CN115398801A - 弹性波谐振器、弹性波滤波器、分波器、通信装置 - Google Patents

弹性波谐振器、弹性波滤波器、分波器、通信装置 Download PDF

Info

Publication number
CN115398801A
CN115398801A CN202180018618.9A CN202180018618A CN115398801A CN 115398801 A CN115398801 A CN 115398801A CN 202180018618 A CN202180018618 A CN 202180018618A CN 115398801 A CN115398801 A CN 115398801A
Authority
CN
China
Prior art keywords
region
elastic wave
wave resonator
electrode
electrode fingers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202180018618.9A
Other languages
English (en)
Inventor
野添惣一朗
岸野哲也
笠松直史
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Publication of CN115398801A publication Critical patent/CN115398801A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14576—Transducers whereby only the last fingers have different characteristics with respect to the other fingers, e.g. different shape, thickness or material, split finger
    • H03H9/14582—Transducers whereby only the last fingers have different characteristics with respect to the other fingers, e.g. different shape, thickness or material, split finger the last fingers having a different pitch
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
    • H03H9/02574—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of combined substrates, multilayered substrates, piezoelectrical layers on not-piezoelectrical substrate
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6433—Coupled resonator filters
    • H03H9/6483—Ladder SAW filters

Abstract

在同一弹性波谐振器内，维持谐振频率均匀性的同时，降低了杂散的强度。弹性波谐振器(4)包括：压电体(6)；和，位于所述压电体上并在弹性波的传播方向(TD)上排列的多个电极指(14，22)。所述多个电极指所在区域在俯视时包括第一区域(24A)和第二区域(24B)。所述多个电极指包括：位于所述第一区域的第一电极指组(14A)和位于所述第二区域的第二电极指组(14B)；所述第一电极指组的间距(PA)与所述第二电极指组的间距(PB)不同。所述第一区域以及所述第二区域具有：在对由每个电极指组的间距的大小关系引起的谐振频率或反谐振频率的高低的作用进行消除的方向上起作用的频率作用特性。

Description

弹性波谐振器、弹性波滤波器、分波器、通信装置
技术领域
本发明涉及弹性波装置。
背景技术
现有文献1记载了一种弹性波滤波器，该弹性波滤波器包括：位于压电基板上且具有某特定谐振频率的多个叉指换能器。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开号WO2005/050837公报
发明内容
发明要解决的问题
在专利文献1所记载的传统的弹性波滤波器中，存在在与主谐振的谐振频率不同的频率下产生振荡的杂散的问题。
解决问题所采用的手段
本公开的一个实施方式的弹性波谐振器，包括：压电体；和，位于所述压电体上并在弹性波的传播方向上排列的多个电极指；所述多个电极指所在区域在俯视时包括第一区域和第二区域；所述多个电极指包括：位于所述第一区域的第一电极指组和位于所述第二区域的第二电极指组；所述第一电极指组的间距与所述第二电极指组的间距不同；所述第一区域以及所述第二区域具有：在对由每个电极指组的间距的大小关系引起的谐振频率或反谐振频率的高低的作用进行消除的方向上起作用的频率作用特性。
发明效果
根据本公开，在同一弹性波谐振器内，维持谐振频率均匀的同时，降低了杂散的强度。
附图说明
图1是本公开的实施方式一的弹性波谐振器的概略俯视图。
图2是本公开的实施方式一的弹性波谐振器的概略剖视图。
图3是表示本公开的实施方式一的弹性波谐振器中，在谐振频率恒定的情况下，间距与占空比之间的关系的图。
图4是表示本公开的实施方式一的弹性波谐振器的特性随占空比的变化的图。
图5是表示本公开的实施方式一的弹性波谐振器中，间距以及占空比与振荡的弹性波的频率之间的关系的图。
图6是本公开的实施方式二的弹性波谐振器的概略俯视图。
图7是本公开的实施方式二的弹性波谐振器的概略剖视图。
图8是表示本公开的实施方式二的弹性波谐振器的特性的图。
图9是表示本公开的实施方式二的弹性波谐振器的特性的其他图。
图10是表示关于本公开的实施方式二的弹性波谐振器，在改变占空比的最大值以及最小值的情况下，该弹性波谐振器的特性的图。
图11是表示本公开的实施方式二的弹性波谐振器的电极指的占空比的变化的图。
图12是表示本公开的实施方式二的弹性波谐振器的其他示例的概略俯视图。
图13是表示本公开的实施方式二的弹性波谐振器的电极指的占空比的变化的其他示例的图。
图14是表示本公开的实施方式二的弹性波谐振器中生成的谐振波的强度的示例的气泡图。
图15是表示本公开的实施方式二的弹性波谐振器中生成的谐振波的强度的示例的其他气泡图。
图16是表示本公开的实施方式二的弹性波谐振器中生成的谐振波的强度的示例的其他气泡图。
图17是表示本公开的实施方式二的弹性波谐振器中生成的谐振波的强度的示例的其他气泡图。
图18是表示关于本公开的实施方式二以及变形例的弹性波谐振器，在改变电极指的占空比的变化量的情况下，该弹性波谐振器的特性的图。
图19是本公开的实施方式三的弹性波谐振器的概略剖视图。
图20是表示本公开的实施方式三的弹性波谐振器的电极指的厚度与谐振频率之间的关系的图。
图21是本公开的实施方式四的弹性波谐振器的概略剖视图。
图22是表示本公开的实施方式四的弹性波谐振器的压电体的厚度与谐振频率之间的关系的图。
图23是本公开的实施方式五的弹性波谐振器的概略剖视图。
图24是表示本公开的实施方式五的弹性波谐振器的多层膜的厚度与谐振频率之间的关系的图。
图25是本公开的实施方式六的弹性波谐振器的概略剖视图。
图26是表示本公开的实施方式六的弹性波谐振器的保护层的厚度与谐振频率之间的关系的图。
图27是表示对本公开的实施方式七的弹性波谐振器的反射器附近进行放大的概略俯视图。
图28是说明本公开的各实施方式的通信装置的概略图。
图29是说明本公开的各实施方式的分波器的电路图。
具体实施方式
[实施方式一]
下文将参照附图，对本公开的实施方式进行说明。此外，在以下的描述中使用的附图是示意图，并不严格地表示附图中各部件的尺寸比例。
<谐振器的结构>
本实施方式的弹性波滤波器包括至少一个弹性波谐振器。例如，弹性波滤波器通过将多个弹性波谐振器连接成梯型来构成梯型滤波器。本实施方式的弹性波滤波器也可以包括：在与各弹性波谐振器中的弹性波的传播方向正交的方向上，并列的多个弹性波谐振器。
以下，参照图1以及图2，更详细地说明本实施方式的弹性波谐振器4。图1是本实施方式的弹性波谐振器4的概略俯视图。图2是本实施方式的弹性波谐振器4的概略剖视图，是沿图1的B-B线的剖视图。此外，本说明书中，将弹性波谐振器4中的弹性波的传播方向TD，在包括图1的弹性波谐振器4的俯视图中，设为朝向纸面的上下方向，在包括图2的弹性波谐振器4的剖视图中，设为朝向纸面的左右方向。另外，在本说明书中，在包括图2的弹性波谐振器4的剖视图中，为了简化图示，仅示出了截面中的部件，省略了比该截面靠里侧的部件的图示。
如图1和图2所示，本实施方式的弹性波谐振器4至少包括：压电体6；和，该压电体6上的IDT电极8。此外，在本说明书的包括图2的弹性波谐振器4的剖视图中，示出了IDT电极8相对于压电体6位于朝向纸面的上侧。
压电体6由压电性的材料构成，例如可以使用钽酸锂(以下也记载为LT)的单晶、铌酸锂等。在弹性波谐振器4中，通过对包括后述的IDT电极8的导电层施加电压，激励在压电体6中沿传播方向TD传播的弹性波。本实施方式中，如图2所示，压电体6可以具有一定的厚度D6。另外，在本说明书中，“厚度一定”并不一定是指厚度严格一定，在不对在压电体6中传播的弹性波的特性产生显着影响的范围内，允许一些变动。
<IDT电极以及反射器的详细情况>
IDT电极8包括一对梳齿电极10。此外，在本说明书中，在包括图1的弹性波谐振器4的俯视图中，为了改善可视性，对一个梳齿电极10标注了阴影线。梳齿电极10例如包括：汇流条12；多个电极指14，从该汇流条12相互延伸；和，多个虚设电极16，位于多个电极指14的各个之间，从汇流条12突出。一对梳齿电极10中，多个电极指14被配置为互相啮合。
汇流条12具有大致一定的宽度，大致沿传播方向TD形成。另外，一对汇流条12在大致正交于传播方向TD的方向上相互对置。此外，在不显著影响通过压电体6传播的弹性波的程度下，汇流条12可以有宽度变化，或者，也可以相对于传播方向TD倾斜地形成。
各电极指14大致沿汇流条12的宽度方向形成为长条状。各梳齿电极10中，各电极指14在传播方向TD排列。另外，从一方的汇流条12延伸的电极指14与从另一方的汇流条12延伸的电极指14在传播方向TD交替地配置。
各电极指14的个数不限于图1所示的个数，可以根据弹性波谐振器4所需的特性适当地设计。另外，如图1所示，各电极指14的长度可以是大致一定的，或者，也可以根据传播方向TD上的位置而长度彼此不同，实施为所谓的切趾。另外，IDT电极8的一部分中，电极指14的一部分也可以被“剔除”。换言之，IDT电极8可以包括在形成IDT电极8的区域中未形成一部分电极指14的区域。
各虚设电极16大致沿着汇流条12的宽度方向突出。另外，从一方的汇流条12突出的虚设电极16在与传播方向TD正交的方向上，隔着间隙与从另一方的汇流条12延伸的电极指14的前端相互对置。此外，本实施方式的弹性波谐振器4也可以不包括虚设电极16。
弹性波谐振器4还包括：在压电体6上、相对于电极指14位于传播方向TD的两端的一对反射器18。反射器18包括从一对相互对置的汇流条20延伸的多个条形电极22。反射器18可以为电浮动状态，或者，反射器18可以被赋予基准电位。此外，IDT电极8和反射器18可以在同一层中，也可以被包含在导电层中。IDT电极8和反射器18由金属材料形成，可以由例如以Al为主要成分的合金形成。另外，反射器18的各条形电极22的个数、形状等不限于图1所示的结构，可以与电极指14一样，根据弹性波谐振器4所需的特性适当地设计。
另外，在本说明书中，在仅记载为“电极指”的情况下，该“电极指”包括IDT电极8的多个电极指14。另外，在弹性波谐振器4包括反射器18的情况下，本说明书中的“电极指”还可以包括反射器18的多个条形电极22。
<电极指的间距>
在本实施方式的弹性波谐振器4中，如图1以及图2所示，IDT电极8的多个电极指14在俯视时位于电极指配置区域24内。另外，在本实施方式中，电极指配置区域24至少包括：一个第一区域24A和一个第二区域24B。另外，电极指14包括：位于第一区域24A的第一电极指组14A和位于第二区域24B的第二电极指组14B。
特别地，在本实施方式中，电极指配置区域24可以包括多个第一区域24A和第二区域24B中至少一者。例如，如图1所示，在传播方向TD上，电极指配置区域24相对于第二区域24B对称地包括第一区域24A。换言之，第一区域24A在传播方向TD上分别位于第二区域24B的两端。
此处，多个电极指14中的每一个，相互以一定的间距被配置。另外，在压电体6中传播的弹性波中，由弹性波谐振器4激励的弹性波所具有的谐振频率依赖于电极指14的间距。通常，由弹性波谐振器4激励的弹性波所具有的谐振频率随着电极指14的间距变窄而变高。
此外，在本说明书中，“谐振频率”是指由弹性波谐振器4激励的弹性波中的、由主谐振模式激励的弹性波所具有的谐振频率，而不是指由副谐振或杂散模式激励的弹性波的频率。
在本实施方式中，第一电极指组14A的第一间距PA与第二电极指组14B的第二间距PB不同。具体地，例如，在本实施方式中，第一间距PA比第二间距PB短。例如，第一间距PA为0.708μm，第二间距PB为0.745μm。
另外，尽管压电体6的厚度D6没有特别限定，但在本实施方式中，例如为第一间距PA和第二间距PB中的任一个的0.4倍至1.2倍左右。例如，压电体6的厚度D6为0.28μm至0.9μm左右。
此处，压电体6的厚度D6优选地为第一电极指组14A中的第一间距PA或者第二电极指组14B中的第二间距PB以下的厚度。由此，通过包括具有相对宽的间距的电极指14的弹性波谐振器4，可以提高谐振频率。
<电极指的占空比>
此处，本实施方式的弹性波谐振器4具有：在对由第一间距PA和第二间距PB的大小关系带来的谐振频率的高低的作用进行消除的方向上起作用的谐振频率作用特性。换言之，在本实施方式的弹性波谐振器4中，由于第一间距PA与第二间距PB之差，第一区域24A和第二区域24B中的谐振频率之差小于传统的弹性波谐振器中设想的谐振频率之差。此外，在本说明书中，有时将谐振频率作用特性简称为频率作用特性。
在本实施方式中，谐振频率作用特性为第一区域24A以及第二区域24B中的电极指14的占空比的差。电极指14的占空比为某电极指14的宽度除以该电极指14和与相邻的电极指14之间的间距而得到的值。通常，由弹性波谐振器4激励的弹性波所具有的谐振频率随着电极指14的占空比变小而变高。
在本实施方式中，第一电极指组14A的占空比与第二电极指组14B的占空比不同。具体地，在本实施方式中，第一电极指组14A的占空比大于第二电极指组14B的占空比。因此，第一电极指组14A以及第二电极指组14B的占空比的差在对由于第一间距PA比第二间距PB短而产生的第一区域24A以及第二区域24B中的谐振频率的差进行消除的方向上发挥作用。
第一电极指组14A以及第二电极指组14B的占空比，可以通过适当地设计如图2所示的第一电极指组14A中所包括的电极指14的第一宽度WA和第二电极指组14B中所包括的电极指14的第二宽度WB来设计。
例如，第一电极指组14A的占空比为0.6，第二电极指组14B的占空比为0.3。如上所述，在第一间距PA为0.708μm、第二间距PB为0.745μm的情况下，例如，第一宽度WA为0.4248μm左右，第二宽度WB为0.2235μm。
此外，在本实施方式中，电极指14的厚度D14可以在第一区域24A和第二区域24B两者中相同。电极指14的厚度D14例如是第一间距PA和第二间距PB中的任一个的0.16倍左右。另外，反射器18的条形电极22的厚度也可以与电极指14的厚度相同。
<固定基板>
返回到弹性波谐振器4各结构的说明，如图2所示，弹性波谐振器4还包括支撑基板26，该支撑基板26比压电体6更靠与IDT电极8相反的一侧。在本实施方式中，支撑基板26对通过压电体6传播的弹性波的特性造成的影响足够小。因此，支撑基板26的材料和尺寸可以适当设计。例如，支撑基板26可以包括绝缘材料，并且可以包括树脂或陶瓷。支撑基板26的厚度例如比压电体6的厚度D6厚。为了进一步降低温度变化对弹性波特性的影响，支撑基板26的材料的线膨胀系数优选地低于压电体6的线膨胀系数。
此外，弹性波谐振器4在压电体6和支撑基板26之间包括反射多层膜30。弹性波谐振器4也可以在反射多层膜30和支撑基板26之间包括密合层28。此外，包括压电体6、支撑基板26、密合层28以及反射多层膜30的层叠体有时被称为固定基板36。
密合层28是为了提高支撑基板26和反射多层膜30之间的密合性而插入的层，对在压电体6中传播的弹性波特性的影响足够小。
反射多层膜30包括：交替地层叠的第一层32和第二层34。第一层32的材料与第二层34的材料相比具有低的声阻抗。由此，由于在第一层32与第二层34之间的界面中，弹性波的反射率变高，因此减少了通过压电体6传播的弹性波向弹性波滤波器的外部的漏出。
例如，第一层32由二氧化硅(SiO2)形成。另外，例如，第二层34由氧化铪(HfO2)形成。此外，第二层34还可以由五氧化二钽(Ta2O5)、氧化锆(ZrO2)、氧化钛(TiO2)和氧化镁(MgO)中的任一种形成。
反射多层膜30至少包括一层第一层32和一层第二层34即可，层数没有特别限定。另外，第一层32和第二层34的层数的合计值可以是奇数，也可以是偶数。此处，反射多层膜30的层中，尽管与压电体6接触的层是第一层32，但与密合层28接触的层可以是第一层32和第二层34中的任意一个。
例如，反射多层膜30可以包括合计为3层以上12层以下的第一层32和第二层34。然而，反射多层膜30可以仅包括：一层的第一层32和一层的第二层34。另外，从提高反射多层膜30各层的密合性以及防止反射多层膜30中的弹性波的扩散的观点出发，也可以在第一层32和第二层34各自之间形成密合层28。
此外，如图2所示，第一层32可以分别具有一定的厚度D32，并且第二层34可以分别具有一定的厚度D34。厚度D32和厚度D34例如也可以是第一间距PA和第二间距PB中的任一个的0.25倍至2倍左右。
<谐振频率的均匀化>
在本实施方式中，例如，在第一区域24A中通过压电体6传播的弹性波的主谐振的谐振频率与在第二区域24B中通过压电体6传播的弹性波的主谐振的谐振频率相同。由此，在压电体6中被激励的弹性波的频率在第一区域24A和第二区域24B中均匀化，改善了弹性波谐振器4的特性。
此外，本说明书中，“频率相同”不一定指频率严格相同。例如，在不显着影响弹性波谐振器4的特性的范围内，第一区域24A和第二区域24B中通过压电体6传播的弹性波的主谐振的谐振频率允许一些差异。
具体地，在用于判断“第一区域24A和第二区域24B中的谐振频率相同”的数值中，也可以使用将第一区域24A与第二区域24B中的谐振频率之差除以期望的谐振频率而得到的值乘以100后的值(dfr)。例如，在dfr为-0.856以上0.856以下的情况下，也可以认为“第一区域24A和第二区域24B中的谐振频率相同”。
当dfr的值满足上述范围时，可以抑制由于作为弹性波谐振器4在频率特性中包括第一区域24A和第二区域24B而引起的杂散的产生。另外，在本实施方式中，在满足上述范围的情况下，第一区域24A和第二区域24B中的谐振频率之差的绝对值为50MHz以下。
另外，在dfr为-1.028或者1.028的情况下，确认到杂散的产生。这种情况下，在本实施方式中，第一区域24A和第二区域24B中的谐振频率之差的绝对值相当于60MHz。
参照图3，更详细地说明使第一区域24A和第二区域24B中的谐振频率均匀化的方法。图3是表示在具有与本实施方式的弹性波谐振器4相同的结构的弹性波谐振器中，当激励的弹性波的谐振频率一定时，占空比相对于间距的变化而发生了何种程度变化的图。
在图3的图中，实线表示关于占空比相对于间距的变化发生了何种程度的变化的模拟值，虚线表示基于该模拟值的间距和占空比的近似式。近似式可以适当选择最适合模拟值的式子。例如，可以适当地选择乘方近似、对数近似、或多项式近似等即可。此外，在上述例子中，由于基于乘方近似的近似式能够最准确地近似，所以用乘方近似求出了近似式。在图3的图中，纵轴为间距(单位：μm)，横轴为占空比。
设间距为y(单位：μm)，占空比为x，则在激励的弹性波的谐振频率一定的情况下，间距与占空比的关系式可近似为y＝0.6823x^(-0.073)。此外，上述模拟值与近似式的误差的平方的合计值R2为0.9987。
如图3的图所示，在激励的弹性波的谐振频率一定的情况下，可以计算出占空比相对于间距的变化发生了何种程度的变化的关系式。因此，在本实施方式中，能够根据第一间距PA和第二间距PB，计算出用于使第一区域24A和第二区域24B中的谐振频率相同的第一电极指组14A的占空比和第二电极指组14B的占空比。
<间距以及占空比的差异引起的特性变化>
图4是表示在具有与本实施方式的弹性波谐振器4相同的结构的弹性波谐振器中，激励的弹性波的特性的图，是按每个频率表示弹性波谐振器中的阻抗的相位的图。换言之，图4的图是按照每个频率表示在弹性波谐振器中振荡的弹性波的强度的图。在图4的图中，纵轴为相位(单位：度)，横轴为频率(单位：MHz)。
在图4的图中，实线表示在将电极指14的占空比设为0.6的弹性波谐振器中的通过模拟得到的计算结果。另外，在图4的图中，虚线表示在将电极指14的占空比设为0.3的弹性波谐振器中的通过模拟得到的计算结果。此外，在图4的图中分别模拟的两个弹性波谐振器的电极指14的间距基于图3所示的关系式被确定为使得谐振频率相同。在图4的图中，图402是表示将图401的相位的-90度至-80度放大的图。
从图4所示的图可知，即使在间距以及占空比不同的两个弹性波谐振器之间，阻抗相位最高的谐振频率也几乎没有变化。此外，通过确认间距以及占空比不同的两个弹性波谐振器之间的阻抗的绝对值，也确认了谐振频率以及反谐振频率。确认了即使在这种情况下，间距以及占空比不同的两个弹性波谐振器之间的谐振频率以及反谐振频率也几乎没有变化。
然而，如图4的图402明显所示，在除谐振频率以外的其它频率下所激励的杂散的频率在上述两个弹性波谐振器之间不同。这些在除谐振频率以外的其它频率下所激励的弹性波包括在杂散模式下所激励的频率。
图5是表示具有与本实施方式的弹性波谐振器4相同结构的弹性波谐振器中，在改变间距和占空比以使谐振频率一定的情况下，该弹性波谐振器激励的弹性波的各频率的图。在图5的图中，横轴为间距(单位：μm)以及占空比，纵轴为频率(单位：MHz)。此处，在图5的图中，电极指间距的值随着占空比的变化，根据图3所示的关系式变化。
在图5的图中，白色圆形标记表示在由弹性波谐振器激励的主谐振以及反谐振模式中激励的弹性波频率的通过模拟得到的计算结果。在图5的图中，黑色圆形标记表示在由弹性波谐振器激励的、除了主谐振以及反谐振模式以外的模式中激励的杂散频率的通过模拟得到的计算结果。
如图5的横轴所示，通过改变电极指的占空比以及间距，使得弹性波谐振器激励的主谐振以及反谐振模式下激励的弹性波的频率大致一定。此处，在图5中，作为示例列举出了具有以下特性的弹性波谐振器：在5350MHz附近具有主谐振的谐振频率，且在5500MHz附近具有反谐振的谐振频率。
然而，如图5所示，杂散模式下激励的弹性波的频率随着电极指的占空比以及间距的变化而改变。这是因为，相对于电极指的占空比以及间距的变化，在杂散模式下激励的弹性波的频率与在主谐振以及反谐振模式下激励的弹性波的频率具有不同的依赖性。
<实施方式一的弹性波谐振器的效果>
本实施方式的弹性波谐振器4在同一谐振器内包括：间距相互不同的第一电极指组14A和第二电极指组14B。另一方面，弹性波谐振器4具有：在对由第一电极指组14A和第二电极指组14B的间距的差异而产生的谐振频率的高低的作用进行消除的方向上起作用的谐振频率特性。在本实施方式中，谐振频率特性是第一电极指组14A与第二电极指组14B的占空比之差。换言之，由于第一电极指组14A与第二电极指组14B的占空比的差，减小了由第一电极指组14A与第二电极指组14B的间距的差异产生的谐振频率的差。
因此，弹性波谐振器4包括：间距以及占空比互不相同、且谐振频率的差异更小的第一电极指组14A和第二电极指组14B。由此，在第一区域24A与第二区域24B之间，能够进一步维持在主谐振模式下激励的弹性波的频率的均匀性，并且能够使在杂散模式下激励的弹性波的频率更加不同。因此，根据本实施方式，在同一弹性波谐振器4内，通过维持谐振频率的均匀性，并且分散在杂散模式下激励的弹性波的频率，从而能够降低杂散的强度。
特别是，从改善弹性波谐振器4中激励的弹性波的特性的观点出发，在本实施方式中，在第一区域24A和第二区域24B之间，在主谐振模式下激励的弹性波的频率优选地相同。在这种情况下，电极指14所在区域的80％以上的区域中的谐振频率优选地与第一区域24A以及第二区域24B中的弹性波的谐振频率相同。由此，能够进一步地改善弹性波谐振器4中激励的弹性波的特性。此处，电极指14所在区域是指电极指配置区域24中、俯视时形成有电极指14的区域。
此外，在本实施方式中，在第一区域24A和第二区域24B之间，主谐振模式下激励的弹性波频率相同的区域和不同的区域可以混合在一起。例如，第一区域24A可以包括电极指14，该电极指14位于反射器18一侧的端部，被设计成不规则的电极指，以用于调节弹性波谐振器4的特性。另外，在第一区域24A以及第二区域24B中，IDT电极8可以包括在传播方向TD上被设计成不连续的电极指的区域。
在本实施方式中，在传播方向TD上，电极指配置区域24相对于第二区域24B对称地包括第一区域24A。因此，弹性波谐振器4的电极指14的间距以及占空比等配置能够在传播方向TD上对称地设计。因此，在本实施方式中，可以进一步改善弹性波谐振器4中激励的弹性波的特性。
此外，在本实施方式的弹性波谐振器4中，在传播方向TD上，电极指配置区域24也可以相对于第一区域24A对称地包括第二区域24B。换言之，本实施方式的弹性波谐振器4可以在传播方向TD上，相对于第一区域24A和第二区域24B中的一方，对称地包括第一区域24A和第二区域24B中的另一方。
此外，在本实施方式以及以下说明的各种实施方式中，以各弹性波谐振器中的谐振频率的行为为例进行了说明。此处，通常地，弹性波谐振器的谐振频率以及反谐振频率相对于间距或占空比的变化而表现出相互类似的行为。因此，在各种实施方式中，以谐振频率的行为为例进行说明的地方也可以将谐振频率替换为反谐振频率。换言之，弹性波谐振器4也可以具有：在对由第一电极指组14A和第二电极指组14B的间距的差异而产生的反谐振频率的高低的作用进行消除的方向上的起作用的频率作用特性。
[实施方式二]
<中间区域>
图6是本实施方式的弹性波谐振器4A的概略俯视图。图7是本实施方式的弹性波谐振器4A的概略剖视图，是沿图6的B-B线的剖视图。此外，在本说明书中，对具有相同功能的各部件赋予相同的名称以及附图标记，只要不存在结构的差异，就不重复相同的说明。
如图6以及图7所示，本实施方式的弹性波谐振器4A的电极指配置区域24还包括：俯视时，与第一区域24A以及第二区域24B不同的中间区域24C。特别是，本实施方式的弹性波谐振器4A的电极指配置区域24在传播方向TD上，电极指配置区域24相对于第二区域24B对称地包括第一区域24A，并且，在与第一区域24A之间和与第二区域24B之间分别包括中间区域24C。
电极指14还包括：与第一电极指组14A以及第二电极指组14B不同、且位于中间区域24C的中间电极指组14C。另外，中间电极指组14C的中间间距PC为第一电极指组14A的第一间距PA与第二电极指组14B的第二间距PB之间的值。
并且，中间电极指组14C的主谐振的谐振频率为第一电极指组14A与第二电极指组14B的主谐振的谐振频率之间的值。在本实施方式中，通过根据中间电极指组14C的间距，使用图3所示的关系式来适当地设计中间电极指组14C的占空比，从而可以设计中间电极指组14C的主谐振的谐振频率。此外，在第一电极指组14A和第二电极指组14B的主谐振的谐振频率相同的情况下，中间电极指组14C的主谐振的谐振频率也与第一电极指组14A和第二电极指组14B的主谐振的谐振频率相同。
在本实施方式中，例如，各中间电极指组14C的中间间距PC从第一区域24A侧到第二区域24B侧逐渐变化。具体地，例如，在第一间距PA为0.708μm、第二间距PB为0.745μm的情况下，中间间距PC从第一区域24A侧到第二区域24B侧从0.708μm单调增加到0.745μm。
在中间电极指组14C的中间间距PC从第一区域24A侧到第二区域24B侧逐渐变化的情况下，中间电极指组14C的占空比也从第一区域24A侧到第二区域24B侧逐渐变化。具体地，在上述例子的情况下，中间电极指组14C的占空比从第一区域24A侧到第二区域24B侧从0.6单调减少到0.3。此处，中间电极指组14C的各位置处的占空比被设计为：使得中间电极指组14C的主谐振的谐振频率在任何位置都处于第一电极指组14A与第二电极指组14B的主谐振的谐振频率之间。
<实施方式二的弹性波谐振器的效果>
本实施方式的弹性波谐振器4A在同一谐振器内还包括：间距与第一电极指组14A以及第二电极指组14B两者不同的中间电极指组14C。另外，中间电极指组14C所在中间区域24C中的弹性波的主谐振的谐振频率为第一区域24A以及第二区域24B中的弹性波的主谐振的谐振频率之间的值。
由此，在第一电极指组14A、第二电极指组14B与中间电极指组14C之间，能够进一步维持在主谐振模式下激励的弹性波的频率的均匀性，并且能够使在杂散模式下激励的弹性波的频率进一步不同。因此，根据本实施方式，在同一弹性波谐振器4A内，能够维持谐振频率均匀性的同时，进一步降低了杂散的强度。
另外，在本实施方式中，中间区域24C中的间距以及占空比在中间区域24C内的各位置处也不同。因此，也可以使在杂散模式下激励的弹性波的频率在中间区域24C内的各位置处不同。因此，根据本实施方式，在同一弹性波谐振器4A内，能够维持谐振频率均匀性的同时，进一步降低了杂散的强度。
并且，在本实施方式中，中间区域24C中的间距以及占空比在中间区域24C内逐渐地变化。这样，在弹性波谐振器4A内的各位置，能够预防间距以及占空比等配置发生较大的变化。因此，在本实施方式中，可以进一步改善弹性波谐振器4A中激励的弹性波的特性。
另外，构成第一区域24A以及第二区域24B的电极指14分别至少为两根即可。在这种情况下，包括中间区域24C的所有电极指配置区域24内的电极指14的间距以及占空比缓慢地变化。
<实施例与比较例的特性比较>
通过模拟，计算了具有与本实施方式的弹性波谐振器4A对应的结构的实施例1、实施例2以及实施例3各自的弹性波谐振器的特性。
关于实施例1的弹性波谐振器，除了实施方式一中例示的值以外，各部件的尺寸等参数设定如下。IDT电极8以及反射器18使用了厚度为0.13μm的Al。电极指配置区域24与本实施方式的电极指配置区域24相同，在传播方向TD上，相对于第二区域24B对称地包括第一区域24A，并且，在与第一区域24A之间和与第二区域24B之间分别包括中间区域24C。其中，IDT电极8的电极指14的占空比设定为：在第一区域24A、中间区域24C以及第二区域24B中，从0.3单调增加到0.6。另外，实施例1的弹性波谐振器的固定基板36在Si的支撑基板26上设置有将第一层32和第二层34共计8层交替层叠而成的反射多层膜30，并在其上形成有压电体6。第一层32由厚度0.2μm的SiO2形成，第二层34由厚度0.17μm的HfO2形成。压电体6的厚度D6为0.415μm。此外，作为压电体6，是114°Y切角X传播的LT晶体。
关于实施例2的弹性波谐振器，各部件的尺寸等参数设定如下。IDT电极8以及反射器18使用了厚度为0.18μm的Al。电极指配置区域24与本实施方式的电极指配置区域24相同，在传播方向TD上，相对于第二区域24B对称地包括第一区域24A，并且，在与第一区域24A之间和与第二区域24B之间分别包括中间区域24C。其中，IDT电极8的电极指14的占空比设定为：在第一区域24A、中间区域24C以及第二区域24B中，从0.3单调增加到0.6。电极指14的间距设定为：在占空比为0.5的位置处为1μm；并变更电极指14在各位置处的间距，使得在电极指配置区域24内的任一位置处，谐振频率都一定。另外，实施例2的弹性波谐振器的固定基板36设为：在Si的支撑基板26上直接形成有压电体6，且压电体6的厚度D6为24μm。
关于实施例3的弹性波谐振器，各部件的尺寸等参数设定如下。IDT电极8以及反射器18使用了厚度为0.135μm的Al。电极指配置区域24与本实施方式的电极指配置区域24相同，在传播方向TD上，相对于第二区域24B对称地包括第一区域24A，并且，在与第一区域24A之间和与第二区域24B之间分别包括中间区域24C。其中，IDT电极8的电极指14的占空比设定为：在第一区域24A、中间区域24C以及第二区域24B中，从0.3单调增加到0.6。电极指14的间距设定为：在占空比为0.5的位置处为0.751μm；并变更电极指14在各位置处的间距，使得在电极指配置区域24内的任一位置处，谐振频率都一定。另外，实施例3的弹性波谐振器的固定基板36设定为：在Si的支撑基板26上直接形成有压电体6，且压电体6的厚度D6为2.2μm。
另外，作为相对于实施例1、实施例2以及实施例3各自的弹性波谐振器的比较对象，也通过模拟计算了比较例1、比较例2及比较例3各自的弹性波谐振器的特性。
比较例1的弹性波谐振器与实施例1的弹性波谐振器相比，不同点仅在于，在电极指配置区域24内的任意位置，电极指14的占空比都为0.6，间距都为0.708。比较例2的弹性波谐振器与实施例2的弹性波谐振器相比，不同点仅在于，在电极指配置区域24内的任意位置，电极指14的占空比都为0.6，间距都为0.995μm。比较例3的弹性波谐振器与实施例3的弹性波谐振器相比，不同点仅在于，在电极指配置区域24内的任意位置，电极指14的占空比都为0.6，间距都为0.748μm。
图8、图9是表示在各实施例以及各比较例的弹性波谐振器中激励的弹性波的特性的图，是按每个频率表示弹性波谐振器中的阻抗相位的图。在图8、图9的图中，纵轴为相位(单位：度)，横轴为频率(单位：MHz)。图8的图中用实线表示实施例1的弹性波谐振器的特性，用虚线表示比较例1的弹性波谐振器的特性。图9的图901用实线表示实施例2的弹性波谐振器的特性，用虚线表示比较例2的弹性波谐振器的特性。图9的图902用实线表示实施例3的弹性波谐振器的特性，用虚线表示比较例3的弹性波谐振器的特性。
从图8的图还可以得知，对于实施例1以及比较例1的弹性波谐振器的、在主谐振模式下振荡的、频率5800MHz至5900MHz附近的弹性波，谐振频率以及强度大致相同。然而，与比较例1相比，实施例1的弹性波谐振器的在杂散模式下振荡的、频率5900MHz以上的弹性波的强度降低了。
从图9的图901可以得知，对于实施例2以及比较例2的弹性波谐振器的、在主谐振模式下振荡的、频率1900MHz至2000MHz附近的弹性波，谐振频率以及强度大致相同。然而，与比较例2相比，实施例2的弹性波谐振器的在杂散模式下振荡的、频率2200MHz以上的弹性波的强度降低了。
从图9的图902可以得知，对于实施例3以及比较例3的弹性波谐振器的、在主谐振模式下振荡的、频率2600MHz至2700MHz附近的弹性波，谐振频率以及强度大致相同。然而，与比较例3相比，实施例3的弹性波谐振器的在杂散模式下振荡的、频率2800MHz以上的弹性波的强度降低了。
因此，与电极指14的间距以及占空比一定的弹性波谐振器相比，各实施例的弹性波谐振器能够维持在主谐振模式下振荡的弹性波的强度，并且降低在杂散模式下振荡的弹性波的强度。
<占空比的最大值以及大小值与特性的关系>
本实施方式的弹性波谐振器4A中，在变更了电极指14的占空比的最大值以及最小值的情况下，通过模拟计算出各弹性波谐振器4A的特性，在图10的图中示出。此外，在图10的图中表示特性的各弹性波谐振器4A，除了电极指14的占空比的最大值以及最小值以外，具有与实施例1对应的结构，进行了模拟。
图10中的各图，是表示本实施方式的弹性波谐振器4A中，在变更了电极指14的占空比的最大值以及最小值的情况下，各弹性波谐振器4A的阻抗的最大相位的图。
图10的图1001是表示各弹性波谐振器4A的主谐振模式下振荡的弹性波的频率的阻抗的最大相位的图。换言之，图10的图1001是表示在各弹性波谐振器4A的主谐振模式中振荡的弹性波的最大强度的图。
图10的图1002是表示各弹性波谐振器4A的杂散模式下振荡的弹性波的频率的阻抗的最大相位的图。此处，在图1002中，记载了在所有的杂散模式下振荡的弹性波的频率中阻抗的相位最大的频率。换言之，图10的图1002是表示在各弹性波谐振器4A的杂散模式下振荡的弹性波的最大强度的图。
在图10的各图中，设纵轴为相位(单位：deg)，横轴为电极指14的占空比的最大值和最小值分别减去0.61，分别相乘后的值的绝对值。
将占空比的最大值从0.6变更至0.35，将占空比的最小值从0.5变更至0.3，分别每0.05变更一次，通过模拟来计算每个最大相位，并将该计算结果绘制在图10的各图中。图10的各图中的各细线连接了占空比最大值相同的点。另外，图10的各图中的各粗线连接了占空比最小值相等的点。
从图10的图1001可知，占空比的最大值和最小值之差越小，在主谐振模式下振荡的弹性波的最大强度越有提高的倾向。另外，占空比的最大值和最小值越大，在主谐振模式下振荡的弹性波的最大强度越有提高的倾向。
从图10的图1002可知，占空比的最大值和最小值之差越大，在杂散模式下振荡的弹性波的最大强度越有降低的倾向。另外，尽管占空比的最小值越大，在杂散模式下振荡的弹性波的最大强度越有降低的倾向，但是在占空比的最大值为0.55的情况下，有最小的倾向。
如上所述，对于本实施方式的弹性波谐振器4A，在想要确保主谐振模式下振荡的弹性波的最大强度较高的情况下，减小电极指14的占空比的最大值和最小值之差即可。另外，对于本实施方式的弹性波谐振器4A，在想要将杂散模式下振荡的弹性波的最大强度控制在较低的情况下，增大电极指14的占空比的最大值和最小值之差即可。也可以通过综合弹性波谐振器4A的使用用途等来适当确定这些占空比的最大值和最小值的设计。此外，弹性波谐振器4A的上述各倾向与反射器18的条形电极22的占空比的值无关。
<中间区域间距的变化量>
图11是表示本实施方式的弹性波谐振器4A的电极指14在传播方向TD上的弹性波谐振器4A上的位置与占空比之间的关系的图。在图11的图中，横轴表示电极指14形成的在传播方向TD的弹性波谐振器4A上的位置，纵轴表示该位置处的电极指14的占空比。横轴所示的24A、24B、24C分别对应于形成第一区域24A、第二区域24B、中间区域24C的位置。
本实施方式中，如图1101所示，在中间区域24C中形成的电极指14的占空比可以从第一区域24A到第二区域24B线性地变化。或者，本实施方式中，如图1102所示，在中间区域24C中形成的电极指14的占空比可以从第一区域24A到第二区域24B非线性地变化。换言之，在中间区域24C中形成的电极指14的占空比的变化量可以从第一区域24A到第二区域24B逐渐变化。
此外，由于电极指的占空比是由每个该电极指确定的，因此，本来图11所示的图应离散地绘制占空比的值。但是，在本说明书中，在将电极指14的占空比的变化用图表示的情况下，为了图示的简便，将该电极指14的占空比视为连续变化而进行了图示。
[变形例]
<第一中间区域以及第二中间区域>
图12是本实施方式的变形例的弹性波谐振器4F的概略俯视图。如图12所示，弹性波谐振器4F的中间区域24C包括：第一中间区域24D和第二中间区域24E。另外，中间电极指组14C包括：在第一中间区域24D中形成的第一中间电极指组14D和在第二中间区域24E中形成的第二中间电极指组14E。
第一中间电极指组14D的第一中间间距PD从第一区域24A侧到第二区域24B侧基于第一变化量逐渐变化。另一方面，第二中间电极指组14E的间距从第一区域24A侧到第二区域24B侧基于与第一变化量不同的第二变化量逐渐变化。
此处，第一变化量和第二变化量可以分别根据在第一中间区域24D和第二中间区域24E中的位置而不同。另外，第一变化量与第二变化量不同是指，例如，第一变化量的最大值比第二变化量的最小值小，或者，第一变化量的最小值比第二变化量的最大值大。
并且，第一中间电极指组14D以及第二中间电极指组14E各自的主谐振的谐振频率为第一电极指组14A与第二电极指组14B的主谐振的谐振频率之间的值。另外，第一中间电极指组14D以及第二中间电极指组14E的占空比也从第一区域24A侧到第二区域24B侧逐渐变化。
图13是表示本变形例的弹性波谐振器4F的电极指14在传播方向TD的弹性波谐振器4F上的位置与占空比之间的关系的图。在图13的图中，横轴表示形成有电极指14的、在传播方向TD的弹性波谐振器4F上的位置，纵轴表示该位置处的电极指14的占空比。横轴所示的24A、24B、24D、24E分别对应于形成第一区域24A、第二区域24B、第一中间区域24D和第二中间区域24E的位置。
在本变形例中，第一中间间距PD的变化量与第二中间间距PE的变化量不同。因此，例如，如图13的图1301所示，形成在第一中间区域24D中的第一电极指组14D的占空比的变化量和形成在第二中间区域24E中的第二电极指组14E的占空比的变化量彼此不同。因此，中间区域24C的占空比的变化量从第一区域24A到第二区域24B变化。
另外，虽然列举出了在本变形例的弹性波谐振器4F中，在中间区域24C分别形成有一个第一中间区域24D和一个第二中间区域24E的例子，但是不限于此。例如，本变形例弹性波谐振器4F也可以在中间区域24C分别形成有两个第二中间区域24E、且在该两个第二中间区域24E之间形成一个第一中间区域24D。在这种情况下，如图13的图1302所示，从第一区域24A到第二区域24B，中间区域24C的占空比的变化量可以变化两次以上。
本变形例的弹性波谐振器4F中，中间区域24C中的电极指14的占空比可以逐渐变化，并且可以根据位置改变其变化量。因此，弹性波谐振器4F能够设计中间区域24C中的电极指14的占空比的分布。例如，本变形例的弹性波谐振器4F可以减少形成具有不利于降低杂散的占空比的电极指14的区域的面积。例如，弹性波谐振器4F可以通过在杂散强度变得比较强的占空比的周边，提高中间区域24C中的电极指14的占空比的变化量，来降低杂散的强度。
<杂散强度的依赖性>
通常，在弹性波谐振器中产生的杂散的强度和频率根据弹性波谐振器的电极指的占空比、间距或者压电体的厚度等而变化。以下将参照图14到图17中所示的气泡图，对弹性波谐振器中产生的杂散的强度和频率的依赖性的示例进行说明。
图14至图17是表示本实施方式以及比较例的弹性波谐振器中生成的谐振波的强度的示例的气泡图。在图14至图17各自的气泡图中，横轴表示压电体的厚度(单位：μm)，纵轴表示频率(单位：MHz)。图14至图17各个气泡图的气泡的大小表示产生的弹性波的强度。
图14至图17的气泡图表示本实施方式以及比较例的弹性波谐振器的电极指的占空比分别设为0.6、0.5、0.4以及0.3时，在该弹性波谐振器中产生的谐振波的强度。
图14的气泡图中示出了主谐振频率为4250MHz时的特性。图15的气泡图中示出了主谐振频率为4500MHz时的特性。图16的气泡图中示出了主谐振频率为4700MHz时的特性。图17的气泡图中示出了主谐振频率为4900MHz时的特性。因此，在图14至图17的气泡图中，示出了在除主谐振频率以外的位置处所示的气泡越小，所产生的杂散的强度越小。
例如，在图14以及图15中示出了特性的弹性波谐振器中，在将弹性体的厚度设为0.44μm的情况下，与将占空比设为0.5或0.6的情况相比，将占空比设为0.3或0.4的情况下能够降低杂散的强度。另一方面，在图16以及图17中示出了特性的弹性波谐振器中，在将弹性体的厚度设为0.44μm的情况下，与将占空比设为0.3或0.4的情况相比，将占空比设为0.5或0.6的情况下能够降低杂散的强度。
这样，如图14至图17所示的气泡图所示，通过模拟在弹性波谐振器中产生的杂散的强度的依赖性，能够降低杂散的强度，并能够计算各电极指的占空比。
本变形例的弹性波谐振器4F例如可以根据图14至图17所示的气泡图的特性，针对每个弹性波谐振器4F计算杂散的强度比较强的电极指14的占空比。可以利用现有公知的技术，适当地计算出如图14至图17的各气泡图所示的弹性波谐振器的特性。由此，在弹性波谐振器4F中，能够计算出中间区域24C中的电极指14的占空比的变化量被提高的区域。
<变形例的弹性波谐振器的特性>
图18是表示在具有与本实施方式的弹性波谐振器4A或者本变形例的弹性波谐振器4F相同结构的弹性波谐振器中，激励的弹性波的特性的图，是按每个频率表示弹性波谐振器中的阻抗的相位的图。换言之，图18的图是按照每个频率表示在弹性波谐振器中振荡的弹性波的强度的图。在图18的图中，纵轴为相位(单位：度)，横轴为频率(单位：MHz)。
图18的图1401表示在本实施方式的弹性波谐振器4A中，将中间区域24C中的电极指14的占空比的变化设为图11的图1101所示的占空比的变化时，弹性波谐振器的特性。图18的图1402表示在变形例的弹性波谐振器4F中，将中间区域24C中的电极指14的占空比的变化设为图13的图1301所示的占空比的变化时，弹性波谐振器的特性。
比较图18的图1401和图1402，在图1402中，在频率6000MHz附近的杂散的强度降低了。这是因为，与弹性波谐振器4A相比，弹性波谐振器4F形成有具有使中间区域24C中的电极指14的杂散强度变强的占空比的电极指14的区域小。
图18的图1403表示在变形例的弹性波谐振器4F中，从图13的图1301改变了中间区域24C中的电极指14的占空比的变化的情况下的弹性波谐振器的特性。比较图18的图1401和图1403，在频率5250MHz附近以及频率6000MHz附近的杂散的强度的平衡发生了变化。这样，本变形例的弹性波谐振器4F中，通过调节中间区域24C中的电极指14的占空比的变化量，能够设计杂散的强度的平衡。
图18的图1404表示在变形例的弹性波谐振器4F中，将中间区域24C中的电极指14的占空比的变化设为图13的图1302时，弹性波谐振器的特性。在图18的图1404中，与图1401相比，在频率5250MHz附近以及频率6000MHz附近的杂散的强度两者均减小。
本变形例的弹性波谐振器4F中，可以减少形成具有杂散强度变强的占空比的电极指14的区域。这样，根据本变形例的弹性波谐振器4F可以更容易地设计电极指14，以进一步降低产生的杂散的强度。
[实施方式三]
<电极指的厚度的差异>
图19是在与图2所示的弹性波谐振器4的截面对应的位置处的、本实施方式的弹性波谐振器4B的概略剖视图。本实施方式的弹性波谐振器4B与实施方式1的弹性波谐振器4相比，结构的不同之处仅在于，在第一区域24A和第二区域24B之间，电极指14的厚度不同，而不是电极指14的占空比不同。
在本实施方式中，如图19所示，位于第一区域24A的第一电极指组14A具有第一厚度D14A，位于第二区域24B的第二电极指组14B具有第二厚度D14B。特别是，在本实施方式中，在第一间距PA小于第二间距PB的情况下，第一厚度D14A比第二厚度D14B厚。
图20是表示本实施方式的弹性波谐振器4B的电极指14的厚度D14与谐振频率之间的关系的图。此处，将某电极指14的厚度D14设为100％，通过模拟来计算改变该电极指14的厚度D14时在主谐振模式下振荡的弹性波的谐振频率，并绘制在图20的图中。关于图20的图，纵轴表示频率(单位：MHz)，横轴用百分比来表示电极指14的材料的Al的厚度的比例。
从图20中可知，电极指14的厚度D14越薄，则以主谐振模式振荡的弹性波的谐振频率具有越高的倾向。
在本实施方式中，第一间距PA小于第二间距PB，第一厚度D14A比第二厚度D14B厚。因此，第一厚度D14A和第二厚度D14B的差异在对由第一间距PA和第二间距PB的差异产生的谐振频率的差异的高低进行消除的方向上起作用。换言之，在本实施方式中，在对由第一电极指组14A和第二电极指组14B的间距的大小关系带来的谐振频率的高低的作用进行消除的方向上起作用的谐振频率作用特性是第一电极指组14A和第二电极指组14B的厚度的差异。
相对于电极指的厚度以及间距的变化，在杂散模式下激励的弹性波的频率与在主谐振以及反谐振模式下激励的弹性波的频率具有不同的依赖性。因此，在本实施方式的弹性波谐振器4B中，也与上述各实施方式的弹性波谐振器4和4A同样地，能够在维持谐振频率的均匀性的同时，降低杂散的强度。
此外，本实施方式的弹性波谐振器4B中，电极指配置区域24包括第一区域24A和第二区域24B，但不限于此。例如，与前实施方式同样地，电极指配置区域24还可以包括：在俯视时，在第一区域24A和第二区域24B之间的中间区域24C。这种情况下，位于中间区域24C的中间电极指组14C的厚度可以从第一区域24A侧到第二区域24B侧逐渐变化。
[实施方式四]
<压电体的厚度的差异>
图21是在与图2所示的弹性波谐振器4的截面对应的位置处的、本实施方式的弹性波谐振器4C的概略剖视图。本实施方式的弹性波谐振器4C与实施方式1的弹性波谐振器4相比，结构的不同之处仅在于，在第一区域24A和第二区域24B之间，压电体6的厚度不同，而不是电极指14的占空比不同。
在本实施方式中，如图21所示，压电体6在第一区域24A和第二区域24B之间具有不同的厚度。特别是，在本实施方式中，压电体6在传播方向TD上，厚度从压电体6的端部向中心逐渐地减小。
压电体6例如如图21所示，在第一区域24A中具有第一厚度D6A，在第二区域24B中具有第二厚度D6B。特别是，在本实施方式中，在第一间距PA小于第二间距PB的情况下，第一厚度D6A比第二厚度D6B厚。
此处，第一厚度D6A以及第二厚度D6B的厚度分别可以在第一区域24A以及第二区域24B中根据位置而厚度不同。例如，第一厚度D6A以及第二厚度D6B分别在传播方向TD上，从压电体6的端部侧向中心侧，厚度逐渐地减小。
此外，通过根据压电体6的厚度的变化相应地改变密合层28的厚度，固定基板36的整体厚度可以保持为大致一定。在本实施方式中，密合层28的厚度例如可以在传播方向TD上从密合层28的端部向中心逐渐地增大。
图22是表示本实施方式的弹性波谐振器4C的压电体6的厚度与谐振频率之间的关系的图。关于图22的图，纵轴表示频率(单位：MHz)，横轴表示压电体6的厚度，单位为μm。从图22中可知，压电体6的厚度D6越薄，则以主谐振模式振荡的弹性波的谐振频率具有越高的倾向。
在本实施方式中，第一间距PA小于第二间距PB，第一厚度D6A比第二厚度D6B厚。因此，第一厚度D6A和第二厚度D6B的差异在对由第一间距PA和第二间距PB的差异产生的谐振频率的差异的高低进行消除的方向上起作用。换言之，在本实施方式中，在对由第一电极指组14A和第二电极指组14B的间距的大小关系带来的谐振频率的高低的作用进行消除的方向上起作用的谐振频率作用特性是压电体6的厚度的差异。
相对于电极指的间距以及压电体的厚度的变化，在杂散模式下激励的弹性波的频率与在主谐振以及反谐振模式下激励的弹性波的频率具有不同的依赖性。因此，在本实施方式的弹性波谐振器4C中，也与上述各实施方式的弹性波谐振器4、4A、4B同样地，能够在维持谐振频率的均匀性的同时，降低杂散的强度。
此外，本实施方式的弹性波谐振器4C中，电极指配置区域24包括第一区域24A和第二区域24B，但不限于此。例如，与实施方式二同样地，电极指配置区域24还可以包括：在俯视时，在第一区域24A和第二区域24B之间的中间区域24C。
另外，在本实施方式中，压电体6的厚度可以在传播方向TD上从压电体6的端部向中心逐渐地减小，但不限于此。例如，压电体6的厚度可以在第一区域24A和第二区域24B的边界处不连续地变化。
[实施方式五]
<反射多层膜的厚度的差异>
图23是在与图2所示的弹性波谐振器4的截面对应的位置处的、本实施方式的弹性波谐振器4D的概略剖视图。本实施方式的弹性波谐振器4D与实施方式1的弹性波谐振器4相比，结构的不同之处仅在于，在第一区域24A和第二区域24B之间，反射多层膜30的厚度不同，而不是电极指14的占空比不同。
在本实施方式中，如图23所示，反射多层膜30在第一区域24A和第二区域24B间具有不同的厚度。特别是，在本实施方式中，反射多层膜30在传播方向TD上，厚度从反射多层膜30端部向中心逐渐地减小。特别是，在本实施方式中，反射多层膜30的厚度变化是通过第一层32和第二层34各自的厚度从反射多层膜30的端部向中心逐渐地减小来实现的。
第一层32例如如图23所示，在第一区域24A中具有第一厚度D32A，在第二区域24B中具有第二厚度D32B。特别是，在本实施方式中，在第一间距PA小于第二间距PB的情况下，第一厚度D32A比第二厚度D32B厚。同样地，第二层34例如如图23所示，在第一区域24A中具有第一厚度D34A，在第二区域24B中具有第二厚度D34B。特别是，在本实施方式中，在第一间距PA小于第二间距PB的情况下，第一厚度D34A比第二厚度D34B厚。
此处，第一厚度D32A、第二厚度D32B、第一厚度D34A以及第二厚度D34B分别可以在第一区域24A以及第二区域24B中根据位置而厚度不同。例如，第一厚度D32A、第二厚度D32B、第一厚度D34A以及第二厚度D34B分别在传播方向TD上，从反射多层膜30的端部侧向中心侧，厚度逐渐地减小。
此外，通过根据反射多层膜30的厚度的变化相应地改变密合层28的厚度，固定基板36的整体厚度可以保持为大致一定。在本实施方式中，密合层28的厚度例如可以在传播方向TD上从密合层28的端部向中心逐渐地增大。
图24是表示本实施方式的弹性波谐振器4D的反射多层膜30的厚度与谐振频率之间的关系的图。图24中图2401是，将某第一层32的厚度D32设为100％，改变该第一层32的厚度D32时，对在主谐振模式下振荡的弹性波的谐振频率，通过模拟来计算并绘制的图。图23中图2402是，将某第二层34的厚度D34设为100％，改变该第二层34的厚度D34时，对在主谐振模式下振荡的弹性波的谐振频率，通过模拟来计算并绘制的图。
关于图24的图2401，纵轴表示频率(单位：MHz)，横轴用百分比来表示第一层32的材料的SiO2的厚度的比例。关于图24的图2402，纵轴表示频率(单位：MHz)，横轴用百分比来表示第二层34的材料的HfO2的厚度的比例。
从图24中可知，第一层32的厚度D32以及第二层34的厚度D34越薄，则以主谐振模式振荡的弹性波的谐振频率具有越高的倾向。换言之，反射多层膜30的厚度越薄，则以主谐振模式振荡的弹性波的谐振频率具有越高的倾向。
在本实施方式中，第一间距PA小于第二间距PB，第一厚度D32A以及第二厚度D34A分别比第二厚度D32B以及第二厚度D34B厚。因此，第一厚度D32A和第二厚度D32B的差异、以及第一厚度D34A和第二厚度D34B的差异，在对由第一间距PA和第二间距PB的差异产生的谐振频率的差异的高低进行消除的方向上起作用。换言之，在本实施方式中，在对由第一电极指组14A和第二电极指组14B的间距的大小关系带来的谐振频率的高低的作用进行消除的方向上起作用的谐振频率作用特性是反射多层膜30的厚度的差异。
相对于电极指的间距以及反射多层膜的厚度的变化，在杂散模式下激励的弹性波的频率与在主谐振以及反谐振模式下激励的弹性波的频率具有不同的依赖性。因此，在本实施方式的弹性波谐振器4D中，也与上述各实施方式的弹性波谐振器4、4A～4C同样地，能够在维持谐振频率的均匀性的同时，降低杂散的强度。
此外，本实施方式的弹性波谐振器4D中，电极指配置区域24包括第一区域24A和第二区域24B，但不限于此。例如，与实施方式二同样地，电极指配置区域24还可以包括：在俯视时，在第一区域24A和第二区域24B之间的中间区域24C。
另外，在本实施方式中，反射多层膜30的厚度可以在传播方向TD上从反射多层膜30的端部向中心逐渐地变化，但不限于此。例如，反射多层膜30的厚度可以在第一区域24A和第二区域24B的边界处不连续地变化。
[实施方式六]
<保护膜>
图25是在与图2所示的弹性波谐振器4的截面对应的位置处的、本实施方式的弹性波谐振器4E的概略剖视图。本实施方式的弹性波谐振器4E与实施方式一的弹性波谐振器4相比，如图25所示，在覆盖弹性波谐振器4E的最上表面的位置处具备保护膜38。换言之，本实施方式的弹性波谐振器4E在覆盖压电体6的上表面、IDT电极8以及反射器18各自的上表面和侧面的位置处，具备保护膜38。
保护膜38是用于防止IDT电极8以及反射器18腐蚀等，对压电体6上的电极进行保护的薄膜。保护膜38例如也可以使用SiO2或Si3N4等。另外，保护膜38可以通过层叠多个由上述材料形成的层来提供。上述材料由于绝缘性高且质量低，因此适用于保护膜38。然而，保护膜38的材料不限于此。
在本实施方式中，如图25所示，保护膜38在第一区域24A和第二区域24B之间具有不同的厚度。相反地，在本实施方式中，IDT电极8的电极指14的占空比一定。在本实施方式中，保护膜38可以在传播方向TD上从保护膜38的端部向中心厚度逐渐减小，也可以在第一区域24A和第二区域24B的边界处不连续地变化。
保护膜38例如如图26所示，在第一区域24A中具有第一厚度D38A，在第二区域24B中具有第二厚度D38B。特别是，在本实施方式中，在第一间距PA小于第二间距PB的情况下，第一厚度D38A比第二厚度D38B厚。
除了上述点以外，本实施方式的弹性波谐振器4E的结构可以与实施方式一的弹性波谐振器4的结构相同。
图26是表示本实施方式的弹性波谐振器4E的保护膜38的厚度与谐振频率之间的关系的图。此处，将某保护膜38的厚度设为100％，通过模拟来计算改变该保护膜38的厚度时、在主谐振模式下振荡的弹性波的谐振频率，并绘制在图26的图中。关于图26的图，纵轴表示频率(单位：MHz)，横轴用百分比来表示保护膜38的厚度的比例。
从图26中可知，保护膜38的厚度越薄，则主谐振模式下振荡的弹性波的谐振频率具有越高的倾向。
在本实施方式中，第一间距PA小于第二间距PB，第一厚度D38A比第二厚度D38B厚。因此，第一厚度D38A和第二厚度D38B的差异在对由第一间距PA和第二间距PB的差异产生的谐振频率的差异的高低进行消除的方向上起作用。换言之，在本实施方式中，在对由第一电极指组14A和第二电极指组14B的间距的大小关系带来的谐振频率的高低的作用进行消除的方向上起作用的谐振频率作用特性是保护膜38的厚度的差异。
相对于电极指的间距以及压电体的厚度的变化，在杂散模式下激励的弹性波的频率与在主谐振以及反谐振模式下激励的弹性波的频率具有不同的依赖性。因此，在本实施方式的弹性波谐振器4E中，也与上述各实施方式的弹性波谐振器4、4A～4D同样地，能够在维持谐振频率的均匀性的同时，降低杂散的强度。
此外，本实施方式的弹性波谐振器4E中，电极指配置区域24包括第一区域24A和第二区域24B，但不限于此。例如，与实施方式二同样地，电极指配置区域24还可以包括：在俯视时，在第一区域24A和第二区域24B之间的中间区域24C。在这种情况下，保护膜38的厚度优选地在传播方向TD上从保护膜38的端部向中心逐渐变化。
另外，上述各实施方式的弹性波谐振器4、4A～4D也可以具备如本实施方式的保护膜38那样的，在覆盖弹性波谐振器4E的最上表面的位置处形成的薄膜。然而，在上述各实施方式弹性波谐振器4、4A～4D具备该薄膜的情况下，薄膜可以在表面内的厚度上具有分布，也可以大致均匀地形成。
[实施方式七]
<反射器的条形电极的间距>
图27是表示对本实施方式的弹性波谐振器4G的反射器18的周边进行放大的概略俯视图。本实施方式的弹性波谐振器4G例如除了反射器18的结构以外，可以具有与上述各实施方式的弹性波谐振器相同的结构。此外，图27所示的反射器18与图1等所示的反射器18相比，条形电极22的数量不同。但是，关于上述各实施方式的弹性波谐振器，也可以包括：具有与图27所示的反射器18相同数量的条形电极22的反射器18。
如图27所示，本实施方式的弹性波谐振器4G在包括反射器18的条形电极22的区域中包括电极指配置区域24。在本实施方式中，电极指配置区域24至少包括一个第一区域24A和一个第二区域24B。另外，条形电极22包括：第一条形电极组22F，第一条形电极组22F为位于第一区域24F的第一电极指组；和，第二条形电极组22G，第二条形电极组22G为位于第二区域24B的第二电极指组。
此外，在本实施方式中，在弹性波谐振器4G包括一对反射器18的情况下，也可以在各反射器18中形成电极指配置区域24。另外，电极指配置区域24可以包括多个的、第一区域24F和第二区域24G中至少一者。例如，如图27所示，在传播方向TD上，电极指配置区域24相对于第二区域24G对称地包括第一区域24F。
此处，多个条形电极22中的每一个与电极指14相同地，相互以某一间距被配置。另外，第一条形电极组22F的第一间距PF与第二条形电极组22G的第二间距PG不同。
并且，第一条形电极组22F的占空比与第二条形电极组22G的占空比不同。特别是，第一条形电极组22F的占空比和第二条形电极组22G的占空比被设计为：对由第一间距PF和第二间距PG的差异带来的谐振频率的高低的作用进行消除。具体地，在第一间距PF小于第二间距PG的情况下，第一条形电极组22F的占空比大于第二条形电极组22G的占空比。
此处，相对于反射器的条形电极的占空比以及间距的变化，在杂散模式下激励的弹性波的频率也与在主谐振以及反谐振模式下激励的弹性波的频率具有不同的依赖性。因此，弹性波谐振器4G包括：间距以及占空比彼此不同、且谐振频率的差异更小的第一条形电极组22F和第二条形电极组22G。
由此，在第一区域24F与第二区域24G之间，能够进一步维持在主谐振模式下激励的弹性波的频率的均匀性，并且能够使在杂散模式下激励的弹性波的频率更加不同。因此，根据本实施方式，在同一弹性波谐振器4G内，通过维持谐振频率的均匀性，并且分散在杂散模式下激励的弹性波的频率，从而能够降低杂散的强度。
此外，在本实施方式中，在第一区域24F和第二区域24G之间，代替条形电极22的占空比，条形电极22、压电体6、反射多层膜30或保护膜38的厚度也可以不同。在这种情况下，这些厚度的差异被设计为：对由第一间距PF和第二间距PG的差异所带来的谐振频率的高低的作用进行消除。
<其它变形例>
在上述各实施方式中，都相对于电极指的间距，以单独地改变电极指的占空比、电极指的厚度、压电体6的厚度、反射多层膜30的厚度、保护膜38的厚度等的情况为例进行了说明。然而，本公开不限于此，并且弹性波谐振器4、4A～4G的结构也可以分别组合。
例如，关于电极指的间距比一方的区域大的区域，可以使该区域中的电极指的占空比变窄，且使保护膜38的厚度变小。由此，与由一个要素进行谐振频率调整的情况相比，能够减小各个要素的调整量，并且能够得到同样的效果。
另外，在各实施方式中，关于弹性波谐振器4、4A～4G中包括IDT电极8的区域和包括反射器18的区域的至少一方中包括第一区域和第二区域两者的例子进行了说明。但是，在各实施方式中不限于此，第一区域可以仅形成于包括IDT电极8的区域中，而第二区域可以仅形成于包括反射器18的区域中。
换言之，在各实施方式中，IDT电极8的所有电极指14可以被包括在第一电极指组中，反射器18的所有条形电极22可以被包括在第二电极指组中。在这种情况下，电极指14和条形电极22之间彼此的间距不同，并被设计成：对由于电极指14和条形电极22的间距的差异而引起的谐振频率的高低的差异进行消除。另外，在上述情况下，在电极指14内或条形电极22内，间距也可以一定。
并且，在各实施方式中，对于弹性波谐振器4、4A～4G包括反射多层膜30的例子进行了说明。但是，在本公开中并不限于此，弹性波谐振器4、4A～4G的固定基板36也可以在Si的支撑基板26上直接形成压电体6，或者，也可以代替反射多层膜30而包括由SiO2等形成的绝缘层。
另外，在各实施方式的弹性波谐振器4、4A～4G中，在压电体6中，形成有IDT电极8的区域的里面侧和支撑基板26之间，也可以存在空隙。这种情况下，各实施方式的弹性波谐振器4、4A～4G也可以是例如在具备凹部的支撑基板26上配置了压电体6的所谓的膜状。
本公开的其他实施方式的弹性波谐振器，包括：压电体；和，IDT电极，所述IDT电极具有位于所述压电体上并在弹性波的传播方向上排列的多个电极指；所述多个电极指所在区域在俯视时包括第一区域和第二区域；所述多个电极指包括：位于所述第一区域的第一电极指组和位于所述第二区域的第二电极指组；所述第一电极指组的间距与所述第二电极指组的间距不同；所述第一区域以及所述第二区域具有：在对由每个电极指组的间距的大小关系引起的谐振频率的高低的作用进行消除的方向上起作用的频率作用特性。
本公开的其他实施方式的弹性波谐振器，在上述实施方式中，还包括：比所述压电体更靠与所述IDT电极相反一侧的支撑基板；和，所述压电体与所述支撑基板之间的反射多层膜；所述频率作用特性是所述第一区域以及所述第二区域中的所述反射多层膜的厚度之差。
本公开的其他实施方式的弹性波谐振器，在上述实施例中的任一个中，在所述压电体上还包括相对于所述多个电极指位于所述传播方向的两端的一对反射器。
本公开的其他实施方式的弹性波谐振器，包括：压电体；和，IDT电极，所述IDT电极具有位于所述压电体上并在弹性波的传播方向上排列的多个电极指；所述多个电极指所在区域在俯视时包括第一区域和第二区域；所述多个电极指中，位于所述第一区域的第一电极指组的间距比位于所述第二区域的第二电极指组小，所述第一电极指组的占空比比所述第二电级指组的占空比大。
<通信装置和分波器的结构的概要>
图28是本发明实施方式的通信装置40的主要部分的框图。通信装置40使用无线电波进行无线通信。分波器42具有将通信装置40中的发送频率的信号和接收频率的信号进行分波的功能。
在通信装置40中，包括要发送的信息的发送信息信号TIS通过RF-IC44进行调制以及频率提升(转换为载波频率的高频信号)，从而成为发送信号TS。发送信号TS通过带通滤波器46，去除发送用的通带以外的非必要成分，并通过放大器48放大，输入至分波器42。分波器42从输入的发送信号TS中去除发送用的通带以外的非必要成分，并输出到天线50。天线50将输入的电信号(发送信号TS)转换成无线信号并发送。
在通信装置40中，通过天线50接收到的无线信号通过天线50被转换为电信号(接收信号RS)，并输入至分波器42。分波器42从输入的接收信号RS中去除接收用的通带以外的非必要成分，并输出到放大器52。输出的接收信号RS通过放大器52被放大，通过带通滤波器54去除接收用的通带以外的非必要成分。然后，接收信号RS通过RF-IC44被降低频率以及被解调，从而成为接收信息信号RIS。
此外，发送信息信号TIS以及接收信息信号RIS可以是包括适当信息的低频信号(基带信号)，例如为模拟的声音信号或数字化的声音信号。无线信号通带可以遵循诸如UMTS(Universal Mobile Telecommunications System，通用移动电信系统)等各种标准。调制方式可以是相位调制、振幅调制、频率调制或它们中的任意两个以上的组合。
图29是表示本发明的一个实施方式的分波器42结构的电路图。分波器42是图28中的通信装置40中使用的分波器42。
如图29所示，发送滤波器56包括串联谐振器S1～S3和并联谐振器P1～P3。分波器42主要由天线端子58、发送端子60、接收端子62、配置在天线端子58与发送端子60之间的发送滤波器56以及配置在天线端子58与接收端子62之间的接收滤波器64构成。来自放大器48的发送信号TS被输入到发送端子60，被输入至发送端子60的发送信号TS在发送滤波器56中被去除用于发送的通带以外的非必要成分，并被输出到天线端子58。另外，来自天线50的接收信号RS被输入到天线端子58，在接收滤波器64中去除用于接收的通带以外的非必要成分，并被输出到接收端子62。
发送滤波器56例如由梯型弹性波滤波器构成。具体地，发送滤波器56具有：在其输入侧和输出侧之间串联连接的3个串联谐振器S1、S2、S3；以及，设置在串联臂和基准电位部G之间的3个并联谐振器P1、P2、P3；串联臂为用于连接串联谐振器的布线。即，发送滤波器56是具有三级结构的梯型滤波器。然而，在发送滤波器56中，梯形滤波器的级数是任意的。
并联谐振器P1～P3和基准电位部G之间设置有电感器L。通过将该电感器L的电感设置为预定大小，在发送信号的通带之外形成衰减极点，从而增加频带之外的衰减。多个串联谐振器S1～S3以及多个并联谐振器P1～P3分别由弹性波谐振器构成。
接收滤波器64例如包括：多模式型弹性波滤波器66和与其输入侧串联连接的辅助谐振器68。此外，在本实施方式中，多模式包括双重模式。多模式型弹性波滤波器66具有平衡-不平衡转换功能，接收滤波器64连接到输出平衡信号的两个接收端子62。接收滤波器64不限于由多模式型弹性波滤波器66构成，也可以由梯型滤波器构成，也可以是不具有平衡-不平衡转换功能的滤波器。
发送滤波器56、接收滤波器64以及天线端子58的连接点与接地电位部G之间可以插入由电感器等构成的阻抗匹配电路。
上述各实施方式的弹性波滤波器是例如由图28所示的分波器42中的发送滤波器56或接收滤波器64中的、至少一者的梯型滤波器电路构成的弹性波元件。在发送滤波器56或接收滤波器64中的任一者为上述各实施方式的弹性波滤波器的情况下，该滤波器包括的弹性波谐振器中的全部或至少一部分是上述各实施方式的弹性波谐振器4、4A～4G。
通过采用包括这种发送滤波器56或接收滤波器64的分波器42，可以提升通信装置40的滤波器特性。
本发明并不限于上述各实施方式，可以在权利要求所示的范围内进行各种变更；将在不同的实施方式中分别公开的技术手段适当地组合而得到的实施方式也被包括在本发明的技术范围中。
附图标记说明
2…弹性波滤波器，4、4A～4G…弹性波谐振器，6…压电体，8…IDT电极，12、20…汇流条，14…电极指，14A…第一电极指组，14B…第二电极指组，14C…中间电极指组，14D…第一中间电极指组，14E…第二中间电极指组，18…反射器，22…条形电极，24…电极指配置区域，24A…第一区域，24B…第二区域，24C…中间区域，24D…第一中间区域，24D…第二中间区域，26…支撑基板，30…反射多层膜，38…保护膜，40…通信装置，42…分波器，44…RF-IC，50…天线，56…发送滤波器，58…天线端子，64…接收滤波器。

Claims (20)

1.弹性波谐振器，包括：
压电体；和，
位于所述压电体上并在弹性波的传播方向上排列的多个电极指；
所述多个电极指所在区域在俯视时包括第一区域和第二区域；
所述多个电极指包括：位于所述第一区域的第一电极指组和位于所述第二区域的第二电极指组；
所述第一电极指组的间距与所述第二电极指组的间距不同；
所述第一区域以及所述第二区域具有：在对由每个电极指组的间距的大小关系引起的谐振频率或反谐振频率的高低的作用进行消除的方向上起作用的频率作用特性。
2.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，所述频率作用特性是所述第一区域以及所述第二区域中的所述电极指的占空比之差。
3.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，所述频率作用特性是所述第一区域以及所述第二区域中的所述电极指的厚度之差。
4.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，所述频率作用特性是所述第一区域以及所述第二区域中的所述压电体的厚度之差。
5.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，还包括：
比所述压电体更靠与所述电极指相反一侧的支撑基板；和，
所述压电体与所述支撑基板之间的反射多层膜；
所述频率作用特性是所述第一区域以及所述第二区域中的所述反射多层膜的厚度之差。
6.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，包括：
位于所述多个电极指上，且由绝缘性材料形成的保护膜；
所述频率作用特性是所述第一区域以及所述第二区域中的所述保护膜的厚度之差。
7.根据权利要求6所述的弹性波谐振器，所述第一区域中的所述弹性波的主谐振的谐振频率与所述第二区域中的所述弹性波的主谐振的谐振频率相同。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的弹性波谐振器，所述多个电极指所在区域在俯视时还包括与所述第一区域以及所述第二区域不同的中间区域；
所述多个电极指还包括位于所述中间区域的中间电极指组；
所述中间电极指组的间距为所述第一电极指组的间距与所述第二电极指组的间距之间的值；
所述中间区域中的所述弹性波的主谐振的谐振频率为所述第一区域中的所述弹性波的主谐振的谐振频率与所述第二区域中的所述弹性波的主谐振的谐振频率之间的值。
9.根据权利要求8所述的弹性波谐振器，在俯视时，在所述第一区域以及所述第二区域之间包括所述中间区域；
所述中间电极指组的间距从所述第一区域到所述第二区域逐渐变化。
10.根据权利要求9所述的弹性波谐振器，所述中间区域包括：所述中间电极指组的间距根据第一变化量从所述第一区域到所述第二区域逐渐变化的第一中间区域；和，所述中间电极指组的间距根据与所述第一变化量不同的第二变化量从所述第一区域到所述第二区域逐渐变化的第二中间区域。
11.根据权利要求9所述的弹性波谐振器，所述中间电极指组的间距的变化量从所述第一区域到所述第二区域逐渐变化。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的弹性波谐振器，包括：多个所述第一区域和所述第二区域中的至少一方；
在所述传播方向上，相对于所述第一区域和所述第二区域中的一方，对称地包括：所述第一区域和所述第二区域中的另外一方。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的弹性波谐振器，在所述压电体上包括IDT电极，所述IDT电极包括所述多个电极指的至少一部分。
14.根据权利要求1至12中任一项所述的弹性波谐振器，在所述压电体上包括：IDT电极，所述IDT电极包括所述多个电极指的一部分；和，一对反射器，所述一对反射器相对于所述IDT电极位于所述传播方向的两端，分别包含所述多个电极指的其他部分。
15.根据权利要求1至14中任一项所述的弹性波谐振器，所述多个电极指所在区域的80％以上的区域中的谐振频率与所述第一区域中的所述弹性波的谐振频率相同。
16.根据权利要求1至15中任一项所述的弹性波谐振器，所述压电体的厚度为所述第一电极指组或所述第二电极指组中的间距以下的厚度。
17.弹性波谐振器，包括：
压电体；和，
位于所述压电体上并在弹性波的传播方向上排列的多个电极指；
所述多个电极指所在区域在俯视时包括第一区域和第二区域；
所述多个电极指中，位于所述第一区域的第一电极指组的间距比位于所述第二区域的第二电极指组小，所述第一电极指组的占空比比所述第二电级指组的占空比大。
18.弹性波滤波器，包括至少一个以上权利要求1～17中任一项所述的弹性波谐振器。
19.分波器，包括：
天线端子；
发送滤波器，对发送信号进行滤波并输出至所述天线端子；和，
接收滤波器，对来自所述天线端子的接收信号进行滤波；
所述发送滤波器以及所述接收滤波器中的至少一方包括权利要求18所述的弹性波滤波器。
20.通信装置，包括：
天线；
权利要求19所述的分波器，所述天线端子连接至所述天线；和，
连接至所述发送滤波器以及所述接收滤波器的IC。
CN202180018618.9A 2020-03-06 2021-02-24 弹性波谐振器、弹性波滤波器、分波器、通信装置 Pending CN115398801A (zh)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020-039361 2020-03-06
JP2020039361 2020-03-06
JP2020-110832 2020-06-26
JP2020110832 2020-06-26
PCT/JP2021/006850 WO2021177108A1 (ja) 2020-03-06 2021-02-24 弾性波共振子、弾性波フィルタ、分波器、通信装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN115398801A true CN115398801A (zh) 2022-11-25

Family

ID=77613016

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202180018618.9A Pending CN115398801A (zh) 2020-03-06 2021-02-24 弹性波谐振器、弹性波滤波器、分波器、通信装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20230223925A1 (zh)
JP (1) JP7401649B2 (zh)
CN (1) CN115398801A (zh)
WO (1) WO2021177108A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116633307A (zh) * 2023-05-23 2023-08-22 无锡市好达电子股份有限公司 弹性波装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023068206A1 (ja) * 2021-10-22 2023-04-27 株式会社村田製作所 マルチプレクサ
WO2023136294A1 (ja) * 2022-01-14 2023-07-20 株式会社村田製作所 弾性波装置
WO2024024778A1 (ja) * 2022-07-29 2024-02-01 京セラ株式会社 弾性波共振子、弾性波フィルタおよび通信装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63135010A (ja) * 1986-11-26 1988-06-07 Alps Electric Co Ltd 弾性表面波共振子
JP5239741B2 (ja) * 2008-10-24 2013-07-17 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および弾性表面波モジュール装置
JP6408592B2 (ja) * 2015-01-27 2018-10-17 京セラ株式会社 フィルタ，分波器および通信装置
WO2017131170A1 (ja) * 2016-01-29 2017-08-03 京セラ株式会社 弾性波共振子、弾性波フィルタ、分波器および通信装置
JP6832737B2 (ja) 2017-02-20 2021-02-24 京セラ株式会社 弾性表面波共振子、分波器および通信装置
KR102358899B1 (ko) 2017-12-08 2022-02-08 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 탄성파 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116633307A (zh) * 2023-05-23 2023-08-22 无锡市好达电子股份有限公司 弹性波装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20230223925A1 (en) 2023-07-13
JPWO2021177108A1 (zh) 2021-09-10
WO2021177108A1 (ja) 2021-09-10
JP7401649B2 (ja) 2023-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6526155B2 (ja) 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置
CN107210730B (zh) 滤波器、分波器以及通信装置
US10340887B2 (en) Band pass filter and filter module
JP6573668B2 (ja) 弾性波装置および通信装置
JP6595342B2 (ja) 弾性波素子、分波器および通信装置
CN115398801A (zh) 弹性波谐振器、弹性波滤波器、分波器、通信装置
WO2015064238A1 (ja) 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置
US20180323769A1 (en) Acoustic wave resonator, acoustic wave filter, multiplexer, communication apparatus, and method designing acoustic wave resonator
CN113302840A (zh) 弹性波装置、分波器以及通信装置
JP7278305B2 (ja) 弾性波装置、分波器および通信装置
CN111937305A (zh) 弹性波元件、弹性波滤波器、分波器以及通信装置
WO2019107280A1 (ja) 弾性波フィルタ、分波器および通信装置
CN107852148B (zh) 声表面波元件
JPWO2018070369A1 (ja) 弾性波装置
CN110710106A (zh) 弹性波装置、分波器及通信装置
JP7386741B2 (ja) フィルタ、分波器及び通信装置
JP7117880B2 (ja) 弾性波フィルタ、分波器および通信装置
WO2021261464A1 (ja) 弾性波共振子、弾性波フィルタ、分波器、通信装置
WO2022025147A1 (ja) 弾性波共振子、弾性波フィルタ、分波器、通信装置
WO2021020102A1 (ja) 弾性波装置及び通信装置
JP2003179461A (ja) 縦多重モード型ｓａｗフィルタ
WO2020175240A1 (ja) フィルタおよびマルチフィルタ

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination