CN115522077B - 一种从izo废靶材中再生高纯度铟锭的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法，属于资源再生技术领域，包括破碎球磨、排气、低温还原、中温还原、高温还原‑蒸馏、真空蒸馏、酸溶置换、粗铟的制取和七水硫酸锌的制备等过程，该方法可直接从IZO废靶材中再生纯度达99.99%以上铟锭；铟的回收率大于98%；锌的回收率大于95%。具有铟锌的直收率高、工艺操作简单、生产成本低、不产生二次污染等优点。辅材中仅使用氮气、氢气、一氧化碳和硫酸等，其中含锌的置换残液用于副产品七水硫酸锌的生产，整个工艺没有废水和废渣的产生，环境效益显著。

Description

一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法
技术领域
本发明涉及金属铟的提取方法，属于资源再生利用技术领域，具体涉及一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法。
背景技术
IZO，即铟锌氧化物；IZO薄膜具有高迁移率和电阻率可控等特点，是一种重要的氧化物半导体材料，已被用于制备氧化物薄膜晶体管等。近年来，随着电子信息技术的发展，用于沉积IZO薄膜的靶材用量迅猛增加，目前工业上IZO的生产利用率较低，近55％以上IZO靶材在生产和使用过程中成为废料，产生很大的资源浪费。IZO废靶材的主要成分是氧化铟、氧化锌，以及其他微量的杂质，氧化铟和氧化锌的重量比在5～15:1，铟是高值的稀散金属，锌也是重要的金属资源，所以这部分废靶材中的铟、锌必须得到充分的回收和利用。
现有IZO废靶再生技术中，主要采用的是湿法冶金技术，将废靶材溶解到酸性溶液后，再通过置换、熔铸等工艺得到粗铟。此工艺的缺点是工艺流程长、酸碱用量大、成本高、环境压力大，且生产出的铟锭纯度仅能达到99%，无法直接返回IZO靶材的生产，还需经电解提纯达到99.99%以上的纯度后才能用于IZO靶材的生产。综上所述，研发一种从废IZO靶材中的简单高效的再生99.99%以上纯度的铟锭的工艺是非常重要和有意义的。
发明内容
针对上述问题，本发明提出了一种更简单、高效和环保的从IZO废靶材中再生纯度达99.99%以上铟锭的方法。
一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法包括以下步骤：
S1：破碎球磨：将IZO废靶材破碎球磨得IZO粉，破碎球磨后的粉末过80-100目筛，通过粉碎球磨，增大IZO物料的表面积，以提升后续的氢气和一氧化碳对物料还原反应的速度和效率。并通过过筛保证球磨粉料粒度均匀，保证后续熔炼时能够均匀熔炼成熔融状态，减少熔融液体中的残渣量。
S2：排气：将S1所得的IZO粉盛装在器皿中并置于还原-真空一体炉内的加热室中，装料厚度3-6cm，确保后续还原反应的充分性，通入氮气10分钟；使用氮气排出还原-真空一体炉内的空气，避免氢气与空气混合，以杜绝通氢时的爆炸隐患。
S3：低温还原：停止通入氮气，并通入氢气，加热室升温至480～530℃，恒温2～3小时；在低温下以氢气将物料中的小部分氧化铟缓慢的还原成铟金属，反应式为： 。生成的铟金属以液态铟珠形式粘附着IZO粉末，减少气流对IZO粉末的冲刷和夹带。
S4：中温还原：持续通入氢气，加热室升温至850～870℃，恒温4～6小时；
反应式为：
 ；
 。
在中温下以氢气将物料中的大部分氧化铟快速的还原成铟金属，且在液态铟的作用或催化下，部分氧化锌会在此阶段被还原成金属锌融入液态铟中，形成铟锌合金。
S5：高温还原-蒸馏：停止通入氢气，并通入一氧化碳气体，加热室升温至1000-1050℃后恒温3～5小时；在高温以一氧化碳将物料中的残留的少量氧化铟以及大部分的氧化锌还原成金属；同时加热室的温度高于金属锌的沸点，此时锌变成蒸汽随气流进入收集室，自然降温形成固态锌而收存在收集室内。
反应方程式为：
 ；
。
S6：真空蒸馏：将加热室降温至900～920℃后恒温，停止通入一氧化碳气体，通入氮气10分钟后停止通入氮气，通过氮气排出加热室内反应生成的二氧化碳，避免在加热状态下，加热室内残存的二氧化碳氧化铟或者锌；开启真空系统，待炉内收集室的压力降到100Pa以下，由于收集室与加热室连通，所以连通的加热室内的压力也降到100Pa以下，控制加热室900～920℃恒温4～5小时；在负压的情况下，极限的蒸出金属铟中残留的微量锌，得到提纯铟的目的。
S7：铸锭：关闭真空系统，通入氮气，将蒸出锌蒸气随气流进入到收集室内，减少加热室内的锌含量；关闭加热室的加热系统，加热室内自然降温至200℃-210℃后停止通入氮气；取出加热室中的铟液，刮去浮渣后浇铸铟锭，此时金属铟处在熔融状态，残存的金属锌未达到熔点，锌的比重小于铟，因此残存的固态金属锌也会以浮渣的形式漂浮在铟液的上方，通过刮去浮渣进一步除去残存的锌，提高铟液的纯度；收集室内的锌蒸汽冷却得到锌粉。
S8：酸溶置换：将S7所得浮渣用硫酸溶解后得到含铟锌溶液，浮渣和硫酸溶液质量比为1:2-6，浸出温度80～90℃，用S7收集室内得到的锌粉置换得海绵铟，保持置换温度为85～95℃，再铸锭得粗铟；置换后的含锌溶液用于生产七水硫酸锌。熔铸和七水硫酸锌的制备等工序为常规传统工艺，本发明不做具体阐述。浮渣内含有氧化铟、氧化锌、金属铟以及金属锌，浸出的反应方程式为：
In2O3+6H+=2In3++3H2O；
ZnO+2H+=Zn2++H2O；
2In+6H+=2In3++3H2；
Zn+2H+= Zn2++H2。
置换反应方程式为：3Zn+2In3+=3Zn2++2 In。
海绵铟熔铸和七水硫酸锌的制备等工序为常规传统工艺。仅对刮出分离的浮渣溶解到酸性溶液后，再通过置换、熔铸等工艺得到粗铟，对浮渣采用湿法冶金技术获得粗铟，极大程度的减少酸碱用量。
优选地，S8中所述浮渣和所述硫酸溶液质量比为1:3。
优选地，S3中，向加热室内的IZO粉中通入氢气，温度500～530℃，恒温2～3小时。
优选地，S4中向加热室内的物料持续通入氢气，860-870℃，恒温4-5小时。
优选地，S5中，向加热室内的物料通入一氧化碳气体，1030-1050℃后恒温3～4小时。
优选地，S6中加热室的温度保持在915-920℃，恒温4-5小时。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：本发明采用自制还原-真空一体炉，仅通过火法即可直接产出纯度大于99.99%的铟锭，铟锌回收工艺简单，生产高效低本；且金属回收彻底，铟的回收率大于98%，其中可直接得到占铟金属总量92%以上的纯度大于99.99%铟锭，得到的粗铟占铟金属总量的3%～6%；锌的回收率大于95%。同时本发明具有明显的清洁特征：辅材中仅使用氮气、氢气、一氧化碳和硫酸等，其中含锌的置换残液用于副产品七水硫酸锌的生产，整个工艺没有废水和废渣的产生，环境效益显著。
附图说明
图1为本发明一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法中的还原-真空一体炉的结构示意图。
实施方式
为使对本发明的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法包括以下步骤：
S1：破碎球磨：将IZO废靶材破碎球磨得IZO粉，破碎球磨后的粉末过80-100目筛，通过粉碎球磨，增大IZO物料的表面积，以提升后续的氢气和一氧化碳对物料还原反应的速度和效率。并通过过筛保证球磨粉料粒度均匀，保证后续熔炼时能够均匀熔炼成熔融状态，减少熔融液体中的残渣量。
S2：排气：将S1所得的IZO粉盛装在石墨舟中并置于还原-真空一体炉内的加热室中，装料厚度3-6cm，确保后续还原反应的充分性，通入氮气10分钟；使用氮气排出还原-真空一体炉内的空气，避免氢气与空气混合，以杜绝通氢时的爆炸隐患。
如图1，还原-真空一体炉包括收集室1、加热室2、真空系统3、加热系统4以及通气系统5等，收集室1位于加热室2的一侧，所述收集室1和所述加热室2可以通过管道6相连通，所述真空系统3连接所述收集室1，用于抽出收集室1和加热室2内的气体，降低还原-真空一体炉内的压强；所述加热系统4设置在所述加热室2内，用于实现加热室2内升温和降温，所述通气系统5与所述加热室2相接通，用于通入氢气、氮气以及一氧化碳等气体。真空系统3、加热系统4以及通气系统5在还原-真空一体炉中的应用都属于现有技术，本发明用的还原-真空一体炉只是对现有技术中的真空系统3、加热系统4以及通气系统5进行使用，并未对各系统内的结构做创新，因此对真空系统3、加热系统4以及通气系统5的内部结构不做累述。还包括控制系统（图中未画出）用于控制真空系统3、加热系统4以及通气系统5进行正常工作。
S3：低温还原：停止通入氮气，并通入氢气，加热室升温至480～530℃，恒温2～3小时；在低温下以氢气将物料中的小部分氧化铟缓慢的还原成铟金属，反应式为： 。 生成的铟金属以液态铟珠形式粘附着IZO粉末，减少气流对IZO粉末的冲刷和夹带。
S4：中温还原：持续通入氢气，加热室升温至850～870℃，恒温4～6小时；
反应式为：
；
 。
在中温下以氢气将物料中的大部分氧化铟快速的还原成铟金属，且在液态铟的作用或催化下，部分氧化锌会在此阶段被还原成金属锌融入液态铟中，形成铟锌合金。
S5：高温还原-蒸馏：停止通入氢气，并通入一氧化碳气体，加热室升温至1000-1050℃后恒温3～5小时；在高温以一氧化碳将物料中的残留的少量氧化铟以及大部分的氧化锌还原成金属；同时加热室的温度高于金属锌的沸点，此时锌变成蒸汽随气流进入收集室，自然降温形成固态锌而收存在收集室内。
反应方程式为：
；
。
S6：真空蒸馏：将加热室降温至900～920℃后恒温，停止通入一氧化碳气体，通入氮气10分钟后停止通入氮气，通过氮气排出加热室内反应生成的二氧化碳，避免在加热状态下，加热室内残存的二氧化碳氧化铟或者锌；开启真空系统，待炉内收集室的压力降到100Pa以下，由于收集室与加热室连通，所以连通的加热室内的压力也降到100Pa以下，控制加热室900～920℃恒温4～5小时；在负压的情况下，极限的蒸出金属铟中残留的微量锌，得到提纯铟的目的。
S7：铸锭：关闭真空系统，通入氮气，将蒸出锌蒸气随气流进入到收集室内，减少加热室内的锌含量；关闭加热室的加热系统，加热室内自然降温至200℃-210℃后停止通入氮气；取出加热室中的铟液，刮去浮渣后浇铸铟锭，此时金属铟处在熔融状态，残存的金属锌未达到熔点，锌的比重小于铟，因此残存的固态金属锌也会以浮渣的形式漂浮在铟液的上方，通过刮去浮渣进一步除去残存的锌，提高铟液的纯度；收集室内的锌蒸汽冷却得到锌粉。
S8：酸溶置换：
将S7所得浮渣用硫酸溶液溶解后得到含铟锌溶液，使用的硫酸浓度在95%以上。浮渣和硫酸溶液质量比1:2-6，浸出温度80～90℃，用S7收集室内得到的锌粉置换得海绵铟，保持置换温度为85～95℃，置换时间为4小时，再铸锭得粗铟；置换后的含锌溶液用于生产七水硫酸锌。浮渣内含有氧化铟、氧化锌、金属铟以及金属锌等，酸溶的反应方程式为：
In2O3+6H+=2In3++3H2O；
ZnO+2H+=Zn2++H2O；
2In+6H+=2In3++3H2；
Zn+2H+= Zn2++H2。
置换反应方程式为：3Zn+2In3+=3Zn2++2 In。
海绵铟熔铸和七水硫酸锌的制备等工序为常规传统工艺。仅对刮出分离的浮渣溶解到酸性溶液后，再通过置换、熔铸等工艺得到粗铟，对浮渣采用湿法冶金技术获得粗铟，极大程度的减少酸碱用量。
分别称取制得的铟锭、粗铟以及锌粉的质量，分别检测制备的铟锭和粗铟的纯度，计算回收量：
铟的回收量=
锌的回收量=；
本发明采用还原-真空一体炉，仅通过火法即可直接产出纯度大于99.99%的铟锭，铟锌回收工艺简单，生产高效低本；且金属回收彻底，铟的回收率大于98%（其中可直接得到占铟金属总量92%以上的纯度大于99.99%铟锭，得到的粗铟占铟金属总量的3%～6%）；锌的回收率大于95%。同时本发明具有明显的清洁特征：辅材中仅使用氮气、氢气、一氧化碳和硫酸等，其中含锌的置换残液用于副产品七水硫酸锌的生产，整个工艺没有废水和废渣的产生，环境效益显著。
实施例1
一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法包括以下步骤：
S1：破碎球磨：将IZO废靶材破碎球磨得IZO粉，破碎球磨后的粉末过80目筛。废靶材内的成分为氧化锌(ZnO)11.2重量％，氧化铟(In2O3)87.6重量％，其余为其他杂质。废靶材中的金属比率为：铟72.47重量％，锌8.99重量%。
S2：排气：将称取100g S1所得的IZO粉盛装在石墨舟中并置于还原-真空一体炉内的加热室中，装料厚度3cm，确保后续还原反应的充分性，通入氮气10分钟；
S3：低温还原：停止通入氮气，并通入氢气，加热室升温至480℃，恒温3小时。
S4：中温还原：持续通入氢气，加热室升温至855℃，恒温6小时；
S5：高温还原-蒸馏：停止通入氢气，并通入一氧化碳气体，加热室升温至1000℃后恒温5小时。
S6：真空蒸馏：将加热室降温至900℃后恒温，停止通入一氧化碳气体，通入氮气10分钟后停止通入氮气，开启真空系统，待炉内收集室的压力降到100Pa以下，控制加热室900℃恒温5小时。
S7：铸锭：关闭真空系统，通入氮气，关闭加热室的加热系统，加热室内自然降温至200℃后停止通入氮气；取出加热室中的铟液，刮去浮渣后浇铸铟锭，称取铸锭的质量为67.19g，收集室内得到锌粉称取质量为8.64g。
S8：酸溶置换：将S7所得浮渣取5g用硫酸溶液溶解浸出后得到含铟锌溶液，使用的硫酸溶液以6g水加8g浓度为98%的浓硫酸配制而成，浮渣的溶解浸出温度控制在80～90℃，浸出终点为浮渣全部溶解完成为止。浸出终点pH值1.3，用S7收集室内得到的锌粉5g加入到浸出液中置换得海绵铟，保持置换温度为85～95℃，置换时间为4小时，将置换得到的海绵铟，通过传统工艺熔铸制得粗铟，称取粗铟质量为4.06g；置换后的含锌溶液制备生产七水硫酸锌。浮渣和硫酸溶液质量比分别对制得的铟锭、粗铟进行纯度检测；铟锭的纯度达到99.992%，粗铟的纯度为98.273%;
本实施例铟的回收量为98.2%，其中获得的铟锭占铟金属总量的92.7%，获得的粗铟占铟金属总量的5.5%，锌的回收量96.1%。
实施例2
一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法包括以下步骤：
S1：破碎球磨：将与实施例1相同的IZO废靶材破碎球磨得IZO粉，破碎球磨后的粉末过100目筛，或者直接使用实施例1中制得的粉末进行试验。
S2：排气：称取100gS1所得的IZO粉盛装在石墨舟中并置于还原-真空一体炉内的加热室中，装料厚度4cm，确保后续还原反应的充分性，通入氮气10分钟；
S3：低温还原：停止通入氮气，并通入氢气，加热室升温至500℃，恒温2.5小时。
S4：中温还原：持续通入氢气，加热室升温至860℃，恒温5小时；
S5：高温还原-蒸馏：停止通入氢气，并通入一氧化碳气体，加热室升温至1040℃后恒温4小时。
S6：真空蒸馏：将加热室降温至910℃后恒温，停止通入一氧化碳气体，通入氮气10分钟后停止通入氮气，开启真空系统，待炉内收集室的压力降到100Pa以下，控制加热室910℃恒温5小时。
S7：铸锭：关闭真空系统，通入氮气，关闭加热室的加热系统，加热室内自然降温至205℃后停止通入氮气；取出加热室中的铟液，刮去浮渣后浇铸铟锭，称取铟锭质量为67.91g。称取收集室内得到的锌粉质量为：8.73g。
S8：酸溶置换：将S7所得浮渣取5g用硫酸溶液溶解浸出后得到含铟锌溶液，使用的硫酸溶液以7g水加8g浓度为98%的浓硫酸配制而成，浮渣的溶解浸出温度控制在80～90℃，浸出终点为浮渣全部溶解完成为止。测量浸出终点pH值为1.4。用S7收集室内得到的锌粉4.5g加入到浸出液中置换得海绵铟，保持置换温度为85～95℃，置换时间为4小时，将置换得到的海绵铟铸锭得粗铟4.12g；置换后的含锌溶液用于生产七水硫酸锌。
分别对制得的铟锭、粗铟进行纯度检测；铟锭的纯度达到99.993%，粗铟的纯度为98.216%。
本实施例铟的回收量为99.3%，其中获得的铟锭占回收的铟金属总量的93.7%，获得的粗铟占铟金属总量的5.6%，锌的回收量97.1%。
实施例3
一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法包括以下步骤：
S1：破碎球磨：将与实施例1相同的IZO废靶材破碎球磨得IZO粉，破碎球磨后的粉末过100目筛，或者直接使用实施例1中制得的粉末进行试验。
S2：排气：称取100gS1所得的IZO粉盛装在石墨舟中并置于还原-真空一体炉内的加热室中，装料厚度5cm，确保后续还原反应的充分性，通入氮气10分钟；
S3：低温还原：停止通入氮气，并通入氢气，加热室升温至500℃，恒温2.5小时。
S4：中温还原：持续通入氢气，加热室升温至860℃，恒温5小时；
S5：高温还原-蒸馏：停止通入氢气，并通入一氧化碳气体，加热室升温至1030℃后恒温4小时。
S6：真空蒸馏：将加热室降温至915℃后恒温，停止通入一氧化碳气体，通入氮气10分钟后停止通入氮气，开启真空系统，待炉内收集室的压力降到100Pa以下，控制加热室915℃恒温5小时。
S7：铸锭：关闭真空系统，通入氮气，关闭加热室的加热系统，加热室内自然降温至205℃后停止通入氮气；取出加热室中的铟液，刮去浮渣后浇铸铟锭，称取铟锭质量为68.34g。称取收集室内得到的锌粉质量为：8.66g。
S8：酸溶置换：将S7所得浮渣取5g用硫酸溶液溶解浸出后得到含铟锌溶液，使用的硫酸溶液以7g水加8g浓度为98%的浓硫酸配制而成，浮渣的溶解浸出温度控制在80～90℃，浸出终点为浮渣全部溶解完成为止。测量浸出终点的pH值为1.7。用S7收集室内得到的锌粉4.5g加入到浸出液中置换得海绵铟，保持置换温度为85～95℃，置换时间为4小时，将置换得到的海绵铟通过传统工艺熔铸制得粗铟，称取粗铟质量为3.54g；置换后的含锌溶液制备生产七水硫酸锌。分别对制得的铟锭、粗铟进行纯度检测；铟锭的纯度达到99.996%，粗铟的纯度为98.324%;
本实施例铟的回收量为99.1%，其中获得的铟锭占回收的铟金属总量的94.3%，获得的粗铟占铟金属总量的4.8%，锌的回收量96.3%。
实施例4
一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法包括以下步骤：
S1：破碎球磨：将与实施例1相同的IZO废靶材破碎球磨得IZO粉，破碎球磨后的粉末过100目筛，或者直接使用实施例1中制得的粉末进行试验。
S2：排气：称取100gS1所得的IZO粉盛装在石墨舟中并置于还原-真空一体炉内的加热室中，装料厚度6cm，确保后续还原反应的充分性，通入氮气10分钟；
S3：低温还原：停止通入氮气，并通入氢气，加热室升温至530℃，恒温2小时。
S4：中温还原：持续通入氢气，加热室升温至870℃，恒温4小时；
S5：高温还原-蒸馏：停止通入氢气，并通入一氧化碳气体，加热室升温至1050℃后恒温3小时。
S6：真空蒸馏：将加热室降温至920℃后恒温，停止通入一氧化碳气体，通入氮气10分钟后停止通入氮气，开启真空系统，待炉内收集室的压力降到100Pa以下，控制加热室920℃恒温4小时。
S7：铸锭：关闭真空系统，通入氮气，关闭加热室的加热系统，加热室内自然降温至210℃后停止通入氮气；取出加热室中的铟液，刮去浮渣后浇铸铟锭。称取铟锭质量为68.63g，称取收集室内获得的锌粉质量为8.65g。
S8：酸溶置换：将S7所得浮渣取4g用硫酸溶液溶解浸出后得到含铟锌溶液，使用的硫酸溶液以17g水加7g浓度为98%的浓硫酸配制而成，浮渣的溶解浸出温度控制在80～90℃，浸出终点为浮渣全部溶解完成为止。测量浸出终点的pH值1.6，用S7收集室内得到的锌粉4g加入到浸出液中置换得海绵铟，保持置换温度为85～95℃，置换时间为4小时，将置换得到的海绵铟通过传统工艺熔铸制得粗铟，称取粗铟质量为2.95g；置换后的含锌溶液制备生产七水硫酸锌。分别对制得的铟锭、粗铟进行纯度检测；铟锭的纯度达到99.995%，粗铟的纯度为98.298%。
本实施例铟的回收量为98.7%，其中获得的铟锭占回收的铟金属总量的94.7%，获得的粗铟占铟金属总量的4.0%，锌的回收量96.3%。
本发明所有实施例均采用铟锭和粗铟纯度的检测方法和检测设备按YS/T 257《铟锭》和YS/T276（所有部分）《铟锭化学分析方法》 进行检测。
本发明已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本发明的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本发明的范围。相反地，在不脱离本发明的精神和范围内所作的更动与润饰，均属本发明的专利保护范围。

Claims (8)

1.一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法，其特征在于：包括以下步骤：
S1：破碎球磨：将IZO废靶材破碎球磨得IZO粉；
S2：排气：将S1所得的IZO粉盛装在器皿中并置于还原-真空一体炉内的加热室中，装料厚度3-6cm，通入氮气10分钟；
S3：低温还原：停止通入氮气，并通入氢气，加热室升温至480～530℃，恒温2～3小时；
S4：中温还原：持续通入氢气，加热室升温至850～870℃，恒温4～6小时；
S5：高温还原-蒸馏：停止通入氢气，并通入一氧化碳气体，加热室升温至1000-1050℃后恒温3～5小时；
S6：真空蒸馏：将加热室降温至900～920℃后恒温，停止通入一氧化碳气体，通入氮气10分钟后停止通入氮气，开启还原-真空一体炉的真空系统，待还原-真空一体炉的收集室内的压力降到100Pa以下，控制加热室900～920℃恒温4～5小时；
S7：铸锭：关闭真空系统，通入氮气，关闭加热室的加热系统，加热室内自然降温至200℃-210℃后停止通入氮气；取出加热室中的铟液，刮去浮渣后浇铸即可得纯度99.99%以上铟锭；收集室内得到锌粉；
S8：酸溶置换：将S7所得浮渣用硫酸溶液溶解后得到含铟锌溶液，用S7所得锌粉置换得海绵铟，再铸锭得粗铟；置换后的含锌溶液用于生产七水硫酸锌。
2.如权利要求1所述的一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法，其特征在于：S1中破碎球磨后的IZO粉过80-100目筛。
3.如权利要求1所述的一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法，其特征在于：S8中所述浮渣和所述硫酸溶液的质量比为1:2-6，浸出温度80～90℃，调节浸出终点pH值为1.0～2.0；置换温度为85～95℃。
4.如权利要求3所述的一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法，其特征在于：S8中所述浮渣和所述硫酸溶液的质量比为1:3。
5.如权利要求1所述的一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法，其特征在于：S3中，向加热室内的IZO粉中通入氢气，温度500～530℃，恒温2～3小时。
6.如权利要求1所述的一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法，其特征在于：S4中向加热室内的物料持续通入氢气，860-870℃，恒温4-5小时。
7.根据权利要求1所述一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法，其特征在于：S5中，向加热室内的物料通入一氧化碳气体，1030-1050℃后恒温3～4小时。
8.根据权利要求1所述一种从IZO废靶材中再生高纯度铟锭的方法，其特征在于：S6中加热室的温度保持在915-920℃，恒温4-5小时。
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