CN115323327B - 一种蒸镀机台复机方法 - Google Patents
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Classifications
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Abstract
本发明公开一种蒸镀机台复机方法，将蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台，并对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果；若所述验证结果为正常，则执行量产操作，通过覆盖铬及铝铜合金能够将蒸镀机台的衬板可能存在的含水腐蚀物或脏污物隔离在铬及铝铜合金下面，避免蒸镀时与这些污染物反应，从而有效避免维护保养后出现金属铝分离现象，提高了产品质量。
Description
技术领域
本发明涉及半导体电子技术领域，尤其涉及一种蒸镀机台复机方法。
背景技术
LED(Light Emitting Diode，发光二极管)，是一种固态的半导体器件，当对其施加正向电流时，电流注入，电子与空穴复合，其一部分能量变换为光并发射出去。而所施加的电流，在LED芯片端是通过蒸镀一层导电电极薄膜进行电流的传输。导电电极薄膜的制备目前采用较广的是电子束蒸镀，并配置相应的蒸镀机台。Metal(金属)薄膜生长时需要在真空腔体中进行，随着腔内金属厚度的增加，一般在200Run(运行)前要进行机台PM(预防性维护)，即开腔更换衬板及清洁保养，防止腔体衬板上的金属脱落。保养时更换的新衬板通过烘烤后进行作业，相比保养前稳定生产时所蒸镀的电极，由于电极材料包含金属铝，保养后前30Run的部分产品易产生金属铝分离现象，而这较长量产时间的氛围恢复，容易影响产品质量。因此，设计一种可避免维护保养后产品性能不利影响的复机方法是很有必要的。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：提供一种蒸镀机台复机方法，能够有效避免维护保养后出现金属铝分离现象。
为了解决上述技术问题，本发明采用的一种技术方案为：
一种蒸镀机台复机方法，包括步骤：
将蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台，并对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果；
若所述验证结果为正常，则执行量产操作。
本发明的有益效果在于：将蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台，并对覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果，若验证结果为正常，则执行量产操作，通过覆盖铬及铝铜合金能够将蒸镀机台的衬板可能存在的含水腐蚀物或脏污物隔离在铬及铝铜合金下面，避免蒸镀时与这些污染物反应，从而有效避免维护保养后出现金属铝分离现象，提高了产品质量。
附图说明
图1为本发明实施例的一种蒸镀机台复机方法的步骤流程图；
图2为现有技术中蒸镀机台复机方法的流程图；
图3为本发明实施例蒸镀机台复机方法中的复机量产流程图。
具体实施方式
为详细说明本发明的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
请参照图1，本发明实施例提供了一种蒸镀机台复机方法，包括步骤：
将蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台，并对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果；
若所述验证结果为正常，则执行量产操作。
从上述描述可知，本发明的有益效果在于：将蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台，并对覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果，若验证结果为正常，则执行量产操作，通过覆盖铬及铝铜合金能够将蒸镀机台的衬板可能存在的含水腐蚀物或脏污物隔离在铬及铝铜合金下面，避免蒸镀时与这些污染物反应，从而有效避免维护保养后出现金属铝分离现象，提高了产品质量。
进一步地，所述将蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台之前包括步骤：
将所述蒸镀机台抽真空至第二预设真空度后，按照150℃～250℃的烘烤温度以及1H～3H的烘烤时间对所述蒸镀机台的腔体进行烘烤，得到烘烤后的蒸镀机台；
所述将蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台包括：
将所述烘烤后的蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述烘烤后的蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台。
由上述描述可知，将蒸镀机台抽真空至第二预设真空度后，按照150℃～250℃的烘烤温度以及1H～3H的烘烤时间对蒸镀机台的腔体进行烘烤，能够充分烘干蒸镀机台的腔体及衬板水气，有效干燥又避免了烘烤温度过高使机台冷凝泵停机的现象。
进一步地，将所述第二预设真空度设置为1.0E-5Torr～5.0E-5Torr。
由上述描述可知，以便于后续蒸镀机台的烘烤效果。
进一步地，所述将所述烘烤后的蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述烘烤后的蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台包括：
将所述烘烤后的蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述烘烤后的蒸镀机台使用铬按照的厚度以及/>的镀率进行覆盖，得到覆盖铬后的蒸镀机台；
对所述覆盖铬后的蒸镀机台使用铝铜合金按照的厚度以及5的镀率进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台。
由上述描述可知，通过对烘烤后的蒸镀机台使用铬按照的厚度以及的镀率进行覆盖，能够利用Cr金属的高粘附性，粘附在蒸镀机台的新衬板的表面，厚度范围/>能够更有效地防止底层镀层脱落，通过对覆盖铬后的蒸镀机台使用铝铜合金按照/>的厚度以及/> 的镀率进行覆盖，能够利用厚AlCu将衬板表面完全覆盖，以此对衬板可能存在的含水腐蚀物或脏污物隔离在厚Cr及AlCu下面，避免污染物反应，也避免水汽中的所产生氢原子造成金属铝氢脆效应。
进一步地，所述对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果包括：
将所述覆盖后的蒸镀机台抽真空至第三预设真空度后，对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果。
由上述描述可知，将覆盖后的蒸镀机台抽真空至第三预设真空度后，对覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，保证质量验证的有效性。
进一步地，将所述第三预设真空度设置为3.0E-6Torr。
由上述描述可知，将第三预设真空度设置为3.0E-6Torr，能够避免质量验证受到外界因素的影响，而导致最终结果的不可靠性。
进一步地，所述对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果包括：
使用所述覆盖后的蒸镀机台对测试产品进行蒸镀，得到蒸镀后的测试产品；
按照预设验证标准判断所述蒸镀后的测试产品是否符合要求，若是，则确定所述验证结果为正常，若否，则确定所述验证结果为异常。
由上述描述可知，使用覆盖后的蒸镀机台对测试产品进行蒸镀，得到蒸镀后的测试产品，按照预设验证标准判断蒸镀后的测试产品是否符合要求，以此完成蒸镀机台的可靠QC(Quality Control，质量控制)。
进一步地，所述若所述验证结果为正常，则执行量产操作包括：
当所述验证结果为正常，对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照40％～42％的预熔功率以及20s～40s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台；
将所述预熔后的蒸镀机台按照的镀率上升幅度以及40s的镀率上升时间起镀，直至所述铝铜合金的镀率稳定在/>
由上述描述可知，通过调整预熔功率和时间以及镀率上升幅度和时间使部分杂质通过预熔提前蒸发覆盖到挡板上，而不是开启挡板后蒸发覆盖到片源上，同时使膜层镀率上升更稳定，提高致密性及退火后膜层的结合力，从而有效避免维护保养后出现金属铝分离现象，提高了产品质量。
进一步地，所述对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照40％～42％的预熔功率以及20s～40s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台包括：
将所述蒸镀机台抽真空至1.0E-6Torr后，对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照40％～42％的预熔功率以及20s～40s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台。
由上述描述可知，将蒸镀机台抽真空至1.0E-6Torr后，对蒸镀机台中的铝铜合金按照40％～42％的预熔功率以及20s～40s的预熔时间进行预熔，能将腔体内的杂质抽离出去，使得预熔效果更稳定。
进一步地，所述对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照40％～42％的预熔功率以及20s～40s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台包括：
关闭所述蒸镀机台的挡板，并对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照40％～42％的预熔功率以及20s～40s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台；
所述将所述预熔后的蒸镀机台按照的镀率上升幅度以及40s的镀率上升时间起镀，直至所述铝铜合金的镀率稳定在/>包括：
打开所述挡板，并将所述预熔后的蒸镀机台按照的镀率上升幅度以及40s的镀率上升时间起镀，直至所述铝铜合金的镀率稳定在/>
由上述描述可知，关闭蒸镀机台的挡板，并对蒸镀机台中的铝铜合金按照40％～42％的预熔功率以及20s～40s的预熔时间进行预熔，能够使部分杂质通过预熔提前蒸发覆盖到挡板上，然后打开挡板，并将预熔后的蒸镀机台按照 的镀率上升幅度以及40s的镀率上升时间起镀，从而实现产品的有效蒸镀。
本发明上述的一种蒸镀机台复机方法及终端能够适用于蒸镀机台，以下通过具体实施方式进行说明：
实施例一
请参照图1-图3，现有的复机流程为：Metal蒸镀机台PM后，装好衬板并启动机台，当真空度达到5.0E-5Torr时，运行预热烘烤程序，按照150℃烘烤2小时，当真空度达到3.0E-6Torr时，进行质量验证，即QC(Quality Control，质量控制)，QC正常后运行量产程序，即抽真空至1.0E-6Torr后进行AlCu(铝铜合金)预熔，预熔功率设置为40％(总功率10KW)，预熔时间为20s，然后按照(/>为光波长度和分子直径的常用计量单位)的镀率上升幅度和10s镀率上升时间起镀，直至铝铜合金的镀率稳定在/>如图2所示；由于可能存在水气影响且现有方法的膜层致密性及结合力差异，导致产品易产生金属铝分离的现象；
如图1所示，本实施例的一种蒸镀机台复机方法，包括步骤：
S1、将所述蒸镀机台抽真空至第二预设真空度后，按照150℃～250℃的烘烤温度以及1H～3H的烘烤时间对所述蒸镀机台的腔体进行烘烤，得到烘烤后的蒸镀机台；
其中，将所述第二预设真空度设置为1.0E-5Torr～5.0E-5Torr；
本实施例中，如图3所示，将所述蒸镀机台抽真空至5.0E-5Torr后，按照200℃的烘烤温度以及2H的烘烤时间对所述蒸镀机台的腔体进行烘烤，得到烘烤后的蒸镀机台；相较于现有的复机流程，烘烤温度提高了33％，能够充分烘干腔体及衬板水气，既实现了有效干燥，又避免烘烤温度过高导致机台冷凝泵停机；
在另一种可选的实施方式中，将所述蒸镀机台抽真空至1.0E-5Torr后，按照150℃的烘烤温度以及3H的烘烤时间对所述蒸镀机台的腔体进行烘烤，得到烘烤后的蒸镀机台；
在另一种可选的实施方式中，将所述蒸镀机台抽真空至3.0E-5Torr后，按照250℃的烘烤温度以及1H的烘烤时间对所述蒸镀机台的腔体进行烘烤，得到烘烤后的蒸镀机台；
S2、将蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台，并对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果，具体包括：
S21、将所述烘烤后的蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述烘烤后的蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台，具体包括：
S211、将所述烘烤后的蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述烘烤后的蒸镀机台使用铬按照的厚度以及/>的镀率进行覆盖，得到覆盖铬后的蒸镀机台；
其中，将所述第一预设真空度设置为3.0E-6Torr；
本实施例中，如图3所示，将所述烘烤后的蒸镀机台抽真空至3.0E-6Torr后，对所述烘烤后的蒸镀机台使用铬(Cr)按照的厚度以及/>的镀率进行覆盖，得到覆盖铬后的蒸镀机台；能够利用Cr金属的高粘附性，粘附在新衬板的表面，厚度为/>可更有效地防止底层镀层脱落；
在另一种可选的实施方式中，将所述烘烤后的蒸镀机台抽真空至3.0E-6Torr后，对所述烘烤后的蒸镀机台使用铬按照的厚度以及/>的镀率进行覆盖，得到覆盖铬后的蒸镀机台；
在另一种可选的实施方式中，将所述烘烤后的蒸镀机台抽真空至3.0E-6Torr后，对所述烘烤后的蒸镀机台使用铬按照的厚度以及/>的镀率进行覆盖，得到覆盖铬后的蒸镀机台；
S212、对所述覆盖铬后的蒸镀机台使用铝铜合金按照的厚度以及/>的镀率进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台；
本实施例中，如图3所示，对所述覆盖铬后的蒸镀机台使用铝铜合金(AlCu)按照的厚度以及/>的镀率进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台；可利用厚AlCu将衬板表面完全覆盖，增加Cr及AlCu的腔体覆盖，将衬板可能存在的含水腐蚀物或脏污隔离在厚Cr及AlCu下面，避免污染物反应，也避免水气中的所产生氢原子造成金属铝氢脆效应；
在另一种可选的实施方式中，对所述覆盖铬后的蒸镀机台使用铝铜合金按照的厚度以及/>的镀率进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台；
在另一种可选的实施方式中，对所述覆盖铬后的蒸镀机台使用铝铜合金按照的厚度以及/>的镀率进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台；
S22、对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果，具体包括：
S221、将所述覆盖后的蒸镀机台抽真空至第三预设真空度后，使用所述覆盖后的蒸镀机台对测试产品进行蒸镀，得到蒸镀后的测试产品；
其中，将所述第三预设真空度设置为3.0E-6Torr；
S222、按照预设验证标准判断所述蒸镀后的测试产品是否符合要求，若是，则确定所述验证结果为正常，若否，则确定所述验证结果为异常；
S3、若所述验证结果为正常，则执行量产操作，具体包括：
S31、当所述验证结果为正常，对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照40％～42％的预熔功率以及20s～40s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台；
具体的，将所述蒸镀机台抽真空至1.0E-6Torr后，关闭所述蒸镀机台的挡板，并对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照40％～42％的预熔功率以及20s～40s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台；
本实施例中，如图3所示，将所述蒸镀机台抽真空至1.0E-6Torr后，关闭所述蒸镀机台的挡板，并对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照42％的预熔功率(总功率10KW)以及40s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台；与现有的复机流程相比，改变了预熔功率和预熔时间，使得AlCu能更充分地进行预熔，并使部分杂质通过预熔提前蒸发覆盖到挡板上，而不是开启挡板后蒸发覆盖片源上；
在另一种可选的实施方式中，将所述蒸镀机台抽真空至1.0E-6Torr后，关闭所述蒸镀机台的挡板，并对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照41％的预熔功率以及30s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台；
在另一种可选的实施方式中，将所述蒸镀机台抽真空至1.0E-6Torr后，关闭所述蒸镀机台的挡板，并对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照40％的预熔功率以及20s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台；
S32、将所述预熔后的蒸镀机台按照的镀率上升幅度以及40s的镀率上升时间起镀，直至所述铝铜合金的镀率稳定在/>
具体的，如图3所示，打开所述挡板，并将所述预熔后的蒸镀机台按照 的镀率上升幅度以及40s的镀率上升时间起镀，直至所述铝铜合金的镀率稳定在/>产品蒸镀后形成的金属铝膜层实际为AlCu，铝占比98％；与现有复机流程相比，改进了镀率上升幅度和镀率上升时间，使得运行时镀率升幅由/>变为/>上升更平稳，最后使AlCu稳定在/>经长期实验验证AlCu在保持/>的上升镀率并达到的量产镀率时其稳定性最高，可提高致密性及退火后膜层的结合力，共同避免复机后的整个量产出现金属铝分离现象，提高产品质量。
综上所述，本发明提供的一种蒸镀机台复机方法，将蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台，并对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果；若所述验证结果为正常，则执行量产操作；在量产时，当所述验证结果为正常，对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照40％～42％的预熔功率以及20s～40s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台；将所述预熔后的蒸镀机台按照的镀率上升幅度以及40s的镀率上升时间起镀，直至所述铝铜合金的镀率稳定在/>通过覆盖铬及铝铜合金能够将蒸镀机台的衬板可能存在的含水腐蚀物或脏污物隔离在铬及铝铜合金下面，避免蒸镀时与这些污染物反应，且通过调整预熔功率和时间以及镀率上升幅度和时间使部分杂质通过预熔提前蒸发覆盖到挡板上，而不是开启挡板后蒸发覆盖到片源上，同时使膜层镀率上升更稳定，提高致密性及退火后膜层的结合力，从而有效避免维护保养后出现金属铝分离现象，提高了产品质量。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (4)
1.一种蒸镀机台复机方法，其特征在于，包括步骤：
蒸镀机台开腔PM后，装好衬板并启动机台；
将蒸镀机台抽真空至第二预设真空度后，按照150℃～250℃的烘烤温度以及1H～3H的烘烤时间对所述蒸镀机台的腔体进行烘烤，得到烘烤后的蒸镀机台；
将所述烘烤后的蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述烘烤后的蒸镀机台使用铬按照的厚度以及/>的镀率进行覆盖，得到覆盖铬后的蒸镀机台；
对所述覆盖铬后的蒸镀机台使用铝铜合金按照的厚度以及的镀率进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台，并将所述覆盖后的蒸镀机台抽真空至第三预设真空度后，对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果；
当所述验证结果为正常，将所述蒸镀机台抽真空至1.0E-6Torr后，关闭所述蒸镀机台的挡板，并对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照40％～42％的预熔功率以及20s～40s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台；
打开所述挡板，并将所述预熔后的蒸镀机台按照的镀率上升幅度以及40s的镀率上升时间起镀，直至所述铝铜合金的镀率稳定在/>
2.根据权利要求1所述的一种蒸镀机台复机方法，其特征在于，将所述第二预设真空度设置为1.0E-5Torr～5.0E-5Torr。
3.根据权利要求1所述的一种蒸镀机台复机方法，其特征在于，将所述第三预设真空度设置为3.0E-6Torr。
4.根据权利要求1所述的一种蒸镀机台复机方法，其特征在于，所述对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果包括：
使用所述覆盖后的蒸镀机台对测试产品进行蒸镀，得到蒸镀后的测试产品；
按照预设验证标准判断所述蒸镀后的测试产品是否符合要求，若是，则确定所述验证结果为正常，若否，则确定所述验证结果为异常。
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