CN115616017A - 一种电子光学测试平台装置 - Google Patents
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Abstract
本申请适用于电子光学实验技术领域，具体提供了一种电子光学测试平台装置，包括电子枪、真空腔室、衬管、载物盘；电子枪发生电子束；真空腔室处设置有物镜、电子束成像系统、电子束尺寸检测装置；衬管一端连接电子枪，衬管用于电子束通过，衬管另一端与真空腔室相连通，电子束成像系统利用二次电子和背散射电子信号以形成图像，光刻胶经过电子束的作用形成刻蚀痕迹，通过测量刻蚀痕迹获取电子束的尺寸；载物盘至少为两个，载物盘沿着衬管的长度方向移动，载物盘用于承载电子光学元件。旨在解决现有技术中存在的电子光学元件只能独立测试，收集分析数据有限，即使组成一个电子光学系统进行测试，当需要修改时也面临浪费和效率低下的技术问题。
Description
技术领域
本申请涉及电子光学实验技术领域，更具体地说，是涉及一种电子光学测试平台装置。
背景技术
电子光学元件需要进行测试，现有电子光学设备研发过程中多是把电子光学元件分隔独立开来进行测试，并没有组成一个电子光学系统进行测试，所收集分析数据有限。而且要进行电子光学系统测试，要把所有电子光学元件加工成型后再组装测试，这样无法对单个电子光学元件进行部分修改，如要修改需重新加工制作，以致要重新多次加工制造电子光学元件直至达到测试要求，造成浪费和效率低下。
发明内容
本申请的目的在于提供一种电子光学测试平台装置，旨在解决现有技术中存在的电子光学元件只能独立测试，收集分析数据有限，即使组成一个电子光学系统进行测试，当需要修改时也面临浪费和效率低下的技术问题。
为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种电子光学测试平台装置，包括：
电子枪，所述电子枪用于发生电子束；
真空腔室，所述真空腔室处设置有物镜以及电子束成像系统、电子束尺寸检测装置，所述物镜用于缩小电子束直径；
衬管，所述衬管一端密封连接电子枪，所述衬管用于电子束通过，所述衬管另一端与物镜之间相对密封且与真空腔室相连通，所述电子束成像系统、电子束尺寸检测装置均包括涂有光刻胶的硅片，所述电子束通过衬管打在硅片上激发二次电子和背散射电子，所述电子束成像系统用于利用二次电子和背散射电子信号以形成图像，所述光刻胶经过电子束的作用形成刻蚀痕迹，通过测量所述刻蚀痕迹获取所述电子束的尺寸，所述衬管内部为真空；以及
载物盘，所述载物盘至少为两个，所述载物盘位于电子枪和真空腔室之间，所述载物盘能够各自单独沿着衬管的长度方向移动，所述载物盘用于承载待检测的电子光学元件。
在其中一个实施例中，所述电子枪固定设置或所述电子枪固定连接在相邻的载物盘上并随之移动。
在其中一个实施例中，所述衬管穿过多个所述载物盘的中心，多个所述载物盘在衬管长度方向上相互对正，每个所述载物盘借助于丝杠机构单独移动。
在其中一个实施例中，所述电子光学测试平台装置还包括：
固定盘，所述固定盘为两个且在衬管长度方向上间隔设置且相互对正；
丝杠，所述丝杠装配在两个固定盘之间，所述丝杠转动连接在固定盘上，所述丝杠还连接有用于驱动丝杠转动的手轮，所述丝杠具有外螺纹；
丝母，所述丝母固定连接所述载物盘，所述丝母具有内螺纹，所述内螺纹与所述外螺纹相适配，所述丝母套设在所述丝杠上；以及
滑杆，所述滑杆装配在两个固定盘之间，所述滑杆与所述载物盘相对滑动设置。
在其中一个实施例中，于两个所述固定盘之间还连接有支撑柱以使两个所述固定盘保持相对固定，所述支撑柱用于支撑整个测试平台装置。
在其中一个实施例中，所述载物盘固定连接有直线轴承，所述直线轴承内设有滚珠，所述滑杆穿过所述直线轴承，所述直线轴承与滑杆之间滑动连接以实现滑杆与所述载物盘相对滑动设置。
在其中一个实施例中，所述丝杠的数量与所述载物盘的数量相同，每个所述丝杠对应驱动一个所述载物盘运动，所述载物盘上设有用于丝杠穿过的通孔，所述丝母固定连接在载物盘上且与所述通孔相对正，所述丝杠同时穿过通孔和所述丝母。
在其中一个实施例中，所述电子枪固定连接在其中一个固定盘上，另一个固定盘固定连接在真空腔室上。
在其中一个实施例中，所述滑杆的数量与所述载物盘数量相同，每个滑杆对应穿过一个所述载物盘所连接的直线轴承。
在其中一个实施例中，在所述滑杆上还装配有可拆卸地卡箍，所述卡箍通过拧动螺丝以调整所述卡箍松紧，所述卡箍至少固定在所述直线轴承的下侧以使所述载物盘定位。
本申请提供的一种电子光学测试平台装置的有益效果在于，本申请中的电子枪用于发射电子束，电子束经衬管，通过衬管进入到真空腔室内的物镜，在物镜处汇聚，缩小电子束直径，电子束到达真空腔室的样品，样品也就是涂有光刻胶的硅片，产生二次电子和背散射电子，电子束成像系统接收二次电子和背散射电子信号以形成图像，电子束尺寸检测装置检测电子束的尺寸，从而鉴别电子束被操控后电子束的尺寸和像差，像差表示电子束在通过电子光学元件操控后所形成的畸变和误差，电子光学元件由于加工工艺、材料均匀度、装配、电源纹波稳定性等误差形成畸变和误差，电子束在经过衬管过程中，连接在电子枪和真空腔室之间的载物盘上可以设置多个不同的电子光学元件，实现了多个电子光学元件的随意组合，任意调节位置来进行快速测试，由于各个载物盘之间能够独立运动，即能够独立的沿着衬管的长度方向移动，所以各个电子光学元件的位置均可调，将各个电子光学元件接通电源发生器，通过改变电子光学元件的位置或电流电压等参数来收集数据分析，电子光学元件的位置或电流电压等发生改变的时候，会影响系统中磁场和电场，从而会影响电子束运动轨迹，从而实现对电子光学元件的测试，本申请解决了现有技术中需要把电子光学元件分隔独立开来测试的弊端，设置有多个载物盘可承载多个电子光学元件，且可通过载物盘单独进行位置的调节，组成了一个电子光学系统进行测试，无需将电子光学元件加工成型后再按照特定位置进行组装测试，传统方法对电子光学元件进行修改或调整，需要对电子光学元件重新加工制作，新的元件再重新组装后再进行下一次的测试，费时、费力、费钱，本测试装置灵活多样，数据收集较多，只需要对电子光学元件进行简单的位置调整和组合、载物盘位置调节、电子枪位置调节、供电信号的调节就可以快速收集分析数据，不用重新设计整体结构就可以调节到所需要位置，可以重复使用，这种通用设计大大提高了电子光学系统研发速度和效率，减少了费用，通过测试数据，确定电子光学元件位置及所测量的实际所需尺寸，和电子光学元件组合后的顺序、位置，测量实际加工所需尺寸来设计确定电子光学元件最终图纸尺寸，通过测试和调节装置及时指导电子光学元件的修改。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例提供的一种电子光学测试平台装置的结构示意图；
图2为图1去除支撑柱后的结构示意图；
图3为图1中真空腔室的剖视图；
图4为图1中电子枪处的剖视图。
图中，1、电子枪；2、真空腔室；3、物镜；4、衬管；5、载物盘；6、固定盘；7、丝杠；8、丝母；9、手轮；10、滑杆；11、直线轴承；12、支撑柱；13、卡箍。
具体实施方式
为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
请参阅图1、图2、图3、图4，本申请提供了一种电子光学测试平台装置，包括电子枪1、真空腔室2、衬管4；
其中，电子枪1用于发生电子束；
真空腔室2处设置有物镜3以及电子束成像系统、电子束尺寸检测装置，所述物镜3用于缩小电子束直径；
衬管4一端密封连接电子枪1，所述衬管4用于电子束通过，所述衬管4另一端与物镜3之间相对密封且与真空腔室2相连通，所述电子束成像系统、电子束尺寸检测装置均包括涂有光刻胶的硅片，所述电子束通过衬管4打在硅片上激发二次电子和背散射电子，所述电子束成像系统用于利用二次电子和背散射电子信号以形成图像，所述光刻胶经过电子束的作用形成刻蚀痕迹，通过测量所述刻蚀痕迹获取所述电子束的尺寸，所述衬管4内部为真空；以及
载物盘5至少为两个，所述载物盘5位于电子枪1和真空腔室2之间，所述载物盘5能够各自单独沿着衬管4的长度方向移动，所述载物盘5用于承载待检测的电子光学元件。
本实施例中的电子光学元件具体可以是磁透镜、静电偏转器、磁偏转器、消像散器、磁对中偏转器、束闸等。
测试时可以把磁透镜、静电偏转器、磁偏转器、消像散器、磁对中偏转器、束闸等电子光学元件临时组装放置到载物盘5上进行固定，各种电子光学元件可以单独进行测试，也可以随机组合后放在对应载物盘5上进行测试。对应的电子光学元件放置好后，用电源对其进行供电。
当电源调节或者是电子光学元件的位置发生改变的时候，均会对其产生的磁场或者电场产生影响，电源调节可以改变大小，而位置改变则可以改变磁场或者电场的位置。
具体地，当电子光学元件为磁透镜时，通电后使磁透镜产生磁场并可以通过调节电源来调节磁场大小，以及通过调节磁透镜的位置来调节磁场的位置，磁透镜是通过磁场对电子束产生汇聚作用来操控电子束。
当电子光学元件为静电偏转器时，使静电偏转器产生静电场并可以通过调节电源来调节静电场大小，以及通过调节静电偏转器的位置来调节静电场位置，静电偏转器是通过电场对电子束产生偏转作用来操控电子束。
当电子光学元件为磁偏转器时，通电后使磁偏转器产生磁场并可以通过调节电源来调节磁场大小，以及通过调节磁偏转器的位置来调节磁场位置，磁偏转器是通过磁场对电子束产生偏转来操控电子束。
当电子光学元件为消像散器时，通电后使消像散器产生磁场并可以通过调节电源来调节磁场大小，以及通过调节消像散器的位置来调节磁场位置，消像散器是通过磁场不同方向洛伦兹力对电子束形状进行控制来操控电子束。
当电子光学元件为磁对中偏转器时，通电后磁对中偏转器产生磁场并可以通过调节电源来调节磁场大小，以及通过调节磁对中偏转器的位置来调节磁场位置，磁对中偏转器是通过磁场对电子束偏转微调来操控电子束。
当电子光学元件为束闸时，通电后使束闸产生高频电场通断并可以通过调节电源来调节电场大小，以及通过调节束闸的位置来调节电场位置，束闸是通过电场对电子束偏转来操控电子束。
具体地，电子枪1通过高压电缆供电产生持续稳定的电子束，电子枪1腔室为高真空环境，在高真空环境下电子枪1才会产生电子束，电子枪1腔室在真空泵的持续抽取下保持真空。
衬管4内部也为真空，衬管4伸入到电子枪1腔室内，用于接收产生的电子束，衬管4位于电子腔室和真空腔室2之间的外露部分为测试区域。
如图1和图2，具体地，载物盘5位于电子枪1和真空腔室2之间的测试区域，载物盘5为多个，具体可为三个，因此可承托多个电子光学元件，组成一个电子光学系统进行测试，多个载物盘5在电子枪1和真空腔室2之间的位置均可独立进行调节，载物盘5用于承载电子光学元件，也就是电子光学元件的位置可独立调节，当各个电子光学元件设置在载物盘5上进行测试的时候，各电子光学元件接通电源发生器和监测设备，通过调节电源信号，以及通过调节载物盘5的位置来调节电子光学元件的位置，来收集数据分析，电子光学元件位置主要是调节载物盘5位置而改变，包括和电子枪1之间的相对位置，也包括和其它电子光学元件之间的位置。电子光学元件位置的改变会影响其产生的电场或磁场的位置，会影响系统中电子束轨迹，电子光学元件的电压电流改变会改变其产生的电场或磁场的大小，从而对电子束产生不同的操控，本装置可以多次、灵活的测试各种电子光学元件，电子光学元件由于位置改变而影响电场或磁场的位置，会作用于电子束操控电子束，对电子束产生不同的操控，并获得操控后电子束的尺寸和像差，像差表示电子束在通过电子光学元件操控后所形成的畸变和误差，电子光学元件由于加工工艺、材料均匀度、装配、电源纹波稳定性等误差形成畸变和误差。
除了改变电子光学元件的位置之外，当各个电子光学元件设置在载物盘5上进行测试的时候，各电子光学元件接通电源发生器和监测设备，通过调节电源信号，来收集数据分析，主要包括电流电压的信号调节，电子光学元件的电压电流改变会改变其产生的电场或磁场的大小，进而作用于电子束操控电子束，对电子束产生不同的操控。
监测设备用于监测施加于电子光学元件上的电压、电流大小变化和纹波，温度变化以及磁场变化，从而对数据进行监控，电子束成像系统和电子束尺寸检测装置用于接收所述电子束，从而能够得到被经过不同操控后电子束的成像以及尺寸检测，从而能够收集数据，完成对电子光学元件的检测。
监测设备可以是示波器、万用表、温度测量仪、真空计、高斯计等设备进行电压、电流、温度、真空度、磁场强度、电场强度等数据的监测。
固定好所测试的电子光学元件，通过调节载物盘5的位置来进行电子光学系统的设计，不同电子光学元件可以随意组合，任意调节位置来进行快速测试，为最终电子光学系统提供设计参数及位置尺寸参数。通过测试数据，判定电子光学元件位置及所测量的实际所需尺寸，和电子光学元件组合后的顺序、位置，测量实际加工所需尺寸来设计确定电子光学元件最终图纸尺寸，通过测试和调节装置及时指导电子光学元件的修改。
只需要对电子光学元件进行简单的位置调整和组合、载物盘5位置调节、电子枪1位置调节、供电信号的调节就可以快速收集分析数据。而传统测试每次调整后都需要对电子光学元件重新加工制作新的元件组装后再进行下一次的测试，费时、费力、费钱。
具体地，关于电子束成像系统和电子束尺寸检测装置，两者均包括涂有光刻胶的硅片，并且两者均借助于硅片进行检测，当电子束通过电子光学系统打在真空腔室2内的涂有光刻胶的硅片时，会激发出二次电子和背散射电子，通过电子束成像系统收集信号来成像。
电子束尺寸指的是电子束圆形束斑的直径，电子束尺寸检测装置包括样品台和涂有光刻胶的硅片，光刻胶在经过电子束的作用后会形成刻蚀痕迹，把形成刻蚀痕迹光刻胶的硅片放到电子显微镜下就可以测量出痕迹的尺寸，从而推断出电子束圆形束斑的尺寸。
电子光学元件测试参数主要是通过电子束的尺寸和成像质量来判断。可以通过改变电压或电流信号，或改变电子光学元件的位置来改变电子束操控能力，从完成对电子光学元件的测试。
物镜3的作用在于物镜3线圈，通电后铜线圈产生磁场对电子束有汇聚作用，缩小电子束直径来对光刻胶进行微纳刻蚀。所研发改进的不同电子枪和物镜也可以安装在一种电子光学测试平台装置上进行测试，可实现对电子枪和物镜的测试。
衬管4是空心金属管，衬管4由无磁金属材料制成，衬管4可采用铝、铜等无磁金属材料制成，衬管4和电子枪1腔室、真空腔室2连通，内部是真空状态。
本申请中的电子枪1用于发射电子束，电子束经衬管4，通过衬管4进入到真空腔室2内的物镜3，在物镜3处汇聚，缩小电子束直径，电子束到达真空腔室2的样品，样品也就是涂有光刻胶的硅片，产生二次电子和背散射电子，电子束成像系统接收二次电子和背散射电子信号以形成图像，电子束尺寸检测装置检测电子束的尺寸，从而鉴别电子束被操控后电子束的尺寸和像差，像差表示电子束在通过电子光学元件操控后所形成的畸变和误差，电子光学元件由于加工工艺、材料均匀度、装配、电源纹波稳定性等误差形成畸变和误差，电子束在经过衬管4过程中，连接在电子枪1和真空腔室2之间的载物盘5上可以设置多个不同的电子光学元件，实现了多个电子光学元件的随意组合，任意调节位置来进行快速测试，由于各个载物盘5之间能够独立运动，即能够独立的沿着衬管4的长度方向移动，所以各个电子光学元件的位置均可调，将各个电子光学元件接通电源发生器，通过改变电子光学元件的位置或电流电压等参数来收集数据分析，电子光学元件的位置或电流电压等发生改变的时候，会影响系统中磁场和电场，从而会影响电子束运动轨迹，从而实现对电子光学元件的测试，本申请解决了现有技术中需要把电子光学元件分隔独立开来测试的弊端，设置有多个载物盘5可承载多个电子光学元件，且可通过载物盘5单独进行位置的调节，组成了一个电子光学系统进行测试，无需将电子光学元件加工成型后再按照特定位置进行组装测试，传统方法对电子光学元件进行修改或调整，需要对电子光学元件重新加工制作，新的元件再重新组装后再进行下一次的测试，费时、费力、费钱，本测试装置灵活多样，数据收集较多，只需要对电子光学元件进行简单的位置调整和组合、载物盘5位置调节、电子枪1位置调节、供电信号的调节就可以快速收集分析数据，不用重新设计整体结构就可以调节到所需要位置，可以重复使用，这种通用设计大大提高了电子光学系统研发速度和效率，减少了费用，通过测试数据，确定电子光学元件位置及所测量的实际所需尺寸，和电子光学元件组合后的顺序、位置，测量实际加工所需尺寸来设计确定电子光学元件最终图纸尺寸，通过测试和调节装置及时指导电子光学元件的修改。
另外本实施例提供的一种电子光学测试平台装置，对于研发的各种型号规格的电子枪1也可以进行替换，验证电子枪1的性能。
如图4，在一个实施例中，电子枪1可以采用固定设置的形式，也可以采用电子枪1固定连接在相邻的载物盘5上并随之移动的形式。
具体地，电子枪1也可以固定在相邻的载物盘5上通过载物盘5的移动可调节源距离。电子枪1位置可调，可以固定相邻的载物盘5上进行任意调节位置，电子枪1调节位置可以调整电子束的发射位置，对电子光学系统测试起到至关重要作用。目前现有技术中没有电子枪1、电子束可以随意调节位置的设计，一般都要重新对整体设计推翻重新加工才能达到类似效果，这种设计大大提高了电子光学系统研发速度和效率，减小了费用。
当电子枪1随着载物盘5进行移动调节的同时，可更换匹配的相应衬管4，但是衬管4与电子枪1之间、衬管4本身以及真空腔室2均保持在密封的真空状态，电子枪1的位置可进行调节，相当于可直接调节发射源的位置，可实现通过发射源的移动调节电子枪1与电子光学元件的相对位置。
衬管4和电子枪1腔室之间为相对密封，物镜3设置在真空腔室2内，与真空腔室2之间通过密封垫进行相对密封。
如图1和图2，可以理解的是，为了实现电子光学元件对电子束更好的操控，所述衬管4穿过多个所述载物盘5的中心，多个所述载物盘5在衬管4长度方向上相互对正，每个所述载物盘5借助于丝杠7机构单独移动，所述载物盘5用于承载待检测的电子光学元件。
具体地，载物盘5优选为圆形，衬管4穿过载物盘5的中心，这样实现了载物盘5围绕衬管4对称设置，电子光学元件可以设置在载物盘5上，与衬管4之间的距离能够有效地的把控，并且多个载物盘5之间在衬管4长度方向上对正设置，也可有效地对各个载物盘5上的电子光学元件的位置进行较好的把控。
载物盘5借助于丝杠机构运动，丝杠机构调节较稳定，并且位置易把控，调节效果较好。
如图2，作为本实施例提供的一种电子光学测试平台装置的优选实施方式，为了实现载物盘5的运动，本实施例提供了一种电子光学测试平台装置还包括固定盘6、丝杠7、丝母8、滑杆10；
固定盘6为两个且在衬管4长度方向上间隔设置且相互对正；
丝杠7装配在两个固定盘6之间，所述丝杠7转动连接在固定盘6上，所述丝杠7还连接有用于驱动丝杠7转动的手轮9，所述丝杠7具有外螺纹。
丝母8固定连接所述载物盘5，所述丝母8具有内螺纹，所述内螺纹与所述外螺纹相适配，所述丝母8套设在所述丝杠7上。
滑杆10装配在两个固定盘6之间，所述滑杆10与所述载物盘5相对滑动设置。
固定盘6可以为两个且在衬管4长度方向上间隔设置且相互对正，则两个固定盘6之间的区域为衬管4的穿过区域，也就是设置电子光学元件的测试区域，固定盘6具体可以为法兰盘，固定盘6起到了承载整体的作用，当电子枪1固定设置的时候，可以使电子枪1固定设置在一侧的固定盘6上。
丝杠7装配在两个固定盘6之间且分别与固定盘6转动连接，所述丝杠7还连接有用于驱动其自转的手轮9；丝杠7的设置与衬管4的设置相互平行，其位于衬管4的一侧，丝杠7的两端通过轴承装配在固定盘6上，其可以进行自转，并且在丝杠7的一端还设有用于驱动其自转的手轮9，可通过对手轮9的操控实现丝杠7的自转，调节较精准。
丝母8固定连接所述载物盘5，丝母8具有内螺纹，内螺纹与所述外螺纹相适配，丝母8装配在所述丝杠7上，这样丝杠7转动，丝母8沿着丝杠7的方向运动，从而实现载物盘5的运动。
如图2，为了保持丝母8沿着丝杠7长度方向运动的稳定性，也为了保持载物盘5进行稳定的移动，所以本实施方式还设置了滑杆10，所述滑杆10装配在两个固定盘6之间，具体也可以为滑杆10装配在固定盘6的轴承上，所述滑杆10与所述载物盘5滑动连接。
当滑杆10与载物盘5滑动连接的时候，则滑杆10对载物盘5有一定的束缚作用，防止载物盘5发生倾斜不稳定，从而实现了丝母8以及载物盘5稳定水平的地沿着丝杠7的长度方向运动，同时由于载物盘5与滑杆10滑动连接，也保证了载物盘5在沿着丝杠7长度方向运动时的稳定性。
如图1，进一步地，两个固定盘6之间的相对位置是需要固定的，这样才能够保持整体结构的稳定性，所以本实施例还提供了于两个所述固定盘6之间还连接有支撑柱12以使两个所述固定盘6保持相对固定。
支撑柱12可以设置多个，其均匀连接在两个固定盘6之间，以使两个固定盘6为相对固定的整体结构，支撑柱12的截面可以为圆形，也可以为与固定盘6的圆形边相适配的弧形。
如图2，可以理解的是，载物盘5与滑杆10之间滑动连接的形式可以为，所述载物盘5固定连接有直线轴承11，所述直线轴承11内设有滚珠，所述滑杆10穿过所述直线轴承11，所述直线轴承11与滑杆10之间滑动连接以实现滑杆10与所述载物盘5相对滑动设置。
具体地，可以在载物盘5上设置孔，然后滑杆10穿过该孔，并同时穿过直线轴承11，这样可实现载物盘5与滑杆10之间的滑动连接。
可替代的，直线轴承11也可以与载物盘5的侧部固定连接，滑杆10直接穿过载物盘5侧部的直线轴承11即可，并不需要穿过载物盘5本身，这样也能够实现滑杆10与载物盘5之间的滑动连接。
由于采用了直线轴承11配合滑动的形式，使得载物盘5能够更好地相对滑杆10滑动，灵活性和活动性更好。
如图2，为了实现每个载物盘5之间均单独运动，所以本实施例提供了，丝杠7的数量与所述载物盘5的数量相同，每个所述丝杠7对应驱动一个所述载物盘5运动，所述载物盘5上设有用于丝杠7穿过的通孔，所述丝母8固定连接在载物盘5上且与所述通孔相对正，所述丝杠7同时穿过通孔和所述丝母8。
具体地可为，在载物盘5上开设通孔，丝杠7穿过该通孔，同时还穿过丝母8，丝母8具有内螺纹与丝杠7的外螺纹相匹配，载物盘5的数量优选可为三个，这样可对应设置三个丝杠7以及对应的丝母8，三个丝杠7分别装配在两个固定盘6之间，具体地，三个丝杠7可以在圆周方向上间隔均匀设置，相互之间保持尽量大的周向距离，这样防止相互之间干扰，且三个丝杠7分别可通过操作对应的手轮9实现分别转动，从而实现对单个载物盘5的单独控制。
需要说明的是，一个丝杠7穿过丝母8，从而带动连接此丝母8的载物盘5运动，由于多个载物盘5相互对正，所以该丝杠7可以穿过其它载物盘5，但是仅仅是穿过而已，与其它载物盘5之间并无连接。
在一个实施例中，当电子枪1固定设置的时候，电子枪1固定连接在其中一个固定盘6上，另一个固定盘6固定连接在真空腔室2上。
由于两个固定盘6之间通过支撑柱12连接成了一个整体结构，所以电子枪1可以固定在其中一个固定盘6上，则另一个固定盘6固定连接在真空腔室2一侧。
如图2，可以理解的是，由于一个丝杠7对应驱动一个载物盘5，所以一个滑杆10也对应滑动连接一个载物盘5，所述滑杆10的数量与所述载物盘5数量相同，每个滑杆10对应穿过一个所述载物盘5所连接的直线轴承11。
具体地，多个滑杆10也可以在圆周方向上均匀分布，具体可以与丝杠7相互间隔设置。多个滑杆10的设置有效地保证了每个载物盘5运动过程中的稳定性，确保各个载物盘5能够顺利的单独移动。同理，一个滑杆10穿过对应载物盘5所连接的直线轴承11，由于多个载物盘5相互对正，所以该滑杆10也可以穿过其它载物盘5，可以在其它载物盘5上开孔以避让滑杆10。
如图2，可以理解的是，当载物盘5的位置调节好之后，为了保证载物盘5的位置定位，防止手轮9发生回转，影响载物盘5的位置，所以在所述滑杆10上还装配有可拆卸地卡箍13，所述卡箍13通过拧动螺丝以调整所述卡箍13松紧，所述卡箍13至少固定在所述直线轴承11的下侧以使所述载物盘5定位。
卡箍13卡在滑杆10上，当载物盘5的位置调整好之后，则至少在载物盘5连接的直线轴承11下侧固定该卡箍13，卡箍13通过螺栓连接紧固在滑杆10上，以承托直线轴承11，防止载物盘5下落，同时为了更好了加强效果，也可以在直线轴承11的上下侧均设置该卡箍13，使直线轴承11卡箍13在两个卡箍13之间，保证载物盘5的位置固定。
以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种电子光学测试平台装置，其特征在于，包括：
电子枪，所述电子枪用于发生电子束；
真空腔室，所述真空腔室处设置有物镜以及电子束成像系统、电子束尺寸检测装置，所述物镜用于缩小电子束直径；
衬管，所述衬管一端密封连接电子枪，所述衬管用于电子束通过，所述衬管另一端与物镜之间相对密封且与真空腔室相连通，所述电子束成像系统、电子束尺寸检测装置均包括涂有光刻胶的硅片，所述电子束通过衬管打在硅片上激发二次电子和背散射电子，所述电子束成像系统用于利用二次电子和背散射电子信号以形成图像，所述光刻胶经过电子束的作用形成刻蚀痕迹，通过测量所述刻蚀痕迹获取所述电子束的尺寸，所述衬管内部为真空；以及
载物盘，所述载物盘至少为两个，所述载物盘位于电子枪和真空腔室之间，所述载物盘能够各自单独沿着衬管的长度方向移动，所述载物盘用于承载待检测的电子光学元件。
2.如权利要求1所述的一种电子光学测试平台装置，其特征在于，所述电子枪固定设置或所述电子枪固定连接在相邻的载物盘上并随之移动。
3.如权利要求1所述的一种电子光学测试平台装置，其特征在于，所述衬管穿过多个所述载物盘的中心，多个所述载物盘在衬管长度方向上相互对正，每个所述载物盘借助于丝杠机构单独移动。
4.如权利要求1所述的一种电子光学测试平台装置，其特征在于，所述电子光学测试平台装置还包括：
固定盘，所述固定盘为两个且在衬管长度方向上间隔设置且相互对正；
丝杠，所述丝杠装配在两个固定盘之间，所述丝杠转动连接在固定盘上，所述丝杠还连接有用于驱动丝杠转动的手轮，所述丝杠具有外螺纹；
丝母，所述丝母固定连接所述载物盘，所述丝母具有内螺纹，所述内螺纹与所述外螺纹相适配，所述丝母套设在所述丝杠上；以及
滑杆，所述滑杆装配在两个固定盘之间，所述滑杆与所述载物盘相对滑动设置。
5.如权利要求4所述的一种电子光学测试平台装置，其特征在于，于两个所述固定盘之间还连接有支撑柱以使两个所述固定盘保持相对固定，所述支撑柱用于支撑整个测试平台装置。
6.如权利要求4所述的一种电子光学测试平台装置，其特征在于，所述载物盘固定连接有直线轴承，所述直线轴承内设有滚珠，所述滑杆穿过所述直线轴承，所述直线轴承与滑杆之间滑动连接以实现滑杆与所述载物盘相对滑动设置。
7.如权利要求4所述的一种电子光学测试平台装置，其特征在于，所述丝杠的数量与所述载物盘的数量相同，每个所述丝杠对应驱动一个所述载物盘运动，所述载物盘上设有用于丝杠穿过的通孔，所述丝母固定连接在载物盘上且与所述通孔相对正，所述丝杠同时穿过通孔和所述丝母。
8.如权利要求4所述的一种电子光学测试平台装置，其特征在于，所述电子枪固定连接在其中一个固定盘上，另一个固定盘固定连接在真空腔室上。
9.如权利要求6所述的一种电子光学测试平台装置，其特征在于，所述滑杆的数量与所述载物盘数量相同，每个滑杆对应穿过一个所述载物盘所连接的直线轴承。
10.如权利要求6或9所述的一种电子光学测试平台装置，其特征在于，在所述滑杆上还装配有可拆卸地卡箍，所述卡箍通过拧动螺丝以调整所述卡箍松紧，所述卡箍至少固定在所述直线轴承的下侧以使所述载物盘定位。
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