CN115301899A - 一种光伏电站用晶圆成型设备 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 91
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 52
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 29
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 30
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 22
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 5
- 206010053615 Thermal burn Diseases 0.000 description 3
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
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- B22C9/00—Moulds or cores; Moulding processes
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B22C9/00—Moulds or cores; Moulding processes
- B22C9/06—Permanent moulds for shaped castings
- B22C9/065—Cooling or heating equipment for moulds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22D—CASTING OF METALS; CASTING OF OTHER SUBSTANCES BY THE SAME PROCESSES OR DEVICES
- B22D27/00—Treating the metal in the mould while it is molten or ductile ; Pressure or vacuum casting
- B22D27/04—Influencing the temperature of the metal, e.g. by heating or cooling the mould
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22D—CASTING OF METALS; CASTING OF OTHER SUBSTANCES BY THE SAME PROCESSES OR DEVICES
- B22D29/00—Removing castings from moulds, not restricted to casting processes covered by a single main group; Removing cores; Handling ingots
- B22D29/04—Handling or stripping castings or ingots
- B22D29/08—Strippers actuated mechanically
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22D—CASTING OF METALS; CASTING OF OTHER SUBSTANCES BY THE SAME PROCESSES OR DEVICES
- B22D35/00—Equipment for conveying molten metal into beds or moulds
- B22D35/06—Heating or cooling equipment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22D—CASTING OF METALS; CASTING OF OTHER SUBSTANCES BY THE SAME PROCESSES OR DEVICES
- B22D46/00—Controlling, supervising, not restricted to casting covered by a single main group, e.g. for safety reasons
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
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Abstract
本发明涉及一种成型设备,尤其涉及一种光伏电站用晶圆成型设备。本发明的技术问题是:提供一种能够自动生产晶圆棒而且安全性较高的光伏电站用晶圆成型设备。本发明提供了这样一种光伏电站用晶圆成型设备,包括有底座、隔板、外壳、凸板和承载机构等,底座顶部设有隔板,隔板顶部后侧设有外壳,隔板顶部前侧设有凸板,凸板前侧上部开有槽孔,外壳内部下侧设有承载机构。本发明将晶圆液倒入反应炉内,在通过距离传感器、温度传感器和压力传感器的作用下,能够自动控制第一驱动电机、第二驱动电机和水泵开启,从而自动对晶圆液进行冷凝成型,减少人们的手动操作,提高人们的工作效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种成型设备,尤其涉及一种光伏电站用晶圆成型设备。
背景技术
随着科技的发展,现在越来越多的地方都会建设光伏电站,从而方便给人们提供电力资源,由于每座光伏电站内部都会使用到大量的晶圆棒,因此,晶圆棒需要人们进行批量生产。
现在的人们在生产晶圆棒时,大部分都是人工先将晶圆液倒入模具内,然后再通过人工用清水不断给模具进行降温,从而使晶圆液冷凝成型,由于这种方式在批量生产晶圆棒时,需要人们进行的手动操作较多,比较耗费时间和体力,而且在操作时,容易被晶圆液散发的气体烫伤,安全性较低,因此,针对上述情况,需要设计一种能够自动生产晶圆棒而且安全性较高的光伏电站用晶圆成型设备。
发明内容
为了克服现在的人们在生产晶圆棒时,需要进行的手动操作较多,而且安全性较低的缺点,本发明的技术问题是:提供一种能够自动生产晶圆棒而且安全性较高的光伏电站用晶圆成型设备。
一种光伏电站用晶圆成型设备,包括有底座、隔板、外壳、凸板、模具下底层、承载机构和成型机构,底座顶部设有隔板,隔板顶部后侧设有外壳,隔板顶部前侧设有凸板,凸板前侧上部开有槽孔,外壳内部下侧设有承载机构,承载机构上设有用于晶圆棒成型的成型机构,成型机构上设有模具下底层,承载机构包括有固定架、承重板和第一弹簧,外壳内部下侧设有固定架,固定架顶部滑动式设有承重板,承重板下侧与固定架之间设有四个第一弹簧。
进一步说明,成型机构包括有连接板、模具密封层和进料口,承重板上滑动式设有连接板,连接板顶部与模具下底层连接,模具下底层上部左侧转动式设有模具密封层,模具密封层顶部设有进料口。
进一步说明,还包括有下料机构,下料机构包括有连杆、弧形滑板、导向杆、第二弹簧、反应炉和电磁阀,固定架左右两侧的后侧均设有连杆,连杆上部均滑动式设有导向杆,导向杆上侧之间设有弧形滑板,弧形滑板底部与连杆之间均设有第二弹簧,第二弹簧均绕在同侧的导向杆上,弧形滑板内侧设有用于放置晶圆液的反应炉,反应炉底部设有电磁阀。
进一步说明,还包括有传送机构,传送机构包括有压力传感器、第一驱动电机、丝杆和第一全齿轮,固定架中部设有压力传感器,承重板底部后侧中部设有用于提供动力的第一驱动电机,连接板下部中间设有螺母,螺母中侧螺纹式设有丝杆,丝杆前后两侧和承重板转动式连接,丝杆后侧与第一驱动电机的输出轴上均设有第一全齿轮,第一全齿轮相互啮合。
进一步说明,还包括有冷却机构,冷却机构包括有水箱、水泵、导管、出水口、第一电磁铁和温度传感器,隔板顶部中侧设有水箱,水箱内底部设有水泵,水泵前侧设有导管,承重板右侧前部设有用于喷水的出水口,出水口与导管连通,模具密封层右侧中部设有第一电磁铁,模具下底层左侧下部设有温度传感器。
进一步说明,还包括有开盖机构,开盖机构包括有第一滑杆、第三弹簧、第二驱动电机、第二全齿轮、楔形块和第一直齿轮,承重板左侧前部滑动式设有第一滑杆,第一滑杆左侧下部与承重板之间设有第三弹簧,第一滑杆前侧上部设有第二驱动电机,第一滑杆上部后侧的左右两侧均转动式设有第二全齿轮,第二全齿轮相互啮合,左侧的第二全齿轮与第二驱动电机的输出轴连接,连接板左侧上部前侧设有楔形块,模具密封层左侧中部设有第一直齿轮。
进一步说明,还包括有退料机构,退料机构包括有第二滑杆、推动杆、第一电动推杆和扭簧,承重板右侧前部滑动式设有第二滑杆,第二滑杆上部转动式设有用于推动晶圆棒移动的推动杆,推动杆与第二滑杆上部之间设有多个扭簧,扭簧的数量至少为二,承重板底部右侧后部设有第一电动推杆,第一电动推杆的伸缩杆与第二滑杆连接。
进一步说明,还包括有遮盖机构,遮盖机构包括有顶板、距离传感器、第二电动推杆、L型齿条杆、第二直齿轮、挡板和第六弹簧,外壳内侧上部设有顶板,顶板中侧开有圆孔,左侧的导向杆顶部设有距离传感器,顶板底部右侧后部设有第二电动推杆,顶板底部左侧的前后两侧均滑动式设有L型齿条杆,前侧的L型齿条杆与第二电动推杆的伸缩杆连接,顶板底部左侧中部转动式设有第二直齿轮,L型齿条杆均与第二直齿轮接触,L型齿条杆外侧上部均滑动式设有用于挡住热气的挡板,挡板底部与同侧的L型齿条杆之间均设有多个第六弹簧,第六弹簧的数量至少为二。
进一步说明,还包括有加热机构,加热机构包括有固定块、加热板、连接块、卡块、第二电磁铁、第四弹簧和第五弹簧,外壳内部上侧的前后两侧均设有固定块,固定块内侧均滑动式设有用于对晶圆液加热的加热板,加热板外侧与固定块之间均设有多个第四弹簧,第四弹簧的数量至少为二,外壳内部上侧的前后两侧均设有连接块,连接块位于固定块的下侧,连接块内侧下部均滑动式设有卡块,连接块内侧与同侧的卡块之间均设有多个第五弹簧,第五弹簧的数量至少为二,外壳内部上侧的前后两侧均设有多个第二电磁铁,第二电磁铁的数量至少为二,第二电磁铁位于连接块的下侧。
进一步说明,还包括有控制箱,外壳后侧中部设有控制箱,控制箱内包括有开关电源、控制模块和电源模块,开关电源为整个成型设备供电,电源模块上通过线路连接有电源总开关,控制模块和电源模块通过电性连接,控制模块上连接有DS1302时钟电路和24C02电路,距离传感器、温度传感器和压力传感器均与控制模块通过电性连接,电磁阀、第一驱动电机、水泵、第二驱动电机、第一电磁铁、第一电动推杆、第二电动推杆、加热板、第二电磁铁均与控制模块通过外围电路连接。
本发明的有益效果为:1、本发明将晶圆液倒入反应炉内,在通过距离传感器、温度传感器和压力传感器的作用下,能够自动控制第一驱动电机、第二驱动电机和水泵开启,从而自动对晶圆液进行冷凝成型,减少人们的手动操作,提高人们的工作效率。
2、本发明将晶圆液倒入反应炉内,在第二电动推杆工作时,能够使挡板与顶板上的圆孔对齐,从而挡住顶板上的圆孔,防止晶圆液的热气向外飘出对人体造成烫伤,安全性较高。
3、本发明在加热板的作用下,能够对反应炉内的晶圆液进行加热,避免晶圆液在反应炉内冷凝造成堵塞。
附图说明
图1为本发明的立体结构示意图。
图2为本发明的剖视第一种立体结构示意图。
图3为本发明的剖视第二种立体结构示意图。
图4为本发明的剖视第三种立体结构示意图。
图5为本发明的承载机构立体结构示意图。
图6为本发明的成型机构立体结构示意图。
图7为本发明的成型机构部分立体结构示意图。
图8为本发明的下料机构第一种立体结构示意图。
图9为本发明的下料机构第二种立体结构示意图。
图10为本发明的传送机构立体结构示意图。
图11为本发明的冷却机构剖视立体结构示意图。
图12为本发明的冷却机构立体结构示意图。
图13为本发明A的放大立体结构示意图。
图14为本发明的开盖机构立体结构示意图。
图15为本发明的退料机构立体结构示意图。
图16为本发明的退料机构部分立体结构示意图。
图17为本发明的遮盖机构第一部分立体结构示意图。
图18为本发明B的放大立体结构示意图。
图19为本发明的遮盖机构第二部分立体结构示意图。
图20为本发明的加热机构立体结构示意图。
图21为本发明的电路框图。
图22为本发明的电路原理图。
附图中的标记:1:底座,2:隔板,3:外壳,4:凸板,41:模具下底层,5:控制箱,6:承载机构,61:固定架,62:承重板,63:第一弹簧,7:成型机构,71:连接板,73:模具密封层,74:进料口,8:下料机构,81:连杆,82:弧形滑板,83:导向杆,84:第二弹簧,85:反应炉,86:电磁阀,9:传送机构,91:压力传感器,92:第一驱动电机,93:丝杆,94:第一全齿轮,10:冷却机构,101:水箱,102:水泵,103:导管,104:出水口,105:第一电磁铁,106:温度传感器,11:开盖机构,1101:第一滑杆,1102:第三弹簧,1103:第二驱动电机,1104:第二全齿轮,1105:楔形块,1106:第一直齿轮,12:退料机构,1201:第二滑杆,1202:推动杆,1203:第一电动推杆,1204:扭簧,13:遮盖机构,1301:顶板,1302:距离传感器,1303:第二电动推杆,1304:L型齿条杆,1305:第二直齿轮,1306:挡板,1307:第六弹簧,14:加热机构,1401:固定块,1402:加热板,1403:连接块,1404:卡块,1405:第二电磁铁,1406:第四弹簧,1407:第五弹簧。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明作进一步描述,在此发明的示意性实施例以及说明用来解释本发明,但并不作为对本发明的限定。
实施例1
一种光伏电站用晶圆成型设备,如图1-图20所示,包括有底座1、隔板2、外壳3、凸板4、模具下底层41、承载机构6和成型机构7,底座1顶部设有隔板2,隔板2顶部后侧设有外壳3,隔板2顶部前侧设有凸板4,凸板4前侧上部开有槽孔,外壳3内部下侧设有承载机构6,承载机构6上设有成型机构7,晶圆液进入成型机构7内后,成型机构7能够将晶圆液形成晶圆棒的形状,成型机构7上设有模具下底层41。
承载机构6包括有固定架61、承重板62和第一弹簧63,外壳3内部下侧设有固定架61,固定架61顶部滑动式设有承重板62,承重板62下侧与固定架61之间设有四个第一弹簧63。
成型机构7包括有连接板71、模具密封层73和进料口74,承重板62上滑动式设有连接板71,连接板71顶部与模具下底层41连接,模具下底层41上部左侧转动式设有模具密封层73,模具密封层73顶部设有进料口74。
还包括有下料机构8,下料机构8包括有连杆81、弧形滑板82、导向杆83、第二弹簧84、反应炉85和电磁阀86,固定架61左右两侧的后侧均设有连杆81,连杆81上部均滑动式设有导向杆83,导向杆83上侧之间设有弧形滑板82,弧形滑板82底部与连杆81之间均设有第二弹簧84,第二弹簧84均绕在同侧的导向杆83上,弧形滑板82内侧设有反应炉85,人们能够将晶圆液倒入反应炉85内,反应炉85底部设有电磁阀86。
还包括有传送机构9,传送机构9包括有压力传感器91、第一驱动电机92、丝杆93和第一全齿轮94,固定架61中部设有压力传感器91,承重板62底部后侧中部设有第一驱动电机92,第一驱动电机92开启后,能够使模具下底层41与模具密封层73之间的晶圆液发生移动,连接板71下部中间设有螺母,螺母中侧螺纹式设有丝杆93,丝杆93前后两侧和承重板62转动式连接,丝杆93后侧与第一驱动电机92的输出轴上均设有第一全齿轮94,第一全齿轮94相互啮合。
还包括有冷却机构10,冷却机构10包括有水箱101、水泵102、导管103、出水口104、第一电磁铁105和温度传感器106,隔板2顶部中侧设有水箱101,水箱101内底部设有水泵102,水泵102前侧设有导管103,承重板62右侧前部设有出水口104,清水在进入出水口104内后,出水口104会将清水喷洒在模具密封层73上,从而对晶圆液进行降温,出水口104与导管103连通,模具密封层73右侧中部设有第一电磁铁105,模具下底层41左侧下部设有温度传感器106。
还包括有开盖机构11,开盖机构11包括有第一滑杆1101、第三弹簧1102、第二驱动电机1103、第二全齿轮1104、楔形块1105和第一直齿轮1106,承重板62左侧前部滑动式设有第一滑杆1101,第一滑杆1101左侧下部与承重板62之间设有第三弹簧1102,第一滑杆1101前侧上部设有第二驱动电机1103,第一滑杆1101上部后侧的左右两侧均转动式设有第二全齿轮1104,第二全齿轮1104相互啮合,左侧的第二全齿轮1104与第二驱动电机1103的输出轴连接,连接板71左侧上部前侧设有楔形块1105,模具密封层73左侧中部设有第一直齿轮1106。
还包括有退料机构12,退料机构12包括有第二滑杆1201、推动杆1202、第一电动推杆1203和扭簧1204,承重板62右侧前部滑动式设有第二滑杆1201,第二滑杆1201上部转动式设有推动杆1202,推动杆1202向前移动时,能够推动晶圆棒向前移动,推动杆1202与第二滑杆1201上部之间设有两个扭簧1204,承重板62底部右侧后部设有第一电动推杆1203,第一电动推杆1203的伸缩杆与第二滑杆1201连接。
还包括有遮盖机构13,遮盖机构13包括有顶板1301、距离传感器1302、第二电动推杆1303、L型齿条杆1304、第二直齿轮1305、挡板1306和第六弹簧1307,外壳3内侧上部设有顶板1301,顶板1301中侧开有圆孔,左侧的导向杆83顶部设有距离传感器1302,顶板1301底部右侧后部设有第二电动推杆1303,顶板1301底部左侧的前后两侧均滑动式设有L型齿条杆1304,前侧的L型齿条杆1304与第二电动推杆1303的伸缩杆连接,顶板1301底部左侧中部转动式设有第二直齿轮1305,L型齿条杆1304均与第二直齿轮1305接触,L型齿条杆1304外侧上部均滑动式设有挡板1306,挡板1306能够挡住顶板1301上的圆孔,防止热气向外散出对人体造成烫伤,挡板1306底部与同侧的L型齿条杆1304之间均设有两个第六弹簧1307。
还包括有加热机构14,加热机构14包括有固定块1401、加热板1402、连接块1403、卡块1404、第二电磁铁1405、第四弹簧1406和第五弹簧1407,外壳3内部上侧的前后两侧均设有固定块1401,固定块1401内侧均滑动式设有加热板1402,加热板1402开启后,能够对反应炉85内的晶圆液进行加热,加热板1402外侧与固定块1401之间均设有两个第四弹簧1406,外壳3内部上侧的前后两侧均设有连接块1403,连接块1403位于固定块1401的下侧,连接块1403内侧下部均滑动式设有卡块1404,连接块1403内侧与同侧的卡块1404之间均设有两个第五弹簧1407,外壳3内部上侧的前后两侧均设有两个第二电磁铁1405,第二电磁铁1405位于连接块1403的下侧。
初始状态下,水箱101内部装有大量的清水,第四弹簧1406和第六弹簧1307均为压缩状态,在第四弹簧1406弹力的作用下,使加热板1402与反应炉85接触,当人们需要使用该成型设备时,首先按下电源总分开关,使该成型设备通电,距离传感器1302、温度传感器106和压力传感器91开始工作,同时控制模块控制第一电磁铁105通电,然后将晶圆液倒入反应炉85内,此时在重力的作用下,反应炉85向下移动,反应炉85带动弧形滑板82、导向杆83、电磁阀86和距离传感器1302向下移动,第二弹簧84压缩,当弧形滑板82与卡块1404接触时,弧形滑板82挤压卡块1404向外侧移动,第五弹簧1407压缩,当弧形滑板82与卡块1404分离时,第五弹簧1407恢复原状,第五弹簧1407带动卡块1404向内侧移动复位,当距离传感器1302感应到与外壳3内顶部之间的距离大于最大预设值时,距离传感器1302发出信号,控制模块接收到信号后控制加热板1402开始工作,使加热板1402对反应炉85内的晶圆液进行加热,同时控制模块控制第二电动推杆1303工作5秒,使第二电动推杆1303的伸缩杆缩短,从而带动前侧的L型齿条杆1304和前侧的挡板1306向后移动,前侧的L型齿条杆1304带动第二直齿轮1305转动,从而带动后侧的L型齿条杆1304和后侧的挡板1306向前移动,当挡板1306与顶板1301上的圆孔对齐时,第六弹簧1307恢复原状,第六弹簧1307带动挡板1306向上移动,使挡板1306挡住顶板1301上的圆孔,从而防止晶圆液的热气向外飘出对人体造成烫伤,同时控制模块控制电磁阀86开启,使反应炉85内的晶圆液向下掉落,从而使晶圆液通过进料口74进入至模具密封层73与模具下底层41之间,此时在第五弹簧1407弹力的作用下,从而带动反应炉85、弧形滑板82、导向杆83、电磁阀86和距离传感器1302向上移动,当弧形滑板82与卡块1404接触时,卡块1404卡住弧形滑板82,同时在重力的作用下,承重板62向下移动,第一弹簧63压缩,5秒后,控制模块控制第二电动推杆1303停止工作,当承重板62与压力传感器91接触时,压力传感器91会感应到压力,此时压力传感器91发出信号,控制模块接收到信号后控制第一驱动电机92工作10秒,使第一驱动电机92的输出轴正转,从而通过第一全齿轮94带动丝杆93正转,进而带动连接板71、模具密封层73、模具下底层41、温度传感器106、第一直齿轮1106和楔形块1105向前移动,当模具密封层73与推动杆1202接触时,模具密封层73挤压推动杆1202转动,扭簧1204发生形变,当模具密封层73与推动杆1202分离时,扭簧1204恢复原状,扭簧1204带动推动杆1202反转复位,当楔形块1105与第一滑杆1101接触时,楔形块1105挤压第一滑杆1101向左移动,第三弹簧1102压缩,第一滑杆1101带动第二驱动电机1103和第二全齿轮1104向左移动,10秒后,控制模块控制第一驱动电机92停止工作,此时在第三弹簧1102弹力的作用下,使第一直齿轮1106与第二全齿轮1104啮合,同时控制模块控制水泵102开始工作,使水泵102通过导管103将水箱101内的清水抽入出水口104内,从而使出水口104将清水喷洒在模具密封层73上,进而对模具密封层73与模具下底层41之间的晶圆液进行降温,使晶圆液冷凝成型成晶圆棒,当温度传感器106感应到模具下底层41的温度小于预设值时,温度传感器106发出信号,控制模块接收到信号后控制水泵102停止工作,同时控制模块控制第一电磁铁105断电,同时控制模块控制第二驱动电机1103工作5秒,使第二驱动电机1103的输出轴正转,从而带动第二全齿轮1104正转,进而带动第一直齿轮1106转动,使模具密封层73转动打开,5秒后,控制模块控制第二驱动电机1103停止工作,同时控制模块控制第一电动推杆1203工作5秒,使第一电动推杆1203的伸缩杆伸长,从而带动第二滑杆1201和推动杆1202向前移动,当推动杆1202与晶圆棒接触时,推动杆1202会推动晶圆棒向前移动,从而使晶圆棒通过凸板4上的槽孔向外掉落,然后通过人工将晶圆棒进行收集即可,当晶圆棒与模具下底层41分离时,第一弹簧63恢复原状,第一弹簧63带动承重板62向上移动复位,使承重板62与压力传感器91分离,5秒后,控制模块控制第一电动推杆1203停止工作,同时控制模块控制第二驱动电机1103工作5秒,使第二驱动电机1103的输出轴反转,从而带动第二全齿轮1104反转,进而带动第一直齿轮1106反动,使模具密封层73反转关闭,5秒后,控制模块控制第二驱动电机1103停止工作,同时控制模块控制第一电磁铁105通电,同时控制模块控制第一驱动电机92工作10秒,使第一驱动电机92的输出轴反转,从而通过第一全齿轮94带动丝杆93反转,进而带动连接板71、模具密封层73、模具下底层41、温度传感器106、第一直齿轮1106和楔形块1105向后移动复位,当楔形块1105与第一滑杆1101分离时,第三弹簧1102恢复原状,第三弹簧1102带动第一滑杆1101向右移动复位,第一滑杆1101带动第二驱动电机1103和第二全齿轮1104向右移动复位,10秒后,控制模块控制第一驱动电机92停止工作,同时控制模块控制第一电动推杆1203工作5秒,使第一电动推杆1203的伸缩杆缩短,从而带动第二滑杆1201和推动杆1202向后移动复位,5秒后,控制模块控制第一电动推杆1203停止工作,同时再次控制电磁阀86开始工作,使反应炉85内的晶圆液再次向下掉落至模具密封层73与模具下底层41之间,如此往复6次后,反应炉85内的晶圆全部完成成型,当控制模块最后一次控制第一电动推杆1203停止工作时,同时控制模块控制加热板1402停止工作,同时控制模块控制第二电磁铁1405通电,使卡块1404向外侧移动,第五弹簧1407压缩,从而使卡块1404不再卡住弧形滑板82,此时第二弹簧84恢复原状,第二弹簧84带动反应炉85、弧形滑板82、导向杆83、电磁阀86和距离传感器1302向上移动复位,当距离传感器1302感应到与外壳3内顶部之间的距离小于最小预设值时,距离传感器1302发出信号,控制模块接收控制第二电磁铁1405断电,第五弹簧1407恢复原状,第五弹簧1407带动卡块1404向内侧移动复位,同时控制模块控制第二电动推杆1303工作5秒,使第二电动推杆1303的伸缩杆伸长,从而带动前侧的L型齿条杆1304和前侧的挡板1306向前移动复位,前侧的L型齿条杆1304带动第二直齿轮1305反转,从而带动后侧的L型齿条杆1304和后侧的挡板1306向后移动复位,使挡板1306不再挡住顶板1301上的圆孔,此时顶板1301挤压挡板1306向下移动,第六弹簧1307压缩,5秒后,控制模块控制第二电动推杆1303停止工作,当人们需要再次将晶圆液进行冷凝成型时,重复上述操作即可,当人们不再需要使用该成型设备时,再次按下电源总分开关,使该成型设备断电,距离传感器1302、温度传感器106和压力传感器91停止工作,同时第一电磁铁105断电。
如图2、图21和图22所示,还包括有控制箱5,外壳3后侧中部设有控制箱5,控制箱5内包括有开关电源、控制模块和电源模块,开关电源为整个成型设备供电,电源模块上通过线路连接有电源总开关,控制模块和电源模块通过电性连接,控制模块上连接有DS1302时钟电路和24C02电路,距离传感器1302、温度传感器106和压力传感器91均与控制模块通过电性连接,电磁阀86、第一驱动电机92、水泵102、第二驱动电机1103、第一电磁铁105、第一电动推杆1203、第二电动推杆1303、加热板1402、第二电磁铁1405均与控制模块通过外围电路连接。
应当理解,以上的描述仅仅用于示例性目的,并不意味着限制本发明。本领域的技术人员将会理解,本发明的变型形式将包含在本文的权利要求的范围内。
Claims (10)
1.一种光伏电站用晶圆成型设备,其特征是,包括有底座(1)、隔板(2)、外壳(3)、凸板(4)、模具下底层(41)、承载机构(6)和成型机构(7),底座(1)顶部设有隔板(2),隔板(2)顶部后侧设有外壳(3),隔板(2)顶部前侧设有凸板(4),凸板(4)前侧上部开有槽孔,外壳(3)内部下侧设有承载机构(6),承载机构(6)上设有用于晶圆棒成型的成型机构(7),成型机构(7)上设有模具下底层(41),承载机构(6)包括有固定架(61)、承重板(62)和第一弹簧(63),外壳(3)内部下侧设有固定架(61),固定架(61)顶部滑动式设有承重板(62),承重板(62)下侧与固定架(61)之间设有四个第一弹簧(63)。
2.根据权利要求1所述的一种光伏电站用晶圆成型设备,其特征是,成型机构(7)包括有连接板(71)、模具密封层(73)和进料口(74),承重板(62)上滑动式设有连接板(71),连接板(71)顶部与模具下底层(41)连接,模具下底层(41)上部左侧转动式设有模具密封层(73),模具密封层(73)顶部设有进料口(74)。
3.根据权利要求2所述的一种光伏电站用晶圆成型设备,其特征是,还包括有下料机构(8),下料机构(8)包括有连杆(81)、弧形滑板(82)、导向杆(83)、第二弹簧(84)、反应炉(85)和电磁阀(86),固定架(61)左右两侧的后侧均设有连杆(81),连杆(81)上部均滑动式设有导向杆(83),导向杆(83)上侧之间设有弧形滑板(82),弧形滑板(82)底部与连杆(81)之间均设有第二弹簧(84),第二弹簧(84)均绕在同侧的导向杆(83)上,弧形滑板(82)内侧设有用于放置晶圆液的反应炉(85),反应炉(85)底部设有电磁阀(86)。
4.根据权利要求3所述的一种光伏电站用晶圆成型设备,其特征是,还包括有传送机构(9),传送机构(9)包括有压力传感器(91)、第一驱动电机(92)、丝杆(93)和第一全齿轮(94),固定架(61)中部设有压力传感器(91),承重板(62)底部后侧中部设有用于提供动力的第一驱动电机(92),连接板(71)下部中侧设有螺母,螺母中侧螺纹式设有丝杆(93),丝杆(93)前后两侧和承重板(62)转动式连接,丝杆(93)后侧与第一驱动电机(92)的输出轴上均设有第一全齿轮(94),第一全齿轮(94)相互啮合。
5.根据权利要求4所述的一种光伏电站用晶圆成型设备,其特征是,还包括有冷却机构(10),冷却机构(10)包括有水箱(101)、水泵(102)、导管(103)、出水口(104)、第一电磁铁(105)和温度传感器(106),隔板(2)顶部中侧设有水箱(101),水箱(101)内底部设有水泵(102),水泵(102)前侧设有导管(103),承重板(62)右侧前部设有用于喷水的出水口(104),出水口(104)与导管(103)连通,模具密封层(73)右侧中部设有第一电磁铁(105),模具下底层(41)左侧下部设有温度传感器(106)。
6.根据权利要求5所述的一种光伏电站用晶圆成型设备,其特征是,还包括有开盖机构(11),开盖机构(11)包括有第一滑杆(1101)、第三弹簧(1102)、第二驱动电机(1103)、第二全齿轮(1104)、楔形块(1105)和第一直齿轮(1106),承重板(62)左侧前部滑动式设有第一滑杆(1101),第一滑杆(1101)左侧下部与承重板(62)之间设有第三弹簧(1102),第一滑杆(1101)前侧上部设有第二驱动电机(1103),第一滑杆(1101)上部后侧的左右两侧均转动式设有第二全齿轮(1104),第二全齿轮(1104)相互啮合,左侧的第二全齿轮(1104)与第二驱动电机(1103)的输出轴连接,连接板(71)左侧上部前侧设有楔形块(1105),模具密封层(73)左侧中部设有第一直齿轮(1106)。
7.根据权利要求6所述的一种光伏电站用晶圆成型设备,其特征是,还包括有退料机构(12),退料机构(12)包括有第二滑杆(1201)、推动杆(1202)、第一电动推杆(1203)和扭簧(1204),承重板(62)右侧前部滑动式设有第二滑杆(1201),第二滑杆(1201)上部转动式设有用于推动晶圆棒移动的推动杆(1202),推动杆(1202)与第二滑杆(1201)上部之间设有多个扭簧(1204),扭簧(1204)的数量至少为二,承重板(62)底部右侧后部设有第一电动推杆(1203),第一电动推杆(1203)的伸缩杆与第二滑杆(1201)连接。
8.根据权利要求7所述的一种光伏电站用晶圆成型设备,其特征是,还包括有遮盖机构(13),遮盖机构(13)包括有顶板(1301)、距离传感器(1302)、第二电动推杆(1303)、L型齿条杆(1304)、第二直齿轮(1305)、挡板(1306)和第六弹簧(1307),外壳(3)内侧上部设有顶板(1301),顶板(1301)中侧开有圆孔,左侧的导向杆(83)顶部设有距离传感器(1302),顶板(1301)底部右侧后部设有第二电动推杆(1303),顶板(1301)底部左侧的前后两侧均滑动式设有L型齿条杆(1304),前侧的L型齿条杆(1304)与第二电动推杆(1303)的伸缩杆连接,顶板(1301)底部左侧中部转动式设有第二直齿轮(1305),L型齿条杆(1304)均与第二直齿轮(1305)接触,L型齿条杆(1304)外侧上部均滑动式设有用于挡住热气的挡板(1306),挡板(1306)底部与同侧的L型齿条杆(1304)之间均设有多个第六弹簧(1307),第六弹簧(1307)的数量至少为二。
9.根据权利要求8所述的一种光伏电站用晶圆成型设备,其特征是,还包括有加热机构(14),加热机构(14)包括有固定块(1401)、加热板(1402)、连接块(1403)、卡块(1404)、第二电磁铁(1405)、第四弹簧(1406)和第五弹簧(1407),外壳(3)内部上侧的前后两侧均设有固定块(1401),固定块(1401)内侧均滑动式设有用于对晶圆液加热的加热板(1402),加热板(1402)外侧与固定块(1401)之间均设有多个第四弹簧(1406),第四弹簧(1406)的数量至少为二,外壳(3)内部上侧的前后两侧均设有连接块(1403),连接块(1403)位于固定块(1401)的下侧,连接块(1403)内侧下部均滑动式设有卡块(1404),连接块(1403)内侧与同侧的卡块(1404)之间均设有多个第五弹簧(1407),第五弹簧(1407)的数量至少为二,外壳(3)内部上侧的前后两侧均设有多个第二电磁铁(1405),第二电磁铁(1405)的数量至少为二,第二电磁铁(1405)位于连接块(1403)的下侧。
10.根据权利要求9所述的一种光伏电站用晶圆成型设备,其特征是,还包括有控制箱(5),外壳(3)后侧中部设有控制箱(5),控制箱(5)内包括有开关电源、控制模块和电源模块,开关电源为整个成型设备供电,电源模块上通过线路连接有电源总开关,控制模块和电源模块通过电性连接,控制模块上连接有DS1302时钟电路和24C02电路,距离传感器(1302)、温度传感器(106)和压力传感器(91)均与控制模块通过电性连接,电磁阀(86)、第一驱动电机(92)、水泵(102)、第二驱动电机(1103)、第一电磁铁(105)、第一电动推杆(1203)、第二电动推杆(1303)、加热板(1402)、第二电磁铁(1405)均与控制模块通过外围电路连接。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202210893976.0A CN115301899A (zh) | 2022-07-27 | 2022-07-27 | 一种光伏电站用晶圆成型设备 |
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Family
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Cited By (1)
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CN115863245A (zh) * | 2022-12-20 | 2023-03-28 | 深圳市硕凯电子股份有限公司 | 一种晶圆结构的制作方法及晶圆结构 |
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- 2022-07-27 CN CN202210893976.0A patent/CN115301899A/zh active Pending
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