CN115502143A - 一种sic托盘的酸洗净装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种SIC托盘的酸洗净装置，包括清洗箱主体，所述清洗箱主体的顶面设置有箱盖，清洗箱主体的底面一侧设置有排液管，清洗箱主体的后端面设置有循环进液管，循环进液管与排液管之间设置有循环过滤系统，循环过滤系统包括循环泵；所述清洗箱主体内部面积大于SIC托盘的面积。本发明采用循环进液管与排液管之间设置循环过滤系统，通过循环泵将清洗箱主体内携带杂质的液体过滤后送回清洗箱主体内，通过设置稍大于SIC托盘的清洗箱主体，减少了清洗所用的空间，达到了节约药品及时间的效果，清洗效果好。
Description
技术领域
本发明涉及半导体加工领域的碳化硅(SIC)治具酸洗技术领域，具体涉及一种SIC托盘的酸洗净装置。
背景技术
碳化硅(SIC)托盘的酸洗通常是在加热的条件下，用氢氟酸HF对SIC托盘进行处理，主要目的是为了去除SIC托盘上的金属铁、氧化铁、镁、铝等杂质。SIC托盘在酸洗时，存在以下技术缺陷：现有技术的清洗设备对HF消耗大，清洗时间长，清洗效果差。
因此，如何设计一种节省HF的SIC托盘酸洗净装置，成为急需解决的问题。
发明内容
针对现有技术存在的问题，本发明提供一种SIC托盘的酸洗净装置，以解决上述至少一种技术问题。
本发明的技术方案是：一种SIC托盘的酸洗净装置，包括清洗箱主体，所述清洗箱主体的顶面设置有箱盖，清洗箱主体的底面一侧设置有排液管，清洗箱主体的后端面设置有循环进液管，循环进液管与排液管之间设置有循环过滤系统，循环过滤系统包括循环泵。所述清洗箱主体内部面积大于SIC托盘的面积。
本发明采用循环进液管与排液管之间设置循环过滤系统，通过循环泵将清洗箱主体内携带杂质的液体过滤后送回清洗箱主体内，通过设置稍大于SIC托盘的清洗箱主体，减少了清洗所用的空间，达到了节约药品及时间的效果，清洗效果好。
优选，所述箱盖的顶面分别设置有HF进液管、纯水进液管，HF进液管通过第一电磁阀与HF进液管路连接，纯水进液管通过第二电磁阀与纯水进液管路连接，清洗箱主体内设置有光纤水位计，光纤水位计、第一电磁阀、第二电磁阀均接入PLC控制器。
本发明采用光纤水位计，当清洗时的水位低于设定水位时，光纤水位计向PLC控制器发出信号，打开第一电磁阀、第二电磁阀，HF进液管路通过HF进液管注入HF液体，纯水进液管路通过纯水进液管注入纯水，直至到达设定水位，光纤水位计向PLC控制器发出信号，关闭第一电磁阀、第二电磁阀。
优选，所述循环过滤系统还包括第三电磁阀，第三电磁阀接入PLC控制器，第三电磁阀接在排液管上。
本发明采用第三电磁阀，当需要清洗时，通过PLC控制器控制第三电磁阀关闭循环过滤系统。
附图说明
图1为本发明的外部结构示意图。
图中：1.清洗箱主体；2.箱盖；3.把手；4.HF进液管；5.纯水进液管；6.观察窗；7.排液管。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步的说明。
参阅图1，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，仍均应落在本发明所揭示的技术内容能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。
实施例一、一种SIC托盘的酸洗净装置，参考图1，包括清洗箱主体1，所述清洗箱主体1的顶面设置有箱盖2，清洗箱主体1的底面一侧设置有排液管7，清洗箱主体1的后端面设置有循环进液管，循环进液管与排液管7之间设置有循环过滤系统，循环过滤系统包括循环泵；所述清洗箱主体1内部面积大于SIC托盘的面积。本发明采用循环进液管与排液管之间设置循环过滤系统，通过循环泵将清洗箱主体内携带杂质的液体过滤后送回清洗箱主体内，通过设置稍大于SIC托盘的清洗箱主体，减少了清洗所用的空间，达到了节约药品及时间的效果，清洗效果好。
实施例二、在实施例一的基础上，所述箱盖2的顶面中部设置有把手3。本发明采用把手，在清洗时，能方便的打开箱盖，省时省力。
实施例三、在实施例一的基础上，所述箱盖2的顶面分别设置有HF进液管4、纯水进液管5，HF进液管4通过第一电磁阀与HF进液管路连接，纯水进液管5通过第二电磁阀与纯水进液管路连接，清洗箱主体1内设置有光纤水位计，光纤水位计、第一电磁阀、第二电磁阀均接入PLC控制器。本发明采用光纤水位计，当清洗时的水位低于设定水位时，光纤水位计向PLC控制器发出信号，打开第一电磁阀、第二电磁阀，HF进液管路通过HF进液管注入HF液体，纯水进液管路通过纯水进液管注入纯水，直至到达设定水位，光纤水位计向PLC控制器发出信号，关闭第一电磁阀、第二电磁阀。
实施例四、在实施例三的基础上，所述HF进液管4、纯水进液管5上均设置有快速接头，HF进液管路通过快速接头与HF进液管4连接；纯水进液管路通过快速接头与纯水进液管5连接。本发明采用快速接头，能方便的连接HF进液管及纯水进液管。
实施例五、在实施例一的基础上，所述循环过滤系统还包括第三电磁阀，第三电磁阀接入PLC控制器，第三电磁阀接在排液管7上。本发明采用第三电磁阀，当需要清洗时，通过PLC控制器控制第三电磁阀关闭循环过滤系统。
实施例六、在实施例五的基础上，所述循环过滤系统还包括过滤桶，过滤桶内设置有若干个阵列布置的过滤芯，循环泵将从过滤芯过滤后的循环液送入循环进液管。本发明采用若干个阵列布置的过滤芯，将清洗箱主体内携带杂质的液体抽出清洗箱主体并过滤，通过循环泵将过滤后的液体送回清洗箱主体内。
实施例七、在实施例一的基础上，所述箱盖2的前端面上设置有观察窗6。本发明的观察窗采用透明材质，能清楚的观察清洗箱主体内的液面高度。
以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (8)
1.一种SIC托盘的酸洗净装置，包括清洗箱主体(1)，其特征在于：所述清洗箱主体(1)的顶面设置有箱盖(2)，清洗箱主体(1)的底面一侧设置有排液管(7)，清洗箱主体(1)的后端面设置有循环进液管，循环进液管与排液管(7)之间设置有循环过滤系统，循环过滤系统包括循环泵。
2.根据权利要求1所述的一种SIC托盘的酸洗净装置，其特征在于：所述清洗箱主体(1)内部面积大于SIC托盘的面积。
3.根据权利要求1所述的一种SIC托盘的酸洗净装置，其特征在于：所述箱盖(2)的顶面分别设置有HF进液管(4)、纯水进液管(5)，HF进液管(4)通过第一电磁阀与HF进液管路连接，纯水进液管(5)通过第二电磁阀与纯水进液管路连接，清洗箱主体(1)内设置有光纤水位计，光纤水位计、第一电磁阀、第二电磁阀均接入PLC控制器。
4.根据权利要求3所述的一种SIC托盘的酸洗净装置，其特征在于：所述HF进液管(4)、纯水进液管(5)上均设置有快速接头，HF进液管路通过快速接头与HF进液管(4)连接；纯水进液管路通过快速接头与纯水进液管(5)连接。
5.根据权利要求1所述的一种SIC托盘的酸洗净装置，其特征在于：所述循环过滤系统还包括第三电磁阀，第三电磁阀接入PLC控制器，第三电磁阀接在排液管(7)上。
6.根据权利要求5所述的一种SIC托盘的酸洗净装置，其特征在于：所述循环过滤系统还包括过滤桶，过滤桶内设置有若干个阵列布置的过滤芯，循环泵将从过滤芯过滤后的循环液送入循环进液管。
7.根据权利要求1所述的一种SIC托盘的酸洗净装置，其特征在于：所述箱盖(2)的前端面上设置有观察窗(6)。
8.根据权利要求1所述的一种SIC托盘的酸洗净装置，其特征在于：所述箱盖(2)的顶面中部设置有把手(3)。
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