CN115528519A - 一种大功率准分子激光放电腔温度控制系统和方法 - Google Patents

一种大功率准分子激光放电腔温度控制系统和方法 Download PDF

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CN115528519A CN202211163323.3A CN202211163323A CN115528519A CN 115528519 A CN115528519 A CN 115528519A CN 202211163323 A CN202211163323 A CN 202211163323A CN 115528519 A CN115528519 A CN 115528519A
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Abstract

一种大功率准分子激光放电腔温度控制系统和方法，所述系统包括温度探测部、冷却管路、加热部和控制模块；冷却管路上设有比例阀和换热器；换热器设置在激光放电腔内部，在冷却介质流动方向上，比例阀位于换热器前端；比例阀内部设有第一阀芯和第二阀芯，第一阀芯和第二阀芯并联在比例阀的阀进口和阀出口之间；第一阀芯的最大开度大于第二阀芯的最大开度，第一阀芯的最小开度大于第二阀芯的最小开度。本发明实现了快速并精确控制激光放电腔的工作温度，使得激光放电腔内维持在一个稳定的温度范围内，避免温度过低，缩短响应时间，提高了激光放电腔内电‑光转化效率；也避免温度过高，保证元件工作温度安全，延长使用寿命。

Description

一种大功率准分子激光放电腔温度控制系统和方法
技术领域
本发明涉及温度控制领域，尤其涉及一种大功率准分子激光放电腔温度控制系统和方法。
背景技术
准分子激光属于一种气体激光，其通过惰性气体与卤素气体混合后放电激励成为激发态的分子，当激发态的分子跃迁回基态时,立刻分解、还原成本来的特性,同时释放出光子,经谐振放大后,发射出高能量的紫外光激光。准分子激光由于波长短、光子能量大、平均功率高、相干性较弱等特点，使其成为性能优异的加工光源。
准分子的激励实现过程如下：高压电源首先将能量充至储能电容器上，而储能电容器上的能量通过快速高压放电开关转移到放电电极上并实现对混合气体的激励。在这过程中，除部分电能转化为光能外，大部分能量转化成了热量扩散至混合气体，进而使混合气体的工作温度不断升高。
混合气体的温度不仅影响气体的使用寿命，同时极大影响着准分子激光器的电光转换效率。因此在高压放电气体激励过程中，必须为放电腔提供一个稳定可靠的最佳腔体温度环境。传统激光器的温度控制信号使用普通线束进行传输，并使用简单的冷水循环或者空气对流控温。
现有技术缺点：现有激光器冷机启动时间长，效率低，运行成本增加；腔内气体温度控制精度低，响应时间长，导致激光器能量下降，工作气体寿命降低，同时容易损坏放电腔体；激光器工作过程产生干扰大，控制信号利用普通线缆传输容易受干扰，导致信号传输失真。
发明内容
为了解决上述现有技术中无法实现放电腔工作温度的精确控制的缺陷，本发明提出了一种大功率准分子激光放电腔温度控制系统，可实现对激光放电腔内部温度的快速、精确调控。
本发明提出的一种大功率准分子激光放电腔温度控制系统，包括：温度探测部、冷却管路、加热部和控制模块；
冷却管路用于输送冷却介质，冷却管路上设有比例阀和换热器；换热器设置在激光放电腔内部，在冷却介质流动方向上，比例阀位于换热器前端；比例阀内部设有第一阀芯和第二阀芯，第一阀芯和第二阀芯并联在比例阀的阀进口和阀出口之间；第一阀芯的最大开度大于第二阀芯的最大开度，第一阀芯的最小开度大于第二阀芯的最小开度；
温度探测部包括多个温度探头，多个温度探头均设置在激光放电腔腔壁上，多个温度探头用于检测激光放电腔内部不同位置的温度；
加热部用于对激光放电腔内部进行加热；控制模块分别连接比例阀、加热部和各温度探头；控制模块根据各温度探头的检测值计算均值作为腔内平均温度，记作TAVG；
当TAVG>TSET且TAVG-TSET>△T时，控制模块控制比例阀的第一阀芯导通且第二阀芯截止，并根据TAVG-TSET控制第一阀芯开度；TSET为设定的目标温度，△T为设定的温度浮差；
当TAVG>TSET且TAVG-TSET≦△T时，控制模块控制比例阀的第一阀芯截止且第二阀芯导通，并根据TAVG-TSET控制第二阀芯开度；
当TAVG<TSET时，控制模块控制加热部工作，直至TAVG＝TSET时，控制模块控制加热部停止工作。
优选的，控制模块通过控制比例阀的工作电压以调整比例阀的第一阀芯或者第二阀芯开度，比例阀的工作电压根据以下公式计算获得：
U(t)＝Kp|TSET-TAVG(t)|+K1(|TSET-TAVG(t)|+U(t-1))+TD|TAVG(t-1)-TAVG(t)|；
其中，U(t)表示比例阀在t时刻的工作电压，U(t-1)表示比例阀在t-1时刻的工作电压；TAVG(t)表示t时刻的TAVG，TAVG(t-1)表示t-1时刻的TAVG；Kp、K1和TD均为设定系数。
优选的，激光放电腔内部还设有循环风扇。
优选的，温度探测部包括四个温度探头，第一个温度探头位于最接近放电电极的位置，第二个温度探头位于最接近循环风扇出风面的位置，第三个温度探头设置在腔壁上冷却水进入腔内的位置，第四个温度探头设置在腔壁上冷却水流出腔内的位置。
优选的，控制模块还连接循环风扇，控制模块根据TAVG-TSET控制循环风扇的转述，所述转速计算公式为：
V＝kv|TAVG-TSET|；
其中，V表示循环风扇的转速，kv表示设定的运行系数。
优选的，所述比例阀和用于驱动循环风扇转动的电机设置在激光放电腔外部。
优选的，所述加热部由多个设置在激光放电腔腔壁内部的加热元件构成。
优选的，所述冷却管路上还设有过滤装置和流量计，所述过滤装置位于比例阀前端，流量计位于过滤装置和比例阀之间。
优选的，所述控制模块通过光纤连接各温度探头。
本发明还提出了一种大功率准分子激光放电腔温度控制方法，适用于上述的大功率准分子激光放电腔温度控制系统，以实现对激光放电腔温度的精确控制。
本发明提出的一种大功率准分子激光放电腔温度控制方法，包括以下步骤：
S1、设置目标温度TSET和温度浮差△T；
S2、通过温度检测部实时探测激光放电腔内的温度，计算平均温度TAVG；
S3、将TAVG与设定的目标温度TSET相比较；如果，TAVG<TSET，则执行步骤S4；如果TAVG>TSET，则执行步骤S5；
S4、启动加热部，然后返回步骤S2；
S5、判断TAVG-TSET是否大于△T；是，则执行步骤S6；否，则执行步骤S7；
S6、控制比例阀的第一阀芯导通且第二阀芯截止，并根据TAVG-TSET调整第一阀芯开度，然后返回步骤S2；
S7、控制比例阀的第一阀芯截止且第二阀芯导通，并根据TAVG-TSET控制第二阀芯开度，然后返回步骤S2。
本发明的优点在于：
(1)本发明通过温度的实时追踪进而控制冷却管路和加热部的工作，实现了快速并精确控制激光放电腔的工作温度，使得激光放电腔内维持在一个稳定的温度范围内，避免温度过低，缩短响应时间，提高了激光放电腔内电-光转化效率；也避免温度过高，保证元件工作温度安全，延长使用寿命。
(2)通过第一阀芯和第二阀芯的设置，相当于实现了一个以第一阀芯的最大开度为最大开度，以第二阀芯的最小开度为最小开度的具有极大的开度调节范围的的比例阀，通过该比例阀可以实现非常大的冷却介质流速调控范围，从而可以非常灵活的控制换热器的换热效率，实现对激光放电腔内部温度的精确调控。本发明中根据激光放电腔内部温度与目标温度TSET之间的差值，择一导通第一阀芯或者第二阀芯，将第一阀芯和第二阀芯的工作状态，与激光放电腔内部温度与目标温度TSET之间的差值范围相关联，即避免了第一阀芯和第二阀芯同时工作的开度平衡难以控制的问题，又避免了第一阀芯和第二阀芯工作状态频繁切换的问题，有利于比例阀工作的稳定性控制。
(3)激光放电腔内还设有循环风扇，以提高激光放电腔内部空气流动速度。本实施方式中，用于驱动循环风扇转动的电机设置在激光放电腔外部，以避免其散热影响激光放电腔内部温度。
(4)通过该四个温度探头分别检测激光放电腔内温度最高的点和三个温度变动率最快的点，保证了通过平均温度评估激光放电腔内部温度的可靠性，从而进一步提高了根据TAVG和TSET之间的差值调控激光放电腔内部温度的可靠性。
(5)比例阀和驱动循环风扇的电机均设置在激光放电腔外部，避免了挤占激光放电腔内部空间对散热造成不利影响。
(6)本发明中，根据TAVG和TSET之间的差值调控比例阀开度和循环风扇转速，进一步提高了对激光放电腔内部温度的精细控制，本发明温控精度可达0.1℃。
(7)利用光纤传输增强了激光器的电磁兼容性能，进而大大提供了激光器的稳定性及使用寿命。
(8)本发明提出的一种大功率准分子激光放电腔温度控制方法可结合加装有上述大功率准分子激光放电腔温度控制系统实现对激光器的激光放电腔温度的精确控制，从而降低激光器响应时间，提高光电转换效率，避免元器件高温工作，提高使用寿命。
附图说明
图1为激光放电腔示意图；
图2为激光放电腔剖视示意图；
图3为比例阀爆炸图；
图4为比例阀组装示意图；
图5为光纤模块和控制模块电路连接示意图；
图6为一种大功率准分子激光放电腔温度控制方法流程图；
图7为采用图6所述方法的激光放电腔内部温度曲线图。
图示：1、激光放电腔；2、放电电极；3、循环风扇；4、比例阀；41、第一阀芯；411、第一阀芯的进水口；412、第一阀芯的出水口；42、第二阀芯；421、第二阀芯的进水口；422、第二阀芯的出水口；43、阀进口；44、阀出口；45、第一阀腔；46、第二阀腔；5、流量计；6、过滤装置；7、电机；8、光纤模块；9、温度探头；10、换热器；11、加热元件。
具体实施方式
参照图1、图2，本实施方式提出的一种大功率准分子激光放电腔温度控制系统，用于控制大功率准分子激光器的激光放电腔1内部的温度，使得激光放电腔1内维持在一个稳定的温度范围内，避免温度过低，缩短响应时间，提高光电转换效率；也避免温度过高，保证元件工作温度安全，延长使用寿命。
本实施方式提出的一种大功率准分子激光放电腔温度控制系统，包括：温度探测部、冷却管路、加热部和控制模块。加热部用于对激光放电腔1内部进行加热，具体的，加热部由多个内置于激光放电腔1腔壁内部的加热元件11组成。
冷却管路上设有比例阀4和换热器10；换热器10设置在激光放电腔1内部。冷却管路用于输送冷却介质，换热器10将冷却介质的冷量与激光放电腔1内的热量置换，实现对激光放电腔1内部的降温。
在冷却介质流动方向上，比例阀4位于换热器10前端，以调整换热器10内的冷却介质流动速度，从而调整降温效率。所述冷却管路上还设有过滤装置6和流量计5，所述过滤装置6位于比例阀4前端，以实现流体过滤。流量计5位于过滤装置6和比例阀之间，以检测流体流动速率。
参照图3、图4，本实施方式中，比例阀4内部设有第一阀腔45和第二阀腔46，第一阀腔45连通比例阀4的阀进口43和阀出口44以形成第一通路，第二阀腔46连通比例阀4的阀进口43和阀出口44以形成第二通路。第一阀腔45内设有第一阀芯41，第一阀芯41用于控制第一通路的通断。第二阀腔46内设有第一阀芯41，第二阀芯42用于控制第一通路的通断。
具体的，第一阀腔45大于第二阀腔46，第一阀芯41的最大开度大于第二阀芯42的最大开度，第一阀芯41的最小开度大于第二阀芯42的最小开度。即第一阀芯41的进口411的面积大于第二阀芯的进口421的面积，第一阀芯41的出口412的面积大于第二阀芯的出口422的面积，第一阀芯41和第二阀芯42均处于最大开度时，经过第一阀芯41的流体的流速大于经过第二阀芯42的流体的流速；第一阀芯41和第二阀芯42均处于最小开度时，经过第一阀芯41的流体的流速也大于经过第二阀芯42的流体的流速。
如此，通过第一阀芯41和第二阀芯42的设置，相当于实现了一个以第一阀芯41的最大开度为最大开度，以第二阀芯42的最小开度为最小开度的具有极大的开度调节范围的的比例阀4，通过该比例阀4可以实现非常大的冷却介质流速调控范围，从而可以非常灵活的控制换热器10的换热效率，实现对激光放电腔1内部温度的精确调控。
具体的，本实施方式中，在激光放电腔1内部温度高于设定的目标温度TSET一定程度时，控制模块控制比例阀4的第一阀芯41导通且第二阀芯42截止；在激光放电腔1内部温度高于设定的目标温度TSET但两者差值较小时，控制模块控制比例阀4的第一阀芯41截止且第二阀芯42导通。
如此本实施方式中，根据激光放电腔1内部温度与目标温度TSET之间的差值，择一导通第一阀芯41或者第二阀芯42，将第一阀芯41和第二阀芯42的工作状态均与激光放电腔1内部温度与目标温度TSET之间的差值范围相关联，即避免了第一阀芯41和第二阀芯42同时工作的开度平衡难以控制的问题，又避免了第一阀芯41和第二阀芯42工作状态频繁切换的问题，有利于比例阀4工作的稳定性控制。
本实施方式中，比例阀4设置在激光放电腔1外部，以避免比例阀4挤占激光放电腔1内部空间，影响散热和温度均衡。
本实施方式中，为了进一步提高激光放电腔1内部温度均衡，激光放电腔1内还设有循环风扇3，以提高激光放电腔1内部空气流动速度。本实施方式中，用于驱动循环风扇3转动的电机7设置在激光放电腔1外部，以避免其散热影响激光放电腔1内部温度。
本实施方式中，通过温度检测部检测激光放电腔1内部温度，具体的温度检测部包含多个用于探测激光放电腔1内部不同位置处的温度的温度探头9，控制模块与各温度探头9连接，控制模块取各温度探头9的平均值作为激光放电腔1内部温度，记作TAVG。
本实施方式中，控制模块分别连接比例阀4、加热部和各温度探头9，控制模块根据以下规律控制比例阀4和加热部工作：
当TAVG>TSET且TAVG-TSET>△T时，控制模块控制比例阀4的第一阀芯41导通且第二阀芯42截止，并根据TAVG-TSET控制第一阀芯41开度；TSET为设定的目标温度，△T为设定的温度浮差；
当TAVG>TSET且TAVG-TSET≦△T时，控制模块控制比例阀4的第一阀芯41截止且第二阀芯42导通，并根据TAVG-TSET控制第二阀芯42开度；
当TAVG<TSET时，控制模块控制加热部工作，直至TAVG＝TSET时，控制模块控制加热部停止工作。
本实施方式中，通过加热部可对激光放电腔1进行快速升温，避免激光器刚启动时由于激光放电腔1内部温度低导致响应时间长的问题，使得激光器响应时间大大降低。当TAVG＝TSET时，激光放电腔1内部由于混合气体的激励将大部分电能转换成热能，激光放电腔1内温度维持在较高温度并持续上升，控制模块控制加热部停止工作，避免激光放电腔1内温度过高。由于激光放电腔1内部气体激励的持续，激光放电腔1内温度持续升高，当TAVG>TSET时，则控制模块控制冷却管路导通，以便通过冷却介质对激光放电腔1内部进行降温。
本实施方式中，根据TAVG和TSET之间的差值控制比例阀4的工作状态和工作电压，即在选定阀芯的状态下，精确控制阀芯开度，从而实现对冷却介质流速的精确控制。
本实施方式中，比例阀4的工作电压根据以下公式计算获得：
U(t)＝Kp|TSET-TAVG(t)|+K1(|TSET-TAVG(t)|+U(t-1))+TD|TAVG(t-1)-TAVG(t)|；
其中，U(t)表示比例阀4在t时刻的工作电压，U(t-1)表示比例阀4在t-1时刻的工作电压；TAVG(t)表示t时刻的TAVG，TAVG(t-1)表示t-1时刻的TAVG；Kp、K1和TD均为设定系数，Kp具体根据第一阀芯41的工作参数设置，K1具体根据第二阀芯42的工作参数设置。
本实施方式中，还进一步根据TAVG和TSET之间的差值调控循环风扇3的转速，具体的，所述转速计算公式为：
V＝kv|TAVG-TSET|；
其中，V表示循环风扇3的转速，kv表示设定的运行系数。
本实施方式中，控制模块通过电机7控制循环风扇3的转速。
本实施方式中，温度探测部包括四个温度探头，第一个温度探头位于最接近放电电极2的位置，第二个温度探头位于最接近循环风扇3出风面的位置，第三个温度探头设置在腔壁上冷却水进入腔内的位置，第四个温度探头设置在腔壁上冷却水流出腔内的位置。如此，通过该四个温度探头9分别检测激光放电腔1内温度最高的点和三个温度变动率最快的点，保证了通过平均温度评估激光放电腔1内部温度的可靠性，从而进一步提高了根据TAVG和TSET之间的差值调控激光放电腔1内部温度的可靠性。
本实施方式中，控制模块通过光纤连接各温度探头9，增强了激光器的电磁兼容性能，进而大大提供了激光器的稳定性及使用寿命。本实施方式中，各温度探头9设置在激光放电腔1的腔壁上，也方便了在激光放电腔1的腔壁上安装光纤模块8，以便实现温度探头9与光纤模块8的连接，从而实现光纤传输。
参照图5，本实施方式中，每一个温度探头9均连接有对应的光纤模块8，光纤模块8由依次连接的信号放大电路、电-光转换模块和光信号发射电路组成。控制模块由依次连接的光信号接收电路、电-光转换电路和PID控制器组成。信号放大电路接收对应的温度探头9的温度检测信号并将信号放大后发送到电-光转换模块，电-光转换模块将电信号转换成光信号，光信号发射电路将该光信号通过光纤传输到光信号接收电路，电-光转换电路接收光信号并转换成电信号后发送给PID控制器。PID控制器可直接控制加热元件11的工作电压，PID控制器还控制比例阀4的阀门线圈控制器的工作电压，以调整比例阀4的开度。
参照图6，通过在激光器上加装上述的大功率准分子激光放电腔温度控制系统后，可根据以下步骤精准控制激光放电腔1内部温度。
S1、设置目标温度TSET和温度浮差△T；
S2、通过温度检测部实时探测激光放电腔1内的温度，计算平均温度TAVG；
S3、将TAVG与设定的目标温度TSET相比较；如果，TAVG<TSET，则执行步骤S4；如果TAVG>TSET，则执行步骤S5；
S4、启动加热部，然后返回步骤S2；本步骤中值得注意的是，如果加热部处于停止工作状态，则启动加热部后返回步骤S2；如果加热部已经处于工作状态，则直接返回步骤S2；
S5、判断TAVG-TSET是否大于△T；是，则执行步骤S6；否，则执行步骤S7；
S6、控制比例阀4的第一阀芯41导通且第二阀芯42截止，并根据TAVG-TSET调整第一阀芯41开度，然后返回步骤S2；
S7、控制比例阀4的第一阀芯41截止且第二阀芯42导通，并根据TAVG-TSET控制第二阀芯42开度，然后返回步骤S2。
所述根据根据TAVG-TSET调整第一阀芯41/第二阀芯42开度，实际为根据以下公式计算比例阀4工作电压U(t)：
U(t)＝Kp|TSET-TAVG(t)|+K1(|TSET-TAVG(t)|+U(t-1))+TD|TAVG(t-1)-TAVG(t)|。
图7所示为采用上述大功率准分子激光放电腔温度控制系统和控制方法对激光器的激光放电腔1进行温度调节的效果图，图7中横坐标时间单位为秒，从图7可知，采用本方法，大功率准分子激光器开启后，激光放电腔1可在1分钟内达到设定的目标温度25℃，且在5分钟内快速稳定，最终激光放电腔1内部温度可稳定在25℃左右，浮差小于0.5℃。
相比于现有技术中，大功率准分子激光器开启后，需要30分钟才能达到目标温度，且需要60分钟才能实现温度稳定，且温度波动范围最优也只能达到正1℃。可见，本方法对大功率准分子激光放电腔温度的调控精度和效率提升幅度极大。
以上仅为本发明创造的较佳实施例而已，并不用以限制本发明创造，凡在本发明创造的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明创造的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种大功率准分子激光放电腔温度控制系统，其特征在于，包括：温度探测部、冷却管路、加热部和控制模块；
冷却管路用于输送冷却介质，冷却管路上设有比例阀(4)和换热器(10)；换热器(10)设置在激光放电腔(1)内部，在冷却介质流动方向上，比例阀(4)位于换热器(10)前端；比例阀(4)内部设有第一阀芯(41)和第二阀芯(42)，第一阀芯(41)和第二阀芯并联在比例阀(4)的阀进口(43)和阀出口(44)之间；第一阀芯(41)的最大开度大于第二阀芯(42)的最大开度，第一阀芯(41)的最小开度大于第二阀芯(42)的最小开度；
温度探测部包括多个温度探头(9)，多个温度探头(9)均设置在激光放电腔(1)腔壁上，多个温度探头(9)用于检测激光放电腔(1)内部不同位置的温度；
加热部用于对激光放电腔(1)内部进行加热；控制模块分别连接比例阀(4)、加热部和各温度探头(9)；控制模块根据各温度探头(9)的检测值计算均值作为腔内平均温度，记作TAVG；
当TAVG>TSET且TAVG-TSET>△T时，控制模块控制比例阀(4)的第一阀芯(41)导通且第二阀芯(42)截止，并根据TAVG-TSET控制第一阀芯(41)开度；TSET为设定的目标温度，△T为设定的温度浮差；
当TAVG>TSET且TAVG-TSET≦△T时，控制模块控制比例阀(4)的第一阀芯(41)截止且第二阀芯(42)导通，并根据TAVG-TSET控制第二阀芯(42)开度；
当TAVG<TSET时，控制模块控制加热部工作，直至TAVG＝TSET时，控制模块控制加热部停止工作。
2.如权利要求1所述的大功率准分子激光放电腔温度控制系统，其特征在于，控制模块通过控制比例阀(4)的工作电压以调整比例阀(4)的第一阀芯(41)或者第二阀芯(42)开度，比例阀(4)的工作电压根据以下公式计算获得：
U(t)＝Kp|TSET-TAVG(t)|+K1(|TSET-TAVG(t)|+U(t-1))+TD|TAVG(t-1)-TAVG(t)|；
其中，U(t)表示比例阀(4)在t时刻的工作电压，U(t-1)表示比例阀(4)在t-1时刻的工作电压；TAVG(t)表示t时刻的TAVG，TAVG(t-1)表示t-1时刻的TAVG；Kp、K1和TD均为设定系数。
3.如权利要求1所述的大功率准分子激光放电腔温度控制系统，其特征在于，激光放电腔(1)内部还设有循环风扇(3)。
4.如权利要求3所述的大功率准分子激光放电腔温度控制系统，其特征在于，温度探测部包括四个温度探头，第一个温度探头位于最接近放电电极(2)的位置，第二个温度探头位于最接近循环风扇(3)出风面的位置，第三个温度探头设置在腔壁上冷却水进入腔内的位置，第四个温度探头设置在腔壁上冷却水流出腔内的位置。
5.如权利要求3所述的大功率准分子激光放电腔温度控制系统，其特征在于，控制模块还连接循环风扇(3)，控制模块根据TAVG-TSET控制循环风扇(3)的转述，所述转速计算公式为：
V＝kv|TAVG-TSET|；
其中，V表示循环风扇(3)的转速，kv表示设定的运行系数。
6.如权利要求3所述的大功率准分子激光放电腔温度控制系统，其特征在于，所述比例阀(4)和用于驱动循环风扇(3)转动的电机(7)均位于激光放电腔(1)外部。
7.如权利要求1所述的大功率准分子激光放电腔温度控制系统，其特征在于，所述加热部由多个设置在激光放电腔(1)腔壁内部的加热元件(11)构成。
8.如权利要求1所述的大功率准分子激光放电腔温度控制系统，其特征在于，所述冷却管路上还设有过滤装置(6)和流量计(5)，所述过滤装置(6)位于比例阀(4)前端，流量计(5)位于过滤装置(6)和比例阀之间。
9.如权利要求1所述的大功率准分子激光放电腔温度控制系统，其特征在于，所述控制模块通过光纤连接各温度探头(9)。
10.一种大功率准分子激光放电腔温度控制方法，其特征在于，用于大功率准分子激光器启动后控制激光放电腔(1)内部温度，所述大功率准分子激光器包括如权利要求1-8任一项所述的大功率准分子激光放电腔温度控制系统，所述控制方法包括以下步骤：
S1、设置目标温度TSET和温度浮差△T；
S2、通过温度检测部实时探测激光放电腔(1)内的温度，计算平均温度TAVG；
S3、将TAVG与设定的目标温度TSET相比较；如果，TAVG<TSET，则执行步骤S4；如果TAVG>TSET，则执行步骤S5；
S4、启动加热部，然后返回步骤S2；
S5、判断TAVG-TSET是否大于△T；是，则执行步骤S6；否，则执行步骤S7；
S6、控制比例阀(4)的第一阀芯(41)导通且第二阀芯(42)截止，并根据TAVG-TSET调整第一阀芯(41)开度，然后返回步骤S2；
S7、控制比例阀(4)的第一阀芯(41)截止且第二阀芯(42)导通，并根据TAVG-TSET控制第二阀芯(42)开度，然后返回步骤S2。
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