CN115469473A - 测量装置校正方法和测量装置校正装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种测量装置校正方法和测量装置校正装置；该测量装置校正方法通过获取测量装置对应的初始数据，并根据初始数据确定测量装置对应的实际图像信息，然后根据实际图像信息以及测量装置对应的图像尺寸，确定初始边界信息，则可以通过初始数据确定测量装置在测量时的边界，然后比对初始边界信息和理论边界信息，并在初始边界信息与理论边界信息不同时，调整初始边界信息得到校正边界信息，并采用校正边界信息校正测量装置，由于该过程通过数据的对比、图像的对比以及数据的校正实现，无需在测量装置上进行操作，因此无需停止测量装置，提高了测量效率，且无需人员操作，提高了误测量校正的准确性。

Description

测量装置校正方法和测量装置校正装置

技术领域

本申请涉及显示技术领域，尤其是涉及一种测量装置校正方法和测量装置校正装置。

背景技术

在液晶显示面板的制备过程中，为了提高液晶显示面板的理论，会采用CDTP(critical dimension measurement total pitch measurement，长尺寸测量机)测量机对曝光后图形的关键尺寸和曝光位置精准度进行测量。但在CDTP测量机的测量过程中，往往会发生误测量，需要将测量的基板搬入CDTP测量机，将CDTP测量机停止后进行修正。这会导致测量过程中耗时较长，且在没有相应型号的基板时，无法及时进行数据设定或者误测量的修正，导致测量数据不准确或者没有测量数据，影响液晶显示面板的良率。

所以，现有CDTP测量机存在需要停止设备进行误测量的修正所导致的测量效率较低的技术问题。

发明内容

本申请实施例提供一种测量装置校正方法和测量装置校正装置，用以缓解现有CDTP测量机存在需要停止设备进行误测量的修正所导致的测量效率较低的技术问题。

本申请实施例提供一种测量装置校正方法，该测量装置校正方法包括：

获取测量装置对应的初始数据；

根据所述初始数据，确定所述测量装置对应的实际测量数据，并根据所述实际测量数据确定实际图像信息；

根据实际图像信息以及所述测量装置对应的图像尺寸，确定所述测量装置对应的初始边界信息；

比对初始边界信息与待测基板的理论边界信息，并在所述初始边界信息与所述理论边界信息不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息；

根据所述校正边界信息，校正所述测量装置。

在一些实施例中，所述获取测量装置对应的初始数据的步骤，包括：

获取测量装置对应的数据载入方式；

根据所述数据载入方式，确定所述测量装置对应的载入文件；

解析所述载入文件确定所述测量装置对应的初始数据。

在一些实施例中，所述解析所述载入文件确定所述测量装置对应的初始数据的步骤，包括：

解析所述载入文件，确定所述测量装置中各待测项目的各待测参数；

根据各所述待测项目的名称，将各待测参数输出至表格内，得到所述测量装置对应的初始数据。

在一些实施例中，所述初始数据包括测量方框的第一点的坐标、第二点的坐标以及角度，所述根据所述初始数据，确定所述测量装置对应的实际测量数据，并根据所述实际测量数据确定实际图像信息的步骤，包括：

根据所述测量方框的第一点的坐标、第二点的坐标，确定所述测量方框的第三点坐标和第四点坐标；

根据所述测量方框的第一点的坐标、第二点的坐标、第三点的坐标、第四点的坐标和角度，确定所述测量装置对应的实际测量数据；

根据所述实际测量数据确定实际图像信息。

在一些实施例中，所述根据实际图像信息以及所述测量装置对应的图像尺寸，确定所述测量装置对应的初始边界信息的步骤，包括：

根据所述测量装置对应的图像尺寸，对所述实际图像信息进行标注；

根据所述实际图像信息的标注信息，确定所述测量装置对应的初始边界信息。

在一些实施例中，所述比对初始边界信息与待测基板的理论边界信息，并在所述初始边界信息与所述理论边界信息不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息的步骤，包括：

在可视化图表中展示所述初始边界信息对应的图像和所述待测基板的理论边界信息的图像，并查看所述初始边界信息对应的图像与所述待测基板的理论边界信息对应的图像是否相同；

在所述初始边界信息对应的图像与所述待测基板的理论边界信息对应的图像不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息。

在一些实施例中，所述在所述初始边界信息对应的图像与所述待测基板的理论边界信息对应的图像不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息的步骤，包括：

在所述初始边界信息对应的图像与所述待测基板的理论边界信息对应的图像不同时，确定待测基板的理论边界信息对应的图像的标注信息；

根据所述待测基板的理论边界信息对应的图像的标注信息，调整所述初始边界信息得到校正边界信息。

在一些实施例中，所述比对初始边界信息与待测基板的理论边界信息，并在所述初始边界信息与所述理论边界信息不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息的步骤，还包括：

获取新增项目的新增边界信息；

比对新增项目的新增边界信息与待测基板的理论边界信息，并在所述新增边界信息与所述理论边界信息不同时，调整所述新增边界信息得到校正边界信息。

在一些实施例中，所述根据所述校正边界信息，校正所述测量装置的步骤，包括：

获取常规参数信息；

根据所述校正边界信息以及所述常规参数信息，校正所述测量装置。

同时，本申请实施例提供一种测量装置校正装置，该测量装置校正装置包括：

获取模块，用于获取测量装置对应的初始数据；

第一确定模块，根据所述初始数据，确定所述测量装置对应的实际测量数据，并根据所述实际测量数据确定实际图像信息；

第二确定模块，用于根据实际图像信息以及所述测量装置对应的图像尺寸，确定所述测量装置对应的初始边界信息；

调整模块，用于比对初始边界信息与待测基板的理论边界信息，并在所述初始边界信息与所述理论边界信息不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息；

校正模块，用于根据所述校正边界信息，校正所述测量装置。

有益效果：本申请提供一种测量装置校正方法和测量装置校正装置；该测量装置校正方法通过获取测量装置对应的初始数据，然后根据初始数据，确定测量装置对应的实际测量数据，并根据实际测量数据确定实际图像信息，根据实际图像信息以及测量装置对应的图像尺寸，确定测量装置对应的初始边界信息，然后比对初始边界信息与待测基板的理论边界信息，并在初始边界信息与理论边界信息不同时，调整初始边界信息得到校正边界信息，并根据校正边界信息，校正测量装置。本申请通过获取测量装置对应的初始数据，并根据初始数据确定测量装置对应的实际图像信息，然后根据实际图像信息以及测量装置对应的图像尺寸，确定初始边界信息，则可以通过初始数据确定测量装置在测量时的边界，然后比对初始边界信息和理论边界信息，并在初始边界信息与理论边界信息不同时，调整初始边界信息得到校正边界信息，并采用校正边界信息校正测量装置，由于该过程通过数据的对比、图像的对比以及数据的校正实现，无需在测量装置上进行操作，因此无需停止测量装置，提高了测量效率，且无需人员操作，提高了误测量校正的准确性。

附图说明

下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1为本申请实施例提供的测量装置校正方法的流程图。

图2为本申请实施例提供的测量装置校正方法对应的第一种界面图。

图3为本申请实施例提供的测量装置校正方法对应的实际测量数据的原理图。

图4为本申请实施例提供的测量装置校正方法对应的第二种界面图。

图5为本申请实施例提供的测量装置校正装置的示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

本申请实施例针对现有CDTP测量机存在需要停止设备进行误测量的修正所导致的测量效率较低的技术问题，提供一种测量装置校正方法和测量装置校正装置，用以缓解上述技术问题。

如图1所示，本申请实施例提供一种测量装置校正方法，该测量装置校正方法包括：

S1，获取测量装置对应的初始数据。

具体的，测量装置是指对待测基板的参数进行测量的装置，测量装置包括CDTP测量机。

具体的，初始数据是指用于确定测量装置的采样边界和方向的数据，在测量装置对待测基板的参数进行测量时，会通过初始数据确定采样的边界和方向，从而对待测基板的参数进行测量。

在一种实施例中，所述获取测量装置对应的初始数据的步骤，包括：获取测量装置对应的数据载入方式；根据所述数据载入方式，确定所述测量装置对应的载入文件；解析所述载入文件确定所述测量装置对应的初始数据。通过获取测量装置对应的数据载入方式，则可以根据数据载入方式确定载入文件，并解析得到载入文件中的初始数据，则可以根据初始数据确定测量装置对应的边界和方向，对待测基板进行测量。

具体的，在测量装置的数据载入时，根据需求的不同，会采用不同的数据载入方式，因此，可以预先确定数据载入方式，并根据数据载入方式确定初始数据。

具体的，例如数据载入方式包括T Mode和G Mode，采用T Mode进行数据载入可以使文件较为简洁，对文件的查看、搜索、修改、更正过程较为方便，采用G Mode进行数据载入可以更加准确的确定待测基板的参数。

具体的，数据载入方式为T Mode时，载入文件包括Mac文件和Data文件，其中，Mac文件包括测量光亮、对位方式、图形调用和使用的Data文件链接；Data文件包括测量项目、测量坐标、测量参数和登录模式，然后解析载入文件得到初始数据。

具体的，数据载入方式为G Mode时，载入文件包括Mb文件和Gmac文件，Mb文件包括测量坐标、头部走向、Gmac的链接路径，Gmac文件包括测量光亮、对位方式、登录模式、测量项目和参数，然后解析载入文件得到初始数据。

在一种实施例中，所述解析所述载入文件确定所述测量装置对应的初始数据的步骤，包括：解析所述载入文件，确定所述测量装置中各待测项目的各待测参数；根据各所述待测项目的名称，将各待测参数输出至表格内，得到所述测量装置对应的初始数据。通过解析载入文件，可以得到各待测项目的各待测参数，则可以根据各待测参数的名称和数据得到初始数据，以进行测量装置的测量过程的校正。

具体的，从图2中可以看到，在选取的待测基板的图像26中，会通过第一测量方框261和第二测量方框262分别测量线宽L1和线距L2，则初始坐标为每个测量方框的两个点的坐标和角度，可以将各测量方框的数据记录在表格内。

具体的，如图2所示，从界面2上通过第一按钮28确定测量装置后，通过第二按钮23确定载入文件后，可以根据载入文件中各个待测项目的待测参数，按照各待测项目的名称输入到表格内。如图2所示，以标号211表示该栏为项目名称，以标号212表示该栏为x坐标，以标号213表示该栏为y坐标，以标号214表示该栏为两个点的x方向的距离，以标号215表示该栏为两个点的y方向的距离，以标号216表示角度；对于各待测项目，包括两列，第一列从左至右分别为“两个点的x方向的距离”、“两个点的y方向的距离”、“角度”，第二列为具体的数值，从而可以得到初始数据，且各测量方框可以采用不同颜色的线条表示，以便于查看，由于本申请以黑白示出，因此未示出不同测量方框的颜色。

S2，根据所述初始数据，确定所述测量装置对应的实际测量数据，并根据所述实际测量数据确定实际图像信息。

具体的，由于初始数据仅包括部分数据，因此需要确定实际测量数据，并根据实际测量数据得到实际图像信息，从而可以查看测量是否准确，以及在测量出错时进行修正。

在一种实施例中，所述初始数据包括测量方框的第一点的坐标、第二点的坐标以及角度，所述根据所述初始数据，确定所述测量装置对应的实际测量数据，并根据所述实际测量数据确定实际图像信息的步骤，包括：根据所述测量方框的第一点的坐标、第二点的坐标，确定所述测量方框的第三点坐标和第四点坐标；根据所述测量方框的第一点的坐标、第二点的坐标、第三点的坐标、第四点的坐标和角度，确定所述测量装置对应的实际测量数据；根据所述实际测量数据确定实际图像信息。通过确定测量方框的各个点的坐标，并确定测量方框的角度，则可以根据各个点的坐标和角度确定实际测量数据，并可在界面上确定实际图像信息，从而可以查看测量是否准确，以及在测量出错时进行修正。

具体的，如图3所示，以第一测量方框261为例，初始数据中包括第一测量方框261的A点坐标(x1，y1)、B点坐标(x3，y3)和角度o，则可以根据A点坐标、B点坐标和角度o确定C点坐标和D点坐标。具体的，a＝((x3-x1)-(y3-y1)/tan(radians(o)))*sin(radians(o))*sin(radians(o))，b＝((x3-x1)-(y3-y1)/tan(radians(o)))*sin(radians(o))*cos(radians(o))，C点横坐标x2＝x1-a，C点纵坐标y2＝y1+b，D点横坐标x4＝x3+a，D点纵坐标y4＝y3-b；或者C点横坐标x2＝x1-a，C点纵坐标y2＝y1-b，D点横坐标x4＝x3+a，D点纵坐标y4＝y3+b；从而得到了实际测量数据，然后根据实际测量数据确定实际图像信息。

具体的，可以看到第一测量方框具有两组不同的实际测量数据，因此，需要通过实际图像信息确定正确的边界信息，从而校正测量装置。

S3，根据实际图像信息以及所述测量装置对应的图像尺寸，确定所述测量装置对应的初始边界信息。

具体的，各个测量装置对应的图像尺寸是指对于测量装置可以输出不同倍率的图像，因此，可以根据不同倍率的图像尺寸对图像进行标准，从而可以直观的确定测量装置对应的初始边界信息，并判断初始边界信息是否准确，以进行修正。

在一种实施例中，所述根据实际图像信息以及所述测量装置对应的图像尺寸，确定所述测量装置对应的初始边界信息的步骤，包括：根据所述测量装置对应的图像尺寸，对所述实际图像信息进行标注；根据所述实际图像信息的标注信息，确定所述测量装置对应的初始边界信息。通过对实际图像信息进行标注，确定测量装置对应的初始边界信息，则可以根据初始边界信息确定测量装置是否出现误测量，从而可以对测量装置进行校正。

具体的，如图3所示，可以通过点击第三按钮27对待测基板的图像26进行放大，从而便于直观的查看测量方框。

具体的，如图4所示，根据测量装置的倍率对待测基板的图像26进行放大，并使用x-y坐标轴对最大尺寸的图像进行标注，可以直观的查看第一测量方框261，并得到第一测量方框261的边界信息，从而得到测量装置对应的初始边界信息。

S4，比对初始边界信息与待测基板的理论边界信息，并在所述初始边界信息与所述理论边界信息不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息。

具体的，待测基板的理论边界信息是指待测基板需要测量的参数的边界，例如需要测量待测基板的线宽，如图4所示，则待测基板的理论边界信息是线宽L1的边界，而不是L1的边界外的其他边界。

在一种实施例中，所述比对初始边界信息与待测基板的理论边界信息，并在所述初始边界信息与所述理论边界信息不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息的步骤，包括：在可视化图表中展示所述初始边界信息对应的图像和所述待测基板的理论边界信息的图像，并查看所述初始边界信息对应的图像与所述待测基板的理论边界信息对应的图像是否相同；在所述初始边界信息对应的图像与所述待测基板的理论边界信息对应的图像不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息。通过在可视化图表中展示初始边界信息的图像和待测基板的理论边界信息的图像，则可以直观的确定初始边界信息对应的图像与所述待测基板的理论边界信息对应的图像是否相同，并在两者不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息，对测量装置进行修正。

具体的，如图4所示，由于通过测量装置对应的倍率对图像进行放大，并进行标准，在初始边界信息为L1边界外的两个边界的信息时，理论边界信息为L1的边界的信息，可以直观的看到初始边界信息与理论边界信息不同，则可以判断初始边界信息与理论边界信息，并对初始边界信息进行调整得到校正边界信息。

在一种实施例中，所述在所述初始边界信息对应的图像与所述待测基板的理论边界信息对应的图像不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息的步骤，包括：在所述初始边界信息对应的图像与所述待测基板的理论边界信息对应的图像不同时，确定待测基板的理论边界信息对应的图像的标注信息；根据所述待测基板的理论边界信息对应的图像的标注信息，调整所述初始边界信息得到校正边界信息。通过对图像进行放大并进行标注，使得在初始边界信息对应的图像与待测基板的理论边界信息对应的图像不同时，可以通过对理论边界信息进行标注，从而得到校正边界信息，对测量装置进行校正。

具体的，如图4所示，由于通过测量装置对应的倍率对图像进行放大，并进行标准，在初始边界信息为L1边界外的两个边界的信息时，理论边界信息为L1的边界的信息，且图像通过x-y坐标系进行标注，则可以确定理论边界信息的具体数据，并对初始边界信息进行修正得到校正边界信息，则可以对测量装置进行校正。

在一种实施例中，所述比对初始边界信息与待测基板的理论边界信息，并在所述初始边界信息与所述理论边界信息不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息的步骤，还包括：获取新增项目的新增边界信息；比对新增项目的新增边界信息与待测基板的理论边界信息，并在所述新增边界信息与所述理论边界信息不同时，调整所述新增边界信息得到校正边界信息。通过获取新增边界信息，可以调整新增边界信息得到校正边界信息，相较于现有测量装置只能分开进行，且需要进行停机修正，提高了测量效率。

具体的，在需要增加特殊位置测量的项目时，可以通过获取新增项目的新增边界信息，例如在图2中的表格新增信息，然后比对增项目的新增边界信息与待测基板的理论边界信息，并在所述新增边界信息与所述理论边界信息不同时，调整所述新增边界信息得到校正边界信息，从而可以生成特殊位置测量的项目的文件，对特殊位置进行测量。

S5，根据所述校正边界信息，校正所述测量装置。

具体的，在得到校正边界信息后，可以通过将信息传输至测量装置内，从而使测量装置进行修正。

在一种实施例中，所述根据所述校正边界信息，校正所述测量装置的步骤，包括：获取常规参数信息；根据所述校正边界信息以及所述常规参数信息，校正所述测量装置。在确定校正边界信息后，获取常规参数信息，则可以通过校正边界信息和常规参数信息对测量装置进行校正。

具体的，常规参数信息包括但不限于测量光亮、对位方式。

具体的，如图2所示，在确定校正边界信息后，通过点击第四按钮24将校正边界信息和常规参数信息写入到新的文件，对测量装置进行校正。通过点击第五按钮25消除坐标参数，以重置程序，便于对后续需要校正的测量装置进行校正。

本申请实施例提供一种测量装置校正方法，该测量装置校正方法通过获取测量装置对应的初始数据，并根据初始数据确定测量装置对应的实际图像信息，然后根据实际图像信息以及测量装置对应的图像尺寸，确定初始边界信息，则可以通过初始数据确定测量装置在测量时的边界，然后比对初始边界信息和理论边界信息，并在初始边界信息与理论边界信息不同时，调整初始边界信息得到校正边界信息，并采用校正边界信息校正测量装置，由于该过程通过数据的对比、图像的对比以及数据的校正实现，无需在测量装置上进行操作，因此无需停止测量装置，提高了测量效率，且无需人员操作，提高了误测量校正的准确性。

同时，如图5所示，本申请实施例提供的测量装置校正装置，该测量装置校正装置包括：

获取模块301，用于获取测量装置对应的初始数据；

第一确定模块302，根据所述初始数据，确定所述测量装置对应的实际测量数据，并根据所述实际测量数据确定实际图像信息；

第二确定模块303，用于根据实际图像信息以及所述测量装置对应的图像尺寸，确定所述测量装置对应的初始边界信息；

调整模块304，用于比对初始边界信息与待测基板的理论边界信息，并在所述初始边界信息与所述理论边界信息不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息；

校正模块305，用于根据所述校正边界信息，校正所述测量装置。

本申请实施例提供的测量装置校正装置，该测量装置校正装置通过获取测量装置对应的初始数据，并根据初始数据确定测量装置对应的实际图像信息，然后根据实际图像信息以及测量装置对应的图像尺寸，确定初始边界信息，则可以通过初始数据确定测量装置在测量时的边界，然后比对初始边界信息和理论边界信息，并在初始边界信息与理论边界信息不同时，调整初始边界信息得到校正边界信息，并采用校正边界信息校正测量装置，由于该过程通过数据的对比、图像的对比以及数据的校正实现，无需在测量装置上进行操作，因此无需停止测量装置，提高了测量效率，且无需人员操作，提高了误测量校正的准确性。

在一种实施例中，获取模块用于获取测量装置对应的数据载入方式；根据所述数据载入方式，确定所述测量装置对应的载入文件；解析所述载入文件确定所述测量装置对应的初始数据。

在一种实施例中，获取模块用于解析所述载入文件，确定所述测量装置中各待测项目的各待测参数；根据各所述待测项目的名称，将各待测参数输出至表格内，得到所述测量装置对应的初始数据。

在一种实施例中，第一确定模块用于根据所述测量方框的第一点的坐标、第二点的坐标，确定所述测量方框的第三点坐标和第四点坐标；根据所述测量方框的第一点的坐标、第二点的坐标、第三点的坐标、第四点的坐标和角度，确定所述测量装置对应的实际测量数据；根据所述实际测量数据确定实际图像信息。

在一种实施例中，第二确定模块用于根据所述测量装置对应的图像尺寸，对所述实际图像信息进行标注；根据所述实际图像信息的标注信息，确定所述测量装置对应的初始边界信息。

在一种实施例中，调整模块用于在可视化图表中展示所述初始边界信息对应的图像和所述待测基板的理论边界信息的图像，并查看所述初始边界信息对应的图像与所述待测基板的理论边界信息对应的图像是否相同；在所述初始边界信息对应的图像与所述待测基板的理论边界信息对应的图像不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息。

在一种实施例中，调整模块用于在所述初始边界信息对应的图像与所述待测基板的理论边界信息对应的图像不同时，确定待测基板的理论边界信息对应的图像的标注信息；根据所述待测基板的理论边界信息对应的图像的标注信息，调整所述初始边界信息得到校正边界信息。

在一种实施例中，调整模块用于获取新增项目的新增边界信息；比对新增项目的新增边界信息与待测基板的理论边界信息，并在所述新增边界信息与所述理论边界信息不同时，调整所述新增边界信息得到校正边界信息。

在一种实施例中，校正模块用于获取常规参数信息；根据所述校正边界信息以及所述常规参数信息，校正所述测量装置。

同时，本申请实施例还提供一种电子设备，该电子设备包括存储器，处理器及存储在所述存储器上并在所述处理器上运行的计算机程序，其中，所述处理器执行程序时实现上述测量装置校正方法中的步骤。

同时，本申请实施例还提供一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质中存储有多条指令，指令适于处理器进行加载，以执行上述测量装置校正方法中的步骤。

根据上述实施例可知：

本申请实施例提供一种测量装置校正方法和测量装置校正装置；该测量装置校正方法通过获取测量装置对应的初始数据，然后根据初始数据，确定测量装置对应的实际测量数据，并根据实际测量数据确定实际图像信息，根据实际图像信息以及测量装置对应的图像尺寸，确定测量装置对应的初始边界信息，然后比对初始边界信息与待测基板的理论边界信息，并在初始边界信息与理论边界信息不同时，调整初始边界信息得到校正边界信息，并根据校正边界信息，校正测量装置。本申请通过获取测量装置对应的初始数据，并根据初始数据确定测量装置对应的实际图像信息，然后根据实际图像信息以及测量装置对应的图像尺寸，确定初始边界信息，则可以通过初始数据确定测量装置在测量时的边界，然后比对初始边界信息和理论边界信息，并在初始边界信息与理论边界信息不同时，调整初始边界信息得到校正边界信息，并采用校正边界信息校正测量装置，由于该过程通过数据的对比、图像的对比以及数据的校正实现，无需在测量装置上进行操作，因此无需停止测量装置，提高了测量效率，且无需人员操作，提高了误测量校正的准确性。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

以上对本申请实施例所提供的一种测量装置校正方法和测量装置校正装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种测量装置校正方法，其特征在于，包括：

获取测量装置对应的初始数据；

根据所述初始数据，确定所述测量装置对应的实际测量数据，并根据所述实际测量数据确定实际图像信息；

根据实际图像信息以及所述测量装置对应的图像尺寸，确定所述测量装置对应的初始边界信息；

比对初始边界信息与待测基板的理论边界信息，并在所述初始边界信息与所述理论边界信息不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息；

根据所述校正边界信息，校正所述测量装置。

2.如权利要求1所述的测量装置校正方法，其特征在于，所述获取测量装置对应的初始数据的步骤，包括：

获取测量装置对应的数据载入方式；

根据所述数据载入方式，确定所述测量装置对应的载入文件；

解析所述载入文件确定所述测量装置对应的初始数据。

3.如权利要求2所述的测量装置校正方法，其特征在于，所述解析所述载入文件确定所述测量装置对应的初始数据的步骤，包括：

解析所述载入文件，确定所述测量装置中各待测项目的各待测参数；

根据各所述待测项目的名称，将各待测参数输出至表格内，得到所述测量装置对应的初始数据。

4.如权利要求1所述的测量装置校正方法，其特征在于，所述初始数据包括测量方框的第一点的坐标、第二点的坐标以及角度，所述根据所述初始数据，确定所述测量装置对应的实际测量数据，并根据所述实际测量数据确定实际图像信息的步骤，包括：

根据所述测量方框的第一点的坐标、第二点的坐标，确定所述测量方框的第三点坐标和第四点坐标；

根据所述测量方框的第一点的坐标、第二点的坐标、第三点的坐标、第四点的坐标和角度，确定所述测量装置对应的实际测量数据；

根据所述实际测量数据确定实际图像信息。

5.如权利要求1所述的测量装置校正方法，其特征在于，所述根据实际图像信息以及所述测量装置对应的图像尺寸，确定所述测量装置对应的初始边界信息的步骤，包括：

根据所述测量装置对应的图像尺寸，对所述实际图像信息进行标注；

根据所述实际图像信息的标注信息，确定所述测量装置对应的初始边界信息。

6.如权利要求1所述的测量装置校正方法，其特征在于，所述比对初始边界信息与待测基板的理论边界信息，并在所述初始边界信息与所述理论边界信息不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息的步骤，包括：

在可视化图表中展示所述初始边界信息对应的图像和所述待测基板的理论边界信息的图像，并查看所述初始边界信息对应的图像与所述待测基板的理论边界信息对应的图像是否相同；

在所述初始边界信息对应的图像与所述待测基板的理论边界信息对应的图像不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息。

7.如权利要求6所述的测量装置校正方法，其特征在于，所述在所述初始边界信息对应的图像与所述待测基板的理论边界信息对应的图像不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息的步骤，包括：

在所述初始边界信息对应的图像与所述待测基板的理论边界信息对应的图像不同时，确定待测基板的理论边界信息对应的图像的标注信息；

根据所述待测基板的理论边界信息对应的图像的标注信息，调整所述初始边界信息得到校正边界信息。

8.如权利要求1所述的测量装置校正方法，其特征在于，所述比对初始边界信息与待测基板的理论边界信息，并在所述初始边界信息与所述理论边界信息不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息的步骤，还包括：

获取新增项目的新增边界信息；

比对新增项目的新增边界信息与待测基板的理论边界信息，并在所述新增边界信息与所述理论边界信息不同时，调整所述新增边界信息得到校正边界信息。

9.如权利要求1所述的测量装置校正方法，其特征在于，所述根据所述校正边界信息，校正所述测量装置的步骤，包括：

获取常规参数信息；

根据所述校正边界信息以及所述常规参数信息，校正所述测量装置。

10.一种测量装置校正装置，其特征在于，包括：

获取模块，用于获取测量装置对应的初始数据；

第一确定模块，根据所述初始数据，确定所述测量装置对应的实际测量数据，并根据所述实际测量数据确定实际图像信息；

第二确定模块，用于根据实际图像信息以及所述测量装置对应的图像尺寸，确定所述测量装置对应的初始边界信息；

调整模块，用于比对初始边界信息与待测基板的理论边界信息，并在所述初始边界信息与所述理论边界信息不同时，调整所述初始边界信息得到校正边界信息；

校正模块，用于根据所述校正边界信息，校正所述测量装置。

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