CN115361791A - 一种线路板的制备工艺 - Google Patents

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CN115361791A CN202211017508.3A CN202211017508A CN115361791A CN 115361791 A CN115361791 A CN 115361791A CN 202211017508 A CN202211017508 A CN 202211017508A CN 115361791 A CN115361791 A CN 115361791A
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徐光龙
杨金生
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Abstract

一种线路板的制备工艺,步骤依次为:基板下料;压膜;曝光、显影;电镀;去膜;压合;去铜、镭射;沉积种子层;压膜;曝光、显影;电镀填孔;去膜;去种子层;压膜;分板;各三层线路板外层线路制作;阻焊制作。与现有技术相比,本申请能提高线路板的性能。

Description

一种线路板的制备工艺
技术领域
本发明属于线路板制备技术领域,具体涉及一种线路板的制备工艺。
背景技术
随着人们对生活品质的要求提升,摄像或照明已经成为人们生活中必不可少的事情,而照相机、摄像机也向着小型化发展。
如申请号为CN201810552506.1的发明专利申请《驱动组件和摄像模组及其电子设备》(申请公布号为CN108989630A)公开了一驱动组件,包括:一磁性元件;一线圈;以及一镜头载体,其中,镜头载体用于承载一光学镜头于其内,线圈和镜头载体一体成型,磁性元件相间隔地且对应地设置于线圈的外侧,以使得当线圈被导通时,线圈与磁性元件相互作用,以驱动镜头载体承载着光学镜头移动。同时,线圈为线路板式线圈,包括一基板和一线圈本体,线圈本体一体成型于基板并呈螺旋状布置于基板,以使当线圈本体被导通之后,通过线路板式线圈可产生一磁场。
上述申请中的线路板式线圈颠覆了现有的绕线式形成的线圈,并带来诸多技术优势,如:一、在相同体积之下,线路板式线圈所具有的匝数相较于现有的绕线式线圈可相对增加,相较于传统的绕线式线圈,形成相同匝数的线路板式线圈具有相对较小的尺寸;二、由于线路板式线圈可配置相对较多的匝数,相应地,与线路板式线圈相对的磁性元件的尺寸可得以缩减,利于进一步缩小驱动组件的整体尺寸;三、在相同体积之下,相较于传统的绕线式线圈,可实现较小的阻值,从而获得更佳的产品性能。
但上述申请中未公开线路板式线圈的具体制备工艺,而工艺步骤对于线路板式线圈的性能会产生较大的影响。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术的现状,提供一种线路板的制备工艺,以提高线路板的性能。
本发明解决上述技术问题所采用的技术方案为:一种线路板的制备工艺,其特征在于步骤如下:
1)、基板下料,基板采用可分离基板,在厚度方向上具有中间绝缘层、位于中间绝缘层两侧的导电体层、位于导电体层两侧的导电种子层,导电种子层的厚度小于导电体层的厚度,且导电种子层与导电体层之间可分离;
2)、压膜,在基板两面贴上光刻胶;
3)、曝光、显影,先对非线路图形区域的光刻胶进行曝光,然后溶解未曝光区域的光刻胶;
4)、电镀,在溶解之后的未曝光区域光刻胶的位置进行电镀而形成第一层线路;
5)、去膜,去除步骤3)中已曝光的光刻胶;
6)、压合,将导体层通过绝缘材料粘结到去膜之后的第一层线路两面;
7)、去铜、镭射,先去除上述步骤6)中的导体层,然后在露出的绝缘材料层的两面之需要层间导通的位置钻孔;
8)、沉积种子层,在绝缘材料层两面以及钻孔的孔壁上沉积导体种子层;
9)、压膜,在导体种子层两面贴上光刻胶;
10)、曝光、显影,先对步骤9)中非线路图形区域的光刻胶进行曝光,然后溶解未曝光区域的光刻胶;
11)、电镀填孔,在步骤10)溶解之后的未曝光区域光刻胶的位置电镀而形成第二层线路,第二层线路与第一层线路在钻孔处相导通;
12)、去膜,去除步骤10)中已曝光的光刻胶;
13)、去种子层,去除露于第二层线路之外的导体种子层;
14)、在第二层线路的两面按照以上步骤6)~步骤13)的方法操作,从而形成第三层线路;
15)、压膜,在第三层线路两面贴上光刻胶;
16)、分板,将基板之导电种子层与导电体层进行分离,得到两个三层线路板;
17)、各三层线路板外层线路制作;
18)、阻焊制作。
优选地,所述步骤6)中的绝缘材料为环氧树脂,所述导体层为厚度13~36μm的铜箔,该铜箔为低粗糙度铜箔。
3、根据权利要求2所述的制备工艺,其特征在于:所述步骤7)中通过微蚀、减铜或闪蚀工艺去除上述步骤6)中的导体层。
优选地,所述步骤7)中钻孔为盲孔,并通过激光钻孔得到。
进一步地,所述步骤8)中导体种子层的材质为钛、铜、镍或其中至少两种的合金。
更进一步地,在所述导体种子层的材质为铜时,所述步骤13)中采用微蚀、减铜或闪蚀工艺去除露于第二层线路之外的导体种子层;在所述导体种子层的材质为钛时,所述步骤13)中采用除钛工艺去除露于第二层线路之外的导体种子层。除钛工艺为现有技术,在此不做赘述。
在上述方案中,优选地,所述步骤17)的工艺依次为:
闪蚀,去除各三层线路板上的导电种子层;
退膜,去除各三层线路板上的光刻胶。
优选地,所述步骤18)的工艺依次为:
印刷,在各三层线路板的两面覆盖油墨进行防焊处理;
曝光、显影,先对非开窗焊盘区域的油墨进行曝光,然后溶解未曝光区域的油墨而露出焊盘;
化金,对焊盘表面进行化金处理。
优选地,在步骤17)的退膜之后、步骤18)的印刷之前,在各三层线路板的两面按照以上步骤6)~步骤13)的方法重复至少一次,得到大于3的奇数层的线路板。
优选地,所述步骤1)中导电种子层的材质为铜,其厚度为2~5μm。
与现有技术相比,本发明的优点在于:采用本申请的工艺制得的线路板为三层或三层以上的奇数层,并具有如下优势:1、线路板的线宽、线距较小,且线宽、线距、线高能精确控制,使得阻值更稳定;且可设计的匝数较多,满足不同推力的要求;2、在相同层数的情况下,本申请线路板的厚度较薄;3、本申请采用环氧树脂作为绝缘材料,具有较好的刚性、弹性,且不易变形、断裂;4、采用本申请的工艺使得各线路嵌设在绝缘材料中,实现优越的绝缘性,且降低线路因受到外力作用而变形的风险;5、基板中间绝缘层的存在使得产品尺寸、翘曲更稳定。
附图说明
图1~8为本发明实施例一的工艺流程图,图中(1)为基板下料,(2)为压膜,(3)为曝光,(4)为显影,(5)为电镀,(6)为去膜,(7)为压合,(8)为去铜,(9)为镭射,(10)为沉积种子层,(11)为压膜,(12)为曝光,(13)为显影,(14)为电镀填孔,(15)为去膜,(16)为去种子层,(17)为压合,(18)为去铜,(19)为镭射,(20)为沉积种子层,(21)为压膜,(22)为曝光,(23)为显影,(24)为电镀填孔,(25)为去膜,(26)为去种子层,(27)为压膜,(28)为分板,(29)为闪蚀,(30)为退膜,(31)为印刷,(32)为曝光,(33)为显影,(34)为化金;
图9~19为本发明实施例二的工艺流程图,图中(1)为基板下料,(2)为压膜,(3)为曝光,(4)为显影,(5)为电镀,(6)为去膜,(7)为压合,(8)为去铜,(9)为镭射,(10)为沉积种子层,(11)为压膜,(12)为曝光,(13)为显影,(14)为电镀填孔,(15)为去膜,(16)为去种子层,(17)为压合,(18)为去铜,(19)为镭射,(20)为沉积种子层,(21)为压膜,(22)为曝光,(23)为显影,(24)为电镀填孔,(25)为去膜,(26)为去种子层,(27)为压膜,(28)为分板,(29)为闪蚀,(30)为退膜,(31)为压合,(32)为去铜,(33)为镭射,(34)为沉积种子层,(35)为压膜,(36)为曝光,(37)为显影,(38)为电镀填孔,(39)为去膜,(40)为去种子层,(41)为印刷,(42)为曝光,(43)为显影,(44)为化金。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本发明作进一步详细描述。
实施例一:
如图1~8所示,为本发明的一种线路板的制备工艺的优选实施例一,本实施例的制备工艺的步骤如下:
1)、基板下料,基板1采用可分离基板,在厚度方向上具有中间绝缘层11、位于中间绝缘层11两侧的导电体层12、位于导电体层12两侧的导电种子层13,中间绝缘层11的厚度为10~300μm,导电种子层13的厚度小于导电体层12的厚度,且导电种子层13与导电体层12之间可分离;本实施例中,导电体层12、导电种子层13的材质均为铜,导电种子层13的厚度为2μm、3μm或5μm。
2)、压膜,在基板1两面贴上光刻胶14;光刻胶14的种类以及厚度需根据实际产品设计,本实施例选用日立化成工业株式会社生产的RD系列、且型号为1229的光刻胶,厚度为29μm。
3)、曝光、显影,先对非线路图形区域的光刻胶14进行曝光,使曝光区域光刻胶受光照射发生聚变,然后使用碳酸钠溶解未曝光区域的光刻胶14(碳酸钠无法溶解曝光区域的光刻胶),露出图形底部的导电种子层13;
4)、电镀,在露出图形底部的导电种子层13上进行电镀铜而形成第一层线路1a;镀铜的厚度小于光刻胶14的厚度。
5)、去膜,去除步骤3)中已曝光的光刻胶14,露出第一层线路1a间底部的导电种子层13;
6)、压合,将导体层15通过绝缘材料粘结到去膜之后的第一层线路1a两面;其中,导体层15为厚度13~36μm的低粗糙度铜箔,可以提升后序生产过程中导体的附着力。绝缘材料为环氧树脂。
7)、去铜、镭射,先通过微蚀、减铜或闪蚀工艺去除上述步骤6)中的导体层15,然后在露出的绝缘材料层16的两面之需要层间导通的位置钻孔;钻孔为盲孔160,并通过激光钻孔得到。
8)、沉积种子层,在绝缘材料层16两面以及钻孔的孔壁上沉积导体种子层17;本实施例中的导体种子层17通过化学沉积法实现,也可通过真空镀膜法;本实施例中,导体种子层17的材质为铜,也可为钛、镍或不同金属的合金。
9)、压膜,在导体种子层17两面贴上光刻胶14;光刻胶14的种类以及厚度需根据实际产品设计,本实施例选用日立RD1229光刻胶,厚度为29μm。
10)、曝光、显影,先对步骤9)中非线路图形区域的光刻胶14进行曝光,使曝光区域光刻胶受光照射发生聚变,然后使用碳酸钠溶解未曝光区域的光刻胶14,露出图形底部的导体种子层17。
11)、电镀填孔,在步骤10)露出的图形底部的导体种子层17电镀铜而形成第二层线路1b,第二层线路1b与第一层线路1a在钻孔处相导通;本实施例中镀铜的厚度小于光刻胶14厚度。
12)、去膜,去除步骤10)中已曝光的光刻胶14;
13)、去种子层,采用微蚀、减铜或闪蚀工艺去除露于第二层线路1b之外的导体种子层17;
14)、压合,将导体层15通过绝缘材料粘结到去种子层之后的第二层线路1b两面;其中,导体层15为厚度13~36μm的低粗糙度铜箔,可以提升后序生产过程中导体的附着力。绝缘材料为环氧树脂。
15)、去铜、镭射,先去除上述步骤14)中的导体层15,然后在露出的绝缘材料层16的两面之需要层间导通的位置钻孔;钻孔为盲孔160,并通过激光钻孔得到。
16)、沉积种子层,在绝缘材料层16两面以及钻孔的孔壁上沉积导体种子层17;本实施例中的导体种子层17通过化学沉积法实现,也可通过真空镀膜法;本实施例中,导体种子层17的材质为铜,也可为钛、镍或不同金属的合金。
17)、压膜,在导体种子层17两面贴上光刻胶14;光刻胶14的种类以及厚度需根据实际产品设计,本实施例选用日立RD1229光刻胶,厚度为29μm。
18)、曝光、显影,先对步骤17)中非线路图形区域的光刻胶14进行曝光,使曝光区域光刻胶受光照射发生聚变,然后使用碳酸钠溶解未曝光区域的光刻胶14,露出图形底部的导体种子层17。
19)、电镀填孔,在步骤18)露出的图形底部的导体种子层17电镀铜而形成第三层线路1c,第三层线路1c与第二层线路1b在钻孔处相导通;本实施例中镀铜的厚度小于光刻胶14厚度。
20)、去膜,去除步骤18)中已曝光的光刻胶14;
21)、去种子层,采用微蚀、减铜或闪蚀工艺去除露于第三层线路1c之外的导体种子层17;
22)、压膜,在第三层线路1c两面贴上光刻胶14;
23)、分板,将基板1之导电种子层13与导电体层12进行分离,得到两个三层线路板;
24)、闪蚀,采用微蚀、减铜或闪蚀工艺去除各三层线路板上的导电种子层13;
25)、退膜,去除各三层线路板上的光刻胶14;
26)、印刷,在各三层线路板的两面覆盖油墨18进行防焊处理;工艺选择网板油墨印刷或采用防焊干膜进行贴膜、压合、固化工艺。其中网板油墨印刷具有工艺制程稳定的优点,但线路高度差大。防焊干膜具有表面更平整的优点,缺点是制程不稳定。加工时可根据需求进行选择。
27)、曝光、显影,先对非开窗焊盘区域的油墨进行曝光,使非开窗焊盘区域油墨在紫外线照射下发生聚变,然后使用碳酸钠溶解未曝光区域的油墨而露出焊盘;
28)、化金,对焊盘表面进行化金处理。除化金之外,还可采用镍钯金、有机保焊膜(简称OSP)、双表面处理。
实施例二:
如图9~19所示,为本发明的一种线路板的制备工艺的优选实施例二,本实施例的制备工艺的步骤如下:
1)、基板下料,基板1采用可分离基板,在厚度方向上具有中间绝缘层11、位于中间绝缘层11两侧的导电体层12、位于导电体层12两侧的导电种子层13,中间绝缘层11的厚度为10~300μm,导电种子层13的厚度小于导电体层12的厚度,且导电种子层13与导电体层12之间可分离;本实施例中,导电体层12、导电种子层13的材质均为铜,导电种子层13的厚度为2μm、3μm或5μm。
2)、压膜,在基板1两面贴上光刻胶14;光刻胶14的种类以及厚度需根据实际产品设计,本实施例选用日立化成工业株式会社生产的RD系列、且型号为1229的光刻胶,厚度为29μm。
3)、曝光、显影,先对非线路图形区域的光刻胶14进行曝光,使曝光区域光刻胶受光照射发生聚变,然后使用碳酸钠溶解未曝光区域的光刻胶14(碳酸钠无法溶解曝光区域的光刻胶),露出图形底部的导电种子层13;
4)、电镀,在露出图形底部的导电种子层13上进行电镀铜而形成第一层线路1a;镀铜的厚度小于光刻胶14的厚度。
5)、去膜,去除步骤3)中已曝光的光刻胶14,露出第一层线路1a间底部的导电种子层13;
6)、压合,将导体层15通过绝缘材料粘结到去膜之后的第一层线路1a两面;其中,导体层15为厚度13~36μm的低粗糙度铜箔,可以提升后序生产过程中导体的附着力。绝缘材料为环氧树脂。
7)、去铜、镭射,先通过微蚀、减铜或闪蚀工艺去除上述步骤6)中的导体层15,然后在露出的绝缘材料层16的两面之需要层间导通的位置钻孔;钻孔为盲孔160,并通过激光钻孔得到。
8)、沉积种子层,在绝缘材料层16两面以及钻孔的孔壁上沉积导体种子层17;本实施例中的导体种子层17通过化学沉积法实现,也可通过真空镀膜法;本实施例中,导体种子层17的材质为铜,也可为钛、镍或不同金属的合金。
9)、压膜,在导体种子层17两面贴上光刻胶14;光刻胶14的种类以及厚度需根据实际产品设计,本实施例选用日立RD1229光刻胶,厚度为29μm。
10)、曝光、显影,先对步骤9)中非线路图形区域的光刻胶14进行曝光,使曝光区域光刻胶受光照射发生聚变,然后使用碳酸钠溶解未曝光区域的光刻胶14,露出图形底部的导体种子层17。
11)、电镀填孔,在步骤10)露出的图形底部的导体种子层17电镀铜而形成第二层线路1b,第二层线路1b与第一层线路1a在钻孔处相导通;本实施例中镀铜的厚度小于光刻胶14厚度。
12)、去膜,去除步骤10)中已曝光的光刻胶14;
13)、去种子层,采用微蚀、减铜或闪蚀工艺去除露于第二层线路1b之外的导体种子层17;
14)、压合,将导体层15通过绝缘材料粘结到去种子层之后的第二层线路1b两面;其中,导体层15为厚度13~36μm的低粗糙度铜箔,可以提升后序生产过程中导体的附着力。绝缘材料为环氧树脂。
15)、去铜、镭射,先去除上述步骤14)中的导体层15,然后在露出的绝缘材料层16的两面之需要层间导通的位置钻孔;钻孔为盲孔160,并通过激光钻孔得到。
16)、沉积种子层,在绝缘材料层16两面以及钻孔的孔壁上沉积导体种子层17;本实施例中的导体种子层17通过化学沉积法实现,也可通过真空镀膜法;本实施例中,导体种子层17的材质为铜,也可为钛、镍或不同金属的合金。
17)、压膜,在导体种子层17两面贴上光刻胶14;光刻胶14的种类以及厚度需根据实际产品设计,本实施例选用日立RD1229光刻胶,厚度为29μm。
18)、曝光、显影,先对步骤17)中非线路图形区域的光刻胶14进行曝光,使曝光区域光刻胶受光照射发生聚变,然后使用碳酸钠溶解未曝光区域的光刻胶14,露出图形底部的导体种子层17。
19)、电镀填孔,在步骤18)露出的图形底部的导体种子层17电镀铜而形成第三层线路1c,第三层线路1c与第二层线路1b在钻孔处相导通;本实施例中镀铜的厚度小于光刻胶14厚度。
20)、去膜,去除步骤18)中已曝光的光刻胶14;
21)、去种子层,采用微蚀、减铜或闪蚀工艺去除露于第三层线路1c之外的导体种子层17;
22)、压膜,在第三层线路1c两面贴上光刻胶14;
23)、分板,将基板1之导电种子层13与导电体层12进行分离,得到两个三层线路板;
24)、闪蚀,采用微蚀、减铜或闪蚀工艺去除各三层线路板上的导电种子层13;
25)、退膜,去除各三层线路板上的光刻胶14;
26)、压合,将导体层15通过绝缘材料粘结到退膜之后的三层线路板的两面;其中,导体层15为厚度13~36μm的低粗糙度铜箔,可以提升后序生产过程中导体的附着力。绝缘材料为环氧树脂。
27)、去铜、镭射,先去除上述步骤26)中的导体层15,然后在露出的绝缘材料层16的两面之需要层间导通的位置钻孔;钻孔为盲孔160,并通过激光钻孔得到。
28)、沉积种子层,在绝缘材料层16两面以及钻孔的孔壁上沉积导体种子层17;本实施例中的导体种子层17通过化学沉积法实现,也可通过真空镀膜法;本实施例中,导体种子层17的材质为铜,也可为钛、镍或不同金属的合金。
29)、压膜,在导体种子层17两面贴上光刻胶14;光刻胶14的种类以及厚度需根据实际产品设计,本实施例选用日立RD1229光刻胶,厚度为29μm。
30)、曝光、显影,先对步骤29)中非线路图形区域的光刻胶14进行曝光,使曝光区域光刻胶受光照射发生聚变,然后使用碳酸钠溶解未曝光区域的光刻胶14,露出图形底部的导体种子层17。
31)、电镀填孔,在步骤30)露出图形底部的导体种子层17电镀铜而形成新两层线路1d,新两层线路1d与三层线路板在钻孔处相导通,形成五层线路板;本实施例中镀铜的厚度小于光刻胶14厚度。
32)、去膜,去除步骤30)中已曝光的光刻胶14;
33)、去种子层,采用微蚀、减铜或闪蚀工艺去除露于新两层线路1d之外的导体种子层17;
34)、印刷,在五层线路板的两面覆盖油墨18进行防焊处理;工艺选择网板油墨印刷或采用防焊干膜进行贴膜、压合、固化工艺。其中网板油墨印刷具有工艺制程稳定的优点,但线路高度差大。防焊干膜具有表面更平整的优点,缺点是制程不稳定。加工时可根据需求进行选择。
35)、曝光、显影,先对非开窗焊盘区域的油墨进行曝光,使非开窗焊盘区域油墨在紫外线照射下发生聚变,然后使用碳酸钠溶解未曝光区域的油墨而露出焊盘;
36)、化金,对焊盘表面进行化金处理。除化金之外,还可采用镍钯金、有机保焊膜(简称OSP)、双表面处理。

Claims (10)

1.一种线路板的制备工艺,其特征在于步骤如下:
1)、基板下料,基板采用可分离基板,在厚度方向上具有中间绝缘层、位于中间绝缘层两侧的导电体层、位于导电体层两侧的导电种子层,导电种子层的厚度小于导电体层的厚度,且导电种子层与导电体层之间可分离;
2)、压膜,在基板两面贴上光刻胶;
3)、曝光、显影,先对非线路图形区域的光刻胶进行曝光,然后溶解未曝光区域的光刻胶;
4)、电镀,在溶解之后的未曝光区域光刻胶的位置进行电镀而形成第一层线路;
5)、去膜,去除步骤3)中已曝光的光刻胶;
6)、压合,将导体层通过绝缘材料粘结到去膜之后的第一层线路两面;
7)、去铜、镭射,先去除上述步骤6)中的导体层,然后在露出的绝缘材料层的两面之需要层间导通的位置钻孔;
8)、沉积种子层,在绝缘材料层两面以及钻孔的孔壁上沉积导体种子层;
9)、压膜,在导体种子层两面贴上光刻胶;
10)、曝光、显影,先对步骤9)中非线路图形区域的光刻胶进行曝光,然后溶解未曝光区域的光刻胶;
11)、电镀填孔,在步骤10)溶解之后的未曝光区域光刻胶的位置电镀而形成第二层线路,第二层线路与第一层线路在钻孔处相导通;
12)、去膜,去除步骤10)中已曝光的光刻胶;
13)、去种子层,去除露于第二层线路之外的导体种子层;
14)、在第二层线路的两面按照以上步骤6)~步骤13)的方法操作,从而形成第三层线路;
15)、压膜,在第三层线路两面贴上光刻胶;
16)、分板,将基板之导电种子层与导电体层进行分离,得到两个三层线路板;
17)、各三层线路板外层线路制作;
18)、阻焊制作。
2.根据权利要求1所述的制备工艺,其特征在于:所述步骤6)中的绝缘材料为环氧树脂,所述导体层为厚度13~36μm的铜箔。
3.根据权利要求2所述的制备工艺,其特征在于:所述步骤7)中通过微蚀、减铜或闪蚀工艺去除上述步骤6)中的导体层。
4.根据权利要求1所述的制备工艺,其特征在于:所述步骤7)中钻孔为盲孔,并通过激光钻孔得到。
5.根据权利要求1所述的制备工艺,其特征在于:所述步骤8)中导体种子层的材质为钛、铜、镍或其中至少两种的合金。
6.根据权利要求5所述的制备工艺,其特征在于:在所述导体种子层的材质为铜时,所述步骤13)中采用微蚀、减铜或闪蚀工艺去除露于第二层线路之外的导体种子层;在所述导体种子层的材质为钛时,所述步骤13)中采用除钛工艺去除露于第二层线路之外的导体种子层。
7.根据权利要求1所述的制备工艺,其特征在于:所述步骤17)的工艺依次为:
闪蚀,去除各三层线路板上的导电种子层;
退膜,去除各三层线路板上的光刻胶。
8.根据权利要求7所述的制备工艺,其特征在于:所述步骤18)的工艺依次为:
印刷,在各三层线路板的两面覆盖油墨进行防焊处理;
曝光、显影,先对非开窗焊盘区域的油墨进行曝光,然后溶解未曝光区域的油墨而露出焊盘;
化金,对焊盘表面进行化金处理。
9.根据权利要求8所述的制备工艺,其特征在于:在步骤17)的退膜之后、步骤18)的印刷之前,在各三层线路板的两面按照以上步骤6)~步骤13)的方法重复至少一次,得到大于3的奇数层的线路板。
10.根据权利要求1所述的制备工艺,其特征在于:所述步骤1)中导电种子层的材质为铜,其厚度为2~5μm。
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