CN115410967A - 一种固晶设备、倾斜导向式框架存料装置及上料方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种固晶设备、倾斜导向式框架存料装置及上料方法，倾斜导向式框架存料装置包括框架升降装置、倾斜限位装置及框架支撑装置；倾斜限位装置配置有框架容置槽，框架容置槽的槽长方向倾斜设置；框架支撑装置沿槽长方向与框架容置槽的滑动连接，且框架支撑装置与框架升降装置的升降端连接；上述设置使得框架容置槽内的各框架单元的重心从下往上，到最下方的框架单元的悬空部的水平距离逐渐增大，即叠设的多个框架单元整体呈倾斜状，且多个框架单元的重心沿槽长方向分布，避免了多个重心沿竖直方向分布时，重心作用于间隙导致出现倾倒的情况，进而使得叠设的框架单元不容易发生倾倒，解决了多个框架单元叠设时容易倾倒的问题。

Description

一种固晶设备、倾斜导向式框架存料装置及上料方法
技术领域
本发明涉及半导体封装技术领域，尤其涉及一种固晶设备、倾斜导向式框架存料装置及上料方法。
背景技术
半导体封装指的是将通过测试的晶圆按照产品型号及功能需求加工得到独立芯片的一种过程。而半导体封装的前道封装工序，通常通过固晶设备完成，其中，固晶设备是利用视觉引导技术实现将芯片从晶圆上自动拾取后，将晶圆邦定到引线框架上的一种自动化生产设备。
固晶设备中通常会设置有料仓，料仓配置有沿竖直方向开设的料槽，工作人员可以依次将框架放入料槽中，使得多个框架依次叠设，便于固晶设备夹取或吸取框架。
然而，随着半导体技术的发展，出现了各种类型的异型框架，异型框架的重心往往偏离异型框架的支撑平面的中心位置，因此，如果将异型框架直接竖直往上地叠设在料槽中，则容易出现异型框架的叠设数量达到一定数量时出现倾倒的情况。例如，如图1所示，其框架单元01呈Z型，其支撑部02的底面作为支撑平面，悬空部03悬空地连接于支撑部02的上部。当多个框架单元01叠设后，其重心位于悬空部03上，导致上方的框架单元01的悬空部03会与下方的悬空部03相抵接，随着框架单元01的叠设数量增加，越上方的框架单元01，其倾斜情况越严重，最终会出现框架整体呈倾倒的情况。
因此，需要对现有技术进行改进，以解决现有技术中多个框架叠设时容易倾倒的技术问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种固晶设备、倾斜导向式框架存料装置及上料方法，以解决现有技术中多个框架叠设时容易倾倒的技术问题。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
一种倾斜导向式框架存料装置，包括：
框架升降装置；
倾斜限位装置，所述倾斜限位装置配置有框架容置槽；
框架支撑装置，所述框架支撑装置沿所述框架容置槽的槽长方向与所述框架容置槽的滑动连接，且框架支撑装置与所述框架升降装置的升降端连接；
其中，所述槽长方向倾斜设置，使得所述框架容置槽内的各框架单元的重心从下往上，到最下方的所述框架单元的悬空部的水平距离逐渐增大。
可选地，所述倾斜限位装置包括限位底板、相对设置的第一限位部和第二限位部，所述第一限位部与所述第二限位部之间形成所述框架容置槽；
所述第一限位部与所述限位底板可转动地连接，所述第二限位部与所述所述限位底板可转动地连接。
可选地，所述第一限位部及所述第二限位部均包括角度调节件，所述角度调节件与所述限位底板可转动地连接；
所述角度调节件还连接有宽度调节件，所述宽度调节件能相对于所述角度调节件，以调节所述框架容置槽的槽宽。
可选地，所述框架支撑装置包括框架安装板，所述框架安装板分别转动连接有外侧滚轮与内侧滚轮；
所述外侧滚轮设置于所述倾斜限位装置的外侧，与所述倾斜限位装置的外壁相抵；所述内侧滚轮设置于所述框架容置槽内，与所述框架容置槽的槽壁抵接。
可选地，所述框架安装板与所述内侧滚轮之间连接有滚轮摆臂件；所述滚轮摆臂件的一端与所述框架安装板可转动地连接，所述滚轮摆臂件的另一端与所述内侧滚轮转动连接。
可选地，所述框架升降装置的升降端安装有限位导轨单元，所述限位导轨单元沿水平方向设置，且所述框架安装板与所述限位导轨单元滑动连接。
一种上料方法，应用于如上所述的倾斜导向式框架存料装置上，包括：
沿所述框架容置槽的槽长方向，将框架单元依次叠设于所述框架支撑装置上，使得所述框架容置槽内的各框架单元的重心从下往上，到最下方的所述框架单元的悬空部的水平距离逐渐增大。
一种上料设备，包括如上所述的倾斜导向式框架存料装置，还包括：
输送轨道组件；
框架吸取组件，所述框架吸取组件用于吸取所述框架容置槽中的框架单元；
框架搬运组件，所述框架搬运组件的移动端与所述框架吸取组件连接，以将吸取到的框架单元移动至所述输送轨道组件上；
框架推料组件，所述框架推料组件用于将所述输送轨道组件上的框架单元推入下一工序。
一种固晶设备，包括邦定设备和如上所述的上料设备，所述上料设备用于向所述邦定设备输入框架单元。
与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：
本发明提供的固晶设备、倾斜导向式框架存料装置及上料方法，其上料时，沿槽长方向将多个框架单元依次叠设在框架支撑装置上；由于是框架单元是沿框架容置槽的槽长方向依次叠设的，使得框架容置槽内的各框架单元的重心从下往上，到最下方的框架单元的悬空部的水平距离逐渐增大，即叠设的多个框架单元整体呈倾斜状，同时多个框架单元的重心沿槽长方向分布，避免了多个重心沿竖直方向分布时，重心作用于间隙导致出现倾倒的情况；上述设置使得叠设的框架单元不容易发生倾倒，且各框架单元之间能保持相互平行的状态，不需要额外地投入旋转结构校正框架单元的位置，以低成本的方式解决了多个框架单元叠设时容易倾倒的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。
图1为背景技术中的框架单元的叠设示意图；
图2为本发明实施例提供的上料设备的整体结构示意图；
图3为本发明实施例提供的倾斜导向式框架存料装置的第一局部剖面结构示意图；
图4为本发明实施例提供的倾斜导向式框架存料装置的第二局部剖面结构示意图；
图5为本发明实施例的框架支撑组件的整体结构示意图；
图6为本发明实施例的框架升降装置的正视结构示意图；
图7为本发明实施例的框架升降装置的侧视结构示意图；
图8为本发明实施例的倾斜限位装置的正视结构示意图；
图9为本发明实施例的倾斜限位装置的侧视结构示意图；
图10为本发明实施例的输送轨道组件的侧视结构示意图；
图11为本发明实施例的输送轨道组件的俯视结构示意图；
图12为本发明实施例的框架吸取组件的侧视结构示意图；
图13为本发明实施例的框架吸取组件的正视结构示意图；
图14为本发明实施例的框架搬运组件的俯视结构示意图；
图15为本发明实施例的框架推料组件的侧视结构示意图。
图示说明：01、框架单元；02、支撑部；03、悬空部；
100、支撑底板；200、框架升降装置；201、限位导轨单元；202、升降电机；203、升降底板；204、升降导轨；205、零点检测片；206、第一光电开关；207、滚珠丝杆；208、升降单元；
300、倾斜限位装置；301、框架容置槽；302、限位底板；303、角度调节件；304、宽度调节件；305、第一光纤检测单元；306、角度调节板；
400、框架支撑装置；401、框架安装板；402、外侧滚轮；403、内侧滚轮；404、滚轮摆臂件；405、内滚轮支架；
500、输送轨道组件；501、第二光纤检测单元；502、光纤固定件；503、光纤调整件；504、支撑条；505、调整导向轴；
600、框架吸取组件；601、支撑基座；602、过渡连接件；603、气缸调整支座；604、吸盘安装件；605、吸盘单元；606、吸盘导向轴；607、框架限制销；608、滑台气缸；
700、框架搬运组件；701、搬运支撑板；702、搬运电机；703、搬运滚珠丝杆；704、丝杆滑块；705、搬运导轨；
800、框架推料组件；801、推料支撑板；802、同步轮；803、推料导轨；804、同步带；805、推料滑块；806、框架推针；807、推针调整座；808、光电检测片；809、第二光电开关。
具体实施方式
为使得本发明的发明目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而非全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。需要说明的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中设置的组件。
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
请参考图2至图15，图2为本发明实施例提供的上料设备的整体结构示意图，图3为本发明实施例提供的倾斜导向式框架存料装置的第一局部剖面结构示意图，图4为本发明实施例提供的倾斜导向式框架存料装置的第二局部剖面结构示意图，图5为本发明实施例的框架支撑组件的整体结构示意图，图6为本发明实施例的框架升降装置的正视结构示意图，图7为本发明实施例的框架升降装置的侧视结构示意图，图8为本发明实施例的倾斜限位装置的正视结构示意图，图9为本发明实施例的倾斜限位装置的侧视结构示意图，图10为本发明实施例的输送轨道组件的侧视结构示意图，图11为本发明实施例的输送轨道组件的俯视结构示意图，图12为本发明实施例的框架吸取组件的侧视结构示意图，图13为本发明实施例的框架吸取组件的正视结构示意图，图14为本发明实施例的框架搬运组件的俯视结构示意图，图15为本发明实施例的框架推料组件的侧视结构示意图。
实施例一
本实施例提供的倾斜导向式框架存料装置，应用于固晶设备中的上料设备中，用于暂存框架单元01，以便于上料设备逐一将框架单元01送入固晶设备中；其中，通过对倾斜导向式框架存料装置的结构进行改进，使其既能完成对一般的规则状的框架的存料，也能完成对如图1中的异型框架的存料，以低成本的方式确保上述的框架单元01在存料时不会发生倾倒现象。
如图2至图3所示，本实施例的倾斜导向式框架存料装置包括支撑底板100；安装在支撑底板100上的框架升降装置200；其中，框架升降装置200的升降方向既可以竖直设置，也可以与槽长方向平行，具体不作限制，能够起到推动框架单元01上升的作用即可；倾斜限位装置300，倾斜限位装置300配置有框架容置槽301；框架支撑装置400，框架支撑装置400沿槽长方向与框架容置槽301的滑动连接，且框架支撑装置400与框架升降装置200的升降端连接；其中，槽长方向倾斜设置，使得框架容置槽301内的各框架单元01的重心从下往上，到最下方的框架单元01的悬空部03的水平距离逐渐增大。
接下来，以“Z”型的框架单元01说明倾斜导向式框架存料装置的工作原理，该框架单元01包括支撑部02和悬空部03，且其重心位于悬空部03。
其具体的上料方法如下：沿框架容置槽301的槽壁，即沿框架容置槽301的槽长方向，将框架单元01依次叠设于框架支撑装置400上，以令框架单元01均与框架容置槽301的槽壁抵接，使得框架容置槽301内的各框架单元01的重心从下往上，到最下方的框架单元01的悬空部03的水平距离逐渐增大。如图3和图4所示，框架单元01可以通过框架容置槽301的槽口进入框架容置槽301中，由于框架容置槽301是倾斜设置的，依次叠设的多个框架单元01的左端均与框架容置槽301的槽壁抵接，即叠设的多个框架单元01是沿右下向左上倾斜设置，因此，每叠设一个框架单元01，框架单元01的重心就会向左偏离一定的尺寸，即层数越高的框架单元01，其重心离最底层的框架单元01的重心越远，起到平衡重心的作用，避免所有的重量集中于两个悬空部03之间的间隙上，因此即使叠设的框架单元01的数量继续增加，对于整体而言，框架单元01也不会发生倾倒现象，相邻的两个框架单元01的悬空部03仍可以留有间隙，便于上料设备统一地将框架单元01从框架容置槽301中取出。
因此，在对倾斜导向式框架存料装置进行上料时，可以沿框架容置槽301的槽壁，即沿槽长方向将多个框架单元01依次叠设在框架支撑装置400上；由于是框架单元01是沿框架容置槽301的槽壁依次叠设的，即框架单元01是沿框架容置槽301的槽长方向依次叠设的，所以框架单元01的一端会与框架容置槽301的槽壁抵接，并且框架容置槽301倾斜设置，所以叠设的多个框架单元01整体呈倾斜状，同时多个框架单元01的重心沿槽长方向分布，避免了多个重心沿竖直方向分布时，重心作用于间隙导致出现倾倒的情况；上述设置使得叠设的框架单元01不容易发生倾倒，并且不需要额外地投入旋转结构校正框架单元01的位置，以低成本的方式解决了多个框架单元01叠设时容易倾倒的问题。
进一步地，如图8至图9所示，倾斜限位装置300包括限位底板302、相对设置的第一限位部和第二限位部，第一限位部与第二限位部之间形成框架容置槽301；第一限位部与限位底板302可转动地连接，第二限位部与限位底板302可转动地连接。其中，第一限位部与第二限位部之间可以供框架升降装置200的升降端进行升降，具备结构紧凑的优点，并且工作人员可以按照需求调节第一限位部与第二限位部相对于限位底板302的角度，以调节框架容置槽301的倾斜角度，进而能够匹配众多重心布置方式不同的框架单元01，提高了倾斜导向式框架存料装置的泛用性。
进一步地，第一限位部及第二限位部均包括角度调节件303，角度调节件303与限位底板302可转动地连接；角度调节件303还连接有宽度调节件304，宽度调节件304能相对于角度调节件303，以调节框架容置槽301的槽宽。其中，可以在宽度调节件304上开设调节槽，在角度调节件303上开设调节孔，并通过螺栓穿过调节槽与调节孔连接，实现宽度调节件304相对于角度调节件303的宽度调节。
需要补充的是，其中一个限位部的一侧还设置有第一光纤检测单元305，第一光纤检测单元305用于检测框架容置槽301中是否还留有框架单元01，角度调节板306与限位部实现可转动的连接，其通过螺栓配合调节槽的方式实现角度调节。
进一步地，如图3至图5所示，框架支撑装置400包括框架安装板401，框架安装板401分别转动连接有外侧滚轮402与内侧滚轮403；外侧滚轮402设置于倾斜限位装置300的外侧，与倾斜限位装置300的外壁相抵；内侧滚轮403设置于框架容置槽301内，与框架容置槽301的槽壁抵接。其中，通过外侧滚轮402与内侧滚轮403的设置，能够确保框架支撑装置400沿框架容置槽301滑动的稳定性；并且需要说明的是，槽壁两侧的两个滑轮相当于对槽壁的点定位，框架安装板401与升降方向的夹角始终不变，在本实施例中框架安装板401与升降方向的夹角为90度，即框架安装板401始终呈水平状，令承载的框架单元01均为水平布置。
进一步地，框架安装板401与内侧滚轮403之间连接有滚轮摆臂件404；滚轮摆臂件404的一端与框架安装板401可转动地连接，滚轮摆臂件404的另一端与内侧滚轮403转动连接。通过滚轮摆臂件404的设置，使得外侧滚轮402与内侧滚轮403之间的相对位置可调，当框架容置槽301的倾斜角度改变后，仅需再调节滚轮摆臂件404与框架安装板401之间的角度，即可再次校正框架安装板401与升降方向的夹角，以匹配不同的框架单元01。其中，滚轮摆臂件404开设有调节槽，框架安装板401与滚轮摆臂件404之间连接有内滚轮支架405，内滚轮支架405开设有调节孔，供螺栓穿过调节槽与调节孔连接，当需要调节滚轮摆臂件404时，拧松螺栓即可完成调节；调节完成后，拧紧螺栓，使得螺栓压紧滚轮摆臂件404及内滚轮支架405，即可完成滚轮摆臂件404相对于内滚轮支架405的固定。
进一步地，如图6和图7所示，框架升降装置200的升降端安装有限位导轨单元201，限位导轨单元201沿水平方向设置，且框架安装板401与限位导轨单元201滑动连接。使得框架安装板401在上升时的运动更加平滑。
接下说明框架升降装置200的具体结构，如图6至图7所示，其包括升降电机202，升降电机202通过与安装在支撑底板100上的升降底板203实现固定，升降电机202通过带动滚珠丝杆207旋转，以丝杆副的形式，带动升降单元208实现升降，其中，限位导轨单元201安装在升降单元208上，升降单元208通过升降导轨204与升降底板203滑动连接；即升降电机202通过滚珠丝杆207带动限位导轨单元201升降，从而带动框架安装板401升降，在框架安装板401升降时，受到框架支撑装置400与倾斜限位装置300的作用，使得框架安装板401沿限位导轨单元201在水平面上滑动，以确保各框架单元01能与框架容置槽301的槽壁相抵。另外，升降单元208连接有零点检测片205，升降底板203上设置有两个第一光电开关206，通过第一光电开关206检测零点检测片205的位置，能够对升降单元208的位置进行校正，以提高位置精度。
综上所述，本实施例的倾斜导向式框架存料装置能以低成本的形式提高生产稳定性，还具备可调性高、结构紧凑、泛用性强等优点。
实施例二
如图2所示，本实施例的上料设备，包括实施例一中的倾斜导向式框架存料装置，还包括：
输送轨道组件500；
框架吸取组件600，框架吸取组件600用于吸取框架容置槽301中的框架单元01；
框架搬运组件700，框架搬运组件700的移动端与框架吸取组件600连接，以将吸取到的框架单元01移动至输送轨道组件500上；
框架推料组件800，框架推料组件800用于将输送轨道组件500上的框架单元01推入下一工序。
其中，如图10和图11所示，输送轨道组件500包括三条间隔设置的支撑条504，三条支撑条504形成两条轨道，可同时放置两个框架单元01，实现了快速单排框架单元01的双上料功能；支撑条504之间通过调整导向轴505连接，可以通过调整导向轴505调节轨道的宽度，并且调整导向轴505依次连接有光纤调整件503、光纤固定件502及第二光纤检测单元501，通过调整导向轴505及光纤调整件503能够调节光纤固定件502的位置，进而改变第二光纤检测单元501的位置，第二光纤检测单元501用于检测框架单元01是否被送出输送轨道组件500。通过上述设置，使得本上料设备能够同时完成两个框架单元010的上料，极大地提高了设备的UPH。
如图12和图13所示，框架吸取组件600包括安装在框架搬运组件700的搬运端上的支撑基座601，支撑基座601上通过气缸调整支座603固定连接有滑台气缸608，而滑台气缸608通过过渡连接件602连接有吸盘导向轴606，吸盘导向轴606上安装有吸盘安装件604，吸盘安装件604上安装有吸盘单元605及框架限制销607，吸盘单元605用于吸取框架单元01，框架限制销607用于吸取框架单元01时与框架单元01相抵，放置框架单元01形变。
如图14所示，框架搬运组件700包括搬运支撑板701，搬运支撑板701上安装有搬运电机702、搬运滚珠丝杆703及搬运导轨705，丝杆滑块704通过丝杆副与搬运滚珠丝杆703螺纹连接，丝杆滑块704与搬运导轨705滑动连接，而支撑基座601与丝杆滑块704固定连接；即通过搬运电机702带动搬运滚珠丝杆703转动，从而带动丝杆滑块704滑动，进而带动框架吸取组件600在倾斜导向式框架存料装置与输送轨道组件500之间来回运动。
如图15所示，框架推料组件800包括推料支撑板801，其安装有电机，电机通过同步轮802与同步带804，在推料导轨803的配合度下，带动推料滑块805在两个支撑条504之间滑动，推料滑块805上通过推针调整座807安装有框架推针806，以带动框架推针806凸出于输送轨道组件500并来回滑动，以将框架单元01推入下一装置(可以为固晶设备中的邦定装置)。另外，推料支撑板801上设置有第二光电开关809，推料滑块805连接有光电检测片808，以便于检测框架推针806的运动情况。
接下来说明上料设备的工作原理：通过框架搬运组件700的动作，带动框架吸取组件600移动至框架容置槽301的斜上方，经过滑台气缸608的动作，将吸盘安装件604推入框架容置槽301，使得吸盘单元605吸取框架单元01，使得框架限制销607与框架单元01相抵；接着，滑台气缸608及框架搬运组件700复位，带动框架单元01移动至输送轨道组件500上方；接着，滑台气缸608动作，带动框架单元01放置于两条支撑条504之间，吸盘单元605释放框架单元01；接着，框架推料组件800通过电机和传动结构，带动框架推针806将框架单元01推入固晶设备的下一装置。
实施例一中叙述了关于倾斜导向式框架存料装置的具体结构及技术效果，本实施例的上料设备引用了该装置，同样具有其技术效果。综上所述，本实施例的上料设备能以低成本的形式提高生产稳定性，还具备可调性高、结构紧凑、泛用性强等优点。
实施例三
本实施例的固晶设备包括邦定设备和如实施例二的上料设备，上料设备用于向邦定设备输入框架单元01。实施例二中叙述了关于上料设备的具体结构及技术效果，本实施例的上料设备引用了该装置，同样具有其技术效果。综上所述，本实施例的固晶设备能以低成本的形式提高生产稳定性，还具备可调性高、结构紧凑、泛用性强等优点。
以上所述，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (9)

1.一种倾斜导向式框架存料装置，其特征在于，包括：
框架升降装置(200)；
倾斜限位装置(300)，所述倾斜限位装置(300)配置有框架容置槽(301)；
框架支撑装置(400)，所述框架支撑装置(400)沿所述框架容置槽(301)的槽长方向与所述框架容置槽(301)的滑动连接，且框架支撑装置(400)与所述框架升降装置(200)的升降端连接；
其中，所述槽长方向倾斜设置，使得所述框架容置槽(301)内的各框架单元(01)的重心从下往上，到最下方的所述框架单元(01)的悬空部(03)的水平距离逐渐增大。
2.根据权利要求1所述的倾斜导向式框架存料装置，其特征在于，所述倾斜限位装置(300)包括限位底板(302)、相对设置的第一限位部和第二限位部，所述第一限位部与所述第二限位部之间形成所述框架容置槽(301)；
所述第一限位部与所述限位底板(302)可转动地连接，所述第二限位部与所述所述限位底板(302)可转动地连接。
3.根据权利要求2所述的倾斜导向式框架存料装置，其特征在于，所述第一限位部及所述第二限位部均包括角度调节件(303)，所述角度调节件(303)与所述限位底板(302)可转动地连接；
所述角度调节件(303)还连接有宽度调节件(304)，所述宽度调节件(304)能相对于所述角度调节件(303)，以调节所述框架容置槽(301)的槽宽。
4.根据权利要求1所述的倾斜导向式框架存料装置，其特征在于，所述框架支撑装置(400)包括框架安装板(401)，所述框架安装板(401)分别转动连接有外侧滚轮(402)与内侧滚轮(403)；
所述外侧滚轮(402)设置于所述倾斜限位装置(300)的外侧，与所述倾斜限位装置(300)的外壁相抵；所述内侧滚轮(403)设置于所述框架容置槽(301)内，与所述框架容置槽(301)的槽壁抵接。
5.根据权利要求4所述的倾斜导向式框架存料装置，其特征在于，所述框架安装板(401)与所述内侧滚轮(403)之间连接有滚轮摆臂件(404)；所述滚轮摆臂件(404)的一端与所述框架安装板(401)可转动地连接，所述滚轮摆臂件(404)的另一端与所述内侧滚轮(403)转动连接。
6.根据权利要求4所述的倾斜导向式框架存料装置，其特征在于，所述框架升降装置(200)的升降端安装有限位导轨单元(201)，所述限位导轨单元(201)沿水平方向设置，且所述框架安装板(401)与所述限位导轨单元(201)滑动连接。
7.一种上料方法，其特征在于，应用于如权利要求1-6中任一项所述的倾斜导向式框架存料装置上，包括：
沿所述框架容置槽的槽长方向，将框架单元依次叠设于所述框架支撑装置上，使得所述框架容置槽内的各框架单元的重心从下往上，到最下方的所述框架单元的悬空部的水平距离逐渐增大。
8.一种上料设备，其特征在于，包括如权利要求1-6中任一项所述的倾斜导向式框架存料装置，还包括：
输送轨道组件(500)；
框架吸取组件(600)，所述框架吸取组件(600)用于吸取所述框架容置槽(301)中的框架单元(01)；
框架搬运组件(700)，所述框架搬运组件(700)的移动端与所述框架吸取组件(600)连接，以将吸取到的框架单元(01)移动至所述输送轨道组件(500)上；
框架推料组件(800)，所述框架推料组件(800)用于将所述输送轨道组件(500)上的框架单元(01)推入下一工序。
9.一种固晶设备，其特征在于，包括邦定设备和如权利要求8所述的上料设备，所述上料设备用于向所述邦定设备输入框架单元(01)。
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