CN1156766A - 再生碱性蚀刻补充液的制备方法及其装置系统 - Google Patents
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Abstract
Description
名称 | 理化参数 | ||||
d30(g/ml) | pH | Cl-(g/l) | NH4Cl(g/l) | Cu2+(g/l) | |
碱性蚀刻废液 | 1.20 | 8.5 | 180 | --- | 124.0 |
酸性氯化铜蚀刻废液 | 1.27 | 1.0 | 240 | --- | 135.0 |
过滤液 | 1.05 | 5.5 | 146 | 220 | 1.0 |
再生碱性蚀刻补充液 | 1.03 | 9.7 | 167 | 250 | 0.8 |
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CN 96101855 CN1156766A (zh) | 1996-02-03 | 1996-02-03 | 再生碱性蚀刻补充液的制备方法及其装置系统 |
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CN 96101855 CN1156766A (zh) | 1996-02-03 | 1996-02-03 | 再生碱性蚀刻补充液的制备方法及其装置系统 |
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CN1156766A true CN1156766A (zh) | 1997-08-13 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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1996
- 1996-02-03 CN CN 96101855 patent/CN1156766A/zh active Pending
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C53 | Correction of patent for invention or patent application | ||
CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Chen Changming Inventor after: Chen Zhichuan Inventor after: Fu Hongda Inventor after: Wang Weihong Inventor after: Li Danyang Inventor after: Zheng Jiahui Inventor after: Lin Jian Inventor after: Li Mingle Inventor before: Chen Changming |
|
COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: INVENTOR; FROM: CHEN CHANGMING TO: CHEN CHANGMING CHEN ZHIZHUAN FU HONGDA WANG WEIHONG LI DANYANG WEI _LIN JIAN LI MINGYUE |
|
C01 | Deemed withdrawal of patent application (patent law 1993) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |