CN115365083A - 双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其是在基座内部中空状的隔离空间、顶部设有输气通道，且于隔离空间内装设承载台座，该承载台座设有复数中空状的腔室，而于承载台座的二相对表面外部再装设二阳极分流面板及供电部，二阳极分流面板则分别遮罩于复数腔室的二外侧，并相对内侧分别形成作业空间，另将升降机构一侧组装于承载台座下方，升降机构另一侧并延伸出基座外部，供调整承载台座位于隔离空间内的纵向位移，且于升降机构设有供应承载台座电能的接地部，并于该升降机构周边的基座底部设有一个或一个以上的抽气通道，达到于隐形眼镜的镜片的凹、凸表面均匀镀膜的目的。
Description
技术领域
本发明涉及一种双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，尤指针对隐形眼镜的凹、凸表面进行镀膜的设备，是在基座内部装设承载台座及二阳极分流面板，而于承载台座的复数腔室内置入隐形眼镜的镜片，以达到进行隐形眼镜的镜片镀膜程序的目的，并延长隐形眼镜的亲水性时间、抗沾污的功能。
背景技术
随着各种电子、电气产品的研发、创新，带给人们在日常生活及工作上许多便捷，尤其是3C电子产品的大量问世，更造成无线通讯及网际网路等的应用普及化，便导致许多人沉溺在使用3C电子产品的境界中，且长时间大量应用3C电子产品，举凡学生族群、青少年、上班族、或是部分中、老年人等，几乎不分男女、老少，涵盖的范围相当广泛，进而衍生出生活中常见的低头族景像，并造成的许多人的眼睛视力减损、伤害退化等情况日益严重，也直接导致社会上近视人口的急遽提升，眼镜及隐形眼镜的使用人口也随之增加。
则人们为了解决近视所造成的不便及困扰等，都会配戴眼镜、隐形眼镜、角膜塑型镜片等矫正视力或者通过角膜近视手术进行矫正等，一般常用的隐形眼镜的镜片，通常厂商在制造时会在隐形眼镜的表面实施电浆表面改质处理，借以提升隐形眼镜的亲水性，增加配戴隐形眼镜时的舒适度，但一般隐形眼镜的亲水性只能维持1～2星期左右，其主要因素可列举以下项目：
(一)隐形眼镜的镜片在进行电浆表面改质处理期间及电浆表面改质处理后，所产生的化学基团为了最小化表面能以及回到热平衡的状态会进行重组(re-arrangement)，借此产生疏水性回复现象。
(二)当经由电浆表面改质处理后的隐形眼镜的镜片，大部分在镜片表面接触空气时其表面即会产生新的氧化及降解反应，因而产生疏水性回复现象。
(三)为了使隐型眼镜的镜片以较低的表面能达成稳定的热平衡状态，所以少部分低分子的氧化分子会移向镜片的内部，进而产生疏水性回复现象。
(四)未经改质的低分子量物种(species)及大分子(macromolecules)会从隐形眼镜的镜片内部移向表面，因此促进疏水性回复的程度及在表面形成低表面能的低分子层。
(五)隐形眼镜的镜片表面的极性化学基团产生重新转向(reorientation)的情形。
(六)基材表面粗糙度(the relaxation of the surface roughness)并未因电浆表面改质改善。
基于以上各项因素，隐形眼镜的镜片经由电浆表面改质处理经过一～二星期后，其表面的接触角便会逐渐增加，而变成疏水性表面，且大约在第10～14天时，则会回复至和未经电浆处理的隐形眼镜的镜片相同的接触角，则当配戴者配戴疏水性的隐形眼镜的镜片时，配戴者的眼球即会感受到不适的异物感，以致于影响配戴者继续配戴隐形眼镜的意愿；且疏水性隐形眼镜的镜片也容易供沉淀物粘着、贴附，镜片上的沉淀物不仅会影响配戴者的视力、配戴隐形眼镜的镜片的舒适度及镜片表面润湿度，又，沉淀物中的蛋白质沉淀也容易成为细菌成长的温床，而当沉淀物在隐形眼镜的镜片表面的蛋白质随着时间产生变性时，可能会诱发人体的免疫反应，进而造成巨大乳突状结膜炎(Giant PapillaryConjunctivitis)、急性红眼等角膜感染的征象，导致配戴者无法配戴隐形眼镜；另，由于位于隐形眼镜的镜片上的沉淀物，无法借由隐形眼镜清洁剂完全去除，所以一段时间后，沉淀物便会与隐形眼镜的镜片本身的材质结合，便会缩短隐形眼镜的镜片的使用时间，并导致镜片的损坏。
是以，如何解决目前隐形眼镜的镜片制造、配戴时所存在的问题与困扰等，隐形眼镜配戴时形成沉淀物及亲水性时间较短的麻烦与缺失等，即为从事此行业的相关厂商所亟欲研究改善的方向所在。
发明内容
故，本发明人有鉴于上述的问题与缺失，乃搜集相关资料，经由多方评估及考量，并以从事于此行业累积的多年经验，经由不断研发及修改，始设计出此种双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备的发明专利诞生。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：
一种双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其特征在于，包括基座、承载台座、二阳极分流面板及升降机构，其中：
该基座内部具有中空状的隔离空间，顶部设有输气通道；
该承载台座装设于基座的隔离空间内，并于承载台座设有复数中空状的腔室；
该二阳极分流面板装设于基座的隔离空间内、且分别位于承载台座的二相对表面外部，而供二阳极分流面板分别遮罩于复数腔室的二外侧，则于二阳极分流面板与承载台座的复数腔室二外侧之间分别形成作业空间；及
该升降机构一侧组装于承载台座下方，另一侧并延伸出基座外部，供调整承载台座位于隔离空间内的纵向位移，且于升降机构设有供应承载台座电能的供电部，并于该升降机构周边的基座底部设有一个以上的抽气通道。
所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其中：该承载台座包括复数呈宽通道、窄通道衔接贯通状的腔室，并于各腔室内部宽通道、窄通道衔接位置形成内肩部，以供预设隐形眼镜的镜片由宽通道内呈水平横放，抵靠于内肩部处。
所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其中：该二阳极分流面板的面积等于或大于承载台座的面积，且该二阳极分流面板与承载台座、复数腔室二外侧之间分别形成相同或相异高度的作业空间。
所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其中：该升降机构包括穿设于基座呈气密式的绝缘本体，再于绝缘本体内部设有金属导电材质制成并呈纵向位移的升降导杆，且升降机构所设的供电部是射频发电机。
所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其中：包括具有中空状隔离空间的基座、组装于基座的隔离空间内部的承载台座及二阳极分流面板，该承载台座内部具有贯通状的复数腔室，且基座是在顶部设有输气通道及一个以上供液体蒸气输入的阀门，且一个以上的阀门连接有承装液体的瓶体，并于一个以上的瓶体上设有加热器及电磁搅拌器，而供二阳极分流面板位于承载台座的二相对表面外部、并遮罩于复数腔室的二外侧，则于二阳极分流面板与承载台座的二外侧之间分别形成作业空间，二阳极分流面板分别电性连接于供电部，再于承载台座下方组装升降机构，该升降机构另一侧并延伸出基座外部，供调整承载台座位于隔离空间内的纵向位移，且于升降机构设有供应承载台座电能的接地部，该升降机构周边的基座底部设有一个以上的抽气通道，其中该隐形眼镜进行双向阳极镀长效型电浆化学气相沉积法镀膜的步骤是：
(A01)清洗基座及内部的承载台座，并清除承载台座表面的水分；
(A02)清洁基座内部隔离空间、承载台座及二阳极分流面板；
(A03)将承载台座置入基座的隔离空间内；
(A04)通过抽气通道对基座的隔离空间进行抽真空处理；
(A05)利用输气通道对基座的隔离空间注入工作气体，并开启供电部，以对隔离空间产生等体离子进行内部清洁；
(A06)将复数预设隐形眼镜的镜片分别置入承载台座的各腔室内；
(A07)再次对基座的隔离空间进行抽真空处理；
(A08)对基座的隔离空间通入前处理气体，启动升降机构的供电部对二阳极分流面板进行电浆预处理；
(A09)停止对基座的隔离空间注入气体，并对隔离空间进行泄压，再开启基座；
(A10)关闭基座，并对基座的隔离空间进行抽真空处理，且开启加热器对承装液体的一个以上的瓶体加热，同时开启一个以上的电磁搅拌器，再确认该瓶体已经被加热；
(A11)由输气通道对基座的隔离空间注入氩气，再自一个以上的阀门加入液体蒸气后，调整氩气的流量，基座内隔离空间的压力呈不稳定，通过一个以上的阀门加入液体蒸气维持预定压力；
(A12)开启供电部对基座的隔离空间内的二阳极分流面板进行供电，并确认基座的隔离空间的压力，若压力有变动，则调整输入液体蒸气的一个以上的阀门，使基座内隔离空间维持预定的压力，并对承载台座的各腔室内的各预设隐形眼镜的镜片进行镀膜；
(A13)基座的隔离空间内位于承载台座上、下方二相对的阳极分流面板，对各腔室内的各预设镜片进行双向阳极电浆化学气相沉积处理；
(A14)利用供电部对二阳极分流面板供电，借由接地部对承载台座供电，该承载台座成为阴极电极板，而二阳极分流面板通过供电部提供电浆功率，则可通过二阳极分流面板与承载台座之间的各作业空间形成双向阳极电浆气相化学沉积作用，使电浆集中于承载台座的各腔室中，且供电浆沉积于各腔室内各预设镜片的正、反表面处，以供各预设镜片的正、反表面同时进行镀膜处理；
(A15)镀膜结束，关闭供电部、一个以上的瓶体的加热器及一个以上的电磁搅拌器，再通过输气通道对基座的隔离空间注入气体；
(A16)确认承装液体的一个以上的瓶体降温至室温，关闭该一个以上瓶体连接的阀门；
(A17)将输气通道对基座的隔离空间注入的氩气关闭，使基座内部隔离空间回压至正常压力，即可取出已镀膜的复数预设隐形眼镜的镜片。
所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其中：该步骤(A01)的对基座内部承载台座进行清洗作业，是先以清水对承载台座作进行清洗，再利用异丙醇[IsopropyAlcohol，IPA]进行清洗，则借由压缩干噪空气[Clean Dry Air，CDA]清除承载台座表面的水分；并利用逆渗透[RO]水对基座内部隔离空间及承载台座进行擦拭，且借由异丙醇[IPA]对基座内部隔离空间及承载台座进行擦拭二次以上；而该基座于一侧一个以上的阀门连接有承装液体的瓶体，该一个以上的瓶体供承装亲水性的液体，该亲水性的液体是甲基丙烯酸聚乙二醇酯[Poly(ethylene glycol)Methacrylate，PEGMA]或N-乙烯基吡咯酮(N-Vinylpyrrolidone，NVP)；则该步骤(A11)对基座的隔离空间注入氩气(Ar-8sccm)，当调整氩气的流量时是调整氩气至(Ar-12sccm)；至于该亲水性液体蒸气是先加入甲基丙烯酸聚乙醇酯[PEGMA，Poly(ethylene glycol)methacrylate]，压力控制于1.5～2*10-1Torr；再加入N-乙烯基吡咯酮(N-Vinylpyrrolidone，NVP)，压力控制于2～3*10-1Torr；该步骤(A12)当基座内隔离空间压力不稳定呈浮动情况，加入亲水性液体PEGMA/NVP蒸气时，预定压力维持在3*10-1Torr。
所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其中：该步骤(A04)及(A07)的抽真空处理，必须确认隔离空间内部压力达1.0*10-1Torr以下；而该步骤(A10)的抽真空处理，且必须确认隔离空间内部压力达3.0*10-2Torr以下；且该步骤(A10)的启动一个以上的电磁搅拌器，该各电磁搅拌器分别以20rpm/sec[转/秒]的速度运作。
所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其中：该步骤(A05)的工作气体是氩气(Ar-10sccm)及氧气(O2-20sccm)，并以等体离子压力(plasma power)：60W，进行8分钟的清洁处理作业；该步骤(A08)、(A09)对基座的隔离空间注入的气体是氩气(Ar-30sccm)，而该预定时间为10～30分钟，较佳时间为20分钟；且该步骤(A08)的前处理气体，是氩气(Ar-9sccm)及氧气(O2-36sccm)；而该步骤(A05)、(A08)、(A12)、(A14)启动升降机构的供电部进行电浆处理或供电，该供电部是射频发电机(RF generator power)；则该步骤(A05)的供电部的射频发电机设定120W，处理时间为5-10分钟，较佳时间为6分钟；且步骤(A08)开启升降机构的供电部对二阳极分流面板进行电浆处理，设定该射频发电机为40W，持续16分钟，并确认基座内隔离空间的压力为300mTorr；至于该基座内隔离空间维持的预定压力是300-350mTorr；该步骤(A09)对基座内隔离空间泄压，系将隔离空间泄压至1atm，且开启基座为1～3分钟。
所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其中：该步骤(A06)将复数预设隐形眼镜的镜片呈水平行向方式分别置入承载台座的各腔室内，且该承载台座设有复数分别呈宽通道、窄通道衔接贯通状的腔室，并于各腔室内部的宽通道、窄通道衔接位置设有供各预设隐形眼镜的镜片分别由各宽通道内呈水平横放、抵靠的内肩部。
所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其中：该步骤(A15)对基座的隔离空间注入的气体是氩气(Ar-70sccm)，持续15分钟；该步骤(A17)的基座内部隔离空间系回复至正常大气压力：1kg/cm2。
本发明的主要优点乃在于该双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其是在基座内部中空状的隔离空间、顶部设有输气通道，且于隔离空间内装设承载台座，该承载台座设有复数中空状的腔室，而于承载台座的二相对表面外部再装设二阳极分流面板及供电部，二阳极分流面板为分别遮罩于复数腔室的二外侧，则相对内侧分别形成作业空间，另将升降机构一侧组装于承载台座下方，升降机构另一侧并延伸出基座外部，供调整承载台座位于隔离空间内的纵向位移，且于升降机构设有供应承载台座电能的接地部，并于该升降机构周边的基座底部设有一个或一个以上的抽气通道，达到于隐形眼镜的镜片的凹、凸表面均匀镀膜的目的，并供隐形眼镜的镜片亲水性效能时间延长，并可减少蛋白质沉淀在镜片表面，以及减少表面粗糙度，借以增加隐形眼镜的镜片配戴时的舒适度及镜片的使用寿命延长的功效。
本发明的另一优点乃在于该承载台座设有复数腔室，各腔室分别呈宽通道、窄通道衔接贯通状，并于各宽通道、窄通道衔接位置形成内肩部，可供预设隐形眼镜由宽通道内呈水平横放，抵靠于内肩部处；而二阳极分流面板的面积可等于或大于承载台座的面积，且该二阳极分流面板与承载台座、复数腔室之间分别形成相同或相异高度的作业空间。
本发明的再一优点乃在于该升降机构设有气密式的绝缘本体、以供穿设于基座，再于绝缘本体内部设有金属导电材质制成并呈纵向位移的升降导杆，该升降导杆一侧延伸入基座的隔离空间内且结合于承载台座底部，而该升降导杆另一侧为延伸出基座外部并电性连接于接地部，且二阳极分流面板所设的供电部是射频发电机，诱使电浆从二阳极分流面板产生至承载台座(阴极电极板)方向镀膜于隐形眼镜上。
本发明的又一优点乃在于该隐形眼镜进行双向阳极镀长效型电浆化学气相沉积法镀膜的步骤是：清洗基座内部的承载台座，并清除承载台座表面的水分；清洁基座内部隔离空间、承载台座及二阳极分流面板；将承载台座置入基座的隔离空间内；通过抽气通道对基座的隔离空间进行抽真空处理；利用输气通道对基座的隔离空间注入产生等体离子的气体(工作气体)，开启射频发电机以对隔离空间内部进行清洁；将复数预设隐形眼镜的镜片分别置入承载台座的各腔室内；再次对基座的隔离空间进行抽真空处理；利用输气通道对基座的隔离空间注入产生等离子的气体(工作气体)，待基座内部隔离空间压力稳定后，再开启射频发电机，则开始对隐形眼镜的镜片进行预处理，完成预处理后，关闭发电机；关闭气体流量，关闭抽气马达，并打开基座；已达曝气的目的，再关闭基座重复对基座的隔离空间进行抽空处理，将一个以上的阀门所连接承装液体的瓶体的加热器予以开启，同时开启电磁搅拌器，并确认瓶体被加热后，对基座的隔离空间注入工作气体，同时确认隔离空间内的压力稳定，再将一个以上瓶体中的液体蒸气加入基座的隔离空间内，并控制隔离空间内的压力，对隐形眼镜的镜片进行镀膜，承载台座为阴极电极板、其上下方的二阳极分流面板利用供电部为电浆功率，通过二阳极分流面板及承载台座对各腔室内隐形眼镜的镜片进行双向阳极电浆化学气相沉积作用镀膜，待镀膜作业结束，关闭发电机，再关闭瓶体的加热器及电磁搅拌器，并确认瓶体以降温至室温状态，将一个以上的阀门关闭，关闭位于基座底部的抽气通道，调整基座内部隔离空间的压力至常压，即可将承载台取出隔离空间，将承载台上各腔室内隐形眼镜的镜片取出。
附图说明
图1是本发明的立体外观图。
图2是本发明承载台座的立体外观图。
图3是本发明承载台座的局部剖面图。
图4是本发明镀膜作业的流程图(一)。
图5是本发明镀膜作业的流程图(二)。
图6是本发明镀膜作业的流程图(三)。
附图标记说明：1-基座；10-隔离空间；11-输气通道；12-抽气通道；13-阀门；14-电磁搅拌器；15-瓶体；151-加热器；2-承载台座；20-腔室；201-宽通道；202-窄通道；203-内肩部；3-阳极分流面板；30-作业空间；4-升降机构；41-供电部；42-绝缘本体；421-升降导杆；422-接地部；5-镜片。
具体实施方式
为达成上述目的与功效，本发明所采用的技术手段及其构造、实施的方法等，兹绘图就本发明的较佳实施例详加说明其特征与功能如下，以利完全了解。
请参阅图1、图2、图3所示，是本发明的立体外观图、承载台座的立体外观图、承载台座的局部剖面图，由图中所示可以清楚看出，本发明双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，包括基座1、承载台座2、二阳极分流面板3及升降机构4，其中：
该基座1内部具有中空状的隔离空间10，顶部设有输气通道11、底部设有一个以上的抽气通道12，并于至至少一侧边设有一个以上输送液体的阀门13及电磁搅拌器14，且一个以上阀门13为连接有承装液体的瓶体15，并于一个以上的瓶体15处设有加热器151及一个以上电磁搅拌器14，即可借由一个以上加热器151对一个以上的瓶体15进行加热处理。
该承载台座2装设于基座1的隔离空间10内，并于承载台座2设有复数中空状的腔室20。
该二阳极分流面板3装设于基座1的隔离空间10内、且分别位于承载台座2的二相对表面外部，而供二阳极分流面板3分别遮罩于复数腔室20的二外侧，则于二阳极分流面板3与承载台座2、复数腔室20之间分别形成作业空间30。
该升降机构4一侧组装于承载台座2下方，另一侧并延伸出基座1的隔离空间10外部、位于一个以上的抽气通道12侧边(该升降机构4与基座1之间形成紧密结合无缝隙、不漏气，此为一般常见知识，于此恕不再加赘述)，供升降机构4调整承载台座2位于隔离空间10内的纵向位移，且于升降机构4设有供应二阳极分流面板3电能的供电部41。
而上述该承载台座2包括复数腔室20，且各腔室20分别呈宽通道201、窄通道202衔接贯通状，并于各腔室20内部宽通道201、窄通道202衔接位置形成内肩部203，以供复数预设隐形眼镜的镜片5分别由各宽通道201内呈水平横放，抵靠于各内肩部203处。
且上述该二阳极分流面板3的面积等于或大于承载台座2的面积，且该二阳极分流面板3与承载台座2、复数腔室20之间分别形成相同或相异高度的作业空间30。
另，上述该升降机构4包括穿设于基座1呈气密式的绝缘本体42，再于绝缘本体42内部设有金属导电材质制成的升降导杆421，升降导杆421并可呈纵向位移，并设有供应承载台座2电能的接地部422，且升降机构4所设的供电部41可为射频发电机等。
又，上述该复数预设隐形眼镜的镜片5，可为聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、氟硅丙烯酸酯(FSA)、透气性半硬镜片、聚甲基丙酸羟乙酯、GMMA、硅水胶等或其它制作预设隐形眼镜的镜片5的材料等。
请参阅图1、图2、图3、图4、图5、图6所示，是本发明的立体外观图、承载台座的立体外观图、承载台座的局部剖面图、镀膜作业的流程图(一)、镀膜作业的流程图(二)、镀膜作业的流程图(三)，由图中所示可以清楚看出，上述该隐形眼镜进行双向阳极电浆化学气相沉积镀膜的步骤是：
(A01)分别清洗基座1及内部的承载台座2，并清除承载台座2表面残留的水分。
(A02)清洁基座1内部隔离空间10、承载台座2及二阳极分流面板3。
(A03)将承载台座2置入基座1的隔离空间10内。
(A04)通过抽气通道12对基座1的隔离空间10进行抽真空处理。
(A05)利用输气通道11对基座的隔离空间10注入工作气体，并开启供电部41(可为射频发电机)，以对隔离空间10产生等体离子进行内部清洁。
(A06)将复数预设隐形眼镜的镜片5分别置入承载台座2的各腔室20内，并供复数预设镜片5分别由各腔室20的宽通道201内呈水平横放，则各镜片5分别抵靠于各腔室20的内肩部203处。
(A07)再次对基座1的隔离空间10进行抽真空处理。
(A08)对基座1的隔离空间10通入前处理气体，启动供电部41对二阳极分流面板3进行电浆预处理。
(A09)停止对基座1的隔离空间10注入气体，并对隔离空间10进行泄压，再开启基座1。
(A10)关闭基座1，并对基座1的隔离空间10进行抽真空处理，且开启加热器151对承装液体的一个以上的瓶体15加热，同时开启一个以上的电磁搅拌器14，再确认该瓶体15已经被加热。
(A11)由输气通道11对基座1的隔离空间10注入氩气，再自一个以上的阀门13加入亲水性的液体蒸气后，且调整氩气的流量，基座1内隔离空间10的压力呈不稳定，通过一个以上的阀门13加入亲水性的液体蒸气维持预定压力。
(A12)开启供电部41对基座1的隔离空间10内的二阳极分流面板3供电，并确认基座1的隔离空间10的压力，若压力有变动，则调整输入液体蒸气的一个以上的阀门13，使基座1内隔离空间10维持预定的压力，对承载台座2的各腔室20内的各预设隐形眼镜的镜片5进行镀膜。
(A13)利用基座1的隔离空间10内位于承载台座2上、下方二相对的阳极分流面板3，同步对各腔室20内的各预设镜片5进行双向阳极电浆化学气相沉积处理。
(A14)利用供电部41对二阳极分流面板3供电，借由接地部422使该承载台座2成为阴极电极板，而二阳极分流面板3通过供电部41提供电浆功率，则可通过二阳极分流面板3与承载台座2(阴极电极板)之间，形成双向阳极电浆气相化学沉积作用，使电浆集中于承载台座2的各腔室20中，且供电浆沉积于各腔室20内的各预设镜片5的正、反表面处，以供各预设镜片5的正、反表面同时进行镀膜处理。
(A15)镀膜结束，关闭供电部41、一个以上的瓶体15的加热器151及一个以上的电磁搅拌器14，再通过输气通道11对基座1的隔离空间10注入气体。
(A16)确认承装液体的一个以上的瓶体15降温至室温，关闭该一个以上瓶体15连接的阀门13。
(A17)将输气通道11对基座1的隔离空间10注入的氩气关闭，使基座1内隔离空间10回压至正常压力[正常大气压力：1kg/cm2]，即可取出已镀膜的各预设隐形眼镜的镜片5。
上述各步骤中的该基座1，可于一侧一个以上的阀门13连接有承装液体的瓶体15，该一个以上的瓶体15供承装亲水性的液体，该亲水性的液体可为甲基丙烯酸聚乙二醇酯[Poly(ethylene glycol)Methacrylate，PEGMA]或N-乙烯基吡咯酮(N-Vinylpyrrolidone，NVP)等亲水性的液体。
上述该步骤(A01)的对基座1及内部承载台座2进行清洗作业，是先以清水对承载台座2作进行清洗，再利用异丙醇[Isopropy Alcohol，IPA]进行清洗，则借由压缩干噪空气[Clean Dry Air，CDA]清除承载台座2表面的水分；并利用逆渗透[RO]水对基座1内部隔离空间10及承载台座2进行擦拭，且借由异丙醇[IPA]对基座1内部隔离空间10及承载台座2进行擦拭二次以上。
上述该步骤(A04)及(A07)的抽真空处理，必须确认基座1内的隔离空间10内部压力达1.0*10-1Torr以下；而该步骤(A10)的抽真空处理，且必须确认基座1内的隔离空间10内部压力达3.0*10-2Torr以下。
该步骤(A05)的工作气体可为氩气(Ar-10sccm)及氧气(O2-20sccm)等气体，并以等体离子压力(plasma power)：60W，进行8分钟的清洁处理作业；该步骤(A08)、(A09)对基座1的隔离空间10注入的气体可为氩气(Ar-30sccm)，而该预定时间为10～30分钟，较佳时间为20分钟。
该步骤(A06)将复数预设隐形眼镜的镜片5呈水平行向方式分别置入承载台座2的各腔室20内，且该承载台座2的复数腔室20分别设有呈宽通道201、窄通道202衔接贯通状，并于各腔室20内部宽通道201、窄通道202衔接位置设有内肩部203，可供预设隐形眼镜的镜片5由宽通道201内呈水平横放、抵靠于内肩部203处。
该步骤(A08)的前处理气体可为氩气(Ar-9sccm)及氧气(O2-36sccm)等气体；而该步骤(A05)、(A08)、(A12)、(A14)启动升降机构4的供电部41进行电浆处理或供电，该供电部41可为射频发电机(RF generator power)；则该步骤(A05)的供电部41的射频发电机设定120W，处理时间可为5-10分钟，较佳时间为6分钟；且步骤(A08)开启升降机构4的供电部41对二阳极分流面板3进行电浆处理，设定该射频发电机为40W，持续16分钟，并确认基座1内隔离空间10的压力为300mTorr；至于该基座1内隔离空间10维持的预定压力是300-350mTorr。
该步骤(A09)对基座1内隔离空间10进行泄压，系将隔离空间10泄压至1atm，且开启基座1约可为1～3分钟。
该步骤(A10)的启动一个以上的电磁搅拌器14，该各电磁搅拌器14系以20rpm/sec[转/秒]的速度运作。
该步骤(A11)对基座1的隔离空间10注入氩气(Ar-8sccm)，当调整氩气的流量时系调整氩气至(Ar-12sccm)；至于该亲水性液体蒸气是先加入甲基丙烯酸聚乙醇酯[PEGMA，Poly(ethylene glycol)methacrylate]，压力控制于1.5～2*10-1Torr；再加入N-乙烯基吡咯酮(N-Vinylpyrrolidone，NVP)，压力控制于2～3*10-1Torr；该步骤(A12)当基座1内隔离空间10压力不稳定呈浮动情况，加入亲水性液体PEGMA/NVP蒸气时，预定压力维持在3*10- 1Torr；另该步骤(A15)对基座1的隔离空间10注入的气体是氩气(Ar-70sccm)，持续15分钟。
通过上述步骤加工镀膜的复数预设隐形眼镜的镜片5，因甲基丙烯酸聚乙二醇酯与N-乙烯基吡咯酮，通过二阳极分流面板3与承载台座2之间，利用双阳极长效型电浆化学气相沉积法制程，使镜片5的正、反表面镀附形成均匀薄膜，而可供各预设隐形眼镜的镜片5具有良好的亲水性及抗生化沾污的功能，并利用甲基丙烯酸聚乙二醇酯与N-乙烯基吡咯酮彼此间会产生交联作用，而供隐形眼镜的镜片5亲水性效能时间延长，并可减少蛋白质沉淀在各预设镜片5表面，借以增加各预设隐形眼镜的镜片5配戴时的舒适度及各预设镜片5的使用寿命延长等的功效。
且上述复数预设隐形眼镜的镜片5，再经过双向阳极电浆化学气相沉积镀膜，使各预设镜片5的正、反表面形成具亲水性功能的官能基，该官能基则会与甲基丙烯酸聚乙二醇酯与N-乙烯基吡咯酮接枝成为一体，所以可延长官能基为了最小化表面能回到热平衡状态而产生重组的情形，借此达到延长亲水性时间的效用，并能提高各预设镜片5的正、反表面镀膜的贴附性，增加镀膜的稳定性等。
以上说明对本发明而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其特征在于，包括基座、承载台座、二阳极分流面板及升降机构，其中：
该基座内部具有中空状的隔离空间，顶部设有输气通道；
该承载台座装设于基座的隔离空间内，并于承载台座设有复数中空状的腔室；
该二阳极分流面板装设于基座的隔离空间内、且分别位于承载台座的二相对表面外部，而供二阳极分流面板分别遮罩于复数腔室的二外侧，则于二阳极分流面板与承载台座的复数腔室二外侧之间分别形成作业空间；及
该升降机构一侧组装于承载台座下方，另一侧并延伸出基座外部，供调整承载台座位于隔离空间内的纵向位移，且于升降机构设有供应承载台座电能的供电部，并于该升降机构周边的基座底部设有一个以上的抽气通道。
2.如权利要求1所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其特征在于：该承载台座包括复数呈宽通道、窄通道衔接贯通状的腔室，并于各腔室内部宽通道、窄通道衔接位置形成内肩部，以供预设隐形眼镜的镜片由宽通道内呈水平横放，抵靠于内肩部处。
3.如权利要求1所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其特征在于：该二阳极分流面板的面积等于或大于承载台座的面积，且该二阳极分流面板与承载台座、复数腔室二外侧之间分别形成相同或相异高度的作业空间。
4.如权利要求1所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其特征在于：该升降机构包括穿设于基座呈气密式的绝缘本体，再于绝缘本体内部设有金属导电材质制成并呈纵向位移的升降导杆，且升降机构所设的供电部是射频发电机。
5.如权利要求1所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其特征在于：包括具有中空状隔离空间的基座、组装于基座的隔离空间内部的承载台座及二阳极分流面板，该承载台座内部具有贯通状的复数腔室，且基座是在顶部设有输气通道及一个以上供液体蒸气输入的阀门，且一个以上的阀门连接有承装液体的瓶体，并于一个以上的瓶体上设有加热器及电磁搅拌器，而供二阳极分流面板位于承载台座的二相对表面外部、并遮罩于复数腔室的二外侧，则于二阳极分流面板与承载台座的二外侧之间分别形成作业空间，二阳极分流面板分别电性连接于供电部，再于承载台座下方组装升降机构，该升降机构另一侧并延伸出基座外部，供调整承载台座位于隔离空间内的纵向位移，且于升降机构设有供应承载台座电能的接地部，该升降机构周边的基座底部设有一个以上的抽气通道，其中该隐形眼镜进行双向阳极镀长效型电浆化学气相沉积法镀膜的步骤是：
(A01)清洗基座及内部的承载台座，并清除承载台座表面的水分；
(A02)清洁基座内部隔离空间、承载台座及二阳极分流面板；
(A03)将承载台座置入基座的隔离空间内；
(A04)通过抽气通道对基座的隔离空间进行抽真空处理；
(A05)利用输气通道对基座的隔离空间注入工作气体，并开启供电部，以对隔离空间产生等体离子进行内部清洁；
(A06)将复数预设隐形眼镜的镜片分别置入承载台座的各腔室内；
(A07)再次对基座的隔离空间进行抽真空处理；
(A08)对基座的隔离空间通入前处理气体，启动升降机构的供电部对二阳极分流面板进行电浆预处理；
(A09)停止对基座的隔离空间注入气体，并对隔离空间进行泄压，再开启基座；
(A10)关闭基座，并对基座的隔离空间进行抽真空处理，且开启加热器对承装液体的一个以上的瓶体加热，同时开启一个以上的电磁搅拌器，再确认该瓶体已经被加热；
(A11)由输气通道对基座的隔离空间注入氩气，再自一个以上的阀门加入液体蒸气后，调整氩气的流量，基座内隔离空间的压力呈不稳定，通过一个以上的阀门加入液体蒸气维持预定压力；
(A12)开启供电部对基座的隔离空间内的二阳极分流面板进行供电，并确认基座的隔离空间的压力，若压力有变动，则调整输入液体蒸气的一个以上的阀门，使基座内隔离空间维持预定的压力，并对承载台座的各腔室内的各预设隐形眼镜的镜片进行镀膜；
(A13)基座的隔离空间内位于承载台座上、下方二相对的阳极分流面板，对各腔室内的各预设镜片进行双向阳极电浆化学气相沉积处理；
(A14)利用供电部对二阳极分流面板供电，借由接地部对承载台座供电，该承载台座成为阴极电极板，而二阳极分流面板通过供电部提供电浆功率，则可通过二阳极分流面板与承载台座之间的各作业空间形成双向阳极电浆气相化学沉积作用，使电浆集中于承载台座的各腔室中，且供电浆沉积于各腔室内各预设镜片的正、反表面处，以供各预设镜片的正、反表面同时进行镀膜处理；
(A15)镀膜结束，关闭供电部、一个以上的瓶体的加热器及一个以上的电磁搅拌器，再通过输气通道对基座的隔离空间注入气体；
(A16)确认承装液体的一个以上的瓶体降温至室温，关闭该一个以上瓶体连接的阀门；
(A17)将输气通道对基座的隔离空间注入的氩气关闭，使基座内部隔离空间回压至正常压力，即可取出已镀膜的复数预设隐形眼镜的镜片。
6.如权利要求5所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其特征在于：该步骤(A01)的对基座内部承载台座进行清洗作业，是先以清水对承载台座作进行清洗，再利用异丙醇[Isopropy Alcohol，IPA]进行清洗，则借由压缩干噪空气[Clean Dry Air，CDA]清除承载台座表面的水分；并利用逆渗透[RO]水对基座内部隔离空间及承载台座进行擦拭，且借由异丙醇[IPA]对基座内部隔离空间及承载台座进行擦拭二次以上；而该基座于一侧一个以上的阀门连接有承装液体的瓶体，该一个以上的瓶体供承装亲水性的液体，该亲水性的液体是甲基丙烯酸聚乙二醇酯[Poly(ethylene glycol)Methacrylate，PEGMA]或N-乙烯基吡咯酮(N-Vinylpyrrolidone，NVP)；则该步骤(A11)对基座的隔离空间注入氩气(Ar-8sccm)，当调整氩气的流量时是调整氩气至(Ar-12sccm)；至于该亲水性液体蒸气是先加入甲基丙烯酸聚乙醇酯[PEGMA，Poly(ethylene glycol)methacrylate]，压力控制于1.5～2*10-1Torr；再加入N-乙烯基吡咯酮(N-Vinylpyrrolidone，NVP)，压力控制于2～3*10-1Torr；该步骤(A12)当基座内隔离空间压力不稳定呈浮动情况，加入亲水性液体PEGMA/NVP蒸气时，预定压力维持在3*10-1Torr。
7.如权利要求5所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其特征在于：该步骤(A04)及(A07)的抽真空处理，必须确认隔离空间内部压力达1.0*10-1Torr以下；而该步骤(A10)的抽真空处理，且必须确认隔离空间内部压力达3.0*10-2Torr以下；且该步骤(A10)的启动一个以上的电磁搅拌器，该各电磁搅拌器分别以20rpm/sec[转/秒]的速度运作。
8.如权利要求5所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其特征在于：该步骤(A05)的工作气体是氩气(Ar-10sccm)及氧气(O2-20sccm)，并以等体离子压力(plasmapower)：60W，进行8分钟的清洁处理作业；该步骤(A08)、(A09)对基座的隔离空间注入的气体是氩气(Ar-30sccm)，而该预定时间为10～30分钟，较佳时间为20分钟；且该步骤(A08)的前处理气体，是氩气(Ar-9sccm)及氧气(O2-36sccm)；而该步骤(A05)、(A08)、(A12)、(A14)启动升降机构的供电部进行电浆处理或供电，该供电部是射频发电机(RF generatorpower)；则该步骤(A05)的供电部的射频发电机设定120W，处理时间为5-10分钟，较佳时间为6分钟；且步骤(A08)开启升降机构的供电部对二阳极分流面板进行电浆处理，设定该射频发电机为40W，持续16分钟，并确认基座内隔离空间的压力为300mTorr；至于该基座内隔离空间维持的预定压力是300-350mTorr；该步骤(A09)对基座内隔离空间泄压，系将隔离空间泄压至1atm，且开启基座为1～3分钟。
9.如权利要求5所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其特征在于：该步骤(A06)将复数预设隐形眼镜的镜片呈水平行向方式分别置入承载台座的各腔室内，且该承载台座设有复数分别呈宽通道、窄通道衔接贯通状的腔室，并于各腔室内部的宽通道、窄通道衔接位置设有供各预设隐形眼镜的镜片分别由各宽通道内呈水平横放、抵靠的内肩部。
10.如权利要求5所述的双向阳极电浆化学气相沉积镀膜设备，其特征在于：该步骤(A15)对基座的隔离空间注入的气体是氩气(Ar-70sccm)，持续15分钟；该步骤(A17)的基座内部隔离空间系回复至正常大气压力：1kg/cm2。
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