CN115373950A - 工控机与数据监测系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及芯片领域，公开一种工控机与数据监测系统。所述工控机包括：监测模块，用于在监测到所述工控机上的特定数据文件夹内的生产数据发生变化的情况下，获取所述特定数据文件夹内发生变化的生产数据的生成时间；提取模块，用于提取所述特定数据文件夹的原始数据摘要；插入模块，用于将所述生成时间作为时间戳插入所述原始数据摘要中，以形成所述特定数据文件夹的第一数据摘要；以及发送模块，用于发送所述特定数据文件夹的名称与所述第一数据摘要。由此，本发明可有效地避免生产数据被篡改，以确保生产数据的真实准确性。

Description

工控机与数据监测系统

技术领域

本发明涉及芯片领域，具体地涉及一种工控机与数据监测系统。

背景技术

晶圆接受测试（Wafer Acceptance Test，WAT）在业内也被称作过程控制监控（Process Control Monitor，PCM）。在晶圆产品流片结束之后，通过对晶圆产品上特定的测试结构进行WAT参数电性测试，以通过WAT数据来检测晶圆产品是否符合工艺的规格要求，WAT数据可以作为晶圆产品交货的质量凭证。另外，WAT数据还可以反映生产线的实际生产情况，通过收集和分析WAT数据可以监测生产线的情况，也可以判断生产线变化的趋势，对可能发生的情况进行预警。

通常，WAT数据由芯片代工厂的工程师通过人为方式从工控机上导出，然后以一定的方式（如邮件、FTP等）发送至设计厂。设计厂依据WAT数据做出器件电学特性分析、结构分析，同时将WAT分析结论作为后续光罩改版、工艺流片拉偏条件方案的制定标准。因此，WAT数据的真实准确性是至关重要的。

事实上，由于芯片制造工艺的波动性，很难保证每片晶圆的电学性能完全符合出货的标准，因此代工厂为避免重复测试或不能如期交货，偶尔会采取人为篡改WAT数据的方式，使其符合出货标准后再发送给设计厂。例如，在工控机上传数据至主、备服务器的短暂的时间间隔下存在人为篡改WAT数据的风险。

发明内容

本发明的目的是提供一种工控机与数据监测系统，其可以有效地避免生产数据被篡改，以确保所述生产数据的真实准确性，从而可有效地避免由于生产数据不准确而导致电学特性分析错误，导致后续的光罩改版、流片工艺拉偏等决定出现偏差，最终导致芯片从设计到封装全链条性失败。

为了实现上述目的，本发明一方面提供一种工控机，所述工控机包括：监测模块，用于在监测到所述工控机上的特定数据文件夹内的生产数据发生变化的情况下，获取所述特定数据文件夹内发生变化的生产数据的生成时间；提取模块，用于提取所述特定数据文件夹的原始数据摘要；插入模块，用于将所述生成时间作为时间戳插入所述原始数据摘要中，以形成所述特定数据文件夹的第一数据摘要；以及发送模块，用于发送所述特定数据文件夹的名称与所述第一数据摘要。

优选地，所述工控机还包括：同步模块，用于响应于监测到所述工控机上的特定数据文件夹内的生产数据发生变化，将所述特定数据文件夹内发生变化的生产数据同步至主服务器上的特定数据文件夹内，相应地，所述监测模块还用于获取所述特定数据文件夹在所述主服务器上的存储地址，以及所述插入模块还用于将所述存储地址作为数据地址插入所述第一数据摘要中。

优选地，所述数据监测系统还包括：查询模块，用于查询所述工控机的存储空间使用率，所述同步模块还用于，执行以下操作：在所述工控机的存储空间使用率大于第一阈值且小于或者等于第二阈值的情况下，将所述工控机上的生产数据强制同步至所述主服务器；或者在所述工控机的存储空间使用率大于所述第二阈值的情况下，将所述工控机上的生产数据强制同步至所述主服务器与备用服务器。

优选地，所述查询模块为crontab模块；以及所述同步模块为rsync模块。

优选地，所述监测模块为Inotify模块。

优选地，所述生产数据包括晶圆接受测试数据、晶圆测试数据和/或最终测试数据。

优选地，所述特定数据文件夹的名称与所述生产数据的批号相关联。

通过上述技术方案，本发明创造性地在工控机上配置监测模块、提取模块、插入模块与发送模块，在监测到所述工控机上的特定数据文件夹内的生产数据发生变化的情况下，通过监测模块获取所述特定数据文件夹内发生变化的生产数据的生成时间；通过插入模块将发生变化的生产数据的生成时间插入特定数据文件夹的原始数据摘要中，以形成包括时间戳的新的数据摘要；最后通过发送模块发送特定数据文件夹的名称及其新的数据摘要（例如数据库服务器），由此，数据库服务器可基于新的数据摘要中的时间戳来判定特定数据文件夹中的生产数据是否被篡改，即，可以有效地避免生产数据被篡改，以确保所述生产数据的真实准确性，从而可有效地避免由于生产数据不准确而导致电学特性分析错误，导致后续的光罩改版、流片工艺拉偏等决定出现偏差，最终导致芯片从设计到封装全链条性失败。

本发明第二方面提供一种数据监测系统，所述数据监测系统包括：所述的工控机；数据库服务器，用于执行以下操作：接收特定数据文件夹的名称与第一数据摘要；查询所述数据库服务器上是否记录有第二数据摘要，其中，所述第二数据摘要对应的数据文件夹的名称与所述特定数据文件夹的名称相同；以及在所述数据库服务器上记录有所述第二数据摘要且所述第一数据摘要中的时间戳与所述第二数据摘要中的时间戳不同的情况下，将所述第一数据摘要对应的特定数据文件夹为篡改文件。

优选地，在所述数据库服务器上记录有所述第二数据摘要且所述第一数据摘要中的时间戳与所述第二数据摘要中的时间戳不同的情况下，所述数据库服务器还用于执行以下步骤：基于所述第一数据摘要对应的特定数据文件夹的名称，间接获取对应于所述第一数据摘要的生产数据；基于所述第二数据摘要对应的数据文件夹的名称，间接获取对应于所述第二数据摘要的生产数据；以及在对应于所述第一数据摘要的生产数据与对应于所述第二数据摘要的生产数据不同的情况下，将所述第一数据摘要对应的特定数据文件夹标记为篡改文件。

优选地，在所述数据库服务器上记录有所述第二数据摘要且所述第一数据摘要中的时间戳与所述第二数据摘要中的时间戳不同的情况下，所述数据库服务器还用于执行以下步骤：基于所述第一数据摘要中的数据地址，直接获取对应于所述第一数据摘要的生产数据；基于所述第二数据摘要中的数据地址，直接获取对应于所述第二数据摘要的生产数据；以及在对应于所述第一数据摘要的生产数据与对应于所述第二数据摘要的生产数据不同的情况下，将所述第一数据摘要对应的特定数据文件夹标记为篡改文件。

通过上述技术方案，本发明创造性地在特定数据文件夹内的生产数据发生变化时通过工控机记录生产数据的生成时间，将生产时间作为时间戳加入数据摘要中，并将数据摘要发送至数据库服务器；通过数据库服务器查询其自身是否已记录有特定数据文件夹的名称对应的数据摘要，若记录有，则对比两个数据摘要的时间戳，在时间戳不同的情况下，表明特定数据文件夹内的生产数据已经被篡改，将所述特定数据文件夹标记为篡改文件，由此，可以有效地避免生产数据被篡改，以确保所述生产数据的真实准确性，从而可有效地避免由于生产数据不准确而导致电学特性分析错误，导致后续的光罩改版、流片工艺拉偏等决定出现偏差，最终导致芯片从设计到封装全链条性失败。

本发明的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明一实施例提供的工控机的结构示意图；以及

图2是本发明一实施例提供的数据监测系统的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

图1是本发明一实施例提供的工控机的结构示意图。如图1所示，所述工控机可包括：监测模块10，用于在监测到所述工控机上的特定数据文件夹内的生产数据发生变化的情况下，获取所述特定数据文件夹内发生变化的生产数据的生成时间；提取模块12，用于提取所述特定数据文件夹的原始数据摘要；插入模块14，用于将所述生成时间作为时间戳插入所述原始数据摘要中，以形成所述特定数据文件夹的第一数据摘要；以及发送模块16，用于发送所述特定数据文件夹的名称与所述第一数据摘要。

其中，所述监测模块10可为Inotify模块。在工控机1、2、3上部署Inotify模块，用于监视工控机上存放生产数据的文件夹内的数据变动，如图2所示。

其中，所述生产数据可包括晶圆接受测试（WAT）数据、晶圆测试（CP）数据和/或最终测试（FT）数据。

其中，所述特定数据文件夹的名称可与所述生产数据的批号相关联。通常，晶圆生产以lot（批）为单位，1个lot（1批）中包含25片晶圆。若生产数据为第A批的晶圆的WAT数据，则所述生产数据的批号为A，则所述特定数据文件的名称可为A.Lot。

其中，所述时间戳可为通过预设加密算法进行加密的时间戳。具体地，可通过加密算法加密时间戳，以形成一定的加密密文，之后，将具有加密密文的时间戳插入数据摘要中。

以WAT数据为例，当代工厂的工程师人为篡改WAT数据后，会将篡改后的WAT数据重新上传至工控机上。例如，一旦工控机1上的Inotify模块发现生产数据的特定数据文件夹（例如，A.Lot文件夹）发生变动，即表明在该文件夹（例如，A.Lot文件）内有WAT数据出现变动，获取该生产数据的生成时间。

所述提取模块12可通过现有的任何方式提取所述特定数据文件夹的原始数据摘要，其中所述原始数据摘要可包括USER ID（用户ID）、FOUP ID（前开式晶圆传送盒ID）、PRODUCT ID（产品ID）、STEP ID（步骤ID）、EQUIPMENT ID（设备ID）、PROBE CARD ID（探针卡ID）、LOT ID（批号ID）、RECIPE ID（工法ID）、START TIME（开始时间）、END TIME（结束时间）。也就是说，所述原始数据摘要中不包括时间戳（例如，GENERATION TIME）及后续提到的所述特定数据文件夹（例如，A.Lot文件夹）在所述主服务器30上的存储地址（例如，DATAADDRESS）。

所述插入模块14将所述生成时间（例如，GENERATION TIME）作为时间戳插入所述原始数据摘要中，以形成所述特定数据文件夹的新的数据摘要。之后，所述发送模块16将所述特定数据文件夹的名称与所述新的数据摘要发送至数据库服务器。在一实施例中，所述工控机还可包括：同步模块，用于响应于监测到所述工控机上的特定数据文件夹内的生产数据发生变化，将所述特定数据文件夹内发生变化的生产数据同步至主服务器上的特定数据文件夹内。相应地，所述监测模块10还用于获取所述特定数据文件夹在所述主服务器上的存储地址，以及所述插入模块14还用于将所述存储地址作为数据地址插入所述第一数据摘要中。

在工控机1上的Inotify模块发现生产数据的特定数据文件夹（例如，A.Lot文件夹）发生变动的同时，还可使用工控机1上部署的rsync模块将该文件夹（例如，A.Lot文件夹）内的变化的WAT数据同主服务器30（或者同主服务器30和备用服务器40）上与之对应的文件夹（例如，A.Lot文件夹）同步。除了获取生成时间之外，Inotify模块还用于获取文件夹（例如，A.Lot文件夹）在所述主服务器30（或者同主服务器30和备用服务器40）上的存储地址。相应地，所述插入模块14还用于将所述存储地址作为数据地址插入所述第一数据摘要中。也就是说，在本实施例中，所述第一数据摘要中新增了生成时间（GENERATION TIME，即时间戳）和存储地址（DATA ADDRESS，即数据地址）。

由于工控机的存储空间有限，如现在主流代工厂中工控机用于保存2年内的数据量，超过2年的数据则人为清理。因此，该过程中存在如下问题：第一、数据清理时间上难统一，由于采购型号、批次等原因造成的工控机实际的存储空间大小配置不同，此外，使用过程中由于测试产品不同导致的实际存储消耗率也不同。

在一实施例中，所述数据监测系统还包括：查询模块，用于查询所述工控机的存储空间使用率，所述同步模块还用于，执行以下操作：在所述工控机的存储空间使用率大于第一阈值且小于或者等于第二阈值的情况下，将所述工控机上的生产数据强制同步至所述主服务器；或者在所述工控机的存储空间使用率大于所述第二阈值的情况下，将所述工控机上的生产数据强制同步至所述主服务器与备用服务器。

其中，所述第一阈值（例如80%）小于所述第二阈值（例如95%）。

其中，所述查询模块可为crontab模块；以及所述同步模块可为rsync模块。

在工控机上使用crontab模块定时（可设置任务执行时间颗粒度，例如按照小时或者分钟等）执行用户自定义shell脚本程序去查询工控机的存储空间使用率。一旦检测出工控机存储空间不足，并强制触发一次控工机与主服务器30或备用服务器40之间的数据同步，如图2所示。

具体地，当工控机的存储空间使用率超过第一阈值（例如80%，即存储空间小于或等于初始容量的20%）且还还未超过第二阈值（例如，95%）时，表明工控机存储空间不足，但仍有一定的冗余，工控机使用rsync模块强制同步其上存储的生产数据至主服务器30，以进行数据进行转移。此时，所述工控机还可发出黄色预警指令并传达到所述主服务器30，所述工控机的机台报警灯为黄色持续闪烁状态，以提示相应的工作人员。介时，所述主服务器30存储所述工控机上的生产数据之后，还可对所述生产数据进行数据归档，并在归档完成后清理工控机上保存的原始数据文件夹。

当工控机的存储空间使用率超过第二阈值（例如95%，即存储空间仅为初始容量的5%）时，表明工控机的储存储空间严重不足，亟需进行数据转移及清理，所述工控机使用rsync模块强制同步其上存储的生产数据至主服务器30与所述备用服务器40，如图2所示。此时，所述工控机发出红色预警指令并传达到所述主服务器30，所述工控机的机台报警灯为红色持续闪烁状态，以提示相应的工作人员。介时，主服务器30、备用服务器40同时开启，避免主服务器恰巧宕机造成数据传输的延时或丢失。所述主服务器存储所述工控机上的生产数据之后，还可对所述生产数据进行数据归档，并在归档完成后清理工控机上保存的原始数据文件夹。

其中，所述主服务器具有存储数据的功能，并且所述主服务器还可对强制同步得到的工控机上的生产数据进行归档。

综上所述，本发明创造性地在工控机上配置监测模块、提取模块、插入模块与发送模块，在监测到所述工控机上的特定数据文件夹内的生产数据发生变化的情况下，通过监测模块获取所述特定数据文件夹内发生变化的生产数据的生成时间；通过插入模块将发生变化的生产数据的生成时间插入特定数据文件夹的原始数据摘要中，以形成包括时间戳的新的数据摘要；最后通过发送模块发送特定数据文件夹的名称及其新的数据摘要（例如数据库服务器），由此，数据库服务器可基于新的数据摘要中的时间戳来判定特定数据文件夹中的生产数据是否被篡改，即，可以有效地避免生产数据被篡改，以确保所述生产数据的真实准确性，从而可有效地避免由于生产数据不准确而导致电学特性分析错误，导致后续的光罩改版、流片工艺拉偏等决定出现偏差，最终导致芯片从设计到封装全链条性失败。

图2是本发明一实施例提供的数据监测系统的结构示意图。如图2所示，所述数据监测系统可包括：所述的工控机（如工控机1、2、3）；数据库服务器20，用于执行以下操作：接收特定数据文件夹的名称与第一数据摘要；查询所述数据库服务器上是否记录有第二数据摘要，其中，所述第二数据摘要对应的数据文件夹的名称与所述特定数据文件夹的名称相同；以及在所述数据库服务器上记录有所述第二数据摘要且所述第一数据摘要中的时间戳与所述第二数据摘要中的时间戳不同的情况下，将所述第一数据摘要对应的特定数据文件夹标记为篡改文件。

关于工控机的具体设置及可实现的功能可参见上文描述。

其中，所述数据库服务器可为关系型数据库或非关系型数据库。

以WAT数据为例，当代工厂的工程师人为篡改WAT数据后，会将篡改后的WAT数据重新上传至工控机上。例如，一旦工控机1上的Inotify模块发现生产数据的特定数据文件夹（例如，A.Lot文件夹）发生变动，即表明在该文件夹（例如，A.Lot文件）内有WAT数据出现变动，工控机1上的发送模块通知到数据库服务器20，即发送模块发送该文件夹（例如，A.Lot文件夹）的名称（例如A.Lot）及相应的第一数据摘要至所述数据库服务器20，如图2所示。

具体地，所述数据库服务器20在接收到该文件夹（例如，A.Lot文件夹）的名称（例如A.Lot）与第一数据摘要的情况下，查询所述数据库服务器20上是否记录有第二数据摘要（所述第二数据摘要对应的数据文件夹的名称也是A.Lot）；在记录有第二数据摘要的情况下，进一步对比两个数据摘要中的时间戳是否相同，若不同，则表明该文件夹（例如A.Lot文件夹）内的生产数据已被篡改，所述数据库服务器20将所述第一数据摘要对应的该文件夹（例如，A.Lot文件夹）标记为篡改文件（例如，A.Lot.Modify文件）。

上述实施例是对比两组WAT数据的摘要内容，能够快速锁定GENERATION TIME的差异。在另外一些实施例中，还可对比两组WAT数据内容，进而锁定WAT数据的差异。两种判断方式均通过文本文件差异比较方法（如：Linux diff、cmp等）自动、快速对比，将对比差异结果作为篡改WAT数据的依据。

然而，在实际应用中，代工厂的工程师可能在未修改/未成功修改生产数据的情况下，又重新将原生产数据上传到工控机上，由此，在工控机上生成原生产数据的一个新的时间戳。在这种情况下，虽然新的时间戳与原时间戳不同，但两个时间戳对应的生产数据为同一生产数据。为了有效地识别无效的篡改行为，可在对比两个相应的数据摘要（第一数据摘要与第二数据摘要）的时间戳不同的情况下，进一步对比所述两个相应的数据摘要对应的数据内容是否相同。

在一实施例中，在所述数据库服务器上记录有所述第二数据摘要且所述第一数据摘要中的时间戳与所述第二数据摘要中的时间戳不同的情况下，所述数据库服务器还用于执行以下步骤：基于所述第一数据摘要对应的特定数据文件夹的名称，间接获取对应于所述第一数据摘要的生产数据；基于所述第二数据摘要对应的数据文件夹的名称，间接获取对应于所述第二数据摘要的生产数据；以及在对应于所述第一数据摘要的生产数据与对应于所述第二数据摘要的生产数据不同的情况下，将所述第一数据摘要对应的特定数据文件夹标记为篡改文件。

其中，所述间接获取对应于所述第一数据摘要的生产数据可包括：基于所述特定数据文件夹的名称，获取所述特定数据文件夹在所述主服务器上的存储地址；以及基于所述存储地址，获取所述主服务器上存储的对应于所述第一数据摘要的生产数据。

具体地，如图2所示，工控机1上的发送模块还可用于将包括时间戳和数据地址的第一数据摘要之后，所述数据库服务器20基于所述名称（例如A.Lot）来获取所述特定数据文件夹（例如，A.Lot文件夹）在主服务器30上的具体存储地址。然后，所述数据库服务器20基于所获取的具体存储地址来获取主服务器30上存储的对应于所述第一数据摘要的生产数据（例如，A.Lot文件夹内的生产数据）。然后，所述数据库服务器20采用相似的方式获取第二数据摘要对应的生产数据。最后，所述数据库服务器20对比两个数据摘要对应的生产数据是否相同，若不同，则表明第一数据摘要对应的生产数据（例如，A.Lot文件夹内的生产数据）已被篡改，由所述数据库服务器20将特定数据文件夹（例如，A.Lot文件夹）标记为篡改文件（例如，A.Lot.Modify文件）。

也就是说，工控机1上的Inotify模块监测到篡改后的WAT数据时，数据库服务器20则获取该条WAT数据。

在另一实施例中，在所述第一数据摘要包括数据地址的条件下，在所述数据库服务器上记录有所述第二数据摘要且所述第一数据摘要中的时间戳与所述第二数据摘要中的时间戳不同的情况下，所述数据库服务器还用于执行以下步骤：基于所述第一数据摘要中的数据地址，直接获取对应于所述第一数据摘要的生产数据；基于所述第二数据摘要中的数据地址，直接获取对应于所述第二数据摘要的生产数据；以及在对应于所述第一数据摘要的生产数据与对应于所述第二数据摘要的生产数据不同的情况下，将所述第一数据摘要对应的特定数据文件夹标记为篡改文件。

所述直接获取对应于所述第一数据摘要的生产数据包括：基于所述数据地址，直接获取所述主服务器上存储的对应于所述第一数据摘要的生产数据。

具体地，如图2所示，工控机1上的发送模块还可用于将包括时间戳和数据地址的第一数据摘要发送至所述数据库服务器20。之后，所述数据库服务器20可基于接收的所述数据地址（例如，DATA ADDRESS）来获取所述主服务器30上存储的对应于所述第一数据摘要的生产数据（例如，A.Lot文件夹内的生产数据）。然后，所述数据库服务器20采用相似的方式获取第二数据摘要对应的生产数据。最后，所述数据库服务器20对比两个数据摘要对应的生产数据是否相同，若不同，则表明第一数据摘要对应的生产数据（例如，A.Lot文件夹内的生产数据）已被篡改，由所述数据库服务器20将特定数据文件夹（例如，A.Lot文件夹）标记为篡改文件（例如，A.Lot.Modify文件）。

也就是说，工控机1上的Inotify模块监测到篡改后的WAT数据时，数据库服务器20则通过另一直接的方式更有效地获取该条WAT数据。

具体而言，现以图2所示的数据监测系统为例对数据监测过程进行说明。

在工控机1、2、3上均配置Inotify模块，用于实时监控工控机上WAT数据动态，其动态包括工控机与代工厂工程师、主备服务器、数据库服务器之间的数据交互。

在使用Inotify模块监控WAT数据交互过程中，一旦发现工控机1上的WAT数据文件夹发生变化时，工控机1上配置的提取模块、插入模块和发送模块则通知到数据库服务器20（将包括所述WAT数据文件夹的名称及其包括时间戳和数据地址的数据摘要发送至所述数据库服务器）。然后，数据库服务器20查询其自身是否已记录有与WAT数据文件夹的名称（如A.Lot）相对应的数据摘要，若没有，则数据库服务器20记录所述WAT数据文件夹的名称及其数据摘要。其中所述数据摘要可包括：USER ID（用户ID）、FOUP ID（前开式晶圆传送盒ID）、PRODUCT ID（产品ID）、STEP ID（步骤ID）、EQUIPMENT ID（设备ID）、PROBE CARD ID（探针卡ID）、LOT ID（批号ID）、RECIPE ID（工法ID）、START TIME（开始时间）、END TIME（结束时间）、DATA ADDRESS（数据地址）、GENERATION TIME（生成时间/时间戳）等。其中，GENERATIONTIME（生成时间/时间戳）为测试机台在工控机上生成WAT数据的时间戳；以及DATA ADDRESS为WAT数据在主、备用服务器上的相应文件夹的存储地址。

当代工厂的工程师人为篡改工控机1上的WAT数据后，会将篡改后的WAT数据重新上传至工控机1上。此时，工控机1上配置的Inotify模块监测到该条WAT数据时，工控机1上的提取模块、插入模块和发送模块通知到数据库服务器20（将包括所述WAT数据文件夹的名称及其包括时间戳和数据地址的第一数据摘要发送至所述数据库服务器）。然而，数据库服务器在查询数据摘要时，发现已有数据摘要的文件夹名称与该条WAT数据的数据摘要中的文件夹名称相同（即均为A.Lot）。经过进一步比对数据摘要中的时间戳（GENERATIONTIME），发现时间戳不同，因此依据该时间戳的对比结果将篡改的WAT数据的文件夹记录为A.Lot.Modify文件夹（即篡改的WAT数据的数据摘要具有篡改属性）。

数据库服务器20还可将篡改WAT数据的上述依据通过邮件（例如加密的邮件）的方式通知相关项目组成员（该成员包括设计厂与代工厂人员），进而起到警示和预防的作用。

上述各个实施例可以有效避免由于WAT数据不准确而导致电学特性分析错误，进而导致后续的光罩改版、流片工艺拉偏等决定出现偏差，最终导致芯片从设计到封装全链条性失败。从成本角度出发，由于纠正了WAT数据，进而节省了设计、光罩、流片的成本；从时间角度出发，减少了设计、流片迭代的次数，节约了时间，为芯片快速占领市场提供一定的保障。

综上所述，本发明创造性地在特定数据文件夹内的生产数据发生变化时通过工控机记录生产数据的生成时间，将生产时间作为时间戳加入数据摘要中，并将数据摘要发送至数据库服务器；通过数据库服务器查询其自身是否已记录有特定数据文件夹的名称对应的数据摘要，若记录有，则对比两个数据摘要的时间戳，在时间戳不同的情况下，表明特定数据文件夹内的生产数据已经被篡改，将所述特定数据文件夹标记为篡改文件，由此，可以有效地避免生产数据被篡改，以确保所述生产数据的真实准确性，从而可有效地避免由于生产数据不准确而导致电学特性分析错误，导致后续的光罩改版、流片工艺拉偏等决定出现偏差，最终导致芯片从设计到封装全链条性失败。

以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。

本领域技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件来完成，该程序存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得单片机、芯片或处理器（processor）执行本申请各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器（ROM，Read-Only Memory）、随机存取存储器（RAM，Random Access Memory）、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。

Claims (10)

1.一种工控机，其特征在于，所述工控机包括：

监测模块，用于在监测到所述工控机上的特定数据文件夹内的生产数据发生变化的情况下，获取所述特定数据文件夹内发生变化的生产数据的生成时间；

提取模块，用于提取所述特定数据文件夹的原始数据摘要；

插入模块，用于将所述生成时间作为时间戳插入所述原始数据摘要中，以形成所述特定数据文件夹的第一数据摘要；以及

发送模块，用于发送所述特定数据文件夹的名称与所述第一数据摘要。

2.根据权利要求1所述的工控机，其特征在于，所述工控机还包括：

同步模块，用于响应于监测到所述工控机上的特定数据文件夹内的生产数据发生变化，将所述特定数据文件夹内发生变化的生产数据同步至主服务器上的特定数据文件夹内，

相应地，所述监测模块还用于获取所述特定数据文件夹在所述主服务器上的存储地址，以及

所述插入模块还用于将所述存储地址作为数据地址插入所述第一数据摘要中。

3.根据权利要求2所述的工控机，其特征在于，所述工控机还包括：查询模块，用于查询所述工控机的存储空间使用率，

所述同步模块还用于，执行以下操作：

在所述工控机的存储空间使用率大于第一阈值且小于或者等于第二阈值的情况下，将所述工控机上的生产数据强制同步至所述主服务器；或者

在所述工控机的存储空间使用率大于所述第二阈值的情况下，将所述工控机上的生产数据强制同步至所述主服务器与备用服务器。

4.根据权利要求3所述的工控机，其特征在于，所述查询模块为crontab模块；以及所述同步模块为rsync模块。

5.根据权利要求1所述的工控机，其特征在于，所述监测模块为Inotify模块。

6.根据权利要求1所述的工控机，其特征在于，所述生产数据包括晶圆接受测试数据、晶圆测试数据和/或最终测试数据。

7.根据权利要求1所述的工控机，其特征在于，所述特定数据文件夹的名称与所述生产数据的批号相关联。

8.一种数据监测系统，其特征在于，所述数据监测系统包括：

根据权利要求1-7中任一项所述的工控机；

数据库服务器，用于执行以下操作：

接收特定数据文件夹的名称与第一数据摘要；

查询所述数据库服务器上是否记录有第二数据摘要，其中，所述第二数据摘要对应的数据文件夹的名称与所述特定数据文件夹的名称相同；以及

在所述数据库服务器上记录有所述第二数据摘要且所述第一数据摘要中的时间戳与所述第二数据摘要中的时间戳不同的情况下，将所述第一数据摘要对应的特定数据文件夹标记为篡改文件。

9.根据权利要求8所述的数据监测系统，其特征在于，在所述数据库服务器上记录有所述第二数据摘要且所述第一数据摘要中的时间戳与所述第二数据摘要中的时间戳不同的情况下，所述数据库服务器还用于执行以下步骤：

基于所述第一数据摘要对应的特定数据文件夹的名称，间接获取对应于所述第一数据摘要的生产数据；

基于所述第二数据摘要对应的数据文件夹的名称，间接获取对应于所述第二数据摘要的生产数据；以及

在对应于所述第一数据摘要的生产数据与对应于所述第二数据摘要的生产数据不同的情况下，将所述第一数据摘要对应的特定数据文件夹标记为篡改文件。

10.根据权利要求8所述的数据监测系统，其特征在于，在所述工控机为权利要求2所述的工控机的条件下，在所述数据库服务器上记录有所述第二数据摘要且所述第一数据摘要中的时间戳与所述第二数据摘要中的时间戳不同的情况下，所述数据库服务器还用于执行以下步骤：

基于所述第一数据摘要中的数据地址，直接获取对应于所述第一数据摘要的生产数据；

基于所述第二数据摘要中的数据地址，直接获取对应于所述第二数据摘要的生产数据；以及

在对应于所述第一数据摘要的生产数据与对应于所述第二数据摘要的生产数据不同的情况下，将所述第一数据摘要对应的特定数据文件夹标记为篡改文件。

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