CN115301012A - 一种单晶炉真空过滤装置及清理方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种单晶炉真空过滤装置及清理方法，涉及太阳能光伏技术领域。包括壳体、过滤机构、控制器，过滤机构包括第一过滤机构、若干个第二过滤机构，过滤机构包括过滤箱、进气管，过滤箱内卡设有过滤框，过滤框与过滤箱可相对转动，过滤框连接驱动电机；所述过滤框内贯穿有若干个过滤孔。本发明提供一种单晶炉真空过滤装置及清理方法，可自动对过滤框内残存的杂质进行清理，能够保证过滤孔的正常使用，能够提高过滤的速度，进而提高可过滤气体的量，保证真空泵的正常使用，且清理过滤机构时，其中的一个过滤机构在正常运转，可正常对进入的气体进行过滤，不需要额外的清理时间，能够大大提高过滤气体的量。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能光伏技术领域，尤其涉及一种单晶炉真空过滤装置及清理方法。
背景技术
在单晶硅生产过程中,会产生大量的高温挥发物,如不能有效过滤和处理而直接进入到真空泵,会污染真空泵油,影响真空泵的性能和安全,而且真空泵油的更换和废油处理也非常困难,真空泵效能的下降会直接会影响单晶炉的产量和产品质量。因此,必须对进入真空泵的气体首先进行过滤处理。对本体进行介绍；
现有的单晶炉真空过滤装置种类繁多，但是大多清理步骤较为复杂，且清理的过程中，需要暂停过滤工作，导致真空泵的使用受到影响，影响单晶硅的产量。
发明内容
本发明提供一种单晶炉真空过滤装置及清理方法，解决了现有单晶炉真空过滤装置清理步骤复杂，且清理的过程中，过滤工作会暂停的技术问题。
为解决上述技术问题，本发明提供的一种单晶炉真空过滤装置，包括壳体、过滤机构、控制器，过滤机构包括第一过滤机构、若干个第二过滤机构，过滤机构包括过滤箱、进气管，过滤箱内卡设有过滤框，过滤框与过滤箱可相对转动，过滤框连接驱动电机；
所述过滤框内贯穿有若干个过滤孔；
所述过滤箱上依次设置有进气管、集污管、出气管、清理管；
过滤框上安装有导向管，出气管处安装有第一单向阀；
导向管靠近过滤孔的一侧设置有控制阀，导向管上设置有第二单向阀，第二单向阀相较于控制阀距离过滤孔的距离较远，导向管内安装有清理气泵，第一过滤机构的清理管通过连接管连接第二过滤机构的进气管；
过滤状态时，过滤框连通进气管，过滤框通过过滤孔连通导向管，导向管连通出气管；
清理状态时，过滤框连通集污管，导向管连通清理管，进气管处流动的气体从第二单向阀处进入到导向管内。
优选的，所述驱动电机安装在电机支架上，电机支架安装在壳体内壁上。
优选的，所述过滤框连接弧形块，弧形块与过滤箱内壁可相对转动。
优选的，所述弧形块内设置有卡槽，卡槽内卡设有堵块，堵块与卡槽内壁可相对滑动，堵块与过滤箱内壁接触的一面设置为弧形形状，卡槽内安装有弹性垫圈。
优选的，所述集污管上安装有管盖，管盖上开设有若干个小的通孔，管盖通过螺纹与集污管连接。
优选的，所述出气管插入混合管内，混合管连接多个出气管，混合管连接排气管。
优选的，弧形块堵住集污管。
一种单晶炉真空过滤装置的清理方法，清理第一过滤机构时，首先通过第一过滤机构内的驱动电机带动过滤框转动，过滤框转动到集污管的位置处，此时导向管连通清理管，其次通过控制器控制控制阀，控制阀将过滤框与导向管之间的通道关闭，之后启动清理气泵，清理气泵将过滤框内的杂质吹入到集污管内，此时进气管处进入的空气，经由第二单向阀进入到导向管内，从导向管经由清理管、连接管进入到第二过滤机构的进气管内；
清理第二过滤机构时，通过驱动电机带动过滤框转动，过滤框转动到集污管的位置处，此时导向管连通清理管，其次通过控制器控制控制阀，控制阀将过滤框与导向管之间的通道关闭，之后启动清理气泵，清理气泵将过滤框内的杂质吹入到集污管内。
与相关技术相比较，本发明提供的一种单晶炉真空过滤装置及清理方法具有如下有益效果：
本发明提供一种单晶炉真空过滤装置及清理方法，可自动对过滤框内残存的杂质进行清理，能够保证过滤孔的正常使用，能够提高过滤的速度，进而提高可过滤气体的量，保证真空泵的正常使用，且清理过滤机构时，其中的一个过滤机构在正常运转，可正常对进入的气体进行过滤，不需要额外的清理时间，能够大大提高过滤气体的量。
附图说明
图1为一种单晶炉真空过滤装置的结构示意图。
图2为一种单晶炉真空过滤装置的后视图。
图3为一种单晶炉真空过滤装置的俯视图。
图4为一种单晶炉真空过滤装置中壳体的内部结构示意图。
图5为一种单晶炉真空过滤装置中过滤机构的内部结构示意图。
图6为一种单晶炉真空过滤装置中图5中A处的结构示意图。
图中标号：1、壳体；2、过滤机构；201、进气管；202、过滤框；203、过滤孔；204、弧形块；205、堵块；206、弹性垫圈；207、集污管；208、管盖；209、导向管；210、出气管；211、混合管；212、排气管；213、第一单向阀；214、清理管；215、控制阀；216、第二单向阀；217、清理气泵；218、驱动电机；3、第一过滤机构；4、第二过滤机构；5、连接管。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
由图1-6给出，本发明包括壳体1、过滤机构2、控制器，过滤机构2包括第一过滤机构3、若干个第二过滤机构4，过滤机构2包括过滤箱、进气管201，过滤箱内卡设有过滤框202，过滤框202与过滤箱可相对转动，过滤框202连接驱动电机218，驱动电机218安装在电机支架上，电机支架安装在壳体1内壁上；驱动电机218可带动过滤框202转动，以此调整过滤机构2内部部件的两种状态，两种状态分别为过滤状态、清理状态；
过滤框202内贯穿有若干个过滤孔203，过滤框202连接弧形块204，弧形块204与过滤箱内壁可相对转动，弧形块204内设置有卡槽，卡槽内卡设有堵块205，堵块205与卡槽内壁可相对滑动，堵块205与过滤箱内壁接触的一面设置为弧形形状，卡槽内安装有弹性垫圈206；弧形块204安装在过滤框202上，其可随着过滤框202的转动而转动，弧形块204内的堵块205在弹性垫圈206的弹力作用下始终贴合在过滤箱内壁上，且其在转动的过程中会堵住集污管207或出气管210，在过滤状态下，其会堵住集污管207，清理状态下，其会堵住出气管210；
过滤箱上依次设置有进气管201、集污管207、出气管210、清理管214，集污管207上安装有管盖208，管盖208上开设有若干个小的通孔，管盖208通过螺纹与集污管207连接；集污管207用于存储过滤后的杂质，可打开管盖208，将集污管207内的杂质清理掉，其内的杂质包括灰尘与单晶硅生产过程中产生的高温挥发物；
过滤框202上安装有导向管209，出气管210插入混合管211内，混合管211连接多个出气管210，混合管211连接排气管212，出气管210处安装有第一单向阀213；
导向管209靠近过滤孔203的一侧设置有控制阀215，导向管209上设置有第二单向阀216，第二单向阀216相较于控制阀215距离过滤孔203的距离较远，导向管209内安装有清理气泵217，第一过滤机构3的清理管214通过连接管5连接第二过滤机构4的进气管201；
过滤状态时，过滤框202连通进气管201，弧形块204堵住集污管207，过滤框202通过过滤孔203连通导向管209，导向管209连通出气管210；通过过滤孔203对进入的气体进行过滤，过滤后的气体从出气管210处排出；
清理状态时，过滤框202连通集污管207，导向管209连通清理管214，进气管201处流动的气体从第二单向阀216处进入到导向管209内；
清理方法：清理第一过滤机构3时，首先通过第一过滤机构3内的驱动电机218带动过滤框202转动，过滤框202转动到集污管207的位置处，此时导向管209连通清理管214，其次通过控制器控制控制阀215，控制阀215将过滤框202与导向管209之间的通道关闭，之后启动清理气泵217，清理气泵217将过滤框202内的杂质吹入到集污管207内，此时进气管201处进入的空气，经由第二单向阀216进入到导向管209内，从导向管209经由清理管214、连接管5进入到第二过滤机构4的进气管201内；
清理第二过滤机构4时，通过驱动电机218带动过滤框202转动，过滤框202转动到集污管207的位置处，此时导向管209连通清理管214，其次通过控制器控制控制阀215，控制阀215将过滤框202与导向管209之间的通道关闭，之后启动清理气泵217，清理气泵217将过滤框202内的杂质吹入到集污管207内。
工作原理：
本发明使用时，驱动电机218可带动过滤框202转动，以此调整过滤机构2内部部件的两种状态，两种状态分别为过滤状态、清理状态；清理第一过滤机构3时，首先通过第一过滤机构3内的驱动电机218带动过滤框202转动，过滤框202转动到集污管207的位置处，此时导向管209连通清理管214，其次通过控制器控制控制阀215，控制阀215将过滤框202与导向管209之间的通道关闭，之后启动清理气泵217，清理气泵217将过滤框202内的杂质吹入到集污管207内，此时进气管201处进入的空气，经由第二单向阀216进入到导向管209内，从导向管209经由清理管214、连接管5进入到第二过滤机构4的进气管201内；清理第二过滤机构4时，通过驱动电机218带动过滤框202转动，过滤框202转动到集污管207的位置处，此时导向管209连通清理管214，其次通过控制器控制控制阀215，控制阀215将过滤框202与导向管209之间的通道关闭，之后启动清理气泵217，清理气泵217将过滤框202内的杂质吹入到集污管207内；可自动对过滤框202内残存的杂质进行清理，能够保证过滤孔203的正常使用，能够提高过滤的速度，进而提高可过滤气体的量，保证真空泵的正常使用，且清理过滤机构2时，其中的一个过滤机构在正常运转，可正常对进入的气体进行过滤，不需要额外的清理时间，能够大大提高过滤气体的量。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (9)
1.一种单晶炉真空过滤装置，包括壳体(1)、过滤机构(2)、控制器，其特征在于，过滤机构(2)包括第一过滤机构(3)、若干个第二过滤机构(4)，过滤机构(2)包括过滤箱、进气管(201)，过滤箱内卡设有过滤框(202)，过滤框(202)与过滤箱可相对转动，过滤框(202)连接驱动电机(218)；
所述过滤框(202)内贯穿有若干个过滤孔(203)；
所述过滤箱上依次设置有进气管(201)、集污管(207)、出气管(210)、清理管(214)；
过滤框(202)上安装有导向管(209)，出气管(210)处安装有第一单向阀(213)；
导向管(209)靠近过滤孔(203)的一侧设置有控制阀(215)，导向管(209)上设置有第二单向阀(216)，第二单向阀(216)相较于控制阀(215)距离过滤孔(203)的距离较远，导向管(209)内安装有清理气泵(217)，第一过滤机构(3)的清理管(214)通过连接管(5)连接第二过滤机构(4)的进气管(201)；
过滤状态时，过滤框(202)连通进气管(201)，过滤框(202)通过过滤孔(203)连通导向管(209)，导向管(209)连通出气管(210)；
清理状态时，过滤框(202)连通集污管(207)，导向管(209)连通清理管(214)，进气管(201)处流动的气体从第二单向阀(216)处进入到导向管(209)内。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空过滤装置，其特征在于，所述驱动电机(218)安装在电机支架上，电机支架安装在壳体(1)内壁上。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空过滤装置，其特征在于，所述过滤框(202)连接弧形块(204)，弧形块(204)与过滤箱内壁可相对转动。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉真空过滤装置，其特征在于，所述弧形块(204)内设置有卡槽，卡槽内卡设有堵块(205)，堵块(205)与卡槽内壁可相对滑动，堵块(205)与过滤箱内壁接触的一面设置为弧形形状，卡槽内安装有弹性垫圈(206)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空过滤装置，其特征在于，所述集污管(207)上安装有管盖(208)，管盖(208)上开设有若干个小的通孔，管盖(208)通过螺纹与集污管(207)连接。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空过滤装置，其特征在于，所述出气管(210)插入混合管(211)内，混合管(211)连接多个出气管(210)，混合管(211)连接排气管(212)。
7.根据权利要求3所述的一种单晶炉真空过滤装置，其特征在于，弧形块(204)堵住集污管(207)。
8.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空过滤装置的清理方法，其特征在于，清理第一过滤机构(3)时，首先通过第一过滤机构(3)内的驱动电机(218)带动过滤框(202)转动，过滤框(202)转动到集污管(207)的位置处，此时导向管(209)连通清理管(214)，其次通过控制器控制控制阀(215)，控制阀(215)将过滤框(202)与导向管(209)之间的通道关闭，之后启动清理气泵(217)，清理气泵(217)将过滤框(202)内的杂质吹入到集污管(207)内，此时进气管(201)处进入的空气，经由第二单向阀(216)进入到导向管(209)内，从导向管(209)经由清理管(214)、连接管(5)进入到第二过滤机构(4)的进气管(201)内。
9.根据权利要求8所述的一种单晶炉真空过滤装置的清理方法，其特征在于，清理第二过滤机构(4)时，通过驱动电机(218)带动过滤框(202)转动，过滤框(202)转动到集污管(207)的位置处，此时导向管(209)连通清理管(214)，其次通过控制器控制控制阀(215)，控制阀(215)将过滤框(202)与导向管(209)之间的通道关闭，之后启动清理气泵(217)，清理气泵(217)将过滤框(202)内的杂质吹入到集污管(207)内。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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