CN115334434B - 麦克风组件及电子设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种麦克风组件及电子设备。所述麦克风组件包括基底、至少一个第一膜结构和至少一个第二膜结构，第一膜结构为振动膜，第二膜结构为振动膜或静止膜，第一膜结构与对应的第二膜结构组成可变电容；麦克风组件还包括与至少一个第一膜结构以一一对应方式电连接的至少一个第一电极引出通路、与至少一个第二膜结构以一一对应方式电连接的至少一个第二电极引出通路；每个第一电极引出通路通过多个阵列排布的电极引出点与对应的第一膜结构电连接；和/或每个第二电极引出通路通过多个阵列排布的电极引出点与对应的第二膜结构电连接。本发明的麦克风组件具有较高的长宽比，拓展了应用范围，且设置多个电极引出点，保证产品的导通率。

Description

麦克风组件及电子设备

技术领域

本申请涉及麦克风技术领域，尤其涉及一种麦克风组件及电子设备。

背景技术

近年来MEMS微麦克风得到了蓬勃发展，并在高端手机、笔记本电脑、蓝牙耳机等消费电子产品中广泛应用。MEMS微麦克风是一种基于硅微机械加工技术而研制成的新型微麦克风，其中，电容式MEMS微麦克风是目前研发的重点。

电容式MEMS微麦克风包括MEMS芯片，通过MEMS芯片将声音信号转换为电信号。MEMS芯片包括衬底、分别与衬底平行的背极板和振膜，背极板和振膜共同组成一个平行板电容，当外部声压作用在振膜上引起振膜的振动，改变了平行板电容器的电容量，相应输出电压信号，从而实现由声信号向电信号的转换。

电容式MEMS微麦克风为了获得较高的灵敏度，需要将振膜的面积增大，来提高电路中的电容变化量，但无论是振膜还是背极板面积的增大都会导致生产成本的增加，同时还会导致麦克风在长度以及宽度上增大，使得麦克风的封装结构在长度以及宽度上也随之增大，最后只能适用于长度与宽度的比值较小的产品中，限制了麦克风的适用范围。另外，MEMS芯片通过在背极板和振膜上形成对应的引出电极、以及用于引出电极的焊盘来起到从外部供给用来驱动MEMS芯片的电信号，或者将进行了放大、检测等后的电信号向外部输出的重要作用，但是背极板和振膜上对应的引出电极一般只有一个，一旦失效会导致产品导通率低，造成产品失效。

发明内容

本申请实施例提供一种麦克风组件及电子设备，以有效解决现有产品为了获得较高灵敏度，增加振膜面积后成本增加，并且只能适用于长度与宽度的比值较小的产品中，麦克风适用范围小的问题，以及引出电极只有一个，一旦失效会导致产品导通率低的问题。

根据本申请的一方面，本申请提供一种麦克风组件，所述麦克风组件包括基底、与所述基底固定连接的第一支撑件和第二支撑件、以及位于所述第一支撑件和所述第二支撑件之间的至少一个第一膜结构和至少一个第二膜结构，所述基底的中部具有腔体，所述第一支撑件部分封闭所述腔体的一侧，所述第二支撑件位于所述腔体内，每个所述第一膜结构为振动膜，每个所述第二膜结构为振动膜或静止膜，每个所述第一膜结构与对应的所述第二膜结构组成至少一个可变电容；

在所述基底的厚度方向上，所述至少一个第一膜结构和所述至少一个第二膜结构的一端分别与所述第一支撑件固定连接，并且所述至少一个第一膜结构和所述至少一个第二膜结构的另一端分别与所述第二支撑件固定连接；

其中，所述麦克风组件还包括与所述至少一个第一膜结构以一一对应方式电连接的至少一个第一电极引出通路、与所述至少一个第二膜结构以一一对应方式电连接的至少一个第二电极引出通路；

其中，每个所述第一电极引出通路通过多个阵列排布的电极引出点与对应的所述第一膜结构电连接；和/或

每个所述第二电极引出通路通过多个阵列排布的电极引出点与对应的所述第二膜结构电连接。

进一步地，每个所述第一电极引出通路包括与对应的所述第一膜结构直接电连接的第一多晶体电极通路以及与所述第一多晶体电极通路直接电连接的第一金属电极，所述第一金属电极将所述第一多晶体电极通路与外部信号处理电路电连接，并且每个所述第二电极引出通路包括与对应的所述第二膜结构直接电连接的第二多晶体电极通路以及与所述第二多晶体电极通路直接电连接的第二金属电极，所述第二金属电极将所述第二多晶体电极通路与所述外部信号处理电路电连接；

其中，所述第一多晶体电极通路、所述第一金属电极、所述第二多晶体电极通路以及所述第二金属电极设置在所述第一支撑件上。

进一步地，所述腔体具有与所述至少一个第一膜结构和所述至少一个第二膜结构垂直的两个第一内表面以及与所述至少一个第一膜结构和所述至少一个第二膜结构平行的两个第二内表面。

进一步地，所述麦克风组件包括一个第一膜结构和一个第二膜结构，所述第一膜结构、所述第二膜结构、所述第一支撑件以及所述第二支撑件共同将所述腔体至少分隔出振动腔和背腔，所述第一膜结构构成第一电极，所述第二膜结构构成第二电极，所述第一电极和所述第二电极形成可变电容，以感测进入所述麦克风组件中的声压。

进一步地，所述第二支撑件的两个侧面分别与两个所述第一内表面固定连接，另外两个侧面悬空，其中，所述第一膜结构、所述第二膜结构、两个所述第一内表面的部分区域、以及所述第二支撑件共同形成所述振动腔，并且所述第一支撑件不封闭所述振动腔。

进一步地，所述第二膜结构为静止膜，所述第二支撑件的三个侧面分别与两个所述第一内表面以及与所述第二膜结构紧邻的所述第二内表面固定连接，另外一个侧面悬空；

其中，所述第一膜结构、所述第二膜结构、两个所述第一内表面的部分区域、以及所述第二支撑件共同形成所述振动腔，所述第二膜结构、所述第二支撑件、两个所述第一内表面的另一部分区域、以及与所述第二膜结构紧邻的所述第二内表面共同形成辅助腔，所述辅助腔与所述振动腔通过所述第二膜结构上的镂空区域相连通，并且所述第一支撑件不封闭所述辅助腔、封闭所述振动腔，或者所述第一支撑件不封闭所述辅助腔和所述振动腔。

进一步地，所述第二膜结构为静止膜，所述第二支撑件的三个侧面分别与两个所述第一内表面以及与所述第一膜结构紧邻的所述第二内表面固定连接，另外一个侧面悬空；

其中，所述第一膜结构、所述第二膜结构、两个所述第一内表面的部分区域、以及所述第二支撑件共同形成所述振动腔，所述第一膜结构、所述第二支撑件、两个所述第一内表面的另一部分区域、以及与所述第一膜结构紧邻的所述第二内表面共同形成辅助腔，所述背腔与所述振动腔通过所述第二膜结构上的镂空区域相连通，并且所述第一支撑件不封闭所述辅助腔、封闭所述振动腔。

进一步地，所述麦克风组件包括两个第一膜结构和一个第二膜结构，所述第二膜结构具有镂空区域并且位于所述两个第一膜结构之间，所述第二膜结构为静止膜；

所述两个第一膜结构、所述第一支撑件以及所述第二支撑件共同将所述腔体至少分隔出振动腔和背腔；

所述两个第一膜结构中的一个第一膜结构构成第一电极，所述第二膜结构构成第二电极，所述两个第一膜结构中的另一个第一膜结构构成第三电极，所述第一电极远离所述第二膜结构的一侧与所述背腔相连通并与所述第二电极形成第一可变电容，所述第三电极远离所述第二膜结构的一侧与所述背腔相隔离并与所述第二电极形成第二可变电容，所述第一可变电容和所述第二可变电容构成差分电容，以感测进入所述麦克风组件中的声压。

进一步地，所述第二支撑件的三个侧面分别与两个所述第一内表面、紧邻所述第三电极的所述第二内表面固定连接，另外一个侧面悬空；

其中，构成所述第三电极的所述第一膜结构、两个所述第一内表面的部分区域、紧邻所述第三电极的所述第二内表面的部分区域以及所述第二支撑件的部分区域共同形成辅助腔，所述两个第一膜结构、两个所述第一内表面的另一部分区域、以及所述第二支撑件的另一部分区域共同形成所述振动腔，并且所述第一支撑件不封闭所述辅助腔和所述振动腔，或者所述第一支撑件不封闭所述辅助腔、封闭所述振动腔。

进一步地，所述麦克风组件包括两个第一膜结构和一个第二膜结构，所述第二膜结构位于所述两个第一膜结构之间，所述第二膜结构为静止膜；

所述两个第一膜结构、所述第一支撑件以及所述第二支撑件共同将所述腔体至少分隔出振动腔和背腔；

所述两个第一膜结构中的一个第一膜结构构成第一电极，所述第二膜结构构成第二电极，所述两个第一膜结构中的另一个第一膜结构构成第三电极，所述第一电极远离所述第二膜结构的一侧与所述背腔相连通并与所述第二电极形成第一可变电容，所述第三电极远离所述第二膜结构的一侧与所述背腔相连通并与所述第二电极形成第二可变电容，以感测外部环境与所述背腔之间的声压。

进一步地，所述第二支撑件的两个侧面分别与两个所述第一内表面固定连接，另外两个侧面悬空，其中，所述两个第一膜结构、两个所述第一内表面的部分区域、以及所述第二支撑件共同形成所述振动腔，并且所述第一支撑件不封闭所述振动腔。

进一步地，所述振动腔包括分别位于所述第二膜结构两侧的第一振动腔以及第二振动腔，所述第一振动腔与所述第二振动腔通过所述第二膜结构上的镂空区域相连通。

进一步地，所述麦克风组件包括两个第一膜结构和两个第二膜结构，所述两个第一膜结构和所述两个第二膜结构交错分布，所述两个第二膜结构为静止膜；

所述两个第一膜结构、所述两个第二膜结构、所述第一支撑件以及所述第二支撑件共同将所述腔体至少分隔出一个背腔和两个彼此隔离的第一振动腔和第二振动腔；

其中，所述两个第一膜结构中的一个第一膜结构构成第一电极，所述两个第一膜结构中的另一个第一膜结构构成第二电极，所述两个第二膜结构中的一个第二膜结构构成第三电极，所述两个第二膜结构中的另一个第二膜结构构成第四电极，所述第一电极位于所述第三电极和所述第四电极之间，所述第四电极位于所述第一电极和所述第二电极之间；

所述第一电极与所述第三电极形成与所述第一振动腔对应的第一可变电容，并且所述第一电极远离所述第三电极的一侧与所述背腔相连通，所述第三电极远离所述第一电极的一侧与所述背腔相隔离；

所述第二电极与所述第四电极形成与所述第二振动腔对应的第二可变电容，并且所述第二电极远离所述第四电极的一侧与所述背腔相隔离，所述第四电极远离所述第二电极的一侧与所述背腔相连通，其中，所述第四电极上具有镂空区域，或者所述第四电极和所述第三电极上均具有镂空区域，所述第四电极上的镂空区域将所述背腔与所述第二振动腔连通；

所述第一可变电容和所述第二可变电容构成差分电容，以感测进入所述麦克风组件中的声压。

进一步地，所述第二支撑件包括第一子支撑件以及与所述第一子支撑件间隔设置的第二子支撑件，所述第一子支撑件的三个侧面分别与两个所述第一内表面、紧邻所述第三电极的所述第二内表面固定连接，另外一个侧面悬空，所述第二子支撑件的三个侧面分别与两个所述第一内表面、紧邻所述第二电极的所述第二内表面固定连接，另外一个侧面悬空；

其中，构成所述第三电极的所述第二膜结构、邻近所述第三电极的所述第二内表面、两个所述第一内表面位于所述第三电极与邻近所述第三电极的所述第二内表面之间的区域以及所述第一子支撑件共同形成第一子腔，构成所述第二电极的所述第一膜结构、邻近所述第二电极的所述第二内表面、两个所述第一内表面位于所述第二电极与邻近所述第二电极的所述第二内表面之间的区域以及所述第二子支撑件共同形成第二子腔，并且所述第一支撑件不封闭所述第一子腔以及所述第二子腔。

进一步地，所述第一支撑件不封闭所述第一振动腔和所述第二振动腔。

进一步地，所述第一支撑件封闭所述第一振动腔和所述第二振动腔。

进一步地，所述麦克风组件包括两个第一膜结构、两个第二膜结构和一个第三支撑件，所述两个第二膜结构位于所述两个第一膜结构之间并且所述第三支撑件位于所述两个第二膜结构之间，以将所述两个第二膜结构相隔离，所述两个第二膜结构为静止膜；

在所述基底的厚度方向上，所述第三支撑件的一端分别与所述第一支撑件固定连接，并且所述第三支撑件的另一端分别与所述第二支撑件固定连接，所述两个第一膜结构、所述两个第二膜结构、所述第三支撑件、所述第一支撑件以及所述第二支撑件共同将所述腔体至少分隔出一个背腔和两个彼此隔离的第一振动腔和第二振动腔；

其中，所述两个第一膜结构中的一个第一膜结构构成第一电极，所述两个第一膜结构中的另一个第一膜结构构成第二电极，所述两个第二膜结构中的一个第二膜结构构成第三电极，所述两个第二膜结构中的另一个第二膜结构构成第四电极，所述第三电极位于所述第一电极和所述第三支撑件之间，所述第四电极位于所述第三支撑件和所述第二电极之间；

所述第一电极与所述第三电极形成与所述第一振动腔对应的第一可变电容，并且所述第一电极远离所述第三电极的一侧与所述背腔相连通，所述第三电极远离所述第一电极的一侧与所述背腔相隔离；

所述第二电极与所述第四电极形成与所述第二振动腔对应的第二可变电容，并且所述第二电极远离所述第四电极的一侧与所述背腔相隔离，所述第四电极远离所述第二电极的一侧与所述背腔相连通，其中，所述第四电极上具有镂空区域，或者所述第四电极和所述第三电极上均具有镂空区域，所述第四电极上的镂空区域将所述背腔与所述第二振动腔连通；

所述第一可变电容和所述第二可变电容构成差分电容，以感测外部环境与所述背腔之间的声压。

进一步地，所述麦克风组件包括两个第一膜结构、两个第二膜结构和一个第三支撑件，所述两个第一膜结构和所述两个第二膜结构交错分布，所述两个第二膜结构为静止膜；

在所述基底的厚度方向上，所述第三支撑件的一端与所述第一支撑件固定连接，并且所述第三支撑件的另一端与所述第二支撑件固定连接，所述两个第一膜结构、所述两个第二膜结构、所述第三支撑件、所述第一支撑件以及所述第二支撑件共同将所述腔体至少分隔出一个背腔和两个彼此隔离的第一振动腔和第二振动腔；

其中，所述两个第一膜结构中的一个第一膜结构构成第一电极，所述两个第一膜结构中的另一个第一膜结构构成第二电极，所述两个第二膜结构中的一个第二膜结构构成第三电极，所述两个第二膜结构中的另一个第二膜结构构成第四电极，所述第三电极位于所述第一电极和所述第三支撑件之间，所述第二电极位于所述第三支撑件和所述第四电极之间；

所述第一电极与所述第三电极形成与所述第一振动腔对应的第一可变电容，并且所述第一电极远离所述第三电极的一侧与所述背腔相连通，所述第三电极远离所述第一电极的一侧与所述背腔相隔离；

所述第二电极与所述第四电极形成与所述第二振动腔对应的第二可变电容，并且所述第二电极远离所述第四电极的一侧与所述背腔相隔离，所述第四电极远离所述第二电极的一侧与所述背腔相连通，其中，所述第四电极上具有镂空区域，或者所述第四电极和所述第三电极上均具有镂空区域，所述第四电极上的镂空区域将所述背腔与所述第二振动腔连通；

所述第一可变电容和所述第二可变电容构成差分电容，以感测进入所述麦克风组件中的声压。

根据本申请的另一方面，本申请提供一种电子设备，所述电子设备包括如前所述的麦克风组件。

本申请的优点在于，通过设置与基底的厚度方向平行的第一膜结构以及第二膜结构，仅需要增大第一膜结构以及第二膜结构的长度就可以增加第一膜结构以及第二膜结构的面积，无需同时增加长度以及宽度，从而在有效提高麦克风产品的灵敏度的同时可以避免生产成本大幅增加，相较于第一膜结构与第二膜结构垂直于基底的厚度方向设置的结构，本申请中的麦克风组件可以具有较高的长宽比，以适用于高长宽比的产品，同样地，本申请中的麦克风组件也能够适用于低长宽比的产品，适用范围增加。同时，配合在与基底的厚度方向平行的第一膜结构以及第二膜结构设置多个阵列排布的电极引出点，保证产品的导通率，从而降低产品失效率。

附图说明

下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1A为本申请实施例一提供的麦克风组件的结构示意图；

图1B为图1A中提供的麦克风组件的剖视图；

图1C为图1A中提供的基底的结构示意图；

图1D为图1A中提供的电极引出点阵列分布的结构示意图；

图1E为图1A中提供的第一电极引出通路和第二电极引出通路的结构示意图；

图1F为本申请实施例一提供的另一麦克风组件的结构示意图；

图1G-图1H为图1A中提供的第二膜结构的仰视图；

图2A为本申请实施例二提供的麦克风组件的结构示意图；

图2B为本申请实施例二提供的另一麦克风组件的结构示意图；

图3为本申请实施例三提供的麦克风组件的结构示意图；

图4A为本申请实施例四提供的麦克风组件的结构示意图；

图4B为图4A中提供的第一电极引出通路和第二电极引出通路的结构示意图；

图4C为本申请实施例四提供的另一麦克风组件的结构示意图；

图5A为本申请实施例五提供的麦克风组件的结构示意图；

图5B为本申请实施例五提供的另一麦克风组件的结构示意图；

图6A为本申请实施例六提供的麦克风组件的结构示意图；

图6B为图6A中提供的第一电极引出通路和第二电极引出通路的结构示意图；

图6C为本申请实施例六提供的另一麦克风组件的结构示意图；

图7为本申请实施例七提供的麦克风组件的结构示意图；

图8为本申请实施例八提供的麦克风组件的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

本申请至少一实施例提供一种麦克风组件，该麦克风组件包括基底、与所述基底固定连接的第一支撑件和第二支撑件、以及位于所述第一支撑件和所述第二支撑件之间的至少一个第一膜结构和至少一个第二膜结构，所述基底的中部具有腔体，所述第一支撑件部分封闭所述腔体的一侧，所述第二支撑件位于所述腔体内，每个所述第一膜结构为振动膜，每个所述第二膜结构为振动膜或静止膜，每个所述第一膜结构与对应的所述第二膜结构组成至少一个可变电容；

在所述基底的厚度方向上，所述至少一个第一膜结构和所述至少一个第二膜结构的一端分别与所述第一支撑件固定连接，并且所述至少一个第一膜结构和所述至少一个第二膜结构的另一端分别与所述第二支撑件固定连接；

其中，所述麦克风组件还包括与所述至少一个第一膜结构以一一对应方式电连接的至少一个第一电极引出通路、与所述至少一个第二膜结构以一一对应方式电连接的至少一个第二电极引出通路；

其中，每个所述第一电极引出通路通过多个阵列排布的电极引出点与对应的所述第一膜结构电连接；和/或

每个所述第二电极引出通路通过多个阵列排布的电极引出点与对应的所述第二膜结构电连接。

由上可见，通过设置与基底的厚度方向平行的第一膜结构以及第二膜结构，仅需要增大第一膜结构以及第二膜结构的长度就可以增加第一膜结构以及第二膜结构的面积，无需同时增加长度以及宽度，从而在有效提高麦克风产品的灵敏度的同时可以避免生产成本大幅增加，相较于振膜与背极板垂直于基底的厚度方向设置的结构，本申请中的麦克风组件可以具有较高的长宽比，以适用于高长宽比的产品，同样地，本申请中的麦克风组件也能够适用于低长宽比的产品，适用范围增加。另外，配合在与基底的厚度方向平行的第一膜结构以及第二膜结构设置多个阵列排布的电极引出点，保证产品的导通率，从而降低产品失效率。

实施例一

如图1A-图1C所示，麦克风组件包括基底10、与基底10固定连接的第一支撑件20和第二支撑件30、以及位于第一支撑件20和第二支撑件30之间的一个第一膜结构和一个第二膜结构，基底10的中部具有腔体110，第一支撑件20部分封闭腔体110的一侧，第二支撑件30位于腔体110内，第一膜结构为振动膜，第二膜结构为振动膜或静止膜，第一膜结构与对应的二膜结构组成可变电容。需要说明的是，基底10可以是硅、或多晶硅、或砷化镓、或碳化硅。

在基底10的厚度方向上，第一膜结构和第二膜结构的一端分别与第一支撑件20固定连接，并且第一膜结构和第二膜结构的另一端分别与第二支撑件30固定连接，第一膜结构、第二膜结构、第一支撑件20以及第二支撑件30共同将腔体至少分隔出振动腔80和背腔60，第一膜结构构成第一电极510，第二膜结构构成第二电极520，第一电极510和第二电极520形成可变电容，以感测外部环境和背腔60之间的声压。由于第一膜结构以及第二膜结构垂直放置在基底的腔体中，因此，颗粒杂质进入到麦克风组件后，会沉积在振动腔80下面的第二支撑件30上，相较于振膜与背极板平行于基底放置的结构中颗粒沉积在振膜或者背极板上容易引起产品失效而言，本发明中的麦克风组件具有较好的抗干扰能力。

需要说明的是，振动膜是指在声波传入到麦克风组件后，发生振动的膜，静止膜是指在声波传入到麦克风组件后，不发生振动的膜。还需要说明的是，第二膜结构可以是振动膜也可以是静止膜。

例如，当第二膜结构为静止膜时，声波从背腔60传入后作用到第一膜结构上，引起第一膜结构向靠近第二膜结构的形变，从而使得第一电极与第二电极之间的极板间距减小，进而使得可变电容的电容值增大，基于此可以将声波信号转换为电信号；当第二膜结构为振动膜时，声波从背腔60传入后作用到第一膜结构以及第二膜结构上，引起第一膜结构以及第二膜结构都发生朝向对方的形变。

在本实施例中，腔体110具有与第一膜结构和第二膜结构垂直的两个第一内表面1101以及与第一膜结构和第二膜结构平行的两个第二内表面1102。

在本实施例中，第二支撑件30的两个侧面分别与两个第一内表面1101固定连接，另外两个侧面悬空，其中，第一膜结构、第二膜结构、两个第一内表面1101的部分区域、以及第二支撑件30共同形成振动腔80，并且第一支撑件20不封闭振动腔80。

如图1D所示，在本实施例中，麦克风组件还包括与第一膜结构以对应方式电连接的第一电极引出通路91、与第二膜结构以对应方式电连接的第二电极引出通路92；

其中，每个第一电极引出通路91通过多个阵列排布的电极引出点97与对应的第一膜结构电连接；和每个第二电极引出通路92通过多个阵列排布的电极引出点97与对应的第二膜结构电连接。

如图1E所示，在本实施例中，每个第一电极引出通路91包括与对应的第一膜结构直接电连接的第一多晶体电极通路93以及与第一多晶体电极通路93直接电连接的第一金属电极94，第一金属电极94将第一多晶体电极通路93与外部信号处理电路电连接，并且每个第二电极引出通路92包括与对应的第二膜结构直接电连接的第二多晶体电极通路95以及与第二多晶体电极通路95直接电连接的第二金属电极96，第二金属电极96将第二多晶体电极通路95与外部信号处理电路电连接。第一电极510产生的电信号通过第一多晶体电极通路93以及第一金属电极94传输至外部信号处理电路，第二电极520产生的电信号通过第二多晶体电极通路95以及第二金属电极96传输至外部信号处理电路。

其中，第一多晶体电极通路93、第一金属电极94、第二多晶体电极通路95以及第二金属电极96设置在第一支撑件20上。需要说明的是，第一金属电极94和第二金属电极96可以是金构成的电极。还需要说明的是，第一多晶体电极通路93、第二多晶体电极通路95可以是多晶硅，利用多晶硅将第一电极510、第二电极520引出到第一支撑件20上，再蒸发金在多晶体电极通路上形成金属电极，金属电极通过金线和外部信号处理电路电连接。通过多晶硅作为电极通路，可靠性和牢固性更好，因为多晶硅的台阶覆盖性比金属好。

在本实施例中，如图1F所示，第二膜结构上设置有镂空区域430。

示例性地，在本实施例中，镂空区域430由至少一个呈圆形和/或矩形的子区域构成。通过在第二膜结构上设置镂空区域430，不仅可以减小第二膜结构相对于第一膜结构的有效面积，同时还可以降低声阻，减小压膜阻尼。

示例性地，在本实施例中，第二膜结构上的镂空区域430包括多个矩形子区域4301。需要说明的是，多个矩形子区域4301的大小、以及相邻两个矩形子区域4301之间的间距根据需要进行设置。例如，如图1G所示，多个矩形子区域4301大小相等且等间距分布。例如，如图1H所示，多个矩形子区域4301的大小不等且非等间距分布，并且位于第二膜结构中间的矩形子区域4301大于位于第二膜结构边缘的矩形子区域4301，可以有效减少麦克风在工作中的噪声，提高产品的信噪比。

需要说明的是，多个矩形子区域4301将第二膜结构分成多个相间隔的背极子板，每个背极子板至少与一个电极引出点97电连接。

由上可见，通过设置与基底的厚度方向平行的第一膜结构以及第二膜结构，仅需要增大第一膜结构以及第二膜结构的长度就可以增加第一膜结构以及第二膜结构的面积，无需同时增加长度以及宽度，从而在有效提高麦克风产品的灵敏度的同时可以避免生产成本大幅增加，相较于振膜与背极板垂直于基底的厚度方向设置的结构，本申请中的麦克风组件可以具有较高的长宽比，以适用于高长宽比的产品，同样地，本申请中的麦克风组件也能够适用于低长宽比的产品，适用范围增加。同时，配合在与基底的厚度方向平行的第一膜结构以及第二膜结构设置多个阵列排布的电极引出点，保证产品的导通率，从而降低产品失效率。

实施例二

如图2A、图2B所示，本实施例提供的麦克风组件与实施例一中的麦克风组件的区别在于：第二膜结构为静止膜，第二支撑件30的三个侧面分别与两个第一内表面1101以及与第二膜结构紧邻的第二内表面1102固定连接，另外一个侧面悬空；

其中，第一膜结构、第二膜结构、两个第一内表面1101的部分区域、以及第二支撑件30共同形成振动腔80，第二膜结构、第二支撑件30、两个第一内表面1101的另一部分区域、以及与第二膜结构紧邻的第二内表面1102共同形成辅助腔70，辅助腔70与振动腔80通过第二膜结构上的镂空区域相连通，并且第一支撑件20不封闭辅助腔70、封闭振动腔80，或者第一支撑件20不封闭辅助腔70和振动腔80。

需要说明的是，本实施例中所述的不封闭可以是第一支撑件20部分覆盖辅助腔70，也可以为完全不覆盖辅助腔70，只要能达到不封闭的效果即可。

如图2A所示，当第一支撑件20不封闭辅助腔70和振动腔80时，声波仅能从背腔60进入后作用到第一膜结构后，振动腔80内的空气可以通过镂空区域430进入到辅助腔，因此辅助腔70仅起到泄气的作用。

如图2B所示，当第一支撑件不封闭辅助腔、封闭振动腔时，辅助腔70起到两方面的作用，一方面，当声波从辅助腔70进入后作用到第一膜结构后，振动腔80内的空气可以通过镂空区域430进入到背腔60，此时辅助腔起到进音的作用，背腔60起到泄气的作用，另一方面，声波还可以从背腔60进入，作用到第一膜结构上，此时，辅助腔70起到增大麦克风后腔的作用。

在本实施例中，第一支撑件20封闭振动腔80的区域上设置有至少一个通孔210。此时将振动腔80封闭起到一定的防尘效果，并且通孔210起到一定的泄气作用。

本实施例中的其他细节结构与实施例一相同，并且能实现实施例一中所述的技术效果，在此不再赘述。

实施例三

如图3所示，本实施例提供的麦克风组件与实施例一中的麦克风组件的区别在于：第二膜结构为静止膜，第二支撑件30的三个侧面分别与两个第一内表面1101以及与第一膜结构紧邻的第二内表面1102固定连接，另外一个侧面悬空；

其中，第一膜结构、第二膜结构、两个第一内表面1101的部分区域、以及第二支撑件30共同形成振动腔80，第一膜结构、第二支撑件30、两个第一内表面1101的另一部分区域、以及与第一膜结构紧邻的第二内表面1102共同形成辅助腔70，背腔60与振动腔80通过第二膜结构上的镂空区域相连通，并且第一支撑件20不封闭辅助腔70、封闭振动腔80。

需要说明的是，本实施例中所述的不封闭可以是第一支撑件20部分覆盖辅助腔70，也可以为完全不覆盖辅助腔70，只要能达到不封闭的效果即可。

如图3所示，当第一支撑件20不封闭辅助腔70、封闭振动腔80时，辅助腔70起到两方面的作用，一方面，当声波从辅助腔70进入后作用到第一膜结构后，振动腔80内的空气可以通过镂空区域430进入到背腔60，此时辅助腔70起到进音的作用，背腔60起到泄气的作用，另一方面，声波还可以从背腔60进入，并穿过镂空区域430后作用到第一膜结构上，此时，辅助腔70起到了提供第一膜结构的变形空间的作用。

在本实施例中，第一支撑件20封闭振动腔80的区域上设置有至少一个通孔210。此时将振动腔80封闭起到一定的防尘效果，并且通孔210起到一定的泄气作用。

本实施例中的其他细节结构与实施例一以及实施例二相同，并且能实现实施例一以及实施例二中所述的技术效果，在此不再赘述。

实施例四

如图4A-4C所示，本实施例提供的麦克风组件与实施例一中的麦克风组件的区别在于：麦克风组件包括两个第一膜结构和一个第二膜结构，第二膜结构具有镂空区域430并且位于两个第一膜结构之间，所述第二膜结构为静止膜，两个第一膜结构、第一支撑件20以及第二支撑件30共同将腔体至少分隔出振动腔80和背腔60；

两个第一膜结构中的一个第一膜结构构成第一电极510，第二膜结构构成第二电极520，两个第一膜结构中的另一个第一膜结构构成第三电极410，第一电极510远离第二膜结构的一侧与背腔60相连通并与第二电极520形成第一可变电容，第三电极410远离第二膜结构的一侧与背腔60相隔离并与第二电极520形成第二可变电容，第一可变电容和第二可变电容构成差分电容，以感测进入麦克风组件中的声压。通过第一可变电容和第二可变电容构成差分电容，避免噪声的干扰，提高产品的性能。

第二支撑件30的三个侧面分别与两个第一内表面1101、紧邻第三电极410的第二内表面1102固定连接，另外一个侧面悬空；

其中，构成第三电极410的第一膜结构、两个第一内表面1101的部分区域、紧邻第三电极410的第二内表面1102的部分区域以及第二支撑件30的部分区域共同形成辅助腔70，两个第一膜结构、两个第一内表面1101的另一部分区域、以及第二支撑件30的另一部分区域共同形成振动腔80，并且第一支撑件20不封闭辅助腔70和振动腔80，或者第一支撑件20不封闭辅助腔70、封闭振动腔80。

在本实施例中，振动腔80包括分别位于第二膜结构两侧的第一振动腔810以及第二振动腔820，第一振动腔810与第二振动腔820通过第二膜结构上的镂空区域430相连通。通过镂空区域430使第一振动腔810与第二振动腔820连通将外部声压从第一膜结构传递到第一膜结构，分别引起第一膜结构以及第一膜结构的振动，例如，当第一膜结构与第二膜结构之间的间距变小时，第一膜结构与第二膜结构之间的间距变大，所以使第一可变电容变大、第二可变电容的变小，控制器通过对这两个信号进行处理，输出差分电信号，提高灵敏度。

如图4B所示，在本实施例中，麦克风组件还包括与第一膜结构以对应方式电连接的第一电极引出通路91、与第二膜结构以对应方式电连接的第二电极引出通路92；其中，第一电极引出通路91以及第二电极引出通路的其他细节结构与实施例一相同，在此不再赘述。

如图4A所示，当第一支撑件20不封闭辅助腔70和振动腔80时，麦克风组件适用于底进音的封装结构。此时，辅助腔70起到了为第一膜结构提供变形空间的作用。

如图4C所示，当第一支撑件20不封闭辅助腔70、封闭振动腔80时，麦克风组件适用于底进音和前进音的封装结构。一方面，当声波从背腔60进入后作用到第一膜结构后，辅助腔70起到了为第一膜结构提供变形空间的作用，另一方面，声波还可以从辅助腔70进入，此时，辅助腔70起到了进音的作用。

本实施例中的其他细节结构与实施例一相同，并且能实现实施例一中所述的技术效果，在此不再赘述。

实施例五

如图5A所示，本实施例提供的麦克风组件与实施例一中的麦克风组件的区别在于：麦克风组件包括两个第一膜结构和一个第二膜结构，第二膜结构位于两个第一膜结构之间，第二膜结构为静止膜，两个第一膜结构、第一支撑件20以及第二支撑件30共同将腔体至少分隔出振动腔80和背腔60；

两个第一膜结构中的一个第一膜结构构成第一电极510，第二膜结构构成第二电极520，两个第一膜结构中的另一个第一膜结构构成第三电极410，第一电极510远离第二膜结构的一侧与背腔60相连通并与第二电极520形成第一可变电容，第三电极410远离第二膜结构的一侧与背腔60相连通并与第二电极520形成第二可变电容，以感测进入麦克风组件中的声压。

在本实施例中，第二支撑件30的两个侧面分别与两个第一内表面1101固定连接，另外两个侧面悬空，其中，两个第一膜结构、两个第一内表面1101的部分区域、以及第二支撑件30共同形成振动腔80，并且第一支撑件20不封闭振动腔80。

在本实施例中，振动腔80包括分别位于第二膜结构两侧的第一振动腔810以及第二振动腔820，第一振动腔810与第二振动腔820相隔离。

如图5B所示，在本实施例中，振动腔80包括分别位于第二膜结构两侧的第一振动腔810以及第二振动腔820，第一振动腔810与第二振动腔820通过第二膜结构上的镂空区域430相连通。

本实施例中的其他细节结构与实施例一相同，并且能实现实施例一中所述的技术效果，在此不再赘述。

实施例六

如图6A-6C所示，本实施例提供的麦克风组件与实施例一中的麦克风组件的区别在于：麦克风组件包括两个第一膜结构和两个第二膜结构，两个第一膜结构和两个第二膜结构交错分布，两个第二膜结构为静止膜；

两个第一膜结构、两个第二膜结构、第一支撑件20以及第二支撑件30共同将腔体至少分隔出一个背腔60和两个彼此隔离的第一振动腔810和第二振动腔820；

其中，两个第一膜结构中的一个第一膜结构构成第一电极510，两个第一膜结构中的另一个第一膜结构构成第二电极520，两个第二膜结构中的一个第二膜结构构成第三电极410，两个第二膜结构中的另一个第二膜结构构成第四电极420，第一电极510位于第三电极410和第四电极420之间，第四电极420位于第一电极510和第二电极520之间；

第一电极510与第三电极410形成与第一振动腔810对应的第一可变电容，并且第一电极510远离第三电极410的一侧与背腔60相连通，第三电极410远离第一电极510的一侧与背腔60相隔离；

第二电极520与第四电极420形成与第二振动腔820对应的第二可变电容，并且第二电极520远离第四电极420的一侧与背腔60相隔离，第四电极420远离第二电极520的一侧与背腔60相连通，其中，第四电极420上具有镂空区域430，或者第四电极420和第三电极410上均具有镂空区域430，第四电极420上的镂空区域430将背腔60与第二振动腔820连通；

第一可变电容和第二可变电容构成差分电容，以感测进入麦克风组件中的声压。通过第一可变电容和第二可变电容构成差分电容，在声波作用下，差分电容中的一个增大，另一个减小，从而实现声波的差分检测，以有效过滤外界的干扰信号，提高信噪比。

在本实施例中，第二支撑件30包括第一子支撑件310以及与第一子支撑件310间隔设置的第二子支撑件320，第一子支撑件310的三个侧面分别与两个第一内表面1101、紧邻第三电极410的第二内表面1102固定连接，另外一个侧面悬空，第二子支撑件320的三个侧面分别与两个第一内表面1101、紧邻第二电极520的第二内表面1102固定连接，另外一个侧面悬空；

其中，构成第三电极410的第二膜结构、邻近第三电极410的第二内表面1102、两个第一内表面位于第三电极410与邻近第三电极410的第二内表面1102之间的区域以及第一子支撑件310共同形成第一子腔710，构成第二电极520的第一膜结构、邻近第二电极520的第二内表面1102、两个第一内表面位于第二电极520与邻近第二电极520的第二内表面1102之间的区域以及第二子支撑件320共同形成第二子腔720，并且第一支撑件20不封闭第一子腔710以及第二子腔720。

如图6B所示，在本实施例中，麦克风组件还包括与第一膜结构以对应方式电连接的第一电极引出通路91、与第二膜结构以对应方式电连接的第二电极引出通路92；其中，第一电极引出通路91以及第二电极引出通路的其他细节结构与实施例一相同，在此不再赘述。

如图6A所示，在本实施例中，第一支撑件20不封闭第一振动腔810和第二振动腔820。麦克风组件适用于底进音的封装结构。此时，第一子腔710起到泄气的作用，第二子腔720起到了提供第一膜结构的变形空间的作用。

如图6C所示，在本实施例中，第一支撑件20封闭第一振动腔810和第二振动腔820。麦克风组件适用于底进音和前进音的封装结构。一方面，当声波从背腔60进入后作用到第一膜结构后，第一子腔710起到泄气的作用，第二子腔720起到了提供第一膜结构的变形空间的作用，另一方面，声波还可以从第一子腔710、第二子腔720进入，此时，第一子腔710、第二子腔720起到了进音的作用。

本实施例的第一可变电容与第二可变电容不需要共用第一膜结构、或者共用第二膜结构，能够保证第一可变电容与第二可变电容的灵敏度、以及静态电容的一致性，增强差分效果。

本实施例中的其他细节结构与实施例一相同，并且能实现实施例一中所述的技术效果，在此不再赘述。

实施例七

如图7所示，本实施例提供的麦克风组件与实施例一中的麦克风组件的区别在于：麦克风组件包括两个第一膜结构、两个第二膜结构和一个第三支撑件90，两个第二膜结构位于两个第一膜结构之间并且第三支撑件90位于两个第二膜结构之间，以将两个第二膜结构相隔离，两个第二膜结构为静止膜；

两个第一膜结构、两个第二膜结构、第三支撑件90、第一支撑件20以及第二支撑件30共同将腔体至少分隔出一个背腔60和两个彼此隔离的第一振动腔810和第二振动腔820；

其中，两个第一膜结构中的一个第一膜结构构成第一电极510，两个第一膜结构中的另一个第一膜结构构成第二电极520，两个第二膜结构中的一个第二膜结构构成第三电极410，两个第二膜结构中的另一个第二膜结构构成第四电极420，第三电极410位于第一电极510和第三支撑件90之间，第四电极420位于第三支撑件90和第二电极520之间；

第一电极510与第三电极410形成与第一振动腔810对应的第一可变电容，并且第一电极510远离第三电极410的一侧与背腔60相连通，第三电极410远离第一电极510的一侧与背腔60相隔离；

第二电极520与第四电极420形成与第二振动腔820对应的第二可变电容，并且第二电极520远离第四电极420的一侧与背腔60相隔离，第四电极420远离第二电极520的一侧与背腔60相连通，其中，第四电极420上具有镂空区域430，或者第四电极420和第三电极410上均具有镂空区域430，第四电极420上的镂空区域430将背腔60与第二振动腔820连通；

第一可变电容和第二可变电容构成差分电容，以感测进入麦克风组件中的声压。

需要说明的是，第一支撑件封闭第一振动腔810与第二振动腔820，此时该麦克风可以适用于前进音、底进音的封装结构。

还需要说明的是，第一支撑件不封闭第一振动腔810与第二振动腔820，此时该麦克风只适用于底进音的封装结构。

本实施例的第一可变电容与第二可变电容不需要共用第一膜结构、或者共用第二膜结构，能够保证第一可变电容与第二可变电容的灵敏度、以及静态电容的一致性，增强差分效果。

本实施例中的其他细节结构与实施例一相同，并且能实现实施例一中所述的技术效果，在此不再赘述。

实施例八

如图8所示，本实施例提供的麦克风组件与实施例一中的麦克风组件的区别在于：麦克风组件包括两个第一膜结构、两个第二膜结构和一个第三支撑件90，两个第一膜结构和两个第二膜结构交错分布，两个第二膜结构为静止膜；

在基底10的厚度方向上，第三支撑件90的一端分别与第一支撑件20固定连接，并且第三支撑件90的另一端分别与第二支撑件30固定连接，两个第一膜结构、两个第二膜结构、第三支撑件90、第一支撑件20以及第二支撑件30共同将腔体至少分隔出一个背腔60和两个彼此隔离的第一振动腔810和第二振动腔820；

其中，两个第一膜结构中的一个第一膜结构构成第一电极510，两个第一膜结构中的另一个第一膜结构构成第二电极520，两个第二膜结构中的一个第二膜结构构成第三电极410，两个第二膜结构中的另一个第二膜结构构成第四电极420，第三电极410位于第一电极510和第三支撑件90之间，第二电极520位于第三支撑件90和第四电极420之间；

第一电极510与第三电极410形成与第一振动腔810对应的第一可变电容，并且第一电极510远离第三电极410的一侧与背腔60相连通，第三电极410远离第一电极510的一侧与背腔60相隔离；

第二电极520与第四电极420形成与第二振动腔820对应的第二可变电容，并且第二电极520远离第四电极420的一侧与背腔60相隔离，第四电极420远离第二电极520的一侧与背腔60相连通，其中，第四电极420上具有镂空区域430，或者第四电极420和第三电极410上均具有镂空区域430，第四电极420上的镂空区域430将背腔60与第二振动腔820连通；

第一可变电容和第二可变电容构成差分电容，以感测进入麦克风组件中的声压。

需要说明的是，第一支撑件封闭第一振动腔810与第二振动腔820，此时该麦克风可以适用于前进音、底进音的封装结构。

还需要说明的是，第一支撑件不封闭第一振动腔810与第二振动腔820，此时该麦克风只适用于底进音的封装结构。

本实施例的第一可变电容与第二可变电容不需要共用第一膜结构、或者共用第二膜结构，能够保证第一可变电容与第二可变电容的灵敏度、以及静态电容的一致性，增强差分效果。

本申请至少一实施例还提供一种电子设备，该电子设备包括如本申请任一实施例所述的麦克风组件。

在本申请的各个实施例中，如果没有特殊说明以及逻辑冲突，不同的实施例之间的术语或描述具有一致性、且可以相互引用，不同的实施例中的技术特征根据其内在的逻辑关系可以组合形成新的实施例。本申请中，“至少一个”是指一个或者多个，“多个”是指两个或两个以上。

可以理解的是，在本申请的实施例中涉及的各种数字编号仅为描述方便进行的区分，并不用来限制本申请的实施例的范围。上述各过程的序号的大小并不意味着执行顺序的先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定。

以上对本申请实施例所提供的麦克风组件及电子设备进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (19)

1.一种麦克风组件，其特征在于，所述麦克风组件包括基底（10）、与所述基底（10）固定连接的第一支撑件（20）和第二支撑件（30）、以及位于所述第一支撑件（20）和所述第二支撑件（30）之间的至少一个第一膜结构和至少一个第二膜结构，所述基底（10）的中部具有腔体（110），所述第一支撑件（20）部分封闭所述腔体（110）的一侧，所述第二支撑件（30）位于所述腔体（110）内，每个所述第一膜结构为振动膜，每个所述第二膜结构为振动膜或静止膜，每个所述第一膜结构与对应的所述第二膜结构组成至少一个可变电容；

在所述基底（10）的厚度方向上，所述至少一个第一膜结构和所述至少一个第二膜结构的一端分别与所述第一支撑件（20）固定连接，并且所述至少一个第一膜结构和所述至少一个第二膜结构的另一端分别与所述第二支撑件（30）固定连接；所述第一膜结构以及所述第二膜结构均与所述基底（10）的厚度方向平行；

其中，所述麦克风组件还包括与所述至少一个第一膜结构以一一对应方式电连接的至少一个第一电极引出通路（91）、与所述至少一个第二膜结构以一一对应方式电连接的至少一个第二电极引出通路（92）；

其中，每个所述第一电极引出通路（91）通过多个阵列排布的电极引出点（97）与对应的所述第一膜结构电连接；和/或

每个所述第二电极引出通路（92）通过多个阵列排布的电极引出点（97）与对应的所述第二膜结构电连接。

2.根据权利要求1所述的麦克风组件，其特征在于，每个所述第一电极引出通路（91）包括与对应的所述第一膜结构直接电连接的第一多晶体电极通路（93）以及与所述第一多晶体电极通路（93）直接电连接的第一金属电极（94），所述第一金属电极（94）将所述第一多晶体电极通路（93）与外部信号处理电路电连接，并且每个所述第二电极引出通路（92）包括与对应的所述第二膜结构直接电连接的第二多晶体电极通路（95）以及与所述第二多晶体电极通路（95）直接电连接的第二金属电极（96），所述第二金属电极（96）将所述第二多晶体电极通路（95）与所述外部信号处理电路电连接；

其中，所述第一多晶体电极通路（93）、所述第一金属电极（94）、所述第二多晶体电极通路（95）以及所述第二金属电极（96）设置在所述第一支撑件（20）上。

3.根据权利要求2所述的麦克风组件，其特征在于，所述腔体具有与所述至少一个第一膜结构和所述至少一个第二膜结构垂直的两个第一内表面（1101）以及与所述至少一个第一膜结构和所述至少一个第二膜结构平行的两个第二内表面（1102）。

4.根据权利要求3所述的麦克风组件，其特征在于，所述麦克风组件包括一个第一膜结构和一个第二膜结构，所述第一膜结构、所述第二膜结构、所述第一支撑件（20）以及所述第二支撑件（30）共同将所述腔体至少分隔出振动腔（80）和背腔（60），所述第一膜结构构成第一电极（510），所述第二膜结构构成第二电极（520），所述第一电极（510）和所述第二电极（520）形成可变电容，以感测进入所述麦克风组件中的声压。

5.根据权利要求4所述的麦克风组件，其特征在于，所述第二支撑件（30）的两个侧面分别与两个所述第一内表面（1101）固定连接，另外两个侧面悬空，其中，所述第一膜结构、所述第二膜结构、两个所述第一内表面（1101）的部分区域、以及所述第二支撑件（30）共同形成所述振动腔（80），并且所述第一支撑件（20）不封闭所述振动腔（80）。

6.如权利要求4所述的麦克风组件，其特征在于，所述第二膜结构为静止膜，所述第二支撑件（30）的三个侧面分别与两个所述第一内表面（1101）以及与所述第二膜结构紧邻的所述第二内表面（1102）固定连接，另外一个侧面悬空；

其中，所述第一膜结构、所述第二膜结构、两个所述第一内表面（1101）的部分区域、以及所述第二支撑件（30）共同形成所述振动腔（80），所述第二膜结构、所述第二支撑件（30）、两个所述第一内表面（1101）的另一部分区域、以及与所述第二膜结构紧邻的所述第二内表面（1102）共同形成辅助腔（70），所述辅助腔（70）与所述振动腔（80）通过所述第二膜结构上的镂空区域（430）相连通，并且所述第一支撑件（20）不封闭所述辅助腔（70）、封闭所述振动腔（80），或者所述第一支撑件（20）不封闭所述辅助腔（70）和所述振动腔（80）。

7.如权利要求4所述的麦克风组件，其特征在于，所述第二膜结构为静止膜，所述第二支撑件（30）的三个侧面分别与两个所述第一内表面（1101）以及与所述第一膜结构紧邻的所述第二内表面（1102）固定连接，另外一个侧面悬空；

其中，所述第一膜结构、所述第二膜结构、两个所述第一内表面（1101）的部分区域、以及所述第二支撑件（30）共同形成所述振动腔（80），所述第一膜结构、所述第二支撑件（30）、两个所述第一内表面（1101）的另一部分区域、以及与所述第一膜结构紧邻的所述第二内表面（1102）共同形成辅助腔（70），所述背腔（60）与所述振动腔（80）通过所述第二膜结构上的镂空区域（430）相连通，并且所述第一支撑件（20）不封闭所述辅助腔（70）、封闭所述振动腔（80），或者所述第一支撑件（20）不封闭所述辅助腔（70）和所述振动腔（80）。

8.根据权利要求3所述的麦克风组件，其特征在于，所述麦克风组件包括两个第一膜结构和一个第二膜结构，所述第二膜结构具有镂空区域（430）并且位于所述两个第一膜结构之间，所述第二膜结构为静止膜；

所述两个第一膜结构、所述第一支撑件（20）以及所述第二支撑件（30）共同将所述腔体至少分隔出振动腔（80）和背腔（60）；

所述两个第一膜结构中的一个第一膜结构构成第一电极（510），所述第二膜结构构成第二电极（520），所述两个第一膜结构中的另一个第一膜结构构成第三电极（410），所述第一电极（510）远离所述第二膜结构的一侧与所述背腔（60）相连通并与所述第二电极（520）形成第一可变电容，所述第三电极（410）远离所述第二膜结构的一侧与所述背腔（60）相隔离并与所述第二电极（520）形成第二可变电容，所述第一可变电容和所述第二可变电容构成差分电容，以感测进入所述麦克风组件中的声压。

9.根据权利要求8所述的麦克风组件，其特征在于，所述第二支撑件（30）的三个侧面分别与两个所述第一内表面（1101）、紧邻所述第三电极（410）的所述第二内表面（1102）固定连接，另外一个侧面悬空；

其中，构成所述第三电极（410）的所述第一膜结构、两个所述第一内表面（1101）的部分区域、紧邻所述第三电极（410）的所述第二内表面（1102）的部分区域以及所述第二支撑件（30）的部分区域共同形成辅助腔（70），所述两个第一膜结构、两个所述第一内表面（1101）的另一部分区域、以及所述第二支撑件（30）的另一部分区域共同形成所述振动腔（80），并且所述第一支撑件（20）不封闭所述辅助腔（70）、封闭所述振动腔（80）。

10.根据权利要求3所述的麦克风组件，其特征在于，所述麦克风组件包括两个第一膜结构和一个第二膜结构，所述第二膜结构位于所述两个第一膜结构之间，所述第二膜结构为静止膜；

所述两个第一膜结构、所述第一支撑件（20）以及所述第二支撑件（30）共同将所述腔体至少分隔出振动腔（80）和背腔（60）；

所述两个第一膜结构中的一个第一膜结构构成第一电极（510），所述第二膜结构构成第二电极（520），所述两个第一膜结构中的另一个第一膜结构构成第三电极（410），所述第一电极（510）远离所述第二膜结构的一侧与所述背腔（60）相连通并与所述第二电极（520）形成第一可变电容，所述第三电极（410）远离所述第二膜结构的一侧与所述背腔（60）相连通并与所述第二电极（520）形成第二可变电容，以感测进入所述麦克风组件中的声压。

11.根据权利要求10所述的麦克风组件，其特征在于，所述第二支撑件（30）的两个侧面分别与两个所述第一内表面（1101）固定连接，另外两个侧面悬空，其中，所述两个第一膜结构、两个所述第一内表面（1101）的部分区域、以及所述第二支撑件（30）共同形成所述振动腔（80），并且所述第一支撑件（20）不封闭所述振动腔（80）。

12.根据权利要求8-11中任一项所述的麦克风组件，其特征在于，所述振动腔（80）包括分别位于所述第二膜结构两侧的第一振动腔（810）以及第二振动腔（820），所述第一振动腔（810）与所述第二振动腔（820）通过所述第二膜结构上的镂空区域（430）相连通。

13.根据权利要求3所述的麦克风组件，其特征在于，所述麦克风组件包括两个第一膜结构和两个第二膜结构，所述两个第一膜结构和所述两个第二膜结构交错分布，所述两个第二膜结构为静止膜；

所述两个第一膜结构、所述两个第二膜结构、所述第一支撑件（20）以及所述第二支撑件（30）共同将所述腔体至少分隔出一个背腔（60）和两个彼此隔离的第一振动腔（810）和第二振动腔（820）；

其中，所述两个第一膜结构中的一个第一膜结构构成第一电极（510），所述两个第一膜结构中的另一个第一膜结构构成第二电极（520），所述两个第二膜结构中的一个第二膜结构构成第三电极（410），所述两个第二膜结构中的另一个第二膜结构构成第四电极（420），所述第一电极（510）位于所述第三电极（410）和所述第四电极（420）之间，所述第四电极（420）位于所述第一电极（510）和所述第二电极（520）之间；

所述第一电极（510）与所述第三电极（410）形成与所述第一振动腔（810）对应的第一可变电容，并且所述第一电极（510）远离所述第三电极（410）的一侧与所述背腔（60）相连通，所述第三电极（410）远离所述第一电极（510）的一侧与所述背腔（60）相隔离；

所述第二电极（520）与所述第四电极（420）形成与所述第二振动腔（820）对应的第二可变电容，并且所述第二电极（520）远离所述第四电极（420）的一侧与所述背腔（60）相隔离，所述第四电极（420）远离所述第二电极（520）的一侧与所述背腔（60）相连通，其中，所述第四电极（420）上具有镂空区域（430），或者所述第四电极（420）和所述第三电极（410）上均具有镂空区域（430），所述第四电极（420）上的镂空区域（430）将所述背腔（60）与所述第二振动腔（820）连通；

所述第一可变电容和所述第二可变电容构成差分电容，以感测进入所述麦克风组件中的声压。

14.根据权利要求13所述的麦克风组件，其特征在于，所述第二支撑件（30）包括第一子支撑件（310）以及与所述第一子支撑件（310）间隔设置的第二子支撑件（320），所述第一子支撑件（310）的三个侧面分别与两个所述第一内表面（1101）、紧邻所述第三电极（410）的所述第二内表面（1102）固定连接，另外一个侧面悬空，所述第二子支撑件（320）的三个侧面分别与两个所述第一内表面（1101）、紧邻所述第二电极（520）的所述第二内表面（1102）固定连接，另外一个侧面悬空；

其中，构成所述第三电极（410）的所述第二膜结构、邻近所述第三电极（410）的所述第二内表面（1102）、两个所述第一内表面位于所述第三电极（410）与邻近所述第三电极（410）的所述第二内表面（1102）之间的区域以及所述第一子支撑件（310）共同形成第一子腔（710），构成所述第二电极（520）的所述第一膜结构、邻近所述第二电极（520）的所述第二内表面（1102）、两个所述第一内表面位于所述第二电极（520）与邻近所述第二电极（520）的所述第二内表面（1102）之间的区域以及所述第二子支撑件（320）共同形成第二子腔（720），并且所述第一支撑件（20）不封闭所述第一子腔（710）以及所述第二子腔（720）。

15.根据权利要求13或14所述的麦克风组件，其特征在于，所述第一支撑件（20）不封闭所述第一振动腔（810）和所述第二振动腔（820）。

16.根据权利要求13或14所述的麦克风组件，其特征在于，所述第一支撑件（20）封闭所述第一振动腔（810）和所述第二振动腔（820）。

17.根据权利要求3所述的麦克风组件，其特征在于，所述麦克风组件包括两个第一膜结构、两个第二膜结构和一个第三支撑件（90），所述两个第二膜结构位于所述两个第一膜结构之间并且所述第三支撑件（90）位于所述两个第二膜结构之间，以将所述两个第二膜结构相隔离，所述两个第二膜结构为静止膜；

在所述基底（10）的厚度方向上，所述第三支撑件（90）的一端分别与所述第一支撑件（20）固定连接，并且所述第三支撑件（90）的另一端分别与所述第二支撑件（30）固定连接，所述两个第一膜结构、所述两个第二膜结构、所述第三支撑件（90）、所述第一支撑件（20）以及所述第二支撑件（30）共同将所述腔体至少分隔出一个背腔（60）和两个彼此隔离的第一振动腔（810）和第二振动腔（820）；

其中，所述两个第一膜结构中的一个第一膜结构构成第一电极（510），所述两个第一膜结构中的另一个第一膜结构构成第二电极（520），所述两个第二膜结构中的一个第二膜结构构成第三电极（410），所述两个第二膜结构中的另一个第二膜结构构成第四电极（420），所述第三电极（410）位于所述第一电极（510）和所述第三支撑件（90）之间，所述第四电极（420）位于所述第三支撑件（90）和所述第二电极（520）之间；

所述第一电极（510）与所述第三电极（410）形成与所述第一振动腔（810）对应的第一可变电容，并且所述第一电极（510）远离所述第三电极（410）的一侧与所述背腔（60）相连通，所述第三电极（410）远离所述第一电极（510）的一侧与所述背腔（60）相隔离；

所述第二电极（520）与所述第四电极（420）形成与所述第二振动腔（820）对应的第二可变电容，并且所述第二电极（520）远离所述第四电极（420）的一侧与所述背腔（60）相隔离，所述第四电极（420）远离所述第二电极（520）的一侧与所述背腔（60）相连通，其中，所述第四电极（420）上具有镂空区域（430），或者所述第四电极（420）和所述第三电极（410）上均具有镂空区域（430），所述第四电极（420）上的镂空区域（430）将所述背腔（60）与所述第二振动腔（820）连通；

所述第一可变电容和所述第二可变电容构成差分电容，以感测进入所述麦克风组件中的声压。

18.根据权利要求3所述的麦克风组件，其特征在于，所述麦克风组件包括两个第一膜结构、两个第二膜结构和一个第三支撑件（90），所述两个第一膜结构和所述两个第二膜结构交错分布，所述两个第二膜结构为静止膜；

在所述基底（10）的厚度方向上，所述第三支撑件（90）的一端与所述第一支撑件（20）固定连接，并且所述第三支撑件（90）的另一端与所述第二支撑件（30）固定连接，所述两个第一膜结构、所述两个第二膜结构、所述第三支撑件（90）、所述第一支撑件（20）以及所述第二支撑件（30）共同将所述腔体至少分隔出一个背腔（60）和两个彼此隔离的第一振动腔（810）和第二振动腔（820）；

其中，所述两个第一膜结构中的一个第一膜结构构成第一电极（510），所述两个第一膜结构中的另一个第一膜结构构成第二电极（520），所述两个第二膜结构中的一个第二膜结构构成第三电极（410），所述两个第二膜结构中的另一个第二膜结构构成第四电极（420），所述第三电极（410）位于所述第一电极（510）和所述第三支撑件（90）之间，所述第二电极（520）位于所述第三支撑件（90）和所述第四电极（420）之间；

所述第一电极（510）与所述第三电极（410）形成与所述第一振动腔（810）对应的第一可变电容，并且所述第一电极（510）远离所述第三电极（410）的一侧与所述背腔（60）相连通，所述第三电极（410）远离所述第一电极（510）的一侧与所述背腔（60）相隔离；

所述第二电极（520）与所述第四电极（420）形成与所述第二振动腔（820）对应的第二可变电容，并且所述第二电极（520）远离所述第四电极（420）的一侧与所述背腔（60）相隔离，所述第四电极（420）远离所述第二电极（520）的一侧与所述背腔（60）相连通，其中，所述第四电极（420）上具有镂空区域（430），或者所述第四电极（420）和所述第三电极（410）上均具有镂空区域（430），所述第四电极（420）上的镂空区域（430）将所述背腔（60）与所述第二振动腔（820）连通；

所述第一可变电容和所述第二可变电容构成差分电容，以感测进入所述麦克风组件中的声压。

19.一种电子设备，其特征在于，包括上述权利要求1-18中任一项所述的麦克风组件。

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