CN201272825Y - 一种双端多室真空镀膜装置 - Google Patents

Abstract

一种双端多室真空镀膜装置，包括镀膜室、真空预备室和工件架车，在真空预备室的边侧部设有工件装卸台，真空预备室内设有两条工件架车转运轨道，在真空预备室的左右两端各连接有至少一个镀膜室，在所述的镀膜室内设有环形轨道，环形轨道分别通过轨道切换机构与工件架车转运轨道对接，工件装卸台设有“U”形传输轨道，“U”形传输轨道的两端与两条工件架车转运轨道横向相交，在相交处设有变轨装置和轨道槽，真空预备室与镀膜室和工件装卸台之间分别设有真空锁和门阀，真空预备室和镀膜室都与抽真空系统相连接。借助中间的真空预备室，可实现单机节拍式真空镀膜。在生产过程中镀膜室不暴露大气，缩短了生产周期，提高了生产效率，提高了膜层质量。

Description

一种双端多室真空镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及一种适合于工件大批量生产的真空镀膜系统，特别是一种双端多室真空镀膜装置。

背景技术

在目前应用于管状、片状及柱状等小件物品镀膜的真空装置，多为一个镀膜室配一套真空获得系统而组成的单机真空镀膜设备。在生产过程中，一个工作周期主要包括装工件、抽真空、镀膜、充大气、卸工件等五个步骤。由此看出，在每一个工作周期中，都要对镀膜室抽一次真空、充一次空气，这种周期式的镀膜方式，对能源浪费的同时生产效率也大大降低且工艺控制难度增加。真空状态下制备的膜层，一般对镀膜的本底真空度要求较高，通常在10^-3Pa数量级以上。一台单机设备从大气抽到10^-3Pa数量级的真空状态，需要耗费十几甚至几十分钟，占整个工作周期的一半，甚至还要多。而真空获得系统的耗电量在整台镀膜设备总的耗电量中，占相当大的比例。所以抽真空的时间越长，设备的工作周期就越长，能耗就越大、效率就越低、工件的单位成本就越高。镀膜室反复地经常暴露大气，对镀膜环境造成了不同程度的污染，使工艺运行的重复性变差、稳定性降低，质量控制增加了难度。

现有技术中，ZL200520130173.1的中国专利，它公开了一种多个镀膜仓共用一个移动式切换仓的真空镀膜系统，移动式切换仓需要分别与各个镀膜仓对接。对接后工件架需要从镀膜室的顶部取出，然后与切换仓内的工件架进行互换。其不足之处在于：首先是切换仓与镀膜仓上下叠加，高度最少超过6米，操作不方便，占用空间。而且切换仓内要能容下两副工件架，其体积庞大，增加了抽真空的负担和能耗。工件架在镀膜室内上升以及在切换仓进行互换不容易实现。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提出了一种能耗低、效率高、提高了膜层质量而且容易实现的双端多室真空镀膜装置。

本实用新型要解决的技术问题是通过以下技术方案来实现的，一种双端多室真空镀膜装置，其特点是：包括镀膜室、真空预备室和工件架车，在真空预备室的边侧部设有工件装卸台，真空预备室内并排设有两条工件架车转运轨道，在真空预备室的左右两端各连接有至少一个镀膜室，在所述的镀膜室内设有环形轨道，每一个镀膜室内的环形轨道分别通过轨道切换机构与上述真空预备室内的两条工件架车转运轨道对接，工件装卸台设有“U”形传输轨道，“U”形传输轨道的两端与真空预备室内两条工件架车转运轨道横向相交，在相交处设有变轨装置和轨道槽，真空预备室与镀膜室和工件装卸台之间分别设有真空锁和门阀，真空预备室和每个镀膜室都与抽真空系统相连接。

本实用新型主要涉及到的是镀膜室、真空预备室、工件装卸台的组合的结构形式及工作的流程控制方式，借助中间的真空预备室，可实现单机节拍式真空镀膜。在生产过程中镀膜室不暴露大气，预备真空室的抽真空过程和两端镀膜室的镀膜过程可同时进行，镀膜工艺的运行周期即为工件生产的工作周期。本实用新型解决了目前单机镀膜设备，所存在的镀膜室频繁暴露大气、抽真空时间长等影响效率和质量的问题。

与现有技术相比，本实用新型具有以下几项有益的效果：①缩短了生产周期，提高了生产效率，降低了能源消耗；②镀膜室杜绝了大气污染，提高了膜层质量；③结构简单，操作方便，占地面积小，易于大规模的推广使用。

附图说明

图1为本实用新型设有两个镀膜室的结构示意图。

图2为真空预备室两端连接四个镀膜室的结构示意图。

具体实施方式

一种双端多室真空镀膜装置，包括镀膜室、真空预备室和工件架车，在真空预备室的边侧部设有工件装卸台，真空预备室内并排设有两条工件架车转运轨道，在真空预备室的左右两端各连接有至少一个镀膜室，在所述的镀膜室内设有环形轨道，每一个镀膜室内的环形轨道分别通过轨道切换机构与上述真空预备室内的两条工件架车转运轨道对接，工件装卸台设有“U”形传输轨道，“U”形传输轨道的两端与真空预备室内两条工件架车转运轨道横向相交，在相交处设有变轨装置和轨道槽，真空预备室与镀膜室和工件装卸台之间分别设有真空锁和门阀，真空预备室和每个镀膜室都与抽真空系统相连接。轨道切换机构包括传输轨道以及在变换轨道处设置的变轨装置。

下面结合附图对本发明镀膜方法、流程方式，作详细的说明。如图1所示：

①开机，真空预备室1、在镀膜室2内都装有工件。在工件装卸台上的“U”形传输轨道位置装有空的工件架车9。利用抽真空系统10抽真空，真空度达到要求开始镀膜。其中一个镀膜室先镀膜，等到先镀膜的镀膜室的工艺时间运行至一半左右，再启动另一镀膜室镀膜。

②在工件装卸台11轨道上的工件架车9装工件8。

③先镀膜的镀膜室镀膜完毕，与该室连接的真空锁5打开，通过轨道切换机构实现镀膜室内的环形轨道与真空预备室1内的工件架车转运轨道3的连接。镀膜室2内的工件8与真空预备室1内的工件8交换，交换结束该真空室连接的真空锁5关闭，该镀膜室开始镀膜。

在纵横两条轨道的交叉处，有便于工件架车9通过的轨道槽7，可以实现工件架车9纵向、横向通过，而且不会影响传动的平稳性。

④真空预备室1充入空气，开门阀6，通过变轨装置及轨道槽7实现真空预备室1内的工件架车转运轨道3与工件装卸台上的轨道的连接。对真空预备室1内的工件8与工件装卸台11上的工件8进行交换。交换完毕，关毕门阀6，真空预备室1抽真空。工件装卸台11进行卸、装工件8的操作。装完工件的工件架车9，在此等待。

⑤另一镀膜室2镀膜完毕，与该镀膜室连接的真空锁5打开，通过变轨装置实现镀膜室内的环形轨道4与真空预备室1内的工件架车转运轨道3的连接。镀膜室2内的工件8与真空预备室1内的工件8交换，交换结束该真空室连接的真空锁5关闭，该镀膜室开始镀膜。

⑥真空预备室1充入空气，重复④动作。

从③—⑥为正常生产的一个工作周期，接下来将是镀膜室2镀膜完毕，与真空预备室1的工件进行交换，重复以上③—⑥所描述的工作。

在工作过程中要有多套工件架车在该镀膜装置上运转，这样在装工件—抽真空—镀膜—充大气—卸工件一个工作周期内，其它环节的操作，完全在镀膜的时间内完成。生产周期即为镀膜工艺运行的时间，生产节拍就等于镀膜工艺运行时间除以镀膜室的数量。

图2所示，是在真空预备室的两端配备了4个镀膜室。工件传输的流程，与2个镀膜室的情况一致。各镀膜室之间的启停根据流程控制的先后排序，但必须保证各镀膜室镀膜的启停时间彼此有一定间隔，最好是等时间间隔，这样才能保证物流通道的通畅，最大限度的提高设备效率。

4个镀膜室的工艺流程，结合2个镀膜室的结构，进行如下描述：

⑦第三个镀膜室对装入的工件8镀膜，镀膜完毕与该室通过变轨装置实现镀膜室内的轨道4与真空预备室1内的轨道3的连接。镀膜室2内的工件8与真空预备室1内的工件8交换，交换结束该真空室2连接的真空锁5关闭，该镀膜室2开始镀膜。真空预备室1充空气，重复④动作。

⑧第四个镀膜室2对装入的工件8镀膜，镀膜完毕通过变轨装置实现镀膜室内的轨道3与真空预备室内的轨道3的连接。镀膜室内的工件8与真空预备室1内的工件8交换，交换结束该镀膜室连接的真空锁5关闭，该镀膜室开始镀膜。真空预备室1充空气，重复④动作。

⑨第一个镀膜室镀膜完毕，重复③的动作，然后依次重复③—⑨所有动作，进行节拍式的生产。

根据以上的发明，在两个镀膜室基础上，每增加一个镀膜室效率就提高n/2(n表示镀膜室的数量，2表示基础设备镀膜室的数量)，如果配套的附属设施允许，可以将镀膜室增加到6、8甚至更多。

Claims (1)

1.一种双端多室真空镀膜装置，其特征在于：包括镀膜室、真空预备室和工件架车，在真空预备室的边侧部设有工件装卸台，真空预备室内并排设有两条工件架车转运轨道，在真空预备室的左右两端各连接有至少一个镀膜室，在所述的镀膜室内设有环形轨道，每一个镀膜室内的环形轨道分别通过轨道切换机构与上述真空预备室内的两条工件架车转运轨道对接，工件装卸台设有“U”形传输轨道，“U”形传输轨道的两端与真空预备室内两条工件架车转运轨道横向相交，在相交处设有变轨装置和轨道槽，真空预备室与镀膜室和工件装卸台之间分别设有真空锁和门阀，真空预备室和每个镀膜室都与抽真空系统相连接。

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