CN115394620A - 扫描电镜样品台 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种扫描电镜样品台，其包括：座体，具有第一基准面；滑动件，具有相对设置的连接部和放置部，连接部可滑动地设置在座体上，放置部用于固定被测试件，放置部具有第二基准面，第二基准面为平面；滑动件具有相对座体设置的第一极限位置和第二极限位置，当滑动件处于第一极限位置时，第二基准面与第一基准面平行；当滑动件处于第二极限位置时，第二基准面与第一基准面之间的夹角为70°；锁紧部，设置在座体与滑动件之间，锁紧部用于固定滑动件在座体上的位置。通过本方案提供的扫描电镜样品台，可以解决现有技术中的样品台功能单一的问题。

Description

扫描电镜样品台

技术领域

本发明涉及材料表征技术领域，具体而言，涉及一种扫描电镜样品台。

背景技术

扫描电镜是研究材料微观领域的利器，其原理是利用纳米电子束对样品进行扫描，电子与材料相互作用激发出携带各类信息的逃逸电子，通过探测器收集这些电子并进行分析从而获得材料的相关信息。扫描电镜中二次电子探测器（SED）可用于观察样品表面的形貌特征，电子能量色散探测器（EDS）能够研究材料中元素的分布状态和含量。电子背散射衍射探测器（EBSD）可通过解析衍射菊池花样确定晶粒的生长取向。在扫描电镜测试过程中，在形貌分析时，要求电子束与观察的表面垂直，而在EBSD表征时，则要求电子束与观察面法线的夹角为70°，不同的测试内容要求相应的样品台来装载样品。但是，目前常见的样品台，其功能单一，一般情况下，在进行形貌表征时，需要使用一种样品台，进行EBSD表征时，需要更换另一种样品台，操作繁琐。

发明内容

本发明提供一种扫描电镜样品台，以解决现有技术中的样品台功能单一的问题。

本发明提供了一种扫描电镜样品台，其包括：座体，具有第一基准面；滑动件，具有相对设置的连接部和放置部，连接部可滑动地设置在座体上，放置部用于固定被测试件，放置部具有第二基准面，第二基准面为平面；滑动件具有相对座体设置的第一极限位置和第二极限位置，当滑动件处于第一极限位置时，第二基准面与第一基准面平行；当滑动件处于第二极限位置时，第二基准面与第一基准面之间的夹角为70°；锁紧部，设置在座体与滑动件之间，锁紧部用于固定滑动件在座体上的位置。

进一步地，座体上设置有第一导向结构，滑动件上设置有第二导向结构，第一导向结构和第二导向结构均为弧形，第一导向结构与第二导向结构之间相互适配，第一导向结构与第二导向结构相互配合以使滑动件相对座体在第一极限位置和第二极限位置之间移动。

进一步地，第一导向结构包括导向块，第二导向结构包括导向槽，导向槽设置在滑动件的侧部，导向块位于导向槽内。

进一步地，座体与滑动件之间设置有限位部，限位部用于限制滑动件相对座体的滑动位移。

进一步地，限位部包括：第一限位结构，设置在座体与滑动件之间，第一限位结构用于限制滑动件由第一极限位置滑动至第二极限位置的位移；第二限位结构，设置在座体与滑动件之间，第二限位结构用于限制滑动件由第二极限位置滑动至第一极限位置的位移。

进一步地，滑动件具有沿滑动方向相对设置的第一端和第二端；第一限位结构包括第一止挡部和第二止挡部，第一止挡部设置在滑动件的第一端，第二止挡部设置在座体上，当滑动件由第一极限位置移动至第二极限位置时，第二止挡部与第一止挡部止挡配合；第二限位结构包括第三止挡部和第四止挡部，第三止挡部设置在滑动件的第二端，第四止挡部设置在座体上，当滑动件由第二极限位置移动至第一极限位置时，第四止挡部与第三止挡部止挡配合。

进一步地，座体具有沿滑动件滑动方向设置的第三端和第四端；导向槽的靠近滑动件的第一端的端部为封堵端，封堵端形成第一止挡部，导向块设置在座体的第四端，导向块沿延伸方向具有相对设置的第一端和第二端，导向块的第一端靠近封堵端设置，导向块的第一端形成第二止挡部，导向块的第一端与导向槽的封堵端止挡配合；第三止挡部设置在滑动件的底部，第四止挡部设置在座体的第三端且位于滑动件的下方。

进一步地，座体包括：两个配合部，两个配合部相对设置在滑动件的滑动方向的两侧，至少一个配合部上设置有一个第二止挡部并且至少一个配合部上设置有一个第四止挡部，第二止挡部和第四止挡部均位于配合部的靠近滑动件的侧壁上；第一连接段，设置在两个配合部的一端，且与两个配合部可拆卸连接；第二连接段，设置在两个配合部的另一端，且与两个配合部可拆卸连接。

进一步地，座体上设置有第一螺纹孔，第一螺纹孔位于滑动件的一侧，锁紧部与第一螺纹孔螺纹配合，锁紧部的一端穿过第一螺纹孔并与滑动件抵接配合。

进一步地，扫描电镜样品台还包括：夹持组件，设置在滑动件的放置部上，夹持组件用于夹持被测试件。

进一步地，夹持组件包括第一夹持部和第二夹持部，滑动件具有沿滑动方向相对设置的第一端和第二端，滑动件的第一端形成第一夹持部，第二夹持部和第一夹持部沿滑动件的延伸方向间隔分布，第二夹持部和第一夹持部之间的间距可调，第二夹持部具有相对滑动件设置的调节状态和锁紧状态，第二夹持部和第一夹持部配合以对被测试件进行夹持。

进一步地，滑动件的放置部的端面设置有避让槽，滑动件的第二端的端面设置有第二螺纹孔，第二螺纹孔与避让槽连通，夹持组件还包括调节部，第二夹持部可移动地设置在避让槽内，调节部与第二螺纹孔螺纹连接，调节部的一端穿过第二螺纹孔并与第二夹持部转动连接，以驱动第二夹持部靠近或远离第一夹持部。

应用本发明的技术方案，第二基准面与第一基准面平行或者第二基准面与第一基准面之间的夹角为70°，上述设置能够使得在不更换样品台的情况下，对被测试件进行形貌表征和EBSD表征，提升了测试过程的顺畅性。具体地，将被测试件固定在滑动件的放置部，使得被测试件的待表征面与第二基准面平行，在需要对被测试件进行形貌表征时，使得第二基准面与第一基准面平行，通过锁紧部对滑动件进行固定，之后再对被测试件进行形貌表征即可；在需要对被测试件进行EBSD表征时，解除锁紧部对滑动件的固定，使得滑动件由第一极限位置滑动至第二极限位置，第二基准面与第一基准面之间的夹角为70°，对被测试件进行EBSD表征即可。与传统的技术方案相比，本方案的设置，能够在不更换样品台的情况下，对被测试件进行形貌表征以及进行EBSD表征，提升了表征过程的便捷性，并且，上述过程能够避免对被测试件进行转移，提升了测试结果的准确性。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1示出了根据本发明实施例提供的扫描电镜样品台的滑动件处于第一极限位置时的结构示意图；

图2示出了根据本发明实施例提供的扫描电镜样品台的滑动件处于第一极限位置时的侧视图；

图3示出了根据本发明实施例提供的扫描电镜样品台的滑动件处于第二极限位置时的结构示意图；

图4示出了根据本发明实施例提供的扫描电镜样品台的滑动件处于第二极限位置时的侧视图；

图5示出了根据本发明实施例提供的扫描电镜样品台的爆炸结构示意图；

图6示出了根据本发明实施例提供的扫描电镜样品台的座体的结构示意图；

图7示出了根据本发明实施例提供的扫描电镜样品台和测试件加载台配合的结构示意图；

图8示出了根据本发明实施例提供的扫描电镜样品台的滑动件的连接部的结构示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

10、座体；101、第一螺纹孔；

11、配合部；12、第一连接段；13、第二连接段；

20、滑动件；201、避让槽；202、第二螺纹孔；

21、连接部；22、放置部；

30、锁紧部；

41、导向块；42、导向槽；

51、第一止挡部；52、第二止挡部；

61、第三止挡部；62、第四止挡部；

70、夹持组件；71、第一夹持部；72、第二夹持部；73、调节部；74、第三夹持部。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1至图8所示，本发明提供了一种扫描电镜样品台，其包括座体10、滑动件20和锁紧部30。其中，座体10具有第一基准面。滑动件20具有相对设置的连接部21和放置部22，连接部21可滑动地设置在座体10上，放置部22用于固定被测试件，放置部22具有第二基准面，第二基准面为平面；滑动件20具有相对座体10设置的第一极限位置和第二极限位置，当滑动件20处于第一极限位置时，第二基准面与第一基准面平行；当滑动件20处于第二极限位置时，第二基准面与第一基准面之间的夹角为70°。锁紧部30设置在座体10与滑动件20之间，锁紧部30用于固定滑动件20在座体10上的位置。

应用本发明的技术方案，第二基准面能够与第一基准面平行或者第二基准面能够与第一基准面之间的夹角为70°，上述设置能够使得在不更换样品台的情况下，对被测试件进行形貌表征和EBSD表征，提升了测试过程的顺畅性。具体地，将被测试件固定在滑动件20的放置部22，使得被测试件的待表征面与第二基准面平行，在需要对被测试件进行形貌表征时，使得第二基准面与第一基准面平行，通过锁紧部30对滑动件20进行固定，之后再对被测试件进行形貌表征即可；在需要对被测试件进行EBSD表征时，解除锁紧部30对滑动件20的固定，使得滑动件20由第一极限位置滑动至第二极限位置，第二基准面与第一基准面之间的夹角为70°，对被测试件进行EBSD表征即可。与传统的技术方案相比，本方案的设置，能够在不更换样品台的情况下，对被测试件进行形貌表征以及进行EBSD表征，提升了表征过程的便捷性，并且，上述过程能够避免对被测试件进行转移，提升了测试结果的准确性。

具体地，座体10上设置有第一导向结构，滑动件20上设置有第二导向结构，第一导向结构和第二导向结构均为弧形，第一导向结构与第二导向结构之间相互适配，第一导向结构与第二导向结构相互配合以使滑动件20相对座体10在第一极限位置和第二极限位置之间移动。第一导向结构和第二导向结构均设置为弧形结构，使得滑动件20的滑动轨迹为弧形轨迹，保证滑动件20滑动过程的顺畅性。

如图5所示，第一导向结构包括导向块41，第二导向结构包括导向槽42，导向槽42设置在滑动件20的侧部，导向块41位于导向槽42内。导向块41和导向槽42的设置，其结构简单，且加工方便。本实施例中，滑动件20的延伸方向为弧形结构，导向槽42的延伸方向为弧形且与滑动件20的延伸方向相同，导向块41的延伸方向为弧形结构，且滑动件20的底部形成连接部21并与座体10滑动配合，滑动件20的顶部形成放置部22，导向槽42设置在连接部21上。如此设置，能够便于将被测试件放置到放置部22上，且便于对被测试件进行表征测试。

如图5和图6所示，本方案中，座体10的顶部具有容纳槽，滑动件20的连接部21可滑动地设置在容纳槽内，滑动件20的连接部21具有相对设置的第一侧面和第二侧面。容纳槽具有相对设置第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁和第二侧壁分别位于滑动件20的滑动方向的两侧，第一侧壁和第二侧壁分别与第一侧面和第二侧面对应设置，第一导向结构和第二导向结构形成导向部，其中第一侧壁和第一侧面之间设置有一组导向部，第二侧壁和第二侧面之间设置有一组导向部。如此设置，能够保证滑动件20滑动过程的顺畅性。

进一步地，座体10与滑动件20之间设置有限位部，限位部用于限制滑动件20相对座体10的滑动位移。限位部的设置，能够便于确定滑动件20的第一极限位置和第二极限位置，进而便于对第二基准面与第一基准面之间的夹角的确定。

具体地，限位部包括第一限位结构和第二限位结构。其中，第一限位结构设置在座体10与滑动件20之间，第一限位结构用于限制滑动件20由第一极限位置滑动至第二极限位置的位移。第二限位结构设置在座体10与滑动件20之间，第二限位结构用于限制滑动件20由第二极限位置滑动至第一极限位置的位移。第一限位结构和第二限位结构的设置，能够进一步保证滑动件20在第一极限位置和第二极限位置之间切换的顺畅性与精确性，保证第二基准面与第一基准面之间夹角的精确性，保证表征结果的精确性。

具体地，滑动件20具有沿滑动方向相对设置的第一端和第二端；第一限位结构包括第一止挡部51和第二止挡部52，第一止挡部51设置在滑动件20的第一端，第二止挡部52设置在座体10上，当滑动件20由第一极限位置移动至第二极限位置时，第二止挡部52与第一止挡部51止挡配合。本实施例中，第一止挡部51和第二止挡部52均位于容纳槽内，如此设置，能够保证整体装置结构的紧凑性。

进一步地，座体10具有沿滑动件20滑动方向设置的第三端和第四端；导向槽42的靠近滑动件20的第一端的端部为封堵端，封堵端形成第一止挡部51，导向块41设置在座体10的第四端，导向块41沿延伸方向具有相对设置的第一端和第二端，导向块41的第一端靠近封堵端设置，导向块41的第一端形成第二止挡部52，导向块41的第一端与导向槽42的封堵端止挡配合。本实施例中，容纳槽的两个端部均为开口状结构，导向槽42的靠近滑动件20的第二端的端部为开口端，如此设置，能够便于对导向槽42进行加工，且便于将导向块41由导向槽42的开口端穿设至导向槽42内，便于对滑动件20和座体10的装配。

具体地，第二限位结构包括第三止挡部61和第四止挡部62，第三止挡部61设置在滑动件20的第二端，第四止挡部62设置在座体10上，当滑动件20由第二极限位置移动至第一极限位置时，第四止挡部62与第三止挡部61止挡配合。本实施例中，第三止挡部61和第四止挡部62均位于容纳槽内，如此设置，能够保证整体装置结构的紧凑性。

本方案中，第一限位结构和第二限位结构沿整个装置的高度方向间隔分布，且第二限位结构位于第一限位结构的下方。具体地，第三止挡部61设置在滑动件20的底部，第四止挡部62设置在座体10的第三端且位于滑动件20的下方。第三止挡部61为止挡凸起，止挡凸起与滑动件20为一体成型结构，止挡凸起具有沿滑动件20的延伸方向相对设置的第一端和第二端，止挡凸起的第一端靠近第四止挡部62设置，且止挡凸起的第一端的端面与第四止挡部62止挡配合。第四止挡部62的顶面为弧面，滑动件20的底面为弧面，第四止挡部62的顶面与滑动件20的底面滑动配合。如此设置，使得第四止挡部62能够对滑动件20起到一定的支撑作用，且第四止挡部62与第二止挡部52相互配合，能够对滑动件20的滑动起到进一步的导向的作用，进一步提升了滑动件20滑动过程的顺畅性。

进一步地，座体10包括两个配合部11、第一连接段12和第二连接段13。其中，两个配合部11相对设置在滑动件20的滑动方向的两侧，至少一个配合部11上设置有一个第二止挡部52并且至少一个配合部11上设置有一个第四止挡部62，第二止挡部52和第四止挡部62均位于配合部11的靠近滑动件20的侧壁上。第一连接段12设置在两个配合部11的一端，且与两个配合部11可拆卸连接；第二连接段13设置在两个配合部11的另一端，且与两个配合部11可拆卸连接。本实施例中，每个配合部11上均设置有一个第二止挡部52和一个第四止挡部62，第二止挡部52和配合部11为一体成型结构，第四止挡部62和配合部11为一体成型结构，两个配合部11对称设置。如此设置，能够保证对滑动件20在第一极限位置和第二极限位置之间切换的顺畅性，并能够保证滑动件20在第一极限位置和第二极限位置的位置精度。并且，上述设置，能够保证对配合部11、第二止挡部52和第四止挡部62加工过程的便捷性。整个座体10拼装后，两个配合部11上的第四止挡部62的侧面相互抵接，如此设置，能够使得两个第四止挡部62相互面接触，提升了座体10的结构稳定性。

进一步地，第一连接段12和第二连接段13的形状相同，第一连接段12和第二连接段13整体大致为H型结构，第一连接段12的两个竖直杆段分别与两个配合部11通过螺栓连接，两个第二连接段13的两个竖直杆段分别与两个配合部11通过螺栓连接。如此设置，能够便于对座体10和滑动件20进行装配。

具体地，座体10上设置有第一螺纹孔101，第一螺纹孔101位于滑动件20的一侧，锁紧部30与第一螺纹孔101螺纹配合，锁紧部30的一端穿过第一螺纹孔101并与滑动件20抵接配合。本实施例中，每个配合部11上均设置有一个第一螺纹孔101，且每个第一螺纹孔101内对应设置有一个锁紧部30。如此设置，能够保证对滑动件20固定的便捷性与稳定性。

如图1和图7所示，扫描电镜样品台还包括夹持组件70。夹持组件70设置在滑动件20的放置部22上，夹持组件70用于夹持被测试件。夹持组件70的设置，能够保证对被测试件进行固定的便捷性。

具体地，夹持组件70包括第一夹持部71和第二夹持部72，滑动件20的第一端形成第一夹持部71，第二夹持部72和第一夹持部71沿滑动件20的延伸方向间隔分布，第二夹持部72和第一夹持部71之间的间距可调，第二夹持部72具有相对滑动件20设置的调节状态和锁紧状态，第二夹持部72和第一夹持部71配合以对被测试件进行夹持。具体地，对被测试件进行夹持时，可将被测试件放置在测试件加载台上，具体地，测试件加载台可包括相对设置的两个连接杆和相对设置的两个夹持块，两个连接杆和两个夹持块之间形成避让通道，两个夹持块对被测试件的两个端部夹持后，连接杆与被测试件之间形成穿设孔，穿设孔用于供第二夹持部72穿设。本方案对第一夹持部71和第二夹持部72的具体结构不做限制，本实施例中，第一夹持部71的靠近第二夹持部72的一侧为圆弧面，第二夹持部72的靠近第一夹持部71的一侧为圆弧面，二者配合对连接杆进行夹持。对加载台进行夹持时，使得其中一个连接杆位于第一夹持部71和第二夹持部72形成的空间内。之后，使得第二夹持部72和第一夹持部71夹紧该连接杆，将第二夹持部72处于锁紧状态即可。上述设置，其结构简单，且操作便捷性强。

如图1和图5所示，滑动件20的放置部22的端面设置有避让槽201，滑动件20的第二端的端面设置有第二螺纹孔202，第二螺纹孔202与避让槽201连通，夹持组件70还包括调节部73，第二夹持部72可移动地设置在避让槽201内，调节部73与第二螺纹孔202螺纹连接，调节部73的一端穿过第二螺纹孔202并与第二夹持部72转动连接，以驱动第二夹持部72靠近或远离第一夹持部71。本方案中，放置部22的顶面为平面，且当滑动件20处于第一极限位置时，放置部22的顶面与第一基准面平行。上述设置，其结构简单，且操作的便捷性较强。

进一步地，夹持组件70还包括第三夹持部74，第三夹持部74设置在滑动件20的放置部22的端面且位于第二夹持部72的远离第一夹持部71的一侧，第三夹持部74的远离第二夹持部72的一侧为圆弧面。通过本装置对上述的加载台进行夹持时，第三夹持部74穿设在另一个连接杆与被测试件之间形成的穿设孔内，在加载台朝向第一夹持部71移动的过程中，第三夹持部74能够与另一个连接杆抵接配合，以防止加载台发生转动的情况，进一步保证对加载台夹持的稳定性。

如图1和图8所示，放置部22与连接部21为分体结构，且放置部22与连接部21可拆卸连接。连接部21的底面为圆弧面，连接部21的顶面包括沿滑动件20的延伸方向依次连接的放置平面、止挡竖面和夹持弧面，其中，止挡竖面的高度高于放置平面的高度，夹持弧面的高度高于止挡竖面的高度，放置平面与第一基准面平行，放置部22设置在放置平面上，放置部22的侧面与止挡竖面抵接配合，夹持弧面对应的连接部21形成第一夹持部71。如此设置，能够便于更换不同规格尺寸的夹持组件70，提升本装置的适应性。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (12)

1.一种扫描电镜样品台，其特征在于，包括：

座体（10），具有第一基准面；

滑动件（20），具有相对设置的连接部（21）和放置部（22），所述连接部（21）可滑动地设置在所述座体（10）上，所述放置部（22）用于固定被测试件，所述放置部（22）具有第二基准面，所述第二基准面为平面；所述滑动件（20）具有相对所述座体（10）设置的第一极限位置和第二极限位置，当所述滑动件（20）处于所述第一极限位置时，所述第二基准面与所述第一基准面平行；当所述滑动件（20）处于所述第二极限位置时，所述第二基准面与所述第一基准面之间的夹角为70°；

锁紧部（30），设置在所述座体（10）与所述滑动件（20）之间，所述锁紧部（30）用于固定所述滑动件（20）在所述座体（10）上的位置。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述座体（10）上设置有第一导向结构，所述滑动件（20）上设置有第二导向结构，所述第一导向结构和所述第二导向结构均为弧形，所述第一导向结构与所述第二导向结构之间相互适配，所述第一导向结构与所述第二导向结构相互配合以使所述滑动件（20）相对所述座体（10）在所述第一极限位置和所述第二极限位置之间移动。

3.根据权利要求2所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述第一导向结构包括导向块（41），所述第二导向结构包括导向槽（42），所述导向槽（42）设置在所述滑动件（20）的侧部，所述导向块（41）位于所述导向槽（42）内。

4.根据权利要求3所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述座体（10）与所述滑动件（20）之间设置有限位部，所述限位部用于限制所述滑动件（20）相对所述座体（10）的滑动位移。

5.根据权利要求4所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述限位部包括：

第一限位结构，设置在所述座体（10）与所述滑动件（20）之间，所述第一限位结构用于限制所述滑动件（20）由所述第一极限位置滑动至所述第二极限位置的位移；

第二限位结构，设置在所述座体（10）与所述滑动件（20）之间，所述第二限位结构用于限制所述滑动件（20）由所述第二极限位置滑动至所述第一极限位置的位移。

6.根据权利要求5所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述滑动件（20）具有沿滑动方向相对设置的第一端和第二端；

所述第一限位结构包括第一止挡部（51）和第二止挡部（52），所述第一止挡部（51）设置在所述滑动件（20）的第一端，所述第二止挡部（52）设置在所述座体（10）上，当所述滑动件（20）由所述第一极限位置移动至所述第二极限位置时，所述第二止挡部（52）与所述第一止挡部（51）止挡配合；

所述第二限位结构包括第三止挡部（61）和第四止挡部（62），所述第三止挡部（61）设置在所述滑动件（20）的第二端，所述第四止挡部（62）设置在所述座体（10）上，当所述滑动件（20）由所述第二极限位置移动至所述第一极限位置时，所述第四止挡部（62）与所述第三止挡部（61）止挡配合。

7.根据权利要求6所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述座体（10）具有沿所述滑动件（20）滑动方向设置的第三端和第四端；

所述导向槽（42）的靠近所述滑动件（20）的第一端的端部为封堵端，所述封堵端形成所述第一止挡部（51），所述导向块（41）设置在所述座体（10）的第四端，所述导向块（41）沿延伸方向具有相对设置的第一端和第二端，所述导向块（41）的第一端靠近所述封堵端设置，所述导向块（41）的第一端形成所述第二止挡部（52），所述导向块（41）的第一端与所述导向槽（42）的封堵端止挡配合；

所述第三止挡部（61）设置在所述滑动件（20）的底部，所述第四止挡部（62）设置在所述座体（10）的第三端且位于所述滑动件（20）的下方。

8.根据权利要求7所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述座体（10）包括：

两个配合部（11），两个所述配合部（11）相对设置在所述滑动件（20）的滑动方向的两侧，至少一个所述配合部（11）上设置有一个所述第二止挡部（52）并且至少一个所述配合部（11）上设置有一个所述第四止挡部（62），所述第二止挡部（52）和所述第四止挡部（62）均位于所述配合部（11）的靠近所述滑动件（20）的侧壁上；

第一连接段（12），设置在两个所述配合部（11）的一端，且与两个所述配合部（11）可拆卸连接；

第二连接段（13），设置在两个所述配合部（11）的另一端，且与两个所述配合部（11）可拆卸连接。

9.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述座体（10）上设置有第一螺纹孔（101），所述第一螺纹孔（101）位于所述滑动件（20）的一侧，所述锁紧部（30）与所述第一螺纹孔（101）螺纹配合，所述锁紧部（30）的一端穿过所述第一螺纹孔（101）并与所述滑动件（20）抵接配合。

10.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述扫描电镜样品台还包括：

夹持组件（70），设置在所述滑动件（20）的放置部（22）上，所述夹持组件（70）用于夹持所述被测试件。

11.根据权利要求10所述的扫描电镜样品台，其特征在于，

所述夹持组件（70）包括第一夹持部（71）和第二夹持部（72），所述滑动件（20）具有沿滑动方向相对设置的第一端和第二端，所述滑动件（20）的第一端形成所述第一夹持部（71），所述第二夹持部（72）和所述第一夹持部（71）沿所述滑动件（20）的延伸方向间隔分布，所述第二夹持部（72）和所述第一夹持部（71）之间的间距可调，所述第二夹持部（72）具有相对所述滑动件（20）设置的调节状态和锁紧状态，所述第二夹持部（72）和所述第一夹持部（71）配合以对所述被测试件进行夹持。

12.根据权利要求11所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述滑动件（20）的放置部（22）的端面设置有避让槽（201），所述滑动件（20）的第二端的端面设置有第二螺纹孔（202），所述第二螺纹孔（202）与所述避让槽（201）连通，所述夹持组件（70）还包括调节部（73），所述第二夹持部（72）可移动地设置在所述避让槽（201）内，所述调节部（73）与所述第二螺纹孔（202）螺纹连接，所述调节部（73）的一端穿过所述第二螺纹孔（202）并与所述第二夹持部（72）转动连接，以驱动所述第二夹持部（72）靠近或远离所述第一夹持部（71）。

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