CN115365638A - 显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法 - Google Patents

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Abstract

提供一种显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。根据一实施例的显示装置的制造装置包括：工作台；激光模组，配置在所述工作台的上方，并提供激光束；扫描器，从所述激光模组接收激光束而将激光束照射到所述工作台上；以及控制部，根据加工图案的形状以及加工位置向第一方向一起移动所述扫描器和所述工作台，并控制成所述激光模组将所述激光束照射到所述加工位置。

Description

显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法
技术领域
本发明涉及一种显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。
背景技术
随着多媒体的发展，显示装置的重要性正在增加。响应于此，正在使用有机发光显示装置(Organic Light Emitting Display，OLED)、液晶显示装置(Liquid CrystalDisplay，LCD)等之类各种类型的显示装置。此类的显示装置以各种移动电子设备如智能电话、智能手表、平板PC等便携式电子设备等为中心，其适用例呈现多样化。
最近，用于实现画面显示之外的各种功能的部件也一起装载在显示装置中是一种趋势。装载有相机、红外线传感器等光学元件的智能电话是这些例中的一个。为了光学元件的受光，显示装置可以包括光学孔。显示装置的光学孔可以通过利用激光的激光加工工艺来形成。
发明内容
本发明所要解决的问题在于，提供一种为了在显示装置中形成光学孔而能够执行快速的激光加工工艺的显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。
本发明的问题不限于以上提及的问题，本领域技术人员能够从以下的记载清楚地理解未提及的其它技术问题。
用于解决所述问题的根据一实施例的显示装置的制造装置包括：工作台；激光模组，配置在所述工作台的上方，并提供激光束；扫描器，从所述激光模组接收所述激光束而将所述激光束照射到所述工作台上；以及控制部，根据加工图案的形状以及加工位置向第一方向一起移动所述扫描器和所述工作台，并控制成所述激光模组将所述激光束照射到所述加工位置。
可以是，所述扫描器并行在所述加工位置中以第一速度向所述第一方向移动的第一移动以及以与所述加工图案的形状相同的形状移动的第二移动。
可以是，当所述扫描器配置到所述加工位置时，所述工作台以所述第一速度向所述第一方向移动。
可以是，所述加工位置包括配置在所述工作台内的第一加工位置以及向所述第一方向隔开的第二加工位置。
可以是，当所述扫描器位于所述第一加工位置和所述第二加工位置之间时，所述控制部使得所述工作台和所述扫描器均在所述第一方向上以第一速度移动。
可以是，当所述扫描器位于所述加工位置时，所述控制部使得所述工作台的所述第一方向的移动停止。
可以是，所述扫描器在所述加工位置中以与所述加工图案的形状相同的形状移动。
可以是，所述激光模组将包括多个第一脉冲的第一脉冲信号向所述控制部提供，所述控制部生成包括与所述多个第一脉冲中的任意一个第一脉冲同步的第二脉冲的第二脉冲信号，并将所述第二脉冲信号输出到所述激光模组。
可以是，所述激光模组与所述第二脉冲信号的所述第二脉冲同步地输出所述激光束。
可以是，所述激光模组将包括多个第一脉冲的第一脉冲信号向所述控制部提供，所述控制部生成包括与所述多个第一脉冲中的任意一个第一脉冲同步的第二脉冲的第二脉冲信号，并利用所述第二脉冲来生成包括多个第三脉冲的第三脉冲信号，所述激光模组输出所述第三脉冲信号。
可以是，所述激光模组与所述第三脉冲信号的所述第三脉冲同步地输出所述激光束。
用于解决所述另一问题的根据一实施例的显示装置的制造方法包括：向第一方向移动工作台的步骤；以及当扫描器配置到加工位置时，向所述第一方向一起移动所述扫描器和所述工作台，并将激光束照射到所述加工位置来形成加工图案的步骤，当所述扫描器配置到所述加工位置时，向所述第一方向一起移动所述扫描器和所述工作台，并将所述激光束照射到所述加工位置来形成所述加工图案的步骤包括：照射所述激光束的激光模组输出包括多个第一脉冲的第一脉冲信号的步骤；以及当在所述加工位置中所述扫描器的移动距离与所述激光束的照射间隔相同时，生成包括与所述多个第一脉冲中的任意一个第一脉冲同步的第二脉冲的第二脉冲信号来向所述激光模组提供的步骤。
可以是，当所述扫描器配置到所述加工位置时，向所述第一方向一起移动所述扫描器和所述工作台，并将所述激光束照射到所述加工位置来形成所述加工图案的步骤还包括：当所述扫描器位于所述加工位置时，所述工作台停止的步骤。
可以是，所述加工位置包括第一加工位置以及从所述第一加工位置向所述第一方向隔开的第二加工位置，并且，当所述扫描器配置到所述加工位置时，向所述第一方向一起移动所述扫描器和所述工作台，并将所述激光束照射到所述加工位置来形成所述加工图案的步骤还包括：当所述扫描器位于所述第一加工位置和所述第二加工位置之间时，所述扫描器向所述第一方向移动的步骤。
可以是，所述扫描器和所述工作台的移动速度彼此相同。
用于解决所述另一问题的根据另一实施例的显示装置的制造方法包括：向第一方向移动工作台的步骤；以及当扫描器配置到加工位置时，向所述第一方向一起移动所述扫描器和所述工作台，并将激光束照射到所述加工位置来形成加工图案的步骤，当所述扫描器配置到所述加工位置时，向所述第一方向一起移动所述扫描器和所述工作台，并将所述激光束照射到所述加工位置来形成所述加工图案的步骤包括：照射所述激光束的激光模组输出包括多个第一脉冲的第一脉冲信号的步骤；当在所述加工位置中所述扫描器的移动距离与所述激光束的照射间隔相同时，生成包括与所述多个第一脉冲中的任意一个第一脉冲同步的第二脉冲的第二脉冲信号的步骤；以及利用所述第二脉冲信号来生成包括多个第三脉冲的第三脉冲信号并向所述激光模组提供的步骤。
可以是，所述激光模组与所述第三脉冲信号的所述多个第三脉冲同步地输出所述激光束。
可以是，所述多个第三脉冲中的任意一个第三脉冲与所述第二脉冲信号的所述第二脉冲同步。
可以是，所述第二脉冲信号包括与所述多个第一脉冲中的另一个第一脉冲同步的第二脉冲，所述第二脉冲之间的间隔与所述激光束的组的照射重复周期相同。
可以是，所述多个第三脉冲之间的间隔与所述激光束照射的间隔相同。
其它实施例的具体事项包括在详细的说明和附图中。
依据根据一实施例的显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法，可以一起移动扫描器以及工作台并进行激光加工工艺来执行快速的激光加工工艺。
依据根据一实施例的显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法，可以通过均匀地形成激光束的光斑间隔来执行精确的激光加工工艺。
根据实施例的效果不限于以上例示的内容，更多种效果包括在本说明书中。
附图说明
图1是根据一实施例的显示装置的制造装置的概要图。
图2是图1的Q区域的放大图。
图3是示出利用根据一实施例的显示装置的制造装置的激光加工工艺的概要图。
图4是示出根据一实施例的显示装置的制造方法的流程图。
图5至图7是示出图4的显示装置的制造方法的概要图。
图8是示出根据一实施例的显示装置的制造装置将激光照射到停止的对象物时出现的激光束的光斑轨迹的概要图。
图9是详细示出根据一实施例的图4的S3步骤的流程图。
图10至图12是示出图9的根据实施例的图4的S3步骤的概要图。
图13是示出根据另一实施例的图4的S3步骤的流程图。
图14至图16是示出图13的根据实施例的图4的S3步骤的概要图。
图17是示出根据另一实施例的显示装置的制造方法的流程图。
图18是示出图17的根据实施例的显示装置的制造方法的概要图。
(附图标记说明)
1：显示装置的制造装置
100：扫描器
200：激光模组
300：工作台
400：控制部
500：光学系统
600：镜子
700：腔室
具体实施方式
参照与所附附图一起详细后述的实施例，本发明的优点和特征以及实现它们的方法会变得清楚。但是，本发明并不限于下面所公开的实施例，可以实现为彼此不同的各种形式，本实施例仅仅是为了使本发明的公开完整且将发明的范畴完整地传达给本发明所属技术领域中具有通常知识的人而提供，本发明仅通过权利要求书的范畴限定。
指称元件(elements)或者层在其它元件或者层“上(on)”是包括直接在其它元件之上或者在中间隔有其它层或其它元件的所有情况。在整个说明书中，相同的附图标记指代相同构成要件。
第一、第二等为了叙述各种构成要件而使用，但显然这些构成要件并不被这些术语所限定。这些术语仅仅是为了区分一个构成要件与其它构成要件而使用。因此，显然在下面提及的第一构成要件在本发明的技术构思范围内也可以是第二构成要件。
以下，参照所附附图说明具体实施例。
图1是根据一实施例的显示装置的制造装置的概要图。图2是图1的Q区域的放大图。
参照图1以及图2，根据一实施例的显示装置的制造装置1可以包括扫描器100、激光模组200、工作台300、控制部400、光学系统500、镜子600以及腔室700。
扫描器100可以从激光模组200接收激光束LB而朝向工作台300照射激光束LB。即，激光束LB的光可以经由扫描器100。虽然未示出，但是扫描器100可以包括透镜、镜子等光学部件。扫描器100可以在工作台300的上方沿着与工作台300的上面或者下面平行的平面移动。扫描器100的移动可以由控制部400控制。
扫描器100控制从激光模组200输出的激光束LB的输出方向。即，扫描器100控制从激光模组200输出的激光束LB的扫描场(scanning field)。照射到工作台300上的激光束LB的第一方向X的位置和第二方向Y的位置可以由扫描器100确定。扫描器100可以是包括具有多个反射镜的反射镜阵列的电流扫描器，但不限于此。
在一实施例中，第一方向X和第二方向Y向彼此不同的方向相互交叉。可以是，第一方向X指代工作台300的一边缘的延伸方向，第二方向Y指代与工作台300的所述一边缘交叉的另一边缘的延伸方向。另外，第三方向Z可以指代与第一方向X以及第二方向Y都交叉的方向。然而，应当理解实施例中所提及的方向是相对性方向，实施例不限于所提及的方向。扫描器100可以从控制部400接收第一控制信号CS1。控制部400可以通过第一控制信号CS1控制扫描器100的位置、移动方向以及移动速度。扫描器100可以向控制部400提供第一移动数据MD1。第一移动数据MD1可以包括扫描器100的位置、移动方向以及移动速度等信息。控制部400可以通过第一移动数据MD1算出第一控制信号CS1。
激光模组200可以生成并发出激光束LB。由激光模组200生成的激光束LB例如可以是CO2激光、绿色激光、红外线激光、紫外线激光中的任意一个，但不限于此。
激光模组200可以向控制部400提供第一脉冲信号P1。激光模组200可以从控制部400接收与第一脉冲信号P1的第一脉冲UP1(参照图12)中的至少一个脉冲同步的第二脉冲信号P2。激光模组200可以在输入第二脉冲信号P2时输出激光束LB。
对象基板SUB可以安放并固定到工作台300上。可以是，照射到工作台300上的激光束LB照射到对象基板SUB上，并去除对象基板SUB的一部分。
在一实施例中，工作台300可以包括静电卡盘。通过此，工作台300可以固定对象基板SUB。例如，对象基板SUB可以在工作台300中配置并固定到与扫描器100面对的上面的相反面即下面上。然而，不限于此，对象基板SUB也可以在工作台300中配置并固定到与扫描器100面对的上面上。此时，工作台300可以由能够透射激光束LB的物质构成，激光束LB透射工作台300而照射到对象基板SUB，从而可以在对象基板SUB进行激光加工工艺。
工作台300可以从控制部400接收第二控制信号CS2。控制部400可以通过第二控制信号CS2控制工作台300的位置、移动方向以及移动速度。工作台300可以向控制部400提供第二移动数据MD2。第二移动数据MD2可以包括工作台300的位置、移动方向以及移动速度等信息。控制部400可以通过第二移动数据MD2算出第二控制信号CS2。
以下，将说明安放到工作台300中的对象基板SUB。对象基板SUB可以包括基底基板BS以及配置在基底基板BS上的蒸镀层DL。如图1以及图2所示，蒸镀层DL可以配置在基底基板BS的下侧。
基底基板BS可以是透明的绝缘基板。基底基板BS可以是玻璃等之类刚性基板，但不限于此，也可以是柔性基板。
在基底基板BS上可以配置蒸镀层DL。蒸镀层DL可以包括多个导电层以及多个绝缘层。蒸镀层DL可以通过之后的其它工艺包括显示装置的发光元件EMD以及驱动所述发光元件EMD的晶体管。
蒸镀层DL可以包括电路层CCL、像素电极PXE、像素界定膜PDL、发光层EML、公共电极CME以及薄膜封装结构物TFEL。像素电极PXE、发光层EML以及公共电极CME可以构成发光元件EMD。
电路层CCL可以配置在基底基板BS上。像素电极PXE可以配置在电路层CCL上。电路层CCL可以包括驱动发光元件EMD的多个导电层。例如，电路层CCL可以包括半导体层、栅极导电层、数据导电层等。电路层CCL可以还包括配置在各导电层之间的绝缘层。
像素界定膜PDL可以包括在电路层CCL上沿着像素电极PXE的边缘配置并局部地暴露像素电极PXE的开口部。发光层EML可以配置在像素界定膜PDL所暴露的像素电极PXE上。公共电极CME可以在像素界定膜PDL和发光层EML上整面配置。
薄膜封装结构物TFEL可以配置在公共电极CME上，并封装发光元件EMD。薄膜封装结构物TFEL可以包括配置在公共电极CME上的第一薄膜封装层TFE1、配置在第一薄膜封装层TFE1上的第二薄膜封装层TFE2以及配置在第二薄膜封装层TFE2上的第三薄膜封装层TFE3。可以是，第一薄膜封装层TFE1以及第三薄膜封装层TFE3由无机物构成，第二薄膜封装层TFE2由有机物构成。
可以由从扫描器100照射的激光束LB局部地去除蒸镀层DL。例如，可以去除蒸镀层DL中的薄膜封装结构物TFEL、公共电极CME、发光层EML、像素界定膜PDL、像素电极PXE以及电路层CCL中的至少任意一个。蒸镀层DL可以在平面上以闭合曲线形状去除，或者在预定的区域中以彼此隔开的多个点形状去除。
控制部400可以控制扫描器100、激光模组200以及工作台300的工作。具体地，控制部400可以控制扫描器100的移动以及通过扫描器100的激光束LB的照射方向。另外，控制部400可以控制激光模组200的激光束LB生成，并控制工作台300的移动。
控制部400可以从扫描器100接收第一移动数据MD1。控制部400可以向扫描器100提供第一控制信号CS1。扫描器100可以通过第一控制信号CS1移动或者控制激光束LB的光路。控制部400可以根据第二移动数据MD2以及第二脉冲信号P2的施加与否生成第一控制信号CS1。即，控制部400可以考虑工作台300的移动以及激光模组200的激光束LB发出与否等生成第一控制信号CS1。
控制部400可以通过第一控制信号CS1控制来自扫描器100的激光束LB的照射。另外，控制部400可以通过第一移动数据MD1实时判断扫描器100的移动距离是否与激光束LB的照射间隔(参照图10的“d1”)相同。当扫描器100的移动距离与激光束LB的照射间隔d1相同时，控制部400可以向激光模组200提供与第一脉冲信号P1同步的第二脉冲信号P2。控制部400可以通过综合考虑激光束LB的强度以及种类、基板SUB的种类等来设定提供第二脉冲信号P2的间隔。
控制部400可以从激光模组200接收第一脉冲信号P1。第一脉冲信号P1可以包括具有预定的周期的多个第一脉冲UP1(参照图12)。
控制部400可以根据第一移动数据MD1以及第二移动数据MD2生成第二脉冲信号P2并向激光模组200提供。第二脉冲信号P2可以包括多个第二脉冲UP2(参照图12)。第二脉冲UP2可以与第一脉冲信号P1的第一脉冲UP1中的至少一个脉冲同步。具体地，当扫描器100通过工作台300的移动到达由用户输入的加工位置PP(参照图3)的上方时，控制部400可以将第二脉冲信号P2向激光模组200提供。通过此，激光模组200可以基于第二脉冲信号P2发出激光束LB。
控制部400可以从工作台300接收第二移动数据MD2。控制部400可以根据第一移动数据MD1以及第二脉冲信号P2的施加与否生成第二控制信号CS2并向工作台300提供。控制部400可以通过第二控制信号CS2控制工作台300的移动。
总结起来，可以是，控制部400利用从扫描器100接收的第一移动数据MD1、从工作台300接收的第二移动数据MD2以及从激光模组200接收的第一脉冲信号P1，向扫描器100提供第一控制信号CS1，向工作台300提供第二控制信号CS2，向激光模组200提供第二脉冲信号P2。
光学系统500可以配置在激光模组200和扫描器100之间。光学系统500可以包括多个透镜以及镜子。光学系统500可以调节激光束LB的特性。例如，光学系统500可以调节激光束LB的焦点位置、光斑的尺寸以及能量的强度等，但是光学系统500的功能或者作用不限于此。
镜子600可以配置在激光模组200和扫描器100之间。镜子600可以反射激光束LB而在激光模组200和扫描器100之间调节光路。镜子600可以是多个。在多个镜子600中的光路上相邻的任意两个之间可以配置上述的光学系统500。
例如，镜子600可以包括在光路上位于激光模组200和光学系统500之间的第一镜子部601、在光路上位于光学系统500和扫描器100之间的第二以及第三镜子部602、603。如上所述，可以是，第二以及第三镜子部602、603在光路上位于光学系统500和扫描器100之间，并且，第二镜子部602在光路上位于第三镜子部603和光学系统500之间，第三镜子部603在光路上位于第二镜子部602和扫描器100之间。可以是，从激光模组200输出的激光束LB被第一镜子部601反射而向光学系统500行进，穿过光学系统500的激光束LB依次被第二镜子部602和第三镜子部603反射而向扫描器100进行。
腔室700可以提供容纳工作台300的空间。即，工作台300可以位于腔室700的内部。在一实施例中，腔室700可以是真空腔室。在进行激光加工工艺的期间，腔室700的内部可以保持为真空状态。
图3是示出利用根据一实施例的显示装置的制造装置的激光加工工艺的概要图。
在包括图3在内的以下的附图中，通过简化根据一实施例的显示装置的制造装置1来仅示出了包括在显示装置的制造装置1中的扫描器100和对象基板SUB。即，虽然以下的附图中仅示出了扫描器100，但其意指上述的根据一实施例的显示装置的制造装置1。
参照图3，根据一实施例的扫描器100可以将激光束LB照射到对象基板SUB上。具体地，对象基板SUB可以配置为上面与由第一方向X以及第二方向Y定义的平面平行。扫描器100可以位于对象基板SUB的上方。例如，扫描器100可以位于对象基板SUB的边缘的上方。扫描器100可以位于对象基板SUB的角部的上方。扫描器100可以朝向对象基板SUB的上面照射激光束LB。
根据一实施例的扫描器100可以将激光束LB照射到形成在对象基板SUB中的加工位置PP。若将激光束LB照射到形成在对象基板SUB上的加工位置PP，则可以形成加工图案PL。激光束LB可以以彼此隔开的多个束斑LBS的形式照射到对象基板SUB。束斑LBS可以在第一方向X以及第二方向Y上具有预定的坐标。可以由控制部400控制束斑LBS在第一方向X以及第二方向Y上的坐标。
当扫描器100将激光束LB照射到对象基板SUB上时，激光束LB的焦点可以形成在上面参照图1以及图2所叙述的对象基板SUB的蒸镀层DL中。换言之，若激光束LB照射到对象基板SUB上，则激光束LB的焦点可以形成在蒸镀层DL内部。因此，若激光束LB照射到对象基板SUB上，则可以局部地去除蒸镀层DL的一部分。例如，若激光束LB照射到对象基板SUB上，则可以去除蒸镀层DL中的薄膜封装结构物TFEL、公共电极CME、发光层EML、像素界定膜PDL、像素电极PXE以及电路层CCL中的至少任意一个。
若连接照射到对象基板SUB上的激光束LB的束斑LBS，则在平面上可以具有闭合曲线形状。通过此，形成在对象基板SUB中的加工图案PL可以在平面上具有闭合曲线形状。例如，加工图案PL可以在平面上是圆形或者三角形、矩形、其它多边形形状。然而，不限于此，也可以是，多个束斑LBS向矩阵方向排列而加工图案PL在预定的区域中具有彼此隔开的多个点形状。
在一实施例中，若去除与闭合曲线形状的加工图案PL重叠的蒸镀层DL的一部分，则在蒸镀层DL中由闭合曲线形状的加工图案PL环绕的区域可以从基底基板BS分离。即，若激光束LB照射到对象基板SUB上，则可以去除由闭合曲线形状的加工图案PL环绕的区域。在通过激光加工去除蒸镀层DL的区域中可以装配各种传感器或者模组。例如，在通过激光加工去除蒸镀层DL的区域中可以装配相机模组。
在另一实施例中，当在对象基板SUB上，激光束LB的束斑LBS在预定的区域中向矩阵方向排列而具有彼此隔开的多个点形状时，在形成加工图案PL的区域中可以不配置像素。形成加工图案PL而不配置像素的区域可以是透射从外部进入的光的透光区域。从外部进来的光可以进入配置为与所述透光区域重叠的各种传感器或者模组。例如，此时，可以是，指纹识别传感器配置为与所述透光区域重叠，从外部进入的光进入所述指纹识别传感器。
总结起来，控制部400可以通过在将激光束LB照射到工作台300的期间连续移动扫描器100以及工作台300来执行快速的激光加工。另外，控制部400可以通过基于与第一脉冲信号P1的第一脉冲UP1同步的第二脉冲信号P2、第一以及第二移动数据MD1、MD2以及加工位置PP等信息在期望的定时将激光束LB照射到期望的位置来执行精确的激光加工。
以下，将说明利用根据一实施例的显示装置的制造装置1的显示装置的制造方法，即激光照射方法。
图4是示出根据一实施例的显示装置的制造方法的流程图。图5至图7是示出图4的显示装置的制造方法的概要图。图8是示出根据一实施例的显示装置的制造装置将激光照射到停止的对象物时出现的激光束的光斑轨迹的概要图。
第一，如图5所示，可以由用户将加工图案PL以及加工位置PP输入到控制部(参照图1的“400”)(S1)。
即，用户可以将与加工图案PL以及加工位置PP有关的信息输入到控制部400以使得根据一实施例的显示装置的制造装置1利用激光束LB将加工图案PL形成到加工位置PP。加工位置PP是指形成加工图案PL的位置。即，加工图案PL可以位于加工位置PP内。加工图案PL可以通过移动激光束LB的束斑LBS来形成。例示了加工位置PP位于对象基板SUB的角部，但不限于此。
第二，如图6所示，工作台300可以移动(S2)。
在根据一实施例的显示装置的制造方法中，工作台300可以沿第一方向X移动，直到进行实质性激光加工为止。即，工作台300可以移动，直到扫描器100到达输入的加工位置PP上为止。
不仅如此，在利用根据一实施例的显示装置的制造方法的激光加工工艺中，即使在进行实质性激光加工的期间，工作台300也可以继续移动。
第三，如图7所示，可以通过一起移动工作台300和扫描器100并照射激光束LB来在输入的加工位置PP中形成输入的加工图案PL(S3)。
在图7中，例示了工作台300的移动SD1方向是第一方向X，但不限于此，工作台300的移动SD1方向可以是第二方向Y，或者是第一方向X和第二方向Y之间的方向。
若扫描器100位于工作台300的加工位置PP的第三方向Z一侧即上方，则扫描器100可以朝向工作台300的加工位置PP照射激光束LB。图7中仅示出了工作台300，但是对象基板SUB可以安放并固定到工作台300的第三方向Z另一侧面即下面上。
如上所述，即使在实时照射激光束LB的过程中，工作台300也可以沿第一方向X移动SD1。此时，工作台300的第一方向X移动速度可以与扫描器100的第一方向X移动速度实质上相同。因此，为了形成期望的加工图案PL，扫描器100可以移动并将激光束LB照射到工作台300上。在照射激光束LB时，扫描器100的移动SD2可以包括在一方向上的平移运动即第一移动SD21和以与加工图案PL相同的形状运动的第二移动SD22。
扫描器100的第一移动SD21可以用于与在照射激光束LB的期间进行的工作台300的移动SD1配合。由于在扫描器100照射激光束LB时工作台300实时移动SD1，因此为了形成期望的加工图案PL，扫描器100可以伴有以与工作台300的移动SD1相同的方向以及相同的速度移动的第一移动SD21。
扫描器100的第二移动SD22可以用于在工作台300上形成加工图案PL。即，扫描器100可以通过第二移动SD22以与加工图案PL相同的形状移动。例如，当在工作台300上形成的加工图案PL是闭合曲线时，作为第二移动SD22，扫描器100可以在加工图案PL的上方以与加工图案PL相同的形状绘制闭合曲线的同时移动。扫描器100的第二移动SD22可以为了形成一个加工图案PL而进行多次。即，在照射激光束LB的期间，扫描器100可以同时进行第一移动SD21以及第二移动SD22。
图8中示出了当工作台300不移动而处于固定的状态时扫描器100并行第一移动SD21以及第二移动SD22并照射激光束LB而形成的平面上光斑轨迹LT。在工作台300上形成的光斑轨迹LT可以是激光束LB的束斑LBS经过的痕迹。
激光束LB的平面上光斑轨迹LT可以通过在照射激光束LB的期间同时进行扫描器100在第一方向X上的平移运动即第一移动SD21以及用于形成加工图案PL的圆周运动即第二移动SD22来形成。因此，光斑轨迹LT的平面形状可以具有例如龙卷风、弹簧或者发条形状。
图8中例示了进行第一移动SD21并重复进行三次第二移动SD22的结果的激光束LB的光斑轨迹LT，但是第二移动SD22的重复次数不限于此，激光束LB的光斑轨迹LT的形状也可以根据第二移动SD22的重复次数改变。
图9是详细示出根据一实施例的图4的S3步骤的流程图。图10至图12是示出根据一实施例的图4的S3步骤的概要图。
参照图9至图12来后述的说明是与激光束LB照射工艺中的制作一个加工图案PL的过程有关的说明。在激光加工工艺中，激光束LB可以通过提供给激光模组200的第二脉冲信号P2周期性发出并照射。
第一，激光模组200可以将第一脉冲信号P1向控制部400提供(S31)。
第一脉冲信号P1可以包括作为由激光模组200朝向控制部400持续提供的同步脉冲而反复提供的多个第一脉冲UP1。当控制部400向激光模组200提供与第一脉冲信号P1同步的第二脉冲信号P2时，激光模组200可以生成激光束LB并朝向扫描器100发出。即，第二脉冲信号P2可以是控制激光束LB的生成的脉冲。
第二，如图10所示，接着，扫描器100可以移动(S32)。
在此，扫描器100的移动SD2可以包括在与工作台300的移动SD1相同的方向上的移动即第一移动SD21以及用于形成加工图案PL的移动即第二移动SD22。扫描器100的移动SD2中的第一移动SD21可以是平移运动。第二移动SD22可以是沿加工图案PL的平面形状移动的运动。例如，当加工图案PL在平面上是圆形时，扫描器100的第二移动SD22可以是使得激光束LB的束斑LBS沿加工图案PL移动的圆周运动。
第三，如图11所示，接着，可以由控制部400进行扫描器100的移动距离与照射间隔d1是否相同的判断(S33)。
控制部400的所述判断可以与扫描器100的移动SD2一起实时进行。激光束LB的束斑LBS可以隔着一定的照射间隔d1而照射。即，照射间隔d1可以意指通过激光束LB形成的束斑LBS中的彼此相邻的束斑LBS之间的间隔。例如，可以是，扫描器100照射一次激光束LB而形成任意一个束斑LBS之后，并行第一移动SD21以及第二移动SD22并移动照射间隔d1后再次照射激光束LB而形成另一束斑LBS。
第四，如图12所示，当控制部400判断扫描器100的移动距离与照射间隔d1是否相同而扫描器100的移动距离与照射间隔d1相同时，控制部400可以生成与第一脉冲信号P1同步的第二脉冲信号P2(S34)。
第五，控制部400可以将第二脉冲信号P2向激光模组200提供(S35)。
第二脉冲信号P2可以包括控制激光束LB的发出的多个第二脉冲UP2。第二脉冲信号P2的第二脉冲UP2可以是与从激光模组200提供给控制部400的同步脉冲即第一脉冲信号P1的第一脉冲UP1同步的脉冲。当控制部400朝向激光模组200提供第二脉冲信号P2时，激光模组200可以发出激光束LB。第二脉冲信号P2的第二脉冲UP2的时间宽度t2可以大于第一脉冲信号P1的第一脉冲UP1的时间宽度t1。第一脉冲信号P1的第一脉冲UP1的时间宽度t1可以位于第二脉冲信号P2的第二脉冲UP2的时间宽度t2内。然而，不限于此，第二脉冲信号P2的第二脉冲UP2的时间宽度t2可以小于第一脉冲信号P1的第一脉冲UP1的时间宽度t1。第二脉冲信号P2的第二脉冲UP2的时间宽度t2可以位于第一脉冲信号P1的第一脉冲UP1的时间宽度t1内。
在一实施例中，激光模组200可以在第二脉冲信号P2的第二脉冲UP2的上升沿(rising edge)定时re生成并发出激光束LB。即，激光模组200可以在第二脉冲UP2开始的定时re生成并发出激光束LB。然而，不限于此，激光模组200也可以在第二脉冲信号P2的第二脉冲UP2的下降沿(falling edge)定时fe生成并发出激光束LB。即，激光模组200可以在第二脉冲UP2结束的定时fe生成并发出激光束LB。
在一实施例中，第一脉冲信号P1的第一脉冲UP1可以具有第一高电位HV1以及第一低电位LV1。第二脉冲信号P2的第二脉冲UP2可以具有第二高电位HV2以及第二低电位LV2。第一低电位LV1以及第二低电位LV2可以是相同的电位，但不限于此。第一高电位HV1和第一低电位LV1之差可以大于第二高电位HV2和第二低电位LV2之差，但不限于此，第一高电位HV1和第一低电位LV1之差也可以小于第二高电位HV2和第二低电位LV2之差。
第六，可以进行利用第二脉冲信号P2的激光加工(S36)。可以是，若第二脉冲信号P2从控制部400提供给激光模组200，则激光束LB从激光模组200朝向扫描器100提供，进行扫描器100以及工作台300同时移动并照射激光束LB的激光加工。
另一方面，在由控制部400判断扫描器100的移动距离和照射间隔是否相同的的过程(S33)中，若扫描器100的移动距离与照射间隔d1不相同，则扫描器100可以再次移动(S32)。
根据一实施例的显示装置的制造方法可以通过一起移动扫描器100以及工作台300并将激光束LB照射到工作台300来执行快速的激光加工。另外，根据一实施例的显示装置的制造方法通过控制与从激光模组200提供给控制部400的第一脉冲信号P1同步的第二脉冲信号P2而在期望的定时将激光束LB照射到输入的加工位置PP来执行形成期望的加工图案PL的精确的激光加工。
图13是示出根据另一实施例的图4的S3步骤的流程图。图14至图16是示出根据另一实施例的图4的S3步骤的概要图。
参照图13至图16来后述的显示装置的制造方法在通过第二脉冲信号P2生成多个第三脉冲信号P3并将生成的多个第三脉冲信号P3向激光模组200提供而控制成激光模组200生成激光束LB的方面，与图9的实施例存在区别。
第一，如图14所示，激光模组200可以将第一脉冲信号P1向控制部400提供(S31_1)。
激光模组200将第一脉冲信号P1向控制部400提供的S31_1步骤与图9的S31步骤实质上相同，因此省略针对其的说明。
第二，控制部400可以生成与第一脉冲信号P1同步的第二脉冲信号P2(S32_1)。
第二脉冲信号P2可以包括与从激光模组200提供给控制部400的同步脉冲即第一脉冲信号P1的第一脉冲UP1中的至少一个脉冲同步的第二脉冲UP2。
第三，如图14所示，控制部400可以通过第二脉冲信号P2生成第三脉冲信号P3(S33_1)。
一个第三脉冲信号P3可以对应于第二脉冲信号P2的一个第二脉冲UP2。一个第三脉冲信号P3可以包括多个第三脉冲UP3。例如，第三脉冲信号P3可以包括两个、三个、四个或者其以上的第三脉冲UP3，但是第三脉冲信号P3所包括的第三脉冲UP3的数量不限于此。多个第三脉冲UP3中的任意一个可以与第二脉冲信号P2的第二脉冲UP2同步。
如参照图12所上述那样，可以是，第一脉冲信号P1的第一脉冲UP1具有第一高电位HV1以及第一低电位LV1，第二脉冲信号P2的第二脉冲UP2具有第二高电位HV2以及第二低电位LV2。第三脉冲信号P3的第三脉冲UP3可以具有第三高电位HV3以及第三低电位LV3。第三低电位LV3可以是与第一低电位LV1以及第二低电位LV2相同的电位，但不限于此。
各第三脉冲信号P3的时间间隔t3可以是恒定的。
第三脉冲信号P3可以对准第二脉冲信号P2的第二脉冲UP2的下降沿(fallingedge)定时fe来生成。即，第三脉冲信号P3可以对准第二脉冲UP2结束的定时fe来生成。然而，不限于此，第三脉冲信号P3可以对准第二脉冲信号P2的第二脉冲UP2的上升沿(risingedge)定时re来生成。即，第三脉冲信号P3可以对准第二脉冲信号P2的第二脉冲UP2开始的定时re来生成。
第四，控制部400可以将第三脉冲信号P3向激光模组200提供(S34_1)。
第三脉冲信号P3的第三脉冲UP3可以是控制成激光模组200生成激光束LB的脉冲。在本实施例中，若第三脉冲信号P3的第三脉冲UP3输入到激光模组200，则激光模组200可以生成并发出激光束LB。即，激光模组200可以与第三脉冲信号P3的第三脉冲UP3同步地发出激光束LB。例如，若生成一次第三脉冲信号P3的第三脉冲UP3，则可以从激光模组200发出一次激光束LB。另外，如图14所示，当第三脉冲信号P3包括四个第三脉冲UP3时，激光模组200可以根据第三脉冲信号P3发出四次激光束LB。
在本实施例中，激光模组200可以在第三脉冲信号P3的第三脉冲UP3的上升沿(rising edge)定时生成并发出激光束LB。即，激光模组200可以在第三脉冲UP3开始的定时生成并发出激光束LB。然而，不限于此，激光模组200也可以在第三脉冲信号P3的第三脉冲UP3的下降沿(falling edge)定时生成并发出激光束LB。即，激光模组200可以在第三脉冲UP3结束的定时生成并发出激光束LB。
第五，如图15以及图16所示，扫描器100可以移动并利用第三脉冲信号P3进行激光加工(S35_1)。
在本步骤中，扫描器100的移动速度Vs可以由束斑LBS之间的间隔d1_1以及第三脉冲信号P3的第三脉冲UP3的时间间隔t3确定。即，第三脉冲信号P3的第三脉冲UP3的时间间隔t3可以与激光束LB在时间上的照射间隔相同。
在本实施例中，工作台300可以包括多个加工位置PP1、PP2。例如，工作台300可以包括第一加工位置PP1以及从第一加工位置PP1隔开配置的第二加工位置PP2。
扫描器100可以在第一加工位置PP1中沿第一行R1照射激光束LB，并向第二加工位置PP2移动而在第二加工位置PP2中沿第一行R1照射激光束LB。若结束在第一加工位置PP1以及第二加工位置PP2中将激光束LB照射到第一行R1而形成束斑LBS，则扫描器100可以向第一加工位置PP1以及第二加工位置PP2的第二行R2移动而照射激光束LB并形成束斑LBS。在第一加工位置PP1中可以照射多次激光束LB而形成多个束斑LBS。在第二加工位置PP2中也可以照射多次激光束LB而形成多个束斑LBS。用于生成照射到第一加工位置PP1的第一组的激光束LB的第二脉冲UP2和用于生成照射到第二加工位置PP2的第二组的激光束LB的第二脉冲UP2可以与彼此不同的第一脉冲UP1同步。
利用包括多个第三脉冲UP3的第三脉冲信号P3形成的激光束LB的束斑LBS之间的间隔d1_1可以恒定。束斑LBS之间的间隔d1_1可以表示为扫描器100的移动速度Vs和第三脉冲信号P3的多个第三脉冲UP3中的彼此相邻的第三脉冲UP3之间的时间间隔t3的乘积。因此，束斑LBS之间的间隔d1_1可以通过控制部400调节扫描器100的移动速度Vs和第三脉冲信号P3中彼此相邻的第三脉冲UP3之间的时间间隔t3来控制。
第一加工位置PP1的第一个束斑LBS和第二加工位置PP2的第一个束斑LBS之间的间隔d2_1可以通过调节第二脉冲UP2之间的时间间隔t4来控制。例如，第一加工位置PP1的第一个束斑LBS和第二加工位置PP2的第一个束斑LBS之间的间隔d2_1可以表示为扫描器100的移动速度Vs和第二脉冲UP2之间的时间间隔t4的乘积。即，第二脉冲UP2之间的时间间隔t4可以与所述第一组的激光束LB和所述第二组的激光束LB的照射重复周期实质上相同。
在根据本实施例的显示装置的制造方法中，控制部400可以控制成，生成与从激光模组200提供的第一脉冲信号P1同步的第二脉冲信号P2，并通过第二脉冲信号P2生成包括多个第三脉冲UP3的第三脉冲信号P3，从而执行激光束LB照射工艺。根据本实施例的显示装置的制造方法可以通过在将激光束LB照射到工作台300的期间连续移动扫描器100以及工作台300来执行快速的激光加工。另外，可以通过基于与第一脉冲信号P1的第一脉冲UP1同步的第二脉冲信号P2、第一以及第二移动数据MD1、MD2以及加工位置PP等信息在期望的定时将激光束LB照射到期望的位置来执行精确的激光加工。
不仅如此，在根据本实施例的显示装置的制造方法中，控制部400利用第二脉冲信号P2生成包括多个第三脉冲UP3的第三脉冲信号P3，并将具有均匀的第三脉冲UP3的时间间隔t3的第三脉冲信号P3向激光模组200提供，从而生成激光束LB，由此可以更精确地控制束斑LBS之间的间隔。
图17是示出根据另一实施例的显示装置的制造方法的流程图。图18是示出根据图17的实施例的显示装置的制造方法的概要图。
将参照图17以及图18说明根据另一实施例的显示装置的制造方法。
第一，可以由用户将加工图案PL、第一加工位置PP1以及第二加工位置PP2输入到控制部400(S1_1)。
即，用户可以将加工图案PL、第一加工位置PP1以及第二加工位置PP2输入到控制部400以使得显示装置的制造装置1利用激光束LB将期望的加工图案PL形成到第一加工位置PP1以及第二加工位置PP2。在此，加工图案PL可以意指照射激光束LB的虚拟的加工线。另外，第一加工位置PP1以及第二加工位置PP2可以意指形成加工图案PL的位置。当对象基板SUB是包括多个单元的母基板单元时，第一加工位置PP1以及第二加工位置PP2可以位于包括在对象基板SUB中的各单元的边缘。例如，第一加工位置PP1以及第二加工位置PP2可以位于包括在对象基板SUB中的各单元的角部。
第二，工作台300可以向输入的第一加工位置PP1移动(S2_1)。
在根据本实施例的显示装置的制造方法中，工作台300可以沿第一方向X移动，直到进行实质性激光照射为止。即，工作台300可以移动，直到扫描器100到达输入的第一加工位置PP1的上方为止。
利用根据本实施例的显示装置的制造方法的激光加工工艺可以在工作台300停止的状态下进行。
第三，可以通过移动扫描器100并将激光束LB照射到输入的第一加工位置PP1来形成输入的加工图案PL(S3_1)。
在本步骤中，可以以工作台300停止的状态照射激光束LB。若扫描器100位于第一加工位置PP1的上方，则可以从扫描器100朝向工作台300照射激光束LB而形成加工图案PL。此时，可以从控制部400向工作台300不施加工作台300的移动所需的各种信号。因此，可以通过减少可能在工作台300中产生的各种信号引起的噪声来提高与工作台300的第一加工位置PP1有关的位置精确度。
第四，工作台300可以向输入的第二加工位置PP2移动(S4_1)。
在根据本实施例的显示装置的制造方法中，工作台300可以沿第一方向X移动，直到扫描器100到达输入的第二加工位置PP2上为止。
第五，可以是，扫描器100移动并将激光束LB照射到输入的第二加工位置PP2，从而形成输入的加工图案PL(S5_1)。
在本步骤中，可以以工作台300停止的状态照射激光束LB。若扫描器100移动而位于第二加工位置PP2的上方，则可以从扫描器100朝向工作台300照射激光束LB而形成加工图案PL。此时，可以从控制部400向工作台300不施加工作台300的移动所需的各种信号。因此，可以通过减少可能在工作台300中产生的各种信号引起的噪声来提高与工作台300的第二加工位置PP2有关的位置精确度。
在本实施例中，与移动扫描器并将激光照射到输入的第一加工位置而形成输入的加工图案的过程(S3_1)以及移动扫描器并将激光照射到输入的第二加工位置而形成输入的加工图案的过程(S5_1)有关的说明与上面参照图9至图12所叙述的说明或者上面参照图13至图16所叙述的说明实质上相同，因此将在下面省略。
根据本实施例的显示装置的制造方法可以生成与从激光模组200提供的第一脉冲信号P1同步的第二脉冲信号P2，并通过第二脉冲信号P2生成多个第三脉冲信号P3，从而执行激光束LB照射工艺。根据本实施例的显示装置的制造方法可以通过利用与从激光模组200提供给控制部400的第一脉冲信号P1同步的第二脉冲信号P2进行的控制来执行精确的激光加工。
不仅如此，根据本实施例的显示装置的制造装置1可以通过在照射激光束LB的期间保持停止工作台300的状态来提高与加工位置PP1、PP2有关的工作台300的位置精确度。因此，可以执行更精确的激光加工。
以上，参照所附附图对本发明的实施例进行了说明，但在本发明所属技术领域中具有通常知识的人应能理解，在不改变本发明的其技术构思或必要特征的情况下，可以以其它具体方式实施。因此，应当理解以上叙述的实施例在所有方面为示例性的而不是限定性的。

Claims (20)

1.一种显示装置的制造装置，其中，包括：
工作台；
激光模组，配置在所述工作台的上方，并提供激光束；
扫描器，从所述激光模组接收所述激光束而将所述激光束照射到所述工作台上；以及
控制部，根据加工图案的形状以及加工位置向第一方向一起移动所述扫描器和所述工作台，并控制成所述激光模组将所述激光束照射到所述加工位置。
2.根据权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，
所述扫描器并行在所述加工位置中以第一速度向所述第一方向移动的第一移动以及以与所述加工图案的形状相同的形状移动的第二移动。
3.根据权利要求2所述的显示装置的制造装置，其中，
当所述扫描器配置到所述加工位置时，所述工作台以所述第一速度向所述第一方向移动。
4.根据权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，
所述加工位置包括配置在所述工作台内的第一加工位置以及向所述第一方向隔开的第二加工位置。
5.根据权利要求4所述的显示装置的制造装置，其中，
当所述扫描器位于所述第一加工位置和所述第二加工位置之间时，所述控制部使得所述工作台和所述扫描器均在所述第一方向上以第一速度移动。
6.根据权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，
当所述扫描器位于所述加工位置时，所述控制部使得所述工作台的所述第一方向的移动停止。
7.根据权利要求6所述的显示装置的制造装置，其中，
所述扫描器在所述加工位置中以与所述加工图案的形状相同的形状移动。
8.根据权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，
所述激光模组将包括多个第一脉冲的第一脉冲信号向所述控制部提供，
所述控制部生成包括与所述多个第一脉冲中的任意一个第一脉冲同步的第二脉冲的第二脉冲信号，并将所述第二脉冲信号输出到所述激光模组。
9.根据权利要求8所述的显示装置的制造装置，其中，
所述激光模组与所述第二脉冲信号的所述第二脉冲同步地输出所述激光束。
10.根据权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，
所述激光模组将包括多个第一脉冲的第一脉冲信号向所述控制部提供，
所述控制部生成包括与所述多个第一脉冲中的任意一个第一脉冲同步的第二脉冲的第二脉冲信号，并利用所述第二脉冲来生成包括多个第三脉冲的第三脉冲信号，
所述激光模组输出所述第三脉冲信号。
11.根据权利要求10所述的显示装置的制造装置，其中，
所述激光模组与所述第三脉冲信号的所述第三脉冲同步地输出所述激光束。
12.一种显示装置的制造方法，其中，包括：
向第一方向移动工作台的步骤；以及
当扫描器配置到加工位置时，向所述第一方向一起移动所述扫描器和所述工作台，并将激光束照射到所述加工位置来形成加工图案的步骤，
当所述扫描器配置到所述加工位置时，向所述第一方向一起移动所述扫描器和所述工作台，并将所述激光束照射到所述加工位置来形成所述加工图案的步骤包括：
照射所述激光束的激光模组输出包括多个第一脉冲的第一脉冲信号的步骤；以及
当在所述加工位置中所述扫描器的移动距离与所述激光束的照射间隔相同时，生成包括与所述多个第一脉冲中的任意一个第一脉冲同步的第二脉冲的第二脉冲信号来向所述激光模组提供的步骤。
13.根据权利要求12所述的显示装置的制造方法，其中，
当所述扫描器配置到所述加工位置时，向所述第一方向一起移动所述扫描器和所述工作台，并将所述激光束照射到所述加工位置来形成所述加工图案的步骤还包括：
当所述扫描器位于所述加工位置时，所述工作台停止的步骤。
14.根据权利要求13所述的显示装置的制造方法，其中，
所述加工位置包括第一加工位置以及从所述第一加工位置向所述第一方向隔开的第二加工位置，并且，
当所述扫描器配置到所述加工位置时，向所述第一方向一起移动所述扫描器和所述工作台，并将所述激光束照射到所述加工位置来形成所述加工图案的步骤还包括：
当所述扫描器位于所述第一加工位置和所述第二加工位置之间时，所述扫描器向所述第一方向移动的步骤。
15.根据权利要求14所述的显示装置的制造方法，其中，
所述扫描器和所述工作台的移动速度彼此相同。
16.一种显示装置的制造方法，其中，包括：
向第一方向移动工作台的步骤；以及
当扫描器配置到加工位置时，向所述第一方向一起移动所述扫描器和所述工作台，并将激光束照射到所述加工位置来形成加工图案的步骤，
当所述扫描器配置到所述加工位置时，向所述第一方向一起移动所述扫描器和所述工作台，并将所述激光束照射到所述加工位置来形成所述加工图案的步骤包括：
照射所述激光束的激光模组输出包括多个第一脉冲的第一脉冲信号的步骤；
当在所述加工位置中所述扫描器的移动距离与所述激光束的照射间隔相同时，生成包括与所述多个第一脉冲中的任意一个第一脉冲同步的第二脉冲的第二脉冲信号的步骤；以及
利用所述第二脉冲信号来生成包括多个第三脉冲的第三脉冲信号并向所述激光模组提供的步骤。
17.根据权利要求16所述的显示装置的制造方法，其中，
所述激光模组与所述第三脉冲信号的所述多个第三脉冲同步地输出所述激光束。
18.根据权利要求16所述的显示装置的制造方法，其中，
所述多个第三脉冲中的任意一个第三脉冲与所述第二脉冲信号的所述第二脉冲同步。
19.根据权利要求16所述的显示装置的制造方法，其中，
所述第二脉冲信号包括与所述多个第一脉冲中的另一个第一脉冲同步的第二脉冲，
所述第二脉冲之间的间隔与所述激光束的组的照射重复周期相同。
20.根据权利要求16所述的显示装置的制造方法，其中，
所述多个第三脉冲之间的间隔与所述激光束照射的间隔相同。
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