CN115287621B - 应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，包括进程传输机构、回程传输机构以及设于进程传输机构和回程传输机构两端的横移装置；进程传输机构包括若干独立的、能够纵向传输工件架前进的进程传输轨道，各进程传输轨道位于同一轴线上，每个进程传输轨道安装于对应的一真空镀膜腔内；回程传输机构包括一平行于进程传输轨道设置的、能够纵向传输工件架返回的回程传输轨道；横移装置包括能够纵向传输工件架移动的对接传输轨道、以及用于驱动对接传输轨道横移使得对接传输轨道能够分别与进程传输轨道和回程传输轨道对接的横移机构。本发明实现了工件架的循环传输，工作的连续性更好，提高了镀膜的效率。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构。
背景技术
真空镀膜是在真空室内将材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上，市面上的真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
传统的真空镀膜是在一个固定的镀膜空间内进行，镀件每镀一层膜，需要从镀膜腔体取出，再进行第二次镀膜，工作效率低，成本高，污染环境严重。
为了解决上述问题，市面上出现了连续真空镀膜装置。例如，中国发明专利CN202482431U公开了一种连续真空镀膜装置，该装置由若干个镀膜腔体串接节联构成，每个镀膜腔体配置有离子束清洗源、和/或过滤阴极真空镀膜膜源、和/或磁控溅射源和分子真空泵，镀膜腔体之间用插板阀关闭密封或开启，节联的镀膜腔体，两头各有一个装载/卸载室和一个真空过渡室，装载/卸载室后面分别有镀制工件转动架平台，镀制工件转动架平台上放置镀制工件转动架，镀制工件转动架上悬挂有镀制工件，镀制工件转动架通过传动滚轴传送到各个镀膜腔体，依次、连续实施不同需求的连续镀膜后，分别从一端的装载/卸载室取出。该连续真空镀膜装置可长时间连续镀膜，延长了设备维护周期，一次能够镀多个镀件，生产效率提高许多倍。
然而，上述连续真空镀膜装置存在如下问题：(1)镀制工件转动架只能从真空镀膜装置的一端传送到另一端，不能循环，无法实现真正的连续，效率还有待提高；(2)通过传动滚轴传送镀制工件转动架，传送过程中镀制工件转动架容易发生偏离，导致镀制工件转动架传送到镀膜腔体内的位置发生偏差，从而影响镀膜的质量。
发明内容
针对现有技术中的缺陷，本发明提供了一种应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，以实现工件架的循环传输，工作的连续性更好，提高了镀膜的效率。
本发明提供了一种应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，包括进程传输机构、回程传输机构以及设于所述进程传输机构和回程传输机构两端的横移装置；
所述进程传输机构包括若干独立的、能够纵向传输工件架前进的进程传输轨道，各所述进程传输轨道位于同一轴线上，每个进程传输轨道安装于对应的一真空镀膜腔内；
所述回程传输机构包括一平行于所述进程传输轨道设置的、能够纵向传输工件架返回的回程传输轨道；
所述横移装置包括能够纵向传输工件架移动的对接传输轨道、以及用于驱动所述对接传输轨道横移使得对接传输轨道能够分别与所述进程传输轨道和回程传输轨道对接的横移机构。
进一步地，所述工件架的上端设有T形挂架；
所述进程传输轨道包括安装于真空镀膜腔顶部的第一轨道槽，所述第一轨道槽的相对内侧安装有若干对第一传输轮，工件架传输到进程传输轨道时，所述工件架的T形挂架挂在两侧的第一传输轮上；
所述回程传输轨道包括第一轨道架以及安装于所述第一轨道架上的第二轨道槽，所述第二轨道槽的相对内侧安装有若干对第二传输轮，工件架传输到回程传输轨道时，所述工件架的T形挂架挂在两侧的第二传输轮上；
所述横移机构包括第二轨道架、横移架和横移驱动机构，所述第二轨道架上设有横移轨道，所述横移架滑动安装于所述横移轨道上，所述横移驱动机构用于驱动所述横移架沿所述横移轨道移动，所述对接传输轨道包括第三轨道槽，所述第三轨道槽固定在所述横移架下，第三轨道槽的相对内侧安装有若干对第三传输轮，工件架传输到对接传输轨道时，所述工件架的T形挂架挂在两侧的第三传输轮上。
进一步地，所述进程传输机构还包括安装于真空镀膜腔底部、用于对工件架的下端进行传输导向的第一导轨。
进一步地，所述横移架的下侧连接有吊架，所述横移装置还包括安装在所述吊架的下部、用于对工件架的下端进行传输导向的第二导轨。
进一步地，所述吊架包括若干间隔设置的U形架，U形架的两侧架的上端固定在所述横移架上，所述第三轨道槽和第二导轨均设于U形架的两侧架之间，第二导轨安装在各所述U形架的底架上。
进一步地，所述第一导轨上间隔设有若干对第一导向轮，两侧的第一导向轮之间形成对工件架的下端进行传输导向的轨道，所述第二导轨上间隔设有若干对第二导向轮，两侧的第一导向轮之间形成对工件架的下端进行传输导向的轨道。
进一步地，所述第二导轨朝向真空镀膜腔的一端还设有一引导件，所述引导件朝向真空镀膜腔的一端设有V形引导口。
进一步地，所述第二轨道架包括两条横梁，每条所述横梁下设有若干根支撑柱，每条横梁上均设有一所述横移轨道，所述横移架的两端分别滑动安装在两侧的横移轨道上。
进一步地，所述横移驱动机构包括沿所述横移轨道安装的齿条、与所述齿条啮合的齿轮、安装在所述横移架上用于驱动所述齿轮转动的电机。
进一步地，所述第二轨道架上还设有沿所述横移轨道延伸的电线保护拖链，所述电线保护拖链的一端折弯并固定在所述横移架上，所述电机的供电线沿所述电线保护拖链延伸。
本发明的有益效果体现在：
工作时，镀膜工件安装在工件架上，工件架首先位于起始端的横移装置的对接传输轨道上，镀膜程序启动后，首先通过横移机构驱动对接传输轨道移动，使得对接传输轨道与进程传输轨道对准，然后对接传输轨道传输工件架过渡到进程传输轨道，再依次通过各进程传输轨道传输经过各真空镀膜腔，工件架经过各真空镀膜腔时，真空镀膜腔两端的真空门阀关闭，从而对工件架上的镀膜工件进行镀膜处理，进程传输轨道采用分段式设计，在满足工件架传输的同时，不会影响真空门阀的关闭，工件镀膜完成后，回程端横移装置的横移机构驱动对接传输轨道移动到与进程传输轨道对准的位置，再通过进程传输轨道传输工件架过渡到对接传输轨道上，然后再通过横移机构驱动对接传输轨道移动，使得对接传输轨道与回程传输轨道对准，然后对接传输轨道传输工件架过渡到回程传输轨道，然后通过回程传输轨道传输到起始端的横移装置，最后过渡到与回程传输轨道对准的起始端的对接传输轨道上，从而实现工件架的循环传输。因此，相对于现有技术，本申请实现了工件架的循环传输，工作的连续性更好，提高了镀膜的效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
图1为本发明实施例的整体结构示意图；
图2为本发明实施例的进程传输机构的俯视图；
图3为本发明实施例的进程传输机构与工件架结合的示意图；
图4为本发明实施例的回程传输机构的立体图；
图5为本发明实施例的回程传输机构与工件架结合的示意图；
图6为本发明实施例的横移装置的侧视图；
图7为本发明实施例的横移装置与工件架结合的示意图。
附图中，100-进程传输机构；110-进程传输轨道；111-第一轨道槽；112-第一传输轮；120-第一导轨；121-第一导向轮；200-回程传输机构；210-回程传输轨道；211-第一轨道架；212-第二轨道槽；213-第二传输轮；300-横移装置；310-对接传输轨道；311-第三轨道槽；312-第三传输轮；320-横移机构；321-第二轨道架；3211-横梁；3212-支撑柱；322-横移架；323-横移驱动机构；3231-齿条；3232-齿轮；3233-电机；324-横移轨道；325-吊架；330-第二导轨；331-第二导向轮；332-引导件；3321-V形引导口；340-电线保护拖链；400-工件架；410-T形挂架；500-真空镀膜腔。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本发明的保护范围。
需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域技术人员所理解的通常意义。
如图1-图7所示，本发明实施例提供了一种应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，包括进程传输机构100、回程传输机构200以及设于进程传输机构100和回程传输机构200两端的横移装置300。
进程传输机构100包括若干独立的、能够纵向传输工件架400前进的进程传输轨道110，各进程传输轨道110位于同一轴线上，每个进程传输轨道110安装于对应的一真空镀膜腔500内。
回程传输机构200包括一平行于进程传输轨道110设置的、能够纵向传输工件架400返回的回程传输轨道210。
横移装置300包括能够纵向传输工件架400移动的对接传输轨道310、以及用于驱动对接传输轨道310横移使得对接传输轨道310能够分别与进程传输轨道110和回程传输轨道210对接的横移机构320。
工作时，镀膜工件安装在工件架400上，工件架400首先位于起始端的横移装置300的对接传输轨道310上，镀膜程序启动后，首先通过横移机构320驱动对接传输轨道310移动，使得对接传输轨道310与进程传输轨道110对准，然后对接传输轨道310传输工件架400过渡到进程传输轨道110，再依次通过各进程传输轨道110传输经过各真空镀膜腔500，工件架400经过各真空镀膜腔500时，真空镀膜腔500两端的真空门阀关闭，从而对工件架400上的镀膜工件进行镀膜处理，进程传输轨道110采用分段式设计，在满足工件架400传输的同时，不会影响真空门阀的关闭，工件镀膜完成后，回程端横移装置300的横移机构320驱动对接传输轨道310移动到与进程传输轨道110对准的位置，再通过进程传输轨道110传输工件架400过渡到对接传输轨道310上，然后再通过横移机构320驱动对接传输轨道310移动，使得对接传输轨道310与回程传输轨道210对准，然后对接传输轨道310传输工件架400过渡到回程传输轨道210，然后通过回程传输轨道210传输到起始端的横移装置300，最后过渡到与回程传输轨道210对准的起始端的对接传输轨道310上，从而实现工件架400的循环传输。因此，相对于现有技术，本申请实现了工件架400的循环传输，工作的连续性更好，提高了镀膜的效率。
在一具体的实施例中，参照图3、图5和图7，工件架400的上端设有T形挂架410。
进程传输轨道110包括安装于真空镀膜腔500顶部的第一轨道槽111，第一轨道槽111的相对内侧安装有若干对第一传输轮112，工件架400传输到进程传输轨道110时，工件架400的T形挂架410挂在两侧的第一传输轮112上。
回程传输轨道210包括第一轨道架211以及安装于第一轨道架211上的第二轨道槽212，第二轨道槽212的相对内侧安装有若干对第二传输轮213，工件架400传输到回程传输轨道210时，工件架400的T形挂架410挂在两侧的第二传输轮213上。
横移机构320包括第二轨道架321、横移架322和横移驱动机构323，第二轨道架321上设有横移轨道324，横移架322滑动安装于横移轨道324上，横移驱动机构323用于驱动横移架322沿横移轨道324移动，对接传输轨道310包括第三轨道槽311，第三轨道槽311固定在横移架322下，第三轨道槽311的相对内侧安装有若干对第三传输轮312，工件架400传输到对接传输轨道310时，工件架400的T形挂架410挂在两侧的第三传输轮312上。
具体地，参照图6和图7，第二轨道架321包括两条横梁3211，每条横梁3211下设有若干根支撑柱3212，每条横梁3211上均设有一横移轨道324，横移架322的两端分别滑动安装在两侧的横移轨道324上。横移驱动机构323包括沿横移轨道324安装的齿条3231、与齿条3231啮合的齿轮3232、安装在横移架322上用于驱动齿轮3232转动的电机3233，通过电机3233驱动齿轮3232转动可带动横移架322横移。其它实施例中，横移驱动机构323也可以采用传送带、丝杆等驱动结构。第二轨道架321上还设有沿横移轨道324延伸的电线保护拖链340，电线保护拖链340的一端折弯并固定在横移架322上，电机3233的供电线沿电线保护拖链340延伸，电线保护拖链340能够起到保护和收放电机3233的供电线的作用。
本实施例的进程传输轨道110、回程传输轨道210和对接传输轨道310均采用吊滑轨的结构，工作时，只需要驱动各传输轨道的传输轮转动，即可带动工件架400移动，从而实现工件架400的传输，镀膜传送的过程中，工件架400的左右位置固定，只需要控制工件架400前后方向上传输的位置，即可精确地将工件架400传输到镀膜腔体内镀膜的位置，有助于把控镀膜的质量。
优选地，参照图3，进程传输机构100还包括安装于真空镀膜腔500底部、用于对工件架400的下端进行传输导向的第一导轨120。通过设置第一导轨120，第一导轨120能够对工件架400的下端进行限位，从而减小工件架400下端的左右摆动，提高了工件架400传输镀膜时的稳定性，有助于提高工件架400上的工件镀膜的质量。
进一步地，参照图6和图7，横移架322的下侧连接有吊架325，横移装置300还包括安装在吊架325的下部、用于对工件架400的下端进行传输导向的第二导轨330，对接传输轨道310传输工件架400过渡到进程传输轨道110时，第二导轨330能够对工件架400的下端进行限位导向，从而减小工件架400传输过程中的摆动，确保工件架400平稳地传输过渡到进程传输轨道110。
具体地，吊架325包括若干间隔设置的U形架，U形架的两侧架的上端固定在横移架322上，第三轨道槽311和第二导轨330均设于U形架的两侧架之间，第二导轨330安装在各U形架的底架上。
第一导轨120上间隔设有若干对第一导向轮121，两侧的第一导向轮121之间形成对工件架400的下端进行传输导向的轨道，第二导轨330上间隔设有若干对第二导向轮331，两侧的第一导向轮121之间形成对工件架400的下端进行传输导向的轨道。通过在第一导轨120和第二导轨330上设置导向轮，不仅能够满足对工件架400的下端进行传输导向的要求，还能减小工件架400与第一导轨120和第二导轨330之间的传输摩擦阻力。
回程传输机构200对传输的稳定性要求不高，为了节约成本，回程传输轨道210的下方无需设置导轨，因而回程传输轨道210传输工件架400时，工件架400的下端具有一定的摆动，为了确保工件架400从回程传输轨道210过渡到对接传输轨道310时，工件架400的下端能够顺利滑入第二导轨330，第二导轨330朝向真空镀膜腔500的一端还设有一引导件332，引导件332朝向真空镀膜腔500的一端设有V形引导口3321。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本发明的权利要求和说明书的范围当中。
Claims (6)
1.一种应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，其特征在于，包括：
进程传输机构，所述进程传输机构包括若干独立的、能够纵向传输工件架前进的进程传输轨道，各所述进程传输轨道位于同一轴线上，每个进程传输轨道安装于对应的一真空镀膜腔内；
回程传输机构，所述回程传输机构包括一平行于所述进程传输轨道设置的、能够纵向传输工件架返回的回程传输轨道；
以及设于所述进程传输机构和回程传输机构两端的横移装置，所述横移装置包括能够纵向传输工件架移动的对接传输轨道、以及用于驱动所述对接传输轨道横移使得对接传输轨道能够分别与所述进程传输轨道和回程传输轨道对接的横移机构；
所述工件架的上端设有T形挂架；
所述进程传输轨道包括安装于真空镀膜腔顶部的第一轨道槽，所述第一轨道槽的相对内侧安装有若干对第一传输轮，工件架传输到进程传输轨道时，所述工件架的T形挂架挂在两侧的第一传输轮上；
所述回程传输轨道包括第一轨道架以及安装于所述第一轨道架上的第二轨道槽，所述第二轨道槽的相对内侧安装有若干对第二传输轮，工件架传输到回程传输轨道时，所述工件架的T形挂架挂在两侧的第二传输轮上；
所述横移机构包括第二轨道架、横移架和横移驱动机构，所述第二轨道架上设有横移轨道，所述横移架滑动安装于所述横移轨道上，所述横移驱动机构用于驱动所述横移架沿所述横移轨道移动，所述对接传输轨道包括第三轨道槽，所述第三轨道槽固定在所述横移架下，第三轨道槽的相对内侧安装有若干对第三传输轮，工件架传输到对接传输轨道时，所述工件架的T形挂架挂在两侧的第三传输轮上；
所述进程传输机构还包括安装于真空镀膜腔底部、用于对工件架的下端进行传输导向的第一导轨；
所述横移架的下侧连接有吊架，所述横移装置还包括安装在所述吊架的下部、用于对工件架的下端进行传输导向的第二导轨；
所述第二导轨朝向真空镀膜腔的一端还设有一引导件，所述引导件朝向真空镀膜腔的一端设有V形引导口；
回程传输轨道的下方无需设置导轨。
2.根据权利要求1所述的应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，其特征在于，
所述吊架包括若干间隔设置的U形架，U形架的两侧架的上端固定在所述横移架上，所述第三轨道槽和第二导轨均设于U形架的两侧架之间，第二导轨安装在各所述U形架的底架上。
3.根据权利要求1所述的应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，其特征在于，
所述第一导轨上间隔设有若干对第一导向轮，两侧的第一导向轮之间形成对工件架的下端进行传输导向的轨道，所述第二导轨上间隔设有若干对第二导向轮，两侧的第一导向轮之间形成对工件架的下端进行传输导向的轨道。
4.根据权利要求1所述的应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，其特征在于，
所述第二轨道架包括两条横梁，每条所述横梁下设有若干根支撑柱，每条横梁上均设有一所述横移轨道，所述横移架的两端分别滑动安装在两侧的横移轨道上。
5.根据权利要求1所述的应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，其特征在于，
所述横移驱动机构包括沿所述横移轨道安装的齿条、与所述齿条啮合的齿轮、安装在所述横移架上用于驱动所述齿轮转动的电机。
6.根据权利要求5所述的应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，其特征在于，
所述第二轨道架上还设有沿所述横移轨道延伸的电线保护拖链，所述电线保护拖链的一端折弯并固定在所述横移架上，所述电机的供电线沿所述电线保护拖链延伸。
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