CN115536440B - 一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层的制备方法 - Google Patents

一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层的制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层的制备方法,通过设计涂层制备方法,使SiC/C复合材料喷管高温抗氧化涂层耐受1800℃的工作温度和剧烈热震。采用如下步骤:将SiC/C复合材料喷管内壁表面用飞秒激光采用一定的能量密度和脉冲频率进行扫描,在内壁表面形成微纳复合的微结构,利用微纳结构实现与后期制备的防护用高温抗氧化涂层之间形成镶嵌结构。采用等离子体增强CVD技术,完成碳化硅和硼化铪组成的过渡层生长。采用Ir(acac)3、还原气体H2、Ar进行金属铱膜层制备。采用等离子体增强CVD技术,完成碳化硅和硼化铪组成的过渡层生长。重复10‑50次,完成周期性叠层结构的生长。采用等离子体增强CVD技术,完成碳化硅和硼化铪组成的耐烧蚀层生长。

Description

一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层的制备方法
技术领域
本发明涉及卫星复合材料喷管热防护技术领域,具体涉及一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层的制备方法。
背景技术
随着空间技术的发展,轻量化和长寿命航天器是未来的主要发展方向。为了进一步提高航天器的载荷携带能力,需要使用复合材料来实现平台的轻量化,从而节省出重量携带更多的载荷。因此,复合材料喷管是实现推进系统轻量化的主要方向。同时,航天器长寿命是提高航天器服役能力、提高性价比的重要途径,由于推进剂是决定航天器寿命的重要因素,因此,进一步提高推进剂燃烧温度,进而提高推进系统比冲来实现航天器长寿命是目前的主要方向。
目前适用于喷管的复合材料是C/SiC复合材料,C/SiC复合材料具有结构强度高、质量轻、耐高温性能好的特点,是制造轻小型化航天器喷管的理想材料,其中C/SiC复合材料喷管已在多个型号姿轨控液体发动机中得到成功应用,相关产品已进入工程应用阶段,对一系列重大型号任务的研制发挥了重要的支撑作用。
航天器工作环境要求其需要耐受1800℃的高温,然而于C/SiC复合材料喷管高温抗氧化性能不足,SiC/C复合材料发动机喷管在工作时,由于温度剧烈变化而产生热震应力,使得硬脆的SiC出现裂纹,推进剂中存在的氧气通过裂纹进入基体,在高温下与C纤维反应使其碳化,SiC失去碳纤维保护就会直接碎裂,从而使喷管烧穿失效。
目前C/SiC复合材料喷管在1700℃高温和强氧化环境中出现明显的烧蚀现象,无法满足长寿命航天器对高比冲推进系统的迫切需求。
针对上述需求,采用过渡层、周期性叠层结构加耐烧蚀层组成的新型多元多层涂层体系是有效的技术途径。然而,传统的包埋法、刷浆法、化学气相沉积法等涂层制备工艺均不能满足复合材料喷管表面高性能超高温抗氧化涂层制备的问题,主要原因是包埋法和刷浆法制备的涂层粗糙度大,无法保证喷管内壁外形尺寸要求,影响推力器性能。化学气相沉积法制备的涂层界面处容易因热失配而造成界面分层,从而导致涂层高温富氧环境下失效,使喷管烧穿损坏。
即传统涂层制备方法不能满足超高温富氧环境下的基体防护需求,亟需开发新型的涂层制备工艺。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层的制备方法,通过设计涂层制备方法,能够使SiC/C复合材料喷管高温抗氧化涂层能够耐受1800℃的工作温度和剧烈热震而不会烧穿失效。
为达到上述目的,本发明的技术方案为:一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层的制备方法,针对SiC/C复合材料喷管基体,进行防护用高温抗氧化涂层的制备,防护用高温抗氧化涂层,包括:SiC/C基体、过渡层、周期性叠层和耐高温烧蚀层;所述SiC/C基体表面设置过渡层;所述过渡层材料为碳化硅和硼化铱多元组合涂层;所述在过渡层的表面设置周期性叠层;所述周期性叠层中每四层结构为一个周期,四层结构由下至上顺次为:第一层是1微米-10微米的碳化硅,第二次是1微米-10微米的硼化铱、第三次是1微米-10微米的金属铱,第四层是1微米-10微米的硼化铱与碳化硅的复合层;所述周期性叠层表面设置耐高温烧蚀层;所述耐高温烧蚀层由有碳化硅、硼化铪和硼化铱组成。
采用如下步骤进行防护用高温抗氧化涂层的制备:
步骤1.对所述SiC/C复合材料喷管基体进行清洗以及干燥。
步骤2.在步骤1的基础上,将所述SiC/C复合材料喷管内壁表面用飞秒激光采用一定的能量密度和脉冲频率进行扫描,在内壁表面形成微纳复合的微结构,利用微纳结构实现与后期制备的防护用高温抗氧化涂层之间形成镶嵌结构。
步骤3.采用等离子体增强CVD技术,SiCl4、CH4作为SiC的反应气体,H2作为载气,通过液相硼化铱前驱体后通入CVD沉积室内,设定反应温度和反应时间,完成碳化硅和硼化铱组成的过渡层生长。
步骤4.制备第一层碳化硅和第二层硼化铱,在第二层硼化铱上采用Ir(acac)3、还原气体H2、Ar进行金属铱膜层制备。
步骤5.采用等离子体增强CVD技术,SiCl4、CH4作为SiC的反应气体,H2作为载气,通过液相硼化铱前驱体后通入CVD沉积室内,设定反应温度和反应时间,完成硼化铱与碳化硅的复合层生长。
步骤6.步骤4和5重复执行10-50次,完成周期性叠层结构的生长。
步骤7. 采用等离子体增强CVD技术,SiCl4、CH4作为SiC的反应气体,H2作为载气,通过液相硼化铪和硼化铱前驱体后通入CVD沉积室内,设定反应温度和反应时间,完成碳化硅、硼化铪和硼化铱组成的耐烧蚀层生长。
进一步地,步骤1.对所述SiC/C复合材料喷管基体进行清洗以及干燥,具体步骤为:将SiC/C复合材料喷管基体放置在丙酮中超声波清洗30min后,用去离子水冲洗干净,然后放置在无水乙醇中用超声波清洗器清洗30min;最后,将清洗过的SiC/C复合材料喷管基体试样放在120℃烘箱中,干燥8小时。
进一步地,将所述SiC/C复合材料喷管内壁表面用飞秒激光采用一定的能量密度和脉冲频率进行扫描,激光脉宽300fs~800fs、能量密度0.1J/cm2-0.9J/cm2、频率500Hz-2500Hz,在内壁表面形成微纳复合的微结构。
进一步地,步骤3中,设定反应温度和反应时间,具体为:反应温度设定为1200℃-1600℃,反应时间设定为2h到8h。
进一步地,步骤4中,步骤4. 采用Ir(acac)3、还原气体H2、Ar进行金属铱膜层制备时,生长温度设定为500-600℃,H2分压为20-60sccm,Ir(acac)3流量20-80sccm、Ar气流量为20-80sccm,沉积时间5min到50min。
进一步地,步骤5中,设定反应温度和反应时间,具体为:设定的反应温度为1200℃-1600℃,反应时间为20min到1h。
进一步地,步骤7中,设定反应温度和反应时间,具体为温度1200℃-1600℃,反应时间4h到12h。
有益效果:
本发明可以通过飞秒激光诱导微纳镶嵌结构,通过钉扎效应提高涂层界面附着力。同时可采用CVD直接完成多元多层涂层的一次性制备,降低了成本、提高了效率,且防止不同工艺转换时暴露大气造成的界面污染而导致附着力下降等问题。使SiC/C复合材料喷管高温抗氧化涂层能够耐受1800℃的工作温度和剧烈热震而不会烧穿失效。从而可大幅提高化学推进剂的比冲,在相同质量推进剂的情况下能够获得更长时间的推力输出,从而可有效提高卫星的工作寿命。
具体实施方式
下面结合并举实施例,对本发明进行详细描述。
本发明针对SiC/C复合材料喷管基体,进行防护用高温抗氧化涂层的制备,防护用高温抗氧化涂层,其特征在于,包括:SiC/C基体、过渡层、周期性叠层和耐高温烧蚀层;所述SiC/C基体表面设置过渡层;所述过渡层材料为碳化硅和硼化铱多元组合涂层;所述在过渡层的表面设置周期性叠层;所述周期性叠层中每四层结构为一个周期,四层结构由下至上顺次为:第一层是1微米-10微米的碳化硅,第二次是1微米-10微米的硼化铱、第三次是1微米-10微米的金属铱,第四层是1微米-10微米的硼化铱与碳化硅的复合层;所述周期性叠层表面设置耐高温烧蚀层;所述耐高温烧蚀层由有碳化硅、硼化铪和硼化铱组成。
本发明的解决方案是:
步骤1.将SiC/C复合材料喷管基体放置在丙酮中超声波清洗30min后,用去离子水冲洗干净,然后放置在无水乙醇中用超声波清洗器清洗30min。最后,将清洗过的SiC/C复合材料喷管基体试样放在120℃烘箱中,干燥8小时后待用。
步骤2.在步骤1的基础上,将喷管内壁表面用飞秒激光采用一定的能量密度和脉冲频率进行扫描,激光脉宽300fs~800fs、能量密度0.1J/cm2-0.9J/cm2、频率500Hz-2500Hz,在内壁表面形成微纳复合的微结构,利用微纳结构实现与后期制备的涂层之间形成镶嵌结构,该结构可以通过钉扎效应提高涂层界面附着力。
步骤3.采用等离子体增强CVD技术,SiCl4、CH4作为SiC的反应气体,H2作为载气,通过液相硼化铱前驱体后通入CVD沉积室内,温度1200℃-1600℃,反应时间2h到8h。完成碳化硅和硼化铱组成的过渡层生长。
步骤4. 制备第一层碳化硅和第二层硼化铱,在第二层硼化铱上采用Ir(acac)3、还原气体H2、Ar进行金属Ir膜层制备。生长温度500-600℃。H2分压为20-60sccm,Ir(acac)3流量20-80sccm、Ar气流量为20-80sccm。沉积时间5min到50min。
步骤5. 采用等离子体增强CVD技术,SiCl4、CH4作为SiC的反应气体,H2作为载气,通过液相硼化铱前驱体后通入CVD沉积室内,温度1200℃-1600℃,反应时间20min到1h。完成硼化铱与碳化硅的复合层生长。
步骤6. 步骤4和5重复执行10-50次,完成周期性叠层结构生长。
步骤7. 采用等离子体增强CVD技术,SiCl4、CH4作为SiC的反应气体,H2作为载气,通过液相硼化铪和硼化铱前驱体后通入CVD沉积室内,温度1200℃-1600℃,反应时间4h到12h。完成碳化硅、硼化铪和硼化铱组成的耐烧蚀层生长。
综上所述,以上仅为本发明的较佳实施例而已,并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层的制备方法,其特征在于,针对SiC/C复合材料喷管基体,进行防护用高温抗氧化涂层的制备;
所述防护用高温抗氧化涂层包括:SiC/C基体、过渡层、周期性叠层和耐高温烧蚀层;所述SiC/C基体表面设置过渡层;所述过渡层材料为碳化硅和硼化铱多元组合涂层;在过渡层的表面设置周期性叠层;所述周期性叠层中每四层结构为一个周期,四层结构由下至上顺次为:第一层是1微米-10微米的碳化硅,第二层是1微米-10微米的硼化铱、第三层是1微米-10微米的金属铱,第四层是1微米-10微米的硼化铱与碳化硅的复合层;所述周期性叠层表面设置耐高温烧蚀层;所述耐高温烧蚀层由碳化硅、硼化铪和硼化铱组成;
采用如下步骤进行防护用高温抗氧化涂层的制备:
步骤1.对所述SiC/C复合材料喷管基体进行清洗以及干燥;
步骤2.在步骤1的基础上,将所述SiC/C复合材料喷管内壁表面用飞秒激光采用一定的能量密度和脉冲频率进行扫描,在内壁表面形成微纳复合的微结构,利用微纳结构实现与后期制备的防护用高温抗氧化涂层之间形成镶嵌结构;
步骤3.采用等离子体增强CVD技术,SiCl4、CH4作为SiC的反应气体,H2作为载气,通过液相硼化铱前驱体后通入CVD沉积室内,设定反应温度和反应时间,完成碳化硅和硼化铱组成的过渡层生长;
步骤4.制备第一层碳化硅和第二层硼化铱,在第二层硼化铱上采用Ir(acac)3、还原气体H2、Ar进行金属铱膜层制备;
步骤5.采用等离子体增强CVD技术,SiCl4、CH4作为SiC的反应气体,H2作为载气,通过液相硼化铱前驱体后通入CVD沉积室内,设定反应温度和反应时间,完成硼化铱与碳化硅的复合层生长;
步骤6.步骤4和5重复执行10-50次,完成周期性叠层结构的生长;
步骤7.采用等离子体增强CVD技术,SiCl4、CH4作为SiC的反应气体,H2作为载气,通过液相硼化铪和硼化铱前驱体后通入CVD沉积室内,设定反应温度和反应时间,完成碳化硅、硼化铪和硼化铱组成的耐烧蚀层生长。
2.如权利要求1所述的一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层的制备方法,其特征在于,所述步骤1.对所述SiC/C复合材料喷管基体进行清洗以及干燥,具体步骤为:将SiC/C复合材料喷管基体放置在丙酮中超声波清洗30min后,用去离子水冲洗干净,然后放置在无水乙醇中用超声波清洗器清洗30min;最后,将清洗过的SiC/C复合材料喷管基体试样放在120℃烘箱中,干燥8小时。
3.如权利要求1所述的一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层的制备方法,其特征在于,将所述SiC/C复合材料喷管内壁表面用飞秒激光采用一定的能量密度和脉冲频率进行扫描,激光脉宽300fs~800fs、能量密度0.1J/cm2-0.9J/cm2、频率500Hz-2500Hz,在内壁表面形成微纳复合的微结构。
4.如权利要求1所述的一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层的制备方法,其特征在于,所述步骤3中,设定反应温度和反应时间,具体为:反应温度设定为1200℃-1600℃,反应时间设定为2h到8h。
5.如权利要求1所述的一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层的制备方法,其特征在于,所述步骤4中,采用Ir(acac)3、还原气体H2、Ar进行金属铱膜层制备时,生长温度设定为500-600℃,H2分压为20-60sccm,Ir(acac)3流量20-80sccm、Ar气流量为20-80sccm,沉积时间5min到50min。
6.如权利要求1所述的一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层的制备方法,其特征在于,所述步骤5中,设定反应温度和反应时间,具体为:设定的反应温度为1200℃-1600℃,反应时间为20min到1h。
7.如权利要求1所述的一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层的制备方法,其特征在于,所述步骤7中,设定反应温度和反应时间,具体为温度1200℃-1600℃,反应时间4h到12h。
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