CN115479944A - 检测设备和检测方法 - Google Patents

Abstract

本申请实施方式提供一种的检测设备和检测方法。检测设备包括光发射器、第一分光组件、第二分光组件和传感器。光发射器用于发射参考光和检测光；第一分光组件用于将参考光分为第一状态的第一参考光和第二状态的第二参考光，第一状态和第二状态不同；第二分光组件用于将检测光分为第一状态的第一检测光和第二状态的第二检测光，第一检测光和第二检测光入射待测件的角度不同；传感器用于接收第一参考光和第二参考光，并接收被待测件反射的第一检测光和第二检测光，以生成检测图像。通过传感器生成的检测图像，可准确地区分不同角度的检测光的图像，进而更为完整地获取待测件的信息，检测效果较好。

Description

检测设备和检测方法

技术领域

本申请涉及检测技术领域，更具体而言，涉及一种检测设备和检测方法。

背景技术

目前，在进行工件的检测时，通常使用照明光源照射待测件，以使得图像传感器能够获取较为清晰的待测件图像，以对待测件进行检测，然而，对于表面具有立体结构的待测件而言，由于存在光源照射的死角，导致待测件的信息采集不全，影响待测件的检测效果。

发明内容

本申请实施方式提供一种检测设备和检测方法。

本申请实施方式的检测设备包括光发射器、第一分光组件、第二分光组件和传感器。所述光发射器用于发射参考光和检测光；所述第一分光组件用于将所述参考光分为第一状态的第一参考光和第二状态的第二参考光，所述第一状态和所述第二状态不同；所述第二分光组件用于将所述检测光分为所述第一状态的第一检测光和所述第二状态的第二检测光，所述第一检测光和所述第二检测光入射待测件的角度不同；所述传感器用于接收所述第一参考光和所述第二参考光，并接收被所述待测件反射的所述第一检测光和所述第二检测光，以生成检测图像。

本申请实施方式的检测方法发射参考光和检测光；将所述参考光分为第一状态的第一参考光和第二状态的第二参考光，所述第一状态和所述第二状态不同；将所述检测光分为所述第一状态的第一检测光和所述第二状态的第二检测光，所述第一检测光和所述第二检测光入射待测件的角度不同；接收所述第一参考光和所述第二参考光，并接收被所述待测件反射的所述第一检测光和所述第二检测光，以生成检测图像。

本申请实施方式的检测设备中，通过光发射器发射参考光和检测光，然后通过第一分光组件将参考光分为第一状态和第二状态的参考光，通过第二分光组件将检测光分为照射待测件的第一状态和第二状态的检测光，且第一状态和第二状态的检测光入射待测件的角度不同，以分别对待测件进行不同角度的照射，减少光线照射的死角，且入射到传感器的相同状态的参考光和检测光会形成干涉条纹，而不同状态的参考光和检测光形成的干涉条纹不同，从而能够从传感器生成的检测图像中，准确地区分不同角度的检测光的图像，进而更为完整地获取待测件的信息，检测效果较好。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施方式的检测设备的结构示意图；

图2是本申请某些实施方式的检测设备的结构示意图；

图3是本申请某些实施方式的检测图像的平面示意图；

图4是本申请某些实施方式的明场图像的平面示意图；

图5是本申请某些实施方式的暗场图像的平面示意图；及

图6是本申请某些实施方式的检测方法的流程示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本申请的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。另外，下面结合附图描述的本申请的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的限制。

通常采用明场成像的方式进行工件的缺陷的检测，或者采用暗场成像的方式进行工件的缺陷的检测，明场成像能够在光学系统的分辨范围提供良好对比度的图像，而暗场成像能提供小于光学系统的分辨能力的微小缺陷的图像。在进行检测时，一般会先进行明场成像，再进行暗场成像，从而通过明场图像和暗场图像检测待测件的缺陷，可提升检测效果。然而，明场成像系统和暗场成像系统的光源亮度、成像角度等差异较大，若同时进行明场成像和暗场成像，则获取的明场图像和暗场图像容易混杂在一起难以区分。

请参阅图1，本申请实施方式的检测设备100包括光发射器10、第一分光组件20、第二分光组件30和传感器40。光发射器10用于发射参考光11和检测光12；第一分光组件20用于将参考光11分为第一状态的第一参考光13和第二状态的第二参考光14，第一状态和第二状态不同；第二分光组件30用于将检测光12分为第一状态的第一检测光15和第二状态的第二检测光16，第一检测光15和第二检测光16入射待测件200的角度不同；传感器40用于接收第一参考光13和第二参考光14，并接收被待测件200反射的第一检测光15和第二检测光16，以生成检测图像。

本申请实施方式的检测设备100中，通过光发射器10发射参考光11和检测光12，然后通过第一分光组件20将参考光11分为第一状态和第二状态的参考光11，通过第二分光组件30将检测光12分为照射待测件200的第一状态和第二状态的检测光12，且第一状态和第二状态的检测光12入射待测件200的角度不同，以分别对待测件200进行不同角度的照射，减少光线照射的死角，且入射到传感器40的相同状态的参考光11和检测光12会形成干涉条纹，而不同状态的参考光11和检测光12形成的干涉条纹不同，从而能够从传感器40生成的检测图像中，准确地区分不同角度的检测光12的图像(如从检测图像中，区分明场图像和暗场图像)，进而更为完整地获取待测件200的信息，检测效果较好。

请继续参阅图1，检测设备100包括光发射器10、第一分光组件20、第二分光组件30、传感器40和第一分光器50。第一分光器50可以是棱镜，第一分光器50可将光发射器10发出的光线分为参考光11和检测光12，检测光12的强度和参考光11的强度的比值为1:1，即检测光12的强度和参考光11的强度相同，以保证后续检测光12和参考光11入射传感器40后的干涉效果。在其他实施方式中，光发射器10为多个，如两个，两个光发射器10分别发射参考光11和检测光12。

光发射器10可以是光纤耦合光线光源(fiber laser)，光纤耦合光线光源发射的光线受到外界因素的影响很小，能够实现高亮度的光线输出，对待测件200的照明效果较好。

在某些实施方式中，检测设备100还包括第一透镜61，第一透镜61设置在光发射器10的出射光路上，光发射器10发出的光线首先经过第一透镜61，第一透镜61会将光线进行扩束，并形成平行光，以提升光线的照射范围。

光发射器10发出的光线被第一分光器50分为参考光11和检测光12后，参考光11和检测光12以不同角度出射，参考光11和检测光12沿着不同的光路进入传感器40，参考光11的光路不经过待测件200，仅用于与检测光12形成干涉条纹，检测光12的光路经过待测件200，以对待测件200进行照射，被待测件200反射的检测光12携带待测件200的信息进入传感器40。

第一分光组件20位于参考光11的光路上，第一分光组件20包括第一偏振分光器21、第一反射器22、第二反射器23和第三反射器24，第一分光组件20用于将参考光11分为第一状态的参考光11(即第一参考光13)和第二状态的参考光11(即第二参考光14)，以分别进入传感器40。

参考光11首先经过第一偏振分光器21，第一偏振分光器21为偏振分光棱镜，可将参考光11分为水平偏振状态和垂直偏振状态的偏振光，其中，第一状态的参考光11即为第一偏振状态(如水平偏振状态)的第一参考光13，第二状态的参考光11即为第二偏振状态(如垂直偏振状态)的第二参考光14。

在其他实施方式中，第一偏振分光器21可使用滤波器替代，滤波器可将入射的参考光11分为不同波长的参考光11，如第一状态的参考光11为第一波长的参考光11，第二状态的参考光11为第二波长的参考光11，第一波长和第二波长不同，如参考光11为白光，则滤波器仅可滤过红光和蓝光，即第一波长的参考光11为红光，第二状态的参考光11为蓝光。

第一参考光13和第二参考光14以不同的角度出射，为了使得第一参考光13和第二参考光14均射入传感器40，需要对第一参考光13和第二参考光14的角度进行调整。

其中，第一反射器22反射第一参考光13到第三反射器24，然后再由第三反射器24反射向传感器40，第二反射器23反射第二参考光14到第三反射器24，然后再由第三反射器24反射向传感器40，第一反射器22和第三反射器24配合，以使得第一参考光13覆盖(如部分覆盖或完全覆盖)传感器40的视场范围，第二反射器23和第三反射器24配合，以使得第二参考光14覆盖(如部分覆盖或完全覆盖)传感器40的视场范围，可充分利用参考光11。

第一反射器22可以是反射镜或棱镜，反射镜如平面反射镜，能够完全反射第一参考光13，棱镜则能够部分反射第一参考光13。第二反射器23同样可以是反射镜或棱镜，反射镜如平面反射镜，能够完全反射第二参考光14，棱镜则能够部分反射第二参考光14。第三反射器24可以是棱镜，第三反射器24可设置在传感器40的光轴O上，棱镜不仅能够对第一参考光13和第二参考光14机进行反射，还能够透射光线，使得第三反射器24即使设置在传感器40的光轴O上，也不会影响检测光12入射传感器40；第三反射器24还可以是反射镜，第三反射器24不设置在光轴O上，以防止第三反射器24阻挡检测光12进入传感器40。

第一分光组件20还包括第一衰减器25，第一衰减器25可以是可调衰减片，可调节入射第一衰减器25的光线和从第一衰减器25出射的光线的比例。第一衰减器25设置在第一反射器22和第一偏振分光器21之间，第一衰减器25能够调节第一参考光13的强度。例如，为了使得第一参考光13能够与第一检测光15干涉效果更好，需要将第一参考光13和第一检测光15的强度调整的基本相同，或者两者的强度的差值在预设范围内。

第二分光组件30包括第二偏振分光器31、第四反射器32和第五反射器33，第二分光组件30用于将检测光12分为第一状态的检测光12(即第一检测光15)和第二状态的检测光12(第二检测光)，以分别进入传感器40。

检测光12首先经过第二偏振分光器31，第二偏振分光器31与第一偏振分光器21类似，为偏振分光棱镜，可将检测光12分为水平偏振状态和垂直偏振状态的偏振光，其中，第一状态的检测光12即为第一偏振状态(如水平偏振状态)的第一检测光15，第二状态的检测光12即为第二偏振状态(如垂直偏振状态)的第二检测光16。在其他实施方式中，第二偏振分光器31可使用滤波器替代，滤波器可将入射的检测光12分为不同波长的参考光11，如第一状态的参考光11为第一波长的参考光11，第二状态的参考光11为第二波长的参考光11，第一波长和第二波长不同，如参考光11为白光，则滤波器仅可滤过绿光和蓝光，即第一波长的参考光11为绿光，第二状态的参考光11为蓝光。

第一检测光15和第二检测光16以不同的角度出射，为了使得第一检测光15和第二参考光14均照射待测件200，需要对第一参考光13和第二参考光14的角度进行调整。

其中，第四反射器32反射第一检测光15到待测件200，第五反射器33反射第二检测光16待测件200，第一反射器22和第三反射器24配合，以使得第一参考光13基本都入射待测件200，从而充分利用检测光12进行照明。

第四反射器32可以是反射镜或棱镜，反射镜如平面反射镜，能够完全反射第一检测光15，棱镜则能够部分反射第一检测光15。第五反射器33同样可以是反射镜或棱镜，反射镜如平面反射镜，能够完全反射第二检测光16，棱镜则能够部分反射第二检测光16。

第一检测光15可进行暗场照明，第四反射器32可将第一检测光15倾斜入射待测件200，以实现暗场照明。

为了实现暗场照明，第二分光组件30还包括第二衰减器34，第二衰减器34可以是可调衰减片，可调节入射第二衰减器34的光线和从第二衰减器34出射的光线的比例。可以理解，第二偏振分光器31将检测光12分为第一检测光15和第二检测光16的强度基本一致，而暗场照明的光线强度较低，因此，需要将第一检测光15的强度降低，以使得第一检测光15的强度小于第二检测光16的强度。第二衰减器34设置在第四反射器32和第二偏振分光器31之间，第二衰减器34能够调节第一检测光15的强度。例如，将从第二衰减器34出射的光线和入射第二衰减器34的光线的比例调节为小于1，如1/2、1/3、1/5、1/9等，从而调节第一检测光15的强度至适合暗场照明的强度，同样的，可将从第一衰减器25出射的光线和入射第一衰减器25的光线的比例调节到与从第二衰减器34出射的光线和入射第二衰减器34的光线的比例相同。

第二检测光16可进行明场照明，此时为了使得第二检测光16垂直入射待测件200，第五反射器33设置在待测件200的法线(法线穿过待测件200的中心且垂直待测件200)，第五反射器33为棱镜，在实现第二检测光16的反射的同时，使得待测件200反射的光线能够透过棱镜，入射到同样设置在该法线上的传感器40上。

请参阅图2，在其他实施方式中，第二检测光16同样可进行暗场照明，第五反射器33为反射镜，以完全反射第二检测光16至待测件200，第五反射器33未设置在待测件200的法线，以防止第五反射器33遮挡待测件200反射的光线进入传感器40。第五反射器33反射的第二检测光16倾斜入射待测件200，且第一检测光15和第二检测光16入射待测件200的角度不同，从而实现不同角度的暗场照明，以获取更多的待测件200信息。

请再次参阅图1，可以理解，可以是第一检测光15进行明场照明，而第二检测光16进行暗场照明，或者第一检测光15进行暗场照明，第二检测光16进行明场照明，或者第一检测光15和第二检测光16实现不同角度的暗场照明，其中明场照明时，检测光12要垂直入射待测件200，其对应的反射器也需为棱镜，而暗场照明时，检测光12需倾斜入射待测件200，故其反射器为反射镜或者棱镜。本实施方式中，第一检测光15进行暗场照明，第二检测光16进行明场照明。

请再次参阅图1，第一检测光15倾斜入射待测件200，第二检测光16垂直入射待测件200，为了实现待测件200同时获取明场图像和暗场图像，需要调节第四反射器32的角度，以使得第一检测光15和第二检测光16在待测件200的照射范围至少部分重叠，从而能够对重叠部分对应的待测件200部分进行明场检测和暗场检测。重叠部分还可覆盖整个待测件200，通过一次照明即可实现整个待测件200的检测；或者，重叠部分可部分覆盖待测件200，可通过运动平台70移动待测件200，以使得重叠部分扫过整个待测件200，从而实现整个待测件200的检测。

在第二检测光16和第四反射器32之间，检测设备100还设置第二透镜62，第二透镜62用于将第二检测光16会聚到第四反射器32，第四反射器32反射的发散的光线则被第四反射器32和待测件200之间设置的第三透镜63再次会聚，使得第二检测光16平行且垂直入射待测件200，从而提升照明效果，以提高成像效果。

待测件200反射的光线(包括第一检测光15和第二检测光16)经过第三透镜63会聚后，透过第四反射器32，在发散地射向设置在传感器40的光轴O上的第四透镜64上，经过第四透镜64的会聚后，平行出射，最后再透过第三反射器24后入射到传感器40。

请参阅图3至图5，入射到传感器40的第一检测光15和第一参考光13干涉，在检测图像P形成第一干涉条纹T1，而第二检测光16和第二参考光14干涉形成第二干涉条纹T2，由于第一检测光15和第一参考光13为第一状态，而第二检测光16和第二参考光14为与第一状态不同的第二状态，使得第一干涉条纹T1和第二干涉条纹T2不同，如两者条纹间的间距不同、两者条纹的亮度不同、两者条纹的颜色不同等，从而从传感器40生成的检测图像P中，分离出明场图像P1(如图4)和暗场图像P2(如图5)，实现对待测件200的明场检测和暗场检测，提升对待测件200的检测效果。

传感器40包括时间延迟积分线阵相机，时间延迟积分线阵相机的长轴垂直第一干涉条纹T1和第二干涉条纹T2。时间延迟积分线阵相机仅有一行像素，其长轴方向为像素的排列方向。

通过运动平台70沿垂直长轴方向移动待测件200，使得传感器40每次拍摄均可拍摄得到检测图像P的一行，直至获取到整个待测件200的检测图像P，第一干涉条纹T1和第二干涉条纹T2沿检测图像P的列的方向排列，使得传感器40每次拍摄得到图像信息均包含所有第一干涉条纹T1和第二干涉条纹T2的一部分，从而有助于实现第一干涉条纹T1和第二干涉条纹T2的快速区分。在其他实施方式中，传感器40还可以为面阵相机，面阵相机的像素包括多行，可一次拍摄整个检测图像P，对于时间延迟积分线阵相机而言，由于仅有一行像素，第一参考光13和第二参考光14需均位于传感器40的光轴O和长轴所在的平面，才能够使得时间延迟积分线阵相机接收到第一参考光13和第二参考光14，而面阵相机可不限制参考光11的入射角度，第一参考光13和第二参考光14可不需均位于传感器40的光轴O和长轴所在的平面也能够被面阵相机接收，只需使得第一参考光13与传感器40的光轴O的夹角、和第二参考光14与传感器40的光轴O的夹角不同即可，以保证第一参考光13和第一检测光15的干涉角度，与第二参考光14和第二检测光16的干涉角度不同，从而有利于第一干涉条纹T1和第二干涉条纹T2的区分。

在某些实施方式中，第一分光组件20还可将参考光11分为第一状态的第一参考光13、第二状态的第二参考光14和第三状态的第三参考光11，第一状态、第二状态和第三状态互不相同；第二分光组件30还用于将检测光12分为第一状态的第一检测光15、第二状态的第二检测光16和第三状态的第三检测光12，第一检测光15、第二检测光16和第三检测光12入射待测件200的角度不同。例如，第一检测光15实现明场照明，第二检测光16和第三检测光12则实现不同角度的暗场照明，如此，可实现更多角度的照明，获取的待测件200的信息更为完整。

请参阅图1和图6，在某些实施方式中，检测方法还包括：

011：发射参考光11和检测光12；

012：将参考光11分为第一状态的第一参考光13和第二状态的第二参考光14，第一状态和第二状态不同；

013：将检测光12分为第一状态的第一检测光15和第二状态的第二检测光16；

014：接收第一参考光13和第二参考光14，并接收被待测件200反射的第一检测光15和第二检测光16，以生成检测图像P。

具体地，请结合图3至图5，在进行待测件200的检测时，首先由光发射器10发射参考光11和检测光12，然后第一分光组件20将参考光11分为第一状态的第一参考光13和第二状态的第二参考光14，并使得第一参考光13和第二参考光14入射到传感器40，第二分光组件30将检测光12分为第一状态的第一检测光15和第二状态的第二检测光16，并使得第一检测光15和第二检测光16入射到传感器40；然后传感器40接收第一参考光13和第二参考光14，并接收被待测件200反射的第一检测光15和第二检测光16，以生成检测图像P。检测图像P中，第一参考光13和第一检测光15干涉形成第一干涉条纹T1，第二参考光14和第二检测光16干涉形成第二干涉条纹T2，通过第一干涉条纹T1和第二干涉条纹T2的差异，将检测图像P中的第一干涉条纹T1和第二干涉条纹T2分离，从而生成两个不同角度照射待测件200时的两个待测件200图像，通过对两个待测件200图像的检测，实现对待测件200的准确检测。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述意指结合实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施方式或示例以及不同实施方式或示例的特征进行结合和组合。

流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本申请的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本申请的实施方式所属技术领域的技术人员所理解。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施方式，可以理解的是，上述实施方式是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施方式进行变化、修改、替换和变型。

Claims (15)

1.一种检测设备，其特征在于，包括：

光发射器，用于发射参考光和检测光；

第一分光组件，用于将所述参考光分为第一状态的第一参考光和第二状态的第二参考光，所述第一状态和所述第二状态不同；

第二分光组件，用于将所述检测光分为所述第一状态的第一检测光和所述第二状态的第二检测光，所述第一检测光和所述第二检测光入射待测件的角度不同；

传感器，用于接收所述第一参考光和所述第二参考光，并接收被所述待测件反射的所述第一检测光和所述第二检测光，以生成检测图像。

2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括第一分光器，所述第一分光器用于将光发射器发出的激光分为所述参考光和所述检测光；或者，所述光发射器为两个，两个所述光发射分别发射所述参考光和所述检测光。

3.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一状态包括第一偏振态，所述第二状态包括第二偏振态，所述第一分光组件包括第一偏振分光器、第一反射器、第二反射器和第三反射器，所述参考光进入所述第一偏振分光器后，被分为所述第一偏振态的所述第一参考光和所述第二偏振态的所述第二参考光，所述第一反射器和第三反射器配合以调节所述第一参考光入射所述传感器的角度；所述第二反射器和第三反射器配合以调节所述第二参考光入射所述传感器的角度。

4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述第一分光组件还包括第一衰减器，所述第一衰减器设置在第一反射器和所述第一偏振分光器之间，以调节所述第一参考光的强度。

5.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一状态包括第一偏振态，所述第二状态包括第二偏振态，所述第二分光组件包括第二偏振分光器、第四反射器和第五反射器，所述检测光进入所述第二偏振分光器后，被分为所述第一偏振态的所述第一检测光和所述第二偏振态的所述第二检测光，所述第一检测光被所述第四反射器反射后，照射所述待测件，所述第二检测光被所述第五反射器反射后，照射所述待测件。

6.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，被所述第四反射器反射的所述第一检测光倾斜或垂直入射所述待测件，被所述第五反射器反射的所述第二检测光倾斜入射所述待测件。

7.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述第二分光组件还包括第二衰减器，所述第二衰减器设置在所述第二偏振分光器和所述第四反射器之间，以调节所述第一检测光的强度。

8.根据权利要求7所述的检测设备，其特征在于，所述第一检测光的强度小于所述第二检测光的强度。

9.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述第一检测光和所述第二检测光在所述待测件的照射范围重叠。

10.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测光的强度和所述参考光的强度的比值为1:1。

11.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述传感器包括时间延迟积分线阵相机，所述时间延迟积分线阵相机的长轴垂直所述第一参考光和所述第一检测光在所述检测图像中形成的第一干涉条纹、及所述第二参考光和第二检测光在所述检测图像中形成的第二干涉条纹。

12.根据权利要求11所述的检测设备，其特征在于，所述待测件设置在运动平台，所述运动平台的运动方向垂直所述长轴方向。

13.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一状态包括第一波长，所述第二状态包括第二波长，所述第一波长和所述第二波长不相同。

14.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一分光组件还用于将所述参考光分为所述第一参考光、所述第二参考光和第三状态的第三参考光，所述第一状态、所述第二状态和所述第三状态互不相同；所述第二分光组件还用于将所述检测光分为所述第一检测光、所述第二检测光和所述第三状态的第三检测光，所述第一检测光、所述第二检测光和所述第三检测光入射待测件的角度不同。

15.一种检测方法，其特征在于，包括：

发射参考光和检测光；

将所述参考光分为第一状态的第一参考光和第二状态的第二参考光，所述第一状态和所述第二状态不同；

将所述检测光分为所述第一状态的第一检测光和所述第二状态的第二检测光；

接收所述第一参考光和所述第二参考光，并接收被待测件反射的所述第一检测光和所述第二检测光，以生成检测图像。

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