CN115615147A - 一种硅片清洗机用干燥装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了硅片干燥技术领域的一种硅片清洗机用干燥装置，包括干燥箱，所述干燥箱内转动连接有安装座，所述安装座通过固定柱固定连接有固定环，所述安装座的上方设置有四个第一固定块；四个所述第一固定块的上方均设置有第二固定块，四个所述第二固定块均与固定环滑动连接，四个所述第一固定块和四个所述第二固定块共同固定连接有顶部开口的网兜，所述网兜呈倒方形台状，所述干燥箱内设置有顶出组件、第一驱动组件和第二驱动组件，所述顶出组件用于将干燥后的硅片向上顶出；所述第一驱动组件用于驱动安装座带动网兜转动干燥；所述第二驱动组件在第一驱动组件的带动下使网兜的顶部收紧；本发明可以使硅片更好地进行干燥。
Description
技术领域
本发明涉及硅片干燥技术领域，具体为一种硅片清洗机用干燥装置。
背景技术
由于硅片在经过抛光后，其表面会残留有抛光产生的灰尘碎屑等，通过会采用超纯水对硅片表面进行清洗，在清洗完毕后还需要对硅片表面的水渍进行及时干燥。
现有技术对清洗后硅片的干燥手段通常是将硅片直接放入到干燥装置内，然后使硅片在干燥装置内进行快速转动，在干燥的同时将硅片表面的水渍甩出，硅片在转动甩干的过程中容易出现磕碰的情况，容易造成硅片的损伤，由于对硅片表面很光滑，硅片粘在一起后不容易分开，容易导致硅片之间的水渍无法及时甩出，会导致硅片需要进行二次干燥，会大大降低硅片的干燥效率。
基于此，本发明设计了一种硅片清洗机用干燥装置，以解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种硅片清洗机用干燥装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种硅片清洗机用干燥装置，包括干燥箱，所述干燥箱内转动连接有安装座，所述安装座通过固定柱固定连接有固定环，所述安装座的上方设置有四个第一固定块；四个所述第一固定块的上方均设置有第二固定块，四个所述第二固定块均与固定环滑动连接，四个所述第一固定块和四个所述第二固定块共同固定连接有顶部开口的网兜，所述网兜呈倒方形台状，所述干燥箱内设置有顶出组件、第一驱动组件和第二驱动组件，所述顶出组件用于将干燥后的硅片向上顶出；所述第一驱动组件用于驱动安装座带动网兜转动干燥；所述第二驱动组件在第一驱动组件的带动下使网兜的顶部收紧。
作为本发明的进一步方案，所述顶出组件包括第一连杆，所述第一连杆设置为四个，四个所述第一连杆分别与四个第一固定块转动连接，四个所述第一连杆共同转动连接有顶板，所述顶板与安装座在竖直方向上滑动连接，所述顶板的下方设置有直线驱动机构，所述直线驱动机构用于驱动顶板在竖直方向上移动。
作为本发明的进一步方案，所述顶板在竖直方向上滑动连接有第一滑块，所述第一滑块上固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的顶端与顶板固定连接；所述干燥箱内固定连接有圆筒，所述圆筒内开设有凸轮槽，所述凸轮槽内有滑动配合有滑柱，所述滑柱与顶板固定连接。
作为本发明的进一步方案，所述直线驱动机构包括气缸，所述气缸与干燥箱固定连接，所述气缸的输出轴与第一滑块转动连接。
作为本发明的进一步方案，所述第一驱动组件包括第一齿轮，所述第一齿轮与安装座同心设置，且第一齿轮与安装座固定连接，所述第一齿轮啮合有第二齿轮，第二齿轮的转动轴上传动连接有电机，所述电机与干燥箱固定连接。
作为本发明的进一步方案，所述第二驱动组件包括第二连杆，所述第二连杆设置为四个，四个所述第二连杆分别与第二固定块转动连接，所述第二连杆的底端共同转动连接有滑动环，所述滑动环与固定柱在竖直方向上滑动连接，所述滑动环上固定连接有顶杆，所述顶杆的底端穿过安装座并延伸至安装座下方；所述顶杆上套装有用于其复位的第二弹簧；所述干燥箱内固定连接有滑道，所述滑道上开设有梯形槽口，所述顶杆的底端与梯形槽口的底端贴合，所述梯形槽口的侧边设置有梯形块，所述梯形块能够与梯形槽口配合，所述梯形块上固定连接有滑板，所述滑板与干燥箱滑动连接；所述滑板上固定连接有用于其复位的第三弹簧；所述滑板上固定连接有齿条杆，所述齿条杆啮合有第三齿轮，所述第三齿轮与第二齿轮固定连接。
作为本发明的进一步方案，所述顶杆的底部设置为半球形。
作为本发明的进一步方案，相邻两个所述第一固定块之间均共同固定连接有第四弹簧。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1.本发明通过第一固定块、第二固定块和网兜的设置，可以使第二固定块和第一固定块分别固定网兜的顶底部四角，且网兜的顶部开口大于硅片的面积可以方便硅片放入到网兜内，网兜的底端小于硅片的面积可以使硅片在放入到网兜内后不与网兜的底部接触，且由于网兜为软性材料，可以保证硅片在转动干燥时不会产生硬碰撞，可以避免硅片的损伤，硅片在转动的过程中还可以产生摆动，不仅可以加速硅片的烘干，还可以使粘在一起的硅片分离，可以更好地保证硅片的干燥效率。
2.本发明通过顶出组件的设置，可以使硅片在干燥后可以自动从网兜中顶出，可以不需要工作人员手动从网兜中将硅片取出，同时顶出组件在顶出硅片时还可以保证硅片不会产生硬碰撞，可以保证硅片不会损坏。
3.本发明通过第二驱动组件的设置，可以使硅片在进行干燥时可以快速使网兜的顶部收紧，可以防止硅片从网兜中飞出，同时在干燥结束后，网兜可以快速打开，可以使硅片可以快速从网兜中取出，可以加快硅片的干燥效率。
附图说明
图1为本发明总体结构示意图；
图2为本发明部分结构剖视示意图；
图3为本发明第一固定块、第二固定块和网兜位置关系及连接关系示意图；
图4为本发明第二固定块收紧网兜顶端时的状态示意图；
图5为本发明顶板、第一滑块、第一弹簧、圆筒、凸轮槽、滑柱及气缸位置关系及连接关系剖视示意图；
图6为本发明第二驱动组件结构示意图(隐藏了安装座)。
附图中，各标号所代表的部件列表如下：
干燥箱1、安装座2、固定柱3、固定环4、第一固定块5、第二固定块6、网兜7、第一连杆8、顶板9、第一滑块10、第一弹簧11、圆筒12、凸轮槽13、滑柱14、气缸15、第一齿轮16、第二齿轮17、电机18、第二连杆19、滑动环20、顶杆21、第二弹簧22、滑道23、梯形槽口24、梯形块25、滑板26、第三弹簧27、齿条杆28、第三齿轮29、第四弹簧30、第三连杆31、第二滑块32。
具体实施方式
请参阅图1-6，本发明提供一种技术方案：一种硅片清洗机用干燥装置，包括干燥箱1，所述干燥箱1内转动连接有安装座2，所述安装座2通过固定柱3固定连接有固定环4，所述安装座2的上方设置有四个第一固定块5；四个所述第一固定块5的上方均设置有第二固定块6，四个所述第二固定块6均与固定环4滑动连接，四个所述第一固定块5和四个所述第二固定块6共同固定连接有顶部开口的网兜7，所述网兜7呈倒方形台状，所述干燥箱1内设置有顶出组件、第一驱动组件和第二驱动组件，所述顶出组件用于将干燥后的硅片向上顶出；所述第一驱动组件用于驱动安装座2带动网兜7转动干燥；所述第二驱动组件在第一驱动组件的带动下使网兜7的顶部收紧。
上述方案在投入实际使用时，工作人员将硅片放入到网兜7内，需要说明的是四个第一固定块5组成的方形的面积小于硅片的面积，而四个第二固定块6组成的方形的面积大于硅片的面积，即可以保证硅片平放入网兜时，硅片可以不与网兜7的底面接触，可以使硅片在转动干燥时只会与网兜7接触，可以避免硅片发生硬碰撞损坏硅片；然后启动第一驱动组件带动安装座2转动，安装座2会带动四个第一固定块5同步转动，安装座2会通过固定柱3打动固定环4同步转动，固定环4会带动四个第二固定块6同步转动，第一固定块5和第二固定块6会共同带动网兜7同步转动，网兜7会带动硅片同步转动，第一驱动组件在工作的同时会带动第二驱动组件工作，第二驱动组件会驱动四个第二固定块6同步向靠近固定环4中心移动，第二固定块6会带动网兜7的顶端四角同步移动，网兜7的顶端会收紧到如图4所示的状态，网兜7收紧后可以保证硅片在高速转动干燥时不会因从网兜7中甩出，在网兜7转动的同时启动干燥箱1圆周内壁上的发热片(图中未展示)发热快速对硅片进行干燥；待硅片干燥完毕后第二驱动组件会自动带动网兜7的顶端打开，然后顶出组件会将硅片从网兜7中顶出；本发明通过第一固定块5、第二固定块6和网兜7的设置，可以使第二固定块6和第一固定块5分别固定网兜7的顶底部四角，且网兜7的顶部开口大于硅片的面积可以方便硅片放入到网兜7内，网兜7的底端小于硅片的面积可以使硅片在放入到网兜7内后不与网兜7的底部接触，且由于网兜7为软性材料，可以保证硅片在转动干燥时不会产生硬碰撞，可以避免硅片的损伤，硅片在转动的过程中还可以产生摆动，不仅可以加速硅片的烘干，还可以使粘在一起的硅片分离，可以更好地保证硅片的干燥效率。
作为本发明的进一步方案，所述顶出组件包括第一连杆8，所述第一连杆8设置为四个，四个所述第一连杆8分别与四个第一固定块5转动连接，四个所述第一连杆8共同转动连接有顶板9，所述顶板9与安装座2在竖直方向上滑动连接，所述顶板9的下方设置有直线驱动机构，所述直线驱动机构用于驱动顶板9在竖直方向上移动。
上述方案在投入实际使用时，当干燥完毕后，使直线驱动机构驱动顶板9向上移动，顶板9带动第一连杆8靠近顶板9的一端同步向上移动，第一连杆8的另一端会带动第一固定块5向靠近顶板9的一侧移动，且第一固定块5会始终处于顶板9的下方；当顶板9与网兜7的底部贴合后，顶板9会推动网兜7的底部向上移动，此时网兜7的底部会套在顶板9上，然后顶板9再向上移动会使网兜7的底部与硅片的底面贴合，然后顶板9会通过网兜7推动硅片向上移动；由于顶板9的顶面面积小于硅片的面积，可以保证顶板9在完全与硅片接触的情况下也不会与硅片发生碰撞，并且可以避免第一固定块5与硅片接触发生碰撞损坏硅片，待顶板9推动硅片移动到网兜7的外侧后工作人员在将硅片从网兜7内取出；本发明通过顶出组件的设置，可以使硅片在干燥后可以自动从网兜7中顶出，可以不需要工作人员手动从网兜7中将硅片取出，同时顶出组件在顶出硅片时还可以保证硅片不会产生硬碰撞，可以保证硅片不会损坏。
作为本发明的进一步方案，所述顶板9在竖直方向上滑动连接有第一滑块10，所述第一滑块10上固定连接有第一弹簧11，所述第一弹簧11的顶端与顶板9固定连接；所述干燥箱1内固定连接有圆筒12，所述圆筒12内开设有凸轮槽13，所述凸轮槽13内有滑动配合有滑柱14，所述滑柱14与顶板9固定连接。
上述方案在投入实际使用时，如图5所示，第一驱动组件在带动顶板9转动时，顶板9会带动滑柱14同步转动，滑柱14会沿着凸轮槽13在竖直方向上循环移动，当滑柱14带动顶板9向上移动时会使顶板9在第一滑块10上向上移动并拉伸第一弹簧11，然后当顶板9从凸轮槽13上向下移动时第一弹簧11会拉动顶板9向下移动；通过凸轮槽13和滑柱14的设置，可以使顶板9在转动的同时带动网兜7晃动，可以使网兜7内的硅片可以不规则的摆动，可以更好地使硅片不会粘在一起，可以使硅片干燥效率更快。
作为本发明的进一步方案，所述直线驱动机构包括气缸15，所述气缸15与干燥箱1固定连接，所述气缸15的输出轴与第一滑块10转动连接。
上述方案在投入实际使用时，通过气缸15可以带动第一滑块10向上移动，第一滑块10可以带动顶板9向上移动顶出硅片。
作为本发明的进一步方案，所述第一驱动组件包括第一齿轮16，所述第一齿轮16与安装座2同心设置，且第一齿轮16与安装座2固定连接，所述第一齿轮16啮合有第二齿轮17，第二齿轮17的转动轴上传动连接有电机18，所述电机18与干燥箱1固定连接。
上述方案在投入实际使用时，通过电机18可以带动第二齿轮17转动，第二齿轮17可以带动第一齿轮16转动，第一齿轮16会带动安装座2转动，安装座2会带动顶板9、固定柱3、固定环4同步转动，顶板9会通过第一连杆8带动第一固定块5转动，固定环4会带动第二固定块6转动，第一固定块5和第二固定块6可以带动网兜7同步转动。
作为本发明的进一步方案，所述第二驱动组件包括第二连杆19，所述第二连杆19设置为四个，四个所述第二连杆19分别与第二固定块6转动连接，所述第二连杆19的底端共同转动连接有滑动环20，所述滑动环20与固定柱3在竖直方向上滑动连接，所述滑动环20上固定连接有顶杆21，所述顶杆21的底端穿过安装座2并延伸至安装座2下方；所述顶杆21上套装有用于其复位的第二弹簧22；所述干燥箱1内固定连接有滑道23，所述滑道23上开设有梯形槽口24，所述顶杆21的底端与梯形槽口24的底端贴合，所述梯形槽口24的侧边设置有梯形块25，所述梯形块25能够与梯形槽口24配合，所述梯形块25上固定连接有滑板26，所述滑板26与干燥箱1滑动连接；所述滑板26上固定连接有用于其复位的第三弹簧27；所述滑板26上固定连接有齿条杆28，所述齿条杆28啮合有第三齿轮29，所述第三齿轮29与第二齿轮17固定连接。
上述方案在投入实际使用时，如图6所示，当安装座2转动时会通过固定柱3带动滑动环20同步转动，滑动环20会带动顶杆21同步转动，顶杆21会在梯形槽口24内先向上移动，顶杆21会带动滑动环20同步向上移动，滑动环20会通过第二连杆19带动第二固定块6向靠近固定环4中心一侧移动，使第二固定块6带动网兜7收紧；需要说明的是为了滑动环20能稳定地向上移动，顶杆21设置有圆对称布置的两个，梯形槽口24、梯形块25和滑板26均设置有两个，如图6所示，两个滑板26上均固定连接有第三连杆31，两个第三连杆31共同转动连接有第二滑块32，第二滑块32与干燥箱1底部滑动连接，且第二滑块32的滑动方向与滑板26的滑动方向呈垂直状态；当第二齿轮17带动第三齿轮29转动时，第三齿轮29会带动齿条杆28向外侧移动，齿条杆28会带动后侧的滑板26和梯形块25同步向外侧移动，后侧的滑板26会通过两个第三连杆31和第二滑块32带动前侧梯形块25外侧移动，直到梯形块25完全移动到梯形槽口24内，两个梯形块25会与滑道23配合形成一个完整的圆环形滑道，然后顶杆21即可在圆环形滑道的顶面移动，可以使硅片在干燥的过程中第二固定块6始终带动网兜7的顶端收紧；在干燥快接触，电机停止转动后，第三弹簧27会带动滑板26向内侧移动回初始位置，滑板26会带动梯形块25移动到梯形槽口24内侧，然后顶杆21即可在第二弹簧22的作用下向下移动回初始位置，此时第二固定块6带动网兜7的顶端向外侧移动，网兜打开；本发明通过第二驱动组件的设置，可以使硅片在进行干燥时可以快速使网兜7的顶部收紧，可以防止硅片从网兜7中飞出，同时在干燥结束后，网兜7可以快速打开，可以使硅片可以快速从网兜7中取出，可以加快硅片的干燥效率。
作为本发明的进一步方案，所述顶杆21的底部设置为半球形；工作时，通过将顶杆21的底部设置为半球形，可以使顶杆21更顺畅地在梯形槽口上滑动。
作为本发明的进一步方案，相邻两个所述第一固定块5之间均共同固定连接有第四弹簧30；工作时，通过第四弹簧30的设置，可以使第一固定块5更好地带动网兜7的底部复原。
工作原理：工作人员将硅片放入到网兜7内，需要说明的是四个第一固定块5组成的方形的面积小于硅片的面积，而四个第二固定块6组成的方形的面积大于硅片的面积，即可以保证硅片平放入网兜时，硅片可以不与网兜7的底面接触，可以使硅片在转动干燥时只会与网兜7接触，可以避免硅片发生硬碰撞损坏硅片；然后启动第一驱动组件带动安装座2转动，安装座2会带动四个第一固定块5同步转动，安装座2会通过固定柱3打动固定环4同步转动，固定环4会带动四个第二固定块6同步转动，第一固定块5和第二固定块6会共同带动网兜7同步转动，网兜7会带动硅片同步转动，第一驱动组件在工作的同时会带动第二驱动组件工作，第二驱动组件会驱动四个第二固定块6同步向靠近固定环4中心移动，第二固定块6会带动网兜7的顶端四角同步移动，网兜7的顶端会收紧到如图4所示的状态，网兜7收紧后可以保证硅片在高速转动干燥时不会因从网兜7中甩出，在网兜7转动的同时启动干燥箱1圆周内壁上的发热片(图中未展示)发热快速对硅片进行干燥；待硅片干燥完毕后第二驱动组件会自动带动网兜7的顶端打开，然后顶出组件会将硅片从网兜7中顶出；本发明通过第一固定块5、第二固定块6和网兜7的设置，可以使第二固定块6和第一固定块5分别固定网兜7的顶底部四角，且网兜7的顶部开口大于硅片的面积可以方便硅片放入到网兜7内，网兜7的底端小于硅片的面积可以使硅片在放入到网兜7内后不与网兜7的底部接触，且由于网兜7为软性材料，可以保证硅片在转动干燥时不会产生硬碰撞，可以避免硅片的损伤，硅片在转动的过程中还可以产生摆动，不仅可以加速硅片的烘干，还可以使粘在一起的硅片分离，可以更好地保证硅片的干燥效率。
Claims (8)
1.一种硅片清洗机用干燥装置，包括干燥箱(1)，其特征在于：所述干燥箱(1)内转动连接有安装座(2)，所述安装座(2)通过固定柱(3)固定连接有固定环(4)，所述安装座(2)的上方设置有四个第一固定块(5)；四个所述第一固定块(5)的上方均设置有第二固定块(6)，四个所述第二固定块(6)均与固定环(4)滑动连接，四个所述第一固定块(5)和四个所述第二固定块(6)共同固定连接有顶部开口的网兜(7)，所述网兜(7)呈倒方形台状，所述干燥箱(1)内设置有顶出组件、第一驱动组件和第二驱动组件，所述顶出组件用于将干燥后的硅片向上顶出；所述第一驱动组件用于驱动安装座(2)带动网兜(7)转动干燥；所述第二驱动组件在第一驱动组件的带动下使网兜(7)的顶部收紧。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述顶出组件包括第一连杆(8)，所述第一连杆(8)设置为四个，四个所述第一连杆(8)分别与四个第一固定块(5)转动连接，四个所述第一连杆(8)共同转动连接有顶板(9)，所述顶板(9)与安装座(2)在竖直方向上滑动连接，所述顶板(9)的下方设置有直线驱动机构，所述直线驱动机构用于驱动顶板(9)在竖直方向上移动。
3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述顶板(9)在竖直方向上滑动连接有第一滑块(10)，所述第一滑块(10)上固定连接有第一弹簧(11)，所述第一弹簧(11)的顶端与顶板(9)固定连接；所述干燥箱(1)内固定连接有圆筒(12)，所述圆筒(12)内开设有凸轮槽(13)，所述凸轮槽(13)内有滑动配合有滑柱(14)，所述滑柱(14)与顶板(9)固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述直线驱动机构包括气缸(15)，所述气缸(15)与干燥箱(1)固定连接，所述气缸(15)的输出轴与第一滑块(10)转动连接。
5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述第一驱动组件包括第一齿轮(16)，所述第一齿轮(16)与安装座(2)同心设置，且第一齿轮(16)与安装座(2)固定连接，所述第一齿轮(16)啮合有第二齿轮(17)，第二齿轮(17)的转动轴上传动连接有电机(18)，所述电机(18)与干燥箱(1)固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述第二驱动组件包括第二连杆(19)，所述第二连杆(19)设置为四个，四个所述第二连杆(19)分别与第二固定块(6)转动连接，所述第二连杆(19)的底端共同转动连接有滑动环(20)，所述滑动环(20)与固定柱(3)在竖直方向上滑动连接，所述滑动环(20)上固定连接有顶杆(21)，所述顶杆(21)的底端穿过安装座(2)并延伸至安装座(2)下方；所述顶杆(21)上套装有用于其复位的第二弹簧(22)；所述干燥箱(1)内固定连接有滑道(23)，所述滑道(23)上开设有梯形槽口(24)，所述顶杆(21)的底端与梯形槽口(24)的底端贴合，所述梯形槽口(24)的侧边设置有梯形块(25)，所述梯形块(25)能够与梯形槽口(24)配合，所述梯形块(25)上固定连接有滑板(26)，所述滑板(26)与干燥箱(1)滑动连接；所述滑板(26)上固定连接有用于其复位的第三弹簧(27)；所述滑板(26)上固定连接有齿条杆(28)，所述齿条杆(28)啮合有第三齿轮(29)，所述第三齿轮(29)与第二齿轮(17)固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述顶杆(21)的底部设置为半球形。
8.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：相邻两个所述第一固定块(5)之间均共同固定连接有第四弹簧(30)。
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