CN115318590A - 一种紫外线固化胶的固化方法及紫外线照射装置 - Google Patents
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- B05D3/067—Curing or cross-linking the coating
Abstract
本发明公开一种紫外线固化胶的固化方法及紫外线照射装置,所述紫外线固化胶的固化方法包括以下步骤:提供紫外线照射装置和模板,所述紫外线照射装置可射出不同波长的紫外线;在所述模板上涂覆有紫外线固化胶;通过所述紫外线照射装置以不同波长的紫外线分别对所述模板上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化。本发明旨在解决现有高精细结构制造工艺中容易出现结构断裂的问题。
Description
技术领域
本发明涉及紫外线固化技术领域,具体涉及一种紫外线固化胶的固化方法及紫外线照射装置。
背景技术
紫外光固化技术可用于生产大面积的高精细结构,其原理是利用液态的紫外线固化胶填充设计有特定结构的透明模板,胶材在紫外光波的照射下会由液态转变为固态,制造出与模板相互补的高精细结构,随后将模板与固化后的胶材分离,得到高精细结构。不同的光波波长会对胶材的固化产生不同的影响。现有的紫外固化技术只能照射一种波长的UV光,因此在固化胶材的时候不能根据模板结构设计对不同的区域采用不同的波长曝光。在实际生产中,常常会遇到一次性制作多种不同结构的需求,例如一个模板上有高深宽比结构,倾斜结构,倒梯形结构等。完全固化的倾斜结构比较坚硬,在与模板分离的过程中容易出现结构断裂影响产品良率。
发明内容
本发明的主要目的是提出一种紫外线固化胶的固化方法及紫外线照射装置,旨在解决现有高精细结构制造工艺中容易出现结构断裂的问题。
为实现上述目的,本发明提出一种紫外线固化胶的固化方法,包括以下步骤:
提供紫外线照射装置和模板,所述紫外线照射装置可射出不同波长的紫外线;
在所述模板上涂覆有紫外线固化胶;
通过所述紫外线照射装置以不同波长的紫外线分别对所述模板上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化。
可选地,通过所述紫外线照射装置以不同波长的紫外线分别对所述模板上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤之后,包括:
在所述模板上移出已进行一次固化后的紫外线固化胶;
通过所述紫外线照射装置对其中一区域采用与前一次不同波长的紫外线进行再次曝光固化。
可选地,所述紫外线照射装置包括紫外线出射装置和光路调整元件,所述紫外线出射装置用以出射不同波长的紫外线,所述光路调整元件用以调节自所述紫外线出射装置射出的不同波长的紫外线的光路;
通过所述紫外线照射装置以不同波长的紫外线分别对所述模板上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤,包括:
所述紫外线出射装置发出不同波长的紫外线,通过所述光路调整元件将不同波长的紫外线分别传导至所述模板上至少两个区域,以对所述模板上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化。
可选地,所述光路调整元件包括反射镜,所述反射镜相对所述模板的倾斜角度可调;
所述紫外线出射装置发出不同波长的紫外线,通过所述光路调整元件将不同波长的紫外线分别传导至所述模板上至少两个区域,以对所述模板上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤,包括:
将所述反射镜置于所述紫外线出射装置出射的不同波长的紫外线的光路上,并将不同波长的紫外线反射至紫外线固化胶上;
调节所述反射镜相对于所述模板的倾斜角度。
可选地,所述光路调整元件包括反射镜,所述反射镜相对所述紫外线出射装置的距离可调;
所述紫外线出射装置发出不同波长的紫外线,通过所述光路调整元件将不同波长的紫外线分别传导至所述模板上至少两个区域,以对所述模板上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤,包括:
将所述反射镜置于所述紫外线出射装置出射的不同波长的紫外线的光路上,并将不同波长的紫外线反射至紫外线固化胶上;
调节所述反射镜与所述紫外线出射装置之间的距离。
可选地,所述光路调整元件包括多个分光镜,多个所述分光镜排列设置、且相邻的两个所述分光镜之间的距离可调;
所述紫外线出射装置发出不同波长的紫外线,通过所述光路调整元件将不同波长的紫外线分别传导至所述模板上至少两个区域,以对所述模板上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤,包括:
将多个所述分光镜沿自所述紫外线出射装置射出的不同波长的紫外线的光路上依次排列,并将不同波长的紫外线反射至紫外线固化胶上;
调节相邻的两个所述分光镜之间的距离。
可选地,所述光路调整元件包括液晶准直透镜,所述液晶准直透镜内的液晶偏转方向可调;
所述紫外线出射装置发出不同波长的紫外线,通过所述光路调整元件将不同波长的紫外线分别传导至所述模板上至少两个区域,以对所述模板上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤,包括:
将所述紫外线出射装置正对紫外线固化胶,并将所述液晶准直透镜置于所述紫外线出射装置与紫外线固化胶之间;
调节液晶准直透镜内的液晶偏转方向,对部分射向紫外线固化胶的紫外线进行屏蔽。
可选地,所述紫外线照射装置射出的紫外线包括365nm波长紫外线、395nm波长紫外线。
本发明还提出一种紫外线照射装置,所述紫外线照射装置包括紫外线出射装置和光路调整元件,所述紫外线出射装置用以出射不同波长的紫外线,所述光路调整元件用以调节自所述紫外线出射装置射出的不同波长的紫外线的光路。
可选地,所述光路调整元件包括反射镜、多个分光镜和液晶准直透镜中的至少一种。
本发明的技术方案中,通过所述紫外线照射装置射出不同波长的紫外线从而对紫外线固化胶不同的区域进行不同类型的固化,以可根据紫外线固化胶不同区域的结构特征进行对应的曝光固化,如在所述模板与紫外线固化胶成型后的模型之间在相互分离时会存在干涉的区域选用一类型的紫外线对此区域部分的紫外线固化胶进行表层固化或深层固化,以使此部分结构在固化后的硬度适中,比较柔软,从而可以实现与所述模板的无损分离;而在所述模板与紫外线固化胶成型后的模型之间在相互分离时不会存在干涉的区域选用另一类型的紫外线对此区域部分的紫外线固化胶进行完全固化,即对此区域的紫外线固化胶同时进行表层固化和深层固化,以提高此部分的结构强度。本发明可根据紫外线固化胶在成型时不同的结构特征选取不同区域、且采用不同波长的紫外线对选取区域进行不同程度的曝光固化,以解决在现有技术中因采用同种波长对紫外线固化胶整体进行曝光固化而导致分离模型与模具时易出现结构断裂的问题,提高了产品的生产良率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1为本发明提供的紫外线固化胶的固化方法的一实施例的流程示意图;
图2为本发明提供的紫外线固化胶的固化方法的一实施例的另一流程示意图;
图3为本发明提供的紫外线固化胶的固化方法的一实施例的工作示意图;
图4为本发明提供的紫外线固化胶的固化方法的另一实施例的工作示意图;
图5为本发明提供的紫外线固化胶的固化方法的又一实施例的工作示意图;
图6为本发明提供的紫外线固化胶的固化方法的又一实施例的工作示意图。
附图标记说明:
标号 | 名称 | 标号 | 名称 |
1 | 紫外线照射装置 | 122 | 分光镜 |
11 | 紫外线出射装置 | 123 | 液晶准直透镜 |
12 | 光路调整元件 | 2 | 模板 |
121 | 反射镜 |
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
需要说明,若本发明实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……),则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。
另外,若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述,则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外,全文中出现的“和/或”的含义,包括三个并列的方案,以“A和/或B”为例,包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。另外,各个实施例之间的技术方案可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本发明要求的保护范围之内。
紫外光固化技术可用于生产大面积的高精细结构,其原理是利用液态的紫外线固化胶填充设计有特定结构的透明模板,胶材在紫外光波的照射下会由液态转变为固态,制造出与模板相互补的高精细结构,随后将模板与固化后的胶材分离,得到高精细结构。不同的光波波长会对胶材的固化产生不同的影响。现有的紫外固化技术只能照射一种波长的UV光,因此在固化胶材的时候不能根据模板结构设计对不同的区域采用不同的波长曝光。在实际生产中,常常会遇到一次性制作多种不同结构的需求,例如一个模板上有高深宽比结构,倾斜结构,倒梯形结构等。完全固化的倾斜结构比较坚硬,在与模板分离的过程中容易出现结构断裂影响产品良率。
鉴于此,本发明提出一种紫外线固化胶的固化方法,图1至图6为本发明的一实施例。
请参阅图1,所述紫外线固化胶的固化方法,包括以下步骤:
步骤S10:提供紫外线照射装置1和模板2,所述紫外线照射装置1可射出不同波长的紫外线;
步骤S20:在所述模板2上涂覆有紫外线固化胶;
步骤S30:通过所述紫外线照射装置1以不同波长的紫外线分别对所述模板2上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化。
本发明的技术方案中,通过所述紫外线照射装置1射出不同波长的紫外线从而对紫外线固化胶不同的区域进行不同类型的固化,以可根据紫外线固化胶不同区域的结构特征进行对应的曝光固化,如在所述模板2与紫外线固化胶成型后的模型之间在相互分离时会存在干涉的区域选用一类型的紫外线对此区域部分的紫外线固化胶进行表层固化或深层固化,以使此部分结构在固化后的硬度适中,比较柔软,从而可以实现与所述模板2的无损分离;而在所述模板2与紫外线固化胶成型后的模型之间在相互分离时不会存在干涉的区域选用另一类型的紫外线对此区域部分的紫外线固化胶进行完全固化,即对此区域的紫外线固化胶同时进行表层固化和深层固化,以提高此部分的结构强度。本发明可根据紫外线固化胶在成型时不同的结构特征选取不同区域、且采用不同波长的紫外线对选取区域进行不同程度的曝光固化,以解决在现有技术中因采用同种波长对紫外线固化胶整体进行曝光固化而导致分离模型与模具时易出现结构断裂的问题,提高了产品的生产良率。
可以理解的是,在选用不同波长的紫外线对紫外线固化胶各区域进行分区曝光时,由于不同区域的结构特征不同,则对应此区域的曝光时间也可根据实际进行调节,以避免固化后的紫外线固化胶过硬。
进一步地,所述紫外线照射装置1射出的紫外线包括365nm波长紫外线、395nm波长紫外线。其中,365nm波长紫外线可对紫外线固化胶的表层进行固化,395nm波长紫外线可对紫外线固化胶的深层进行固化,在本实施例中,在对紫外线固化胶进行完全固化的时候,采用365nm波长紫外线和395nm波长紫外线进行同时固化,以在确保固化效果的时候减少固化耗时;当然,在对紫外线固化胶进行完全固化的时候,也可采用单独的365nm波长紫外线或395nm波长紫外线进行固化,但其所耗时会高于选用两种波长的紫外线相结合进行曝光固化。
需要说明的是,所述紫外线照射装置1射出的不同波长的紫外线光不局限于上文所述的365nm波长紫外线与395nm波长紫外线,可根据实际生产应用进行选取。
进一步地,通过所述紫外线照射装置1以不同波长的紫外线分别对所述模板2上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤之后,包括:
步骤S40:在所述模板2上移出已进行一次固化后的紫外线固化胶;
步骤S50:通过所述紫外线照射装置1对其中一区域采用与前一次不同波长的紫外线进行再次曝光固化。
则在对紫外线固化胶整体进行一次固化之后,可将初步成型后的模型与所述模板2分离,由于对应模型与所述模板2之间在分离时存在干涉区域位置的紫外线固化胶如上文所述未完全固化,因此在取下模型后此部分结构不会发生断裂破坏,在取下模型后,可对对应未完全固化的区域进行完全固化,以使模型整体完全固化成型;如在上文所述步骤中,采用365nm波长紫外线进行表层固化,则在取下模型后,对此部分区域采用395nm波长紫外线进行深层固化,以完成模型整体的完全固化;如在上文所述的步骤中,采用395nm波长紫外线进行深层固化,则在取下模型后,对此部分区域采用365nm波长紫外线进行表层固化,以完成模型整体的完全固化。
进一步地,所述紫外线照射装置1包括紫外线出射装置11和光路调整元件12,所述紫外线出射装置11用以出射不同波长的紫外线,所述光路调整元件12用以调节自所述紫外线出射装置11射出的不同波长的紫外线的光路;
通过所述紫外线照射装置1以不同波长的紫外线分别对所述模板2上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤,包括:
步骤S31:所述紫外线出射装置11发出不同波长的紫外线,通过所述光路调整元件12将不同波长的紫外线分别传导至所述模板2上至少两个区域,以对所述模板2上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化。
在本实施例中,通过设置所述光路调整元件12对所述紫外线出射装置11射出的紫外线的光路进行调整,从而可使自所述紫外线出射装置11射出的紫外线可落在紫外线固化胶上的不同位置,以实现对所述模板2上不同区域的紫外线固化胶进行曝光固化。
请参阅图3,在一实施例中,所述光路调整元件12包括反射镜121,所述反射镜121相对所述模板2的倾斜角度可调;
所述紫外线出射装置11发出不同波长的紫外线,通过所述光路调整元件12将不同波长的紫外线分别传导至所述模板2上至少两个区域,以对所述模板2上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤,包括:
步骤S311:将所述反射镜121置于所述紫外线出射装置11出射的不同波长的紫外线的光路上,并将不同波长的紫外线反射至紫外线固化胶上;
步骤S312:调节所述反射镜121相对于所述模板2的倾斜角度。
其中,通过将所述反射镜121置于所述紫外线出射装置11出射的紫外线的光路上,从而可以将紫外线反射到在所述模板2上涂覆的紫外线固化胶上,通过转动所述反射镜121,调节所述反射镜121与所述紫外线出射装置11之间的倾斜角度,可以使反射到紫外线固化胶上的紫外线的位置发生变化,而在落在紫外线固化胶上的紫外线的位置发生变化时,根据对应区域的紫外线固化胶的结构特征可选择切换不同频率的紫外线进行曝光固化;可以理解的是,经所述反射镜121反射的紫外线可落在紫外线固化胶的任意位置,从而可实现自动化的对紫外线固化胶的整体进行选区曝光固化。
请参阅图4,在另一实施例中,所述光路调整元件12包括反射镜121,所述反射镜121相对所述紫外线出射装置11的距离可调;
所述紫外线出射装置11发出不同波长的紫外线,通过所述光路调整元件12将不同波长的紫外线分别传导至所述模板2上至少两个区域,以对所述模板2上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤,包括:
步骤S313:将所述反射镜121置于所述紫外线出射装置11出射的不同波长的紫外线的光路上,并将不同波长的紫外线反射至紫外线固化胶上;
步骤S314:调节所述反射镜121与所述紫外线出射装置11之间的距离。
其中,通过将所述反射镜121置于所述紫外线出射装置11出射的紫外线的光路上,从而可以将紫外线反射到在所述模板2上涂覆的紫外线固化胶上,通过沿紫外线的光路方向移动所述反射镜121,调节所述反射镜121与所述紫外线出射装置11之间的距离,可以使经所述反射镜121反射到紫外线固化胶上的紫外线的位置发生变化,而在落在紫外线固化胶的紫外线的位置发生变化时,根据对应区域的紫外线固化胶的结构特征可选择切换不同频率的紫外线进行曝光固化;可以理解的是,经所述反射镜121反射的紫外线可落在紫外线固化胶上的任意位置,从而可实现自动化的对紫外线固化胶的整体进行选取曝光固化。
请参阅图5,在又一实施例中,所述光路调整元件12包括多个分光镜122,多个所述分光镜122排列设置、且相邻的两个所述分光镜122之间的距离可调;
所述紫外线出射装置11发出不同波长的紫外线,通过所述光路调整元件12将不同波长的紫外线分别传导至所述模板2上至少两个区域,以对所述模板2上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤,包括:
步骤S315:将多个所述分光镜122沿自所述紫外线出射装置11射出的不同波长的紫外线的光路上依次排列,并将不同波长的紫外线反射至紫外线固化胶上;
步骤S316:调节相邻的两个所述分光镜122之间的距离。
其中,若在所述模板2上具有多个相同结构特征的区域,可通过沿紫外线出射装置11出射的紫外线的光路方向依次排列设置有多个所述分光镜122,则紫外线经多个所述分光镜122反射到紫外线固化胶上时存在多个曝光区域,根据模板2的结构分布调节多个所述分光镜122之间的排列距离,使经每一所述分光镜122反射的紫外线都能落在位于所述模板2上具有的多个相同结构特征区域的其中之一上,从而实现选区曝光。
此外,各所述分光镜122相对于所述紫外线出射装置11的倾斜角度也可进行调节,从而可扩大对应的所述分光镜122反射的紫外线的辐射范围。
需要说明的是,多个所述分光镜122之间的反射和透射比例均不相同,从而可使多个所述分光镜122反射在所述模板2上的紫外线的强度均相同。
请参阅图6,在又一实施例中,所述光路调整元件12包括液晶准直透镜123,所述液晶准直透镜123内的液晶偏转方向可调;
所述紫外线出射装置11发出不同波长的紫外线,通过所述光路调整元件12将不同波长的紫外线分别传导至所述模板2上至少两个区域,以对所述模板2上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤,包括:
步骤S317:将所述紫外线出射装置11正对紫外线固化胶,并将所述液晶准直透镜123置于所述紫外线出射装置11与紫外线固化胶之间;
步骤S318:调节液晶准直透镜123内的液晶偏转方向,对部分射向紫外线固化胶的紫外线进行屏蔽。
其中,设置所述紫外线出射装置11出射的紫外线正对于所述模板2,当所述模板2上的高精细结构具有不同特征的时候,可在所述紫外线出射装置11与所述模板2之间增加所述液晶准直透镜123,根据所述模板2上的高精细结构的特征分布情况,设计与所述模板2相同的所述液晶准直透镜123分布,可通过施加电压改变所述液晶准直透镜123内的液晶偏转方向,以对部分紫外线进行屏蔽,从而控制选区。
此外,当所述模板2上的高精细结构都具有同一特征时,可将所述液晶准直透镜123从所述紫外线出射装置11与所述模板2之间取出,对紫外线固化胶的整体进行表层固化、或深层固化、或表层固化和深层固化的结合。
可以理解的是,由于所述紫外线出射装置11出射的紫外线直接朝向所述模板2的整体,因此可设置发射不同波长的紫外线灯珠依次间隔排列,以提高紫外线出射装置11出光的均匀性;具体地,在本实施例中,将发出365nm波长紫外线和395nm波长紫外线的灯珠间隔排列在一起。
本发明还提出一种紫外线照射装置1,所述紫外线照射装置1包括紫外线出射装置11和光路调整元件12,所述紫外线出射装置11用以出射不同波长的紫外线,所述光路调整元件12用以调节自所述紫外线出射装置11射出的不同波长的紫外线的光路。所述紫外线照射装置1的具体结构及使用方法具体参照上述实施例,在此不再一一赘述。
进一步地,所述光路调整元件12包括反射镜121、多个分光镜122和液晶准直透镜123中的至少一种。其中,所述紫外线照射装置1上可安装有所述反射镜121、多个所述分光镜122和所述液晶准直透镜123的一种或多种,以根据不同的生产使用需求选取不同的元件来导引自所述紫外线出射装置11射出的紫外线的光路。
以上所述仅为本发明的优选实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是在本发明的发明构思下,利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换,或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (10)
1.一种紫外线固化胶的固化方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供紫外线照射装置和模板,所述紫外线照射装置可射出不同波长的紫外线;
在所述模板上涂覆有紫外线固化胶;
通过所述紫外线照射装置以不同波长的紫外线分别对所述模板上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化。
2.如权利要求1所述的紫外线固化胶的固化方法,其特征在于,通过所述紫外线照射装置以不同波长的紫外线分别对所述模板上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤之后,包括:
在所述模板上移出已进行一次固化后的紫外线固化胶;
通过所述紫外线照射装置对其中一区域采用与前一次不同波长的紫外线进行再次曝光固化。
3.如权利要求1所述的紫外线固化胶的固化方法,其特征在于,所述紫外线照射装置包括紫外线出射装置和光路调整元件,所述紫外线出射装置用以出射不同波长的紫外线,所述光路调整元件用以调节自所述紫外线出射装置射出的不同波长的紫外线的光路;
通过所述紫外线照射装置以不同波长的紫外线分别对所述模板上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤,包括:
所述紫外线出射装置发出不同波长的紫外线,通过所述光路调整元件将不同波长的紫外线分别传导至所述模板上至少两个区域,以对所述模板上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化。
4.如权利要求3所述的紫外线固化胶的固化方法,其特征在于,所述光路调整元件包括反射镜,所述反射镜相对所述模板的倾斜角度可调;
所述紫外线出射装置发出不同波长的紫外线,通过所述光路调整元件将不同波长的紫外线分别传导至所述模板上至少两个区域,以对所述模板上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤,包括:
将所述反射镜置于所述紫外线出射装置出射的不同波长的紫外线的光路上,并将不同波长的紫外线反射至紫外线固化胶上;
调节所述反射镜相对于所述模板的倾斜角度。
5.如权利要求3所述的紫外线固化胶的固化方法,其特征在于,所述光路调整元件包括反射镜,所述反射镜相对所述紫外线出射装置的距离可调;
所述紫外线出射装置发出不同波长的紫外线,通过所述光路调整元件将不同波长的紫外线分别传导至所述模板上至少两个区域,以对所述模板上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤,包括:
将所述反射镜置于所述紫外线出射装置出射的不同波长的紫外线的光路上,并将不同波长的紫外线反射至紫外线固化胶上;
调节所述反射镜与所述紫外线出射装置之间的距离。
6.如权利要求3所述的紫外线固化胶的固化方法,其特征在于,所述光路调整元件包括多个分光镜,多个所述分光镜排列设置、且相邻的两个所述分光镜之间的距离可调;
所述紫外线出射装置发出不同波长的紫外线,通过所述光路调整元件将不同波长的紫外线分别传导至所述模板上至少两个区域,以对所述模板上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤,包括:
将多个所述分光镜沿自所述紫外线出射装置射出的不同波长的紫外线的光路上依次排列,并将不同波长的紫外线反射至紫外线固化胶上;
调节相邻的两个所述分光镜之间的距离。
7.如权利要求3所述的紫外线固化胶的固化方法,其特征在于,所述光路调整元件包括液晶准直透镜,所述液晶准直透镜内的液晶偏转方向可调;
所述紫外线出射装置发出不同波长的紫外线,通过所述光路调整元件将不同波长的紫外线分别传导至所述模板上至少两个区域,以对所述模板上至少两个区域上的紫外线固化胶进行曝光固化的步骤,包括:
将所述紫外线出射装置正对紫外线固化胶,并将所述液晶准直透镜置于所述紫外线出射装置与紫外线固化胶之间;
调节液晶准直透镜内的液晶偏转方向,对部分射向紫外线固化胶的紫外线进行屏蔽。
8.如权利要求1所述的紫外线固化胶的固化方法,其特征在于,所述紫外线照射装置射出的紫外线包括365nm波长紫外线、395nm波长紫外线。
9.一种紫外线照射装置,其特征在于,所述紫外线照射装置包括紫外线出射装置和光路调整元件,所述紫外线出射装置用以出射不同波长的紫外线,所述光路调整元件用以调节自所述紫外线出射装置射出的不同波长的紫外线的光路。
10.如权利要求9所述的紫外线照射装置,其特征在于,所述光路调整元件包括反射镜、多个分光镜和液晶准直透镜中的至少一种。
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