设备B处的用户对当前异常无处置能力(例如用户不在岗)或处置能力不足时，才触发执行对第二用户的辅助请求。

请参阅图2，图2是本发明实施例公开的一种用于半导体设备的智能交互系统的结构示意图。如图2所示，本发明实施例的一种用于半导体设备的智能交互系统，包括接收模块101、处理模块102、存储模块103；所述处理模块102与所述接收模块101、所述存储模块103连接；

所述存储模块103，用于存储可执行的计算机程序代码；

所述接收模块101，用于获取半导体设备和用户的相关数据并传输给所述处理模块102；

所述处理模块102，用于通过调用所述存储模块103中的所述可执行的计算机程序代码，执行如前任一项所述的方法。

该实施例中的一种用于半导体设备的智能交互系统的具体功能参照上述实施例，由于本实施例中的系统采用了上述实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

请参阅图3，图3是本发明实施例公开的一种电子设备，包括：存储有可执行程序代码的存储器；与所述存储器耦合的处理器；所述处理器调用所述存储器中存储的所述可执行程序代码，执行如前述实施例所述的方法。

本发明实施例还公开了一种计算机存储介质，该存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如前述实施例所述的方法。

根据本公开的实施例的装置/系统可以包括处理器、用于存储程序数据并执行该程序数据的存储器、诸如磁盘驱动器的永久存储器、用于处理与外部装置的通信的通信端口、以及用户界面装置等。方法被实现为软件模块或者可作为可由处理器执行的计算机可读代码或程序命令存储在计算机可读记录介质上。计算机可读记录介质的示例可包括磁存储介质(例如，只读存储器(ROM)、随机存取存储器(RAM)、软盘、硬盘等)、光学读取介质(例如，CD-ROM、数字通用盘(DVD)等)等。计算机可读记录介质可被分布在连接在网络中的计算机系统中，并且计算机可读代码可以以分布方式存储和执行。介质可以是计算机可读的，存储在存储器中并由处理器执行。

本公开的实施例可以被指示为功能块组件和各种处理操作。功能块可被实现为执行特定功能的各种数量的硬件和/或软件组件。例如，本公开的实施例可实现可在一个或更多个微处理器或其他控制装置的控制下执行各种功能的直接电路组件，诸如存储器、处理电路、逻辑电路、查找表等。本公开的组件可通过软件编程或软件组件来实现。类似地，本公开的实施例可以包括由数据结构、过程、例程或其他编程组件的组合实现的各种算法，并且可以由编程或脚本语言(诸如C、C++、Java、汇编程序等)实现。功能方面可通过由一个或更多个处理器执行的算法来实现。此外，本公开的实施例可实现用于电子环境设置、信号处理和/或数据处理的相关技术。诸如“机构”、“元件”、“单元”等的术语可以被广泛使用，并且不限于机械和物理组件。这些术语可表示与处理器等相关的一系列软件例程。

在本公开中描述了作为示例的具体实施例，并且实施例的范围不限于此。

虽然已经描述了本公开的实施例，但是本领域普通技术人员将理解，在不脱离由所附权利要求限定的本公开的精神和范围的状况下，可以在其中进行形式和细节上的各种改变。因此，本公开的上述实施例应当被解释为示例，并且在所有方面不限制实施例。例如，被描述为单个单元的每个组件可以以分布式方式执行，并且同样地，被描述为分布式的组件可以以组合方式执行。

在本公开的实施例中使用所有示例或示例术语(例如，等)是为了描述本公开的实施例的目的，而不意图限制本公开的实施例的范围。

此外，除非另有明确说明，否则与某些组件相关联的诸如“必要”、“重要”等的表述可不指示绝对需要所述组件。

本领域普通技术人员将理解，在不脱离本公开的精神和范围的状况下，可以以修改的形式实现本公开的实施例。

由于本公开允许对本公开的实施例进行各种改变，因此本公开不限于特定实施例，并且将理解，不脱离本公开的精神和技术范围的所有改变、等同物和替代物都包含在本公开中。因此，本文描述的本公开的实施例应在所有方面被理解为示例，而不应被解释为限制。

此外，诸如“单元”、“模块”等的术语表示可被实现为硬件或软件或硬件和软件的组合的处理至少一个功能或操作的单元。“单元”和“模块”可被存储在将被寻址的存储介质中，并且可被实现为可能够由处理器执行的程序。例如，“单元”和“模块”可指诸如软件组件、面向对象的软件组件、类组件和任务组件的组件，并且可包括进程、功能、属性、过程、子例程、程序代码段、驱动程序、固件、微代码、电路、数据、数据库、数据结构、表、阵列或变量。

在本公开中，“A可包括a1、a2和a3中的一个”的表述可以广泛地表示可被包括在元素A中的示例包括a1、a2或a3。该表述不应当被解释为限定为包括在元素A中的示例必须限定为a1、a2和a3的含义。因此，作为包括在元素A中的示例，不应当被解释为排除a1、a2和a3以外的元素。另外，该表述表示元素A可包括a1、a2或a3。该表述并不表示元素A所包括的元素必须选自要素的特定集合。也就是说，该表述不应被限制性地理解为表示必须选自包括a1、a2和a3的集合的a1、a2或a3被包括在元素A中。

此外，在本公开中，表述“a1、a2和/或a3中的至少一个”表示“a1”、“a2”、“a3”、“a1和a2”、“a1和a3”、“a2和a3”、以及“a1、a2和a3”中的一个。因此，应当注意，除非明确描述为“a1中的至少一个，a2中的至少一个，以及a3中的至少一个”，否则表述“a1、a2和/或a3中的至少一个”不应被解释为“a1中的至少一个”、“a2中的至少一个”以及“a3中的至少一个”。

Claims (8)

1.一种用于半导体设备的智能交互方法，其特征在于，包括如下步骤：

获取半导体设备的第一数据，对所述第一数据进行评估以获得评估值；其中；

获取第一用户的第二数据，根据所述第二数据确定所述第一用户的第一身份数据；

根据所述评估值和所述第一身份数据确定所述第一用户的交互界面的显示方案；

所述根据所述评估值和所述第一身份数据确定所述第一用户的交互界面的显示方案，包括：

根据所述评估值确定第一显示要素；

根据所述第一身份数据确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素；

根据所述第一显示要素和所述第二显示要素生成所述第一用户的交互界面的显示方案；

所述根据所述第一身份数据确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素，包括：

根据所述第一身份数据调取第一能力数据，根据所述第一能力数据确定所述第一用户的第一能力评估值；

根据所述第一能力评估值确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的智能交互方法，其特征在于：所述交互界面通过Labview可视化语言开发。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于半导体设备的智能交互方法，其特征在于：所述第一数据包括属性数据、状态数据；

则所述对所述第一数据进行评估以获得评估值，包括：

根据所述属性数据确定第一数据区间，将所述状态数据与所述第一数据区间进行匹配计算，以获得所述评估值。

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体设备的智能交互方法，其特征在于：所述获取第一用户的第二数据，根据所述第二数据确定所述第一用户的第一身份数据，包括：

获取所述第一用户的图像数据，对所述图像数据进行身份识别以获得所述第一用户的第一身份数据；

或者，

通过电连接或非电连接的方式获得所述第一用户的预存数据，对所述预存数据进行解析以获得所述第一用户的第一身份数据。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的智能交互方法，其特征在于：所述根据所述第一身份数据确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素，还包括：

获取预设范围内的若干第二用户的第二身份数据；

根据所述第二身份数据调取第三能力数据，根据所述第三能力数据确定所述第二用户的第三能力评估值；

根据所述第三能力评估值和所述评估值确定所述第二用户交互界面的显示方案。

6.一种用于半导体设备的智能交互系统，包括接收模块、处理模块、存储模块；所述处理模块与所述接收模块、所述存储模块连接；

所述存储模块，用于存储可执行的计算机程序代码；

所述接收模块，用于获取半导体设备和用户的相关数据并传输给所述处理模块；

其特征在于：所述处理模块，用于通过调用所述存储模块中的所述可执行的计算机程序代码，执行如权利要求1-5任一项所述的方法。

7.一种电子设备，包括：存储有可执行程序代码的存储器；与所述存储器耦合的处理器；其特征在于：所述处理器调用所述存储器中存储的所述可执行程序代码，执行如权利要求1-5任一项所述的方法。

8.一种计算机存储介质，该存储介质上存储有计算机程序，其特征在于：该计算机程序被处理器运行时执行如权利要求1-5任一项所述的方法。