CN115276596A - 声表面波器件及声表面波滤波器 - Google Patents

Abstract

本公开提供了一种声表面波器件及声表面波滤波器。该声表面波器件包括：压电衬底；以及叉指换能器，被配置为设置在压电衬底的表面；其中，叉指换能器包括平行设置的两条母线，每条母线被配置为通过条状栅结构连接一条子母线，子母线被配置为连接有间隔设置的多个第一电极和多个第二电极，其中一条子母线的第一电极被配置为沿电极延伸方向与另一条子母线的第二电极相对设置，第一电极和第二电极相对设置的一端均被配置为具有预设端部结构，其中，第一电极在电极延伸方向的长度大于第二电极在电极延伸方向的长度。

Description

声表面波器件及声表面波滤波器

技术领域

本公开涉及声波器件技术领域，更具体地，涉及一种声表面波器件及声表面波滤波器。

背景技术

声表面波可以指在固体半空间表面存在的一种沿表面传播，能量集中于表面附近的弹性波，因其能量密度高、传播速度慢等特点，基于声表面波制作的声表面波器件在谐振器、滤波器、传感器等产品中得到了广泛应用。

由于声表面波是一种声波，基于其自身的特点，声表面波器件无可避免地会产生较多的横向寄生模式。在实现本公开构思的过程中，发明人发现相关技术中至少存在如下问题：相关技术中对于声表面波器件的改进无法有效抑制横向寄生模式，由此导致声表面波器件的品质因数较低。

发明内容

有鉴于此，本公开提供了一种声表面波器件及声表面波滤波器。

本公开的一个方面提供了一种声表面波器件，包括：

压电衬底；以及

叉指换能器，被配置为设置在上述压电衬底的表面；

其中，上述叉指换能器包括平行设置的两条母线，每条上述母线被配置为通过条状栅结构连接一条子母线，上述子母线被配置为连接有间隔设置的多个第一电极和多个第二电极，其中一条上述子母线的上述第一电极被配置为沿电极延伸方向与另一条上述子母线的上述第二电极相对设置，上述第一电极和上述第二电极相对设置的一端均被配置为具有预设端部结构，其中，上述第一电极在上述电极延伸方向的长度大于上述第二电极在上述电极延伸方向的长度。

根据本公开的实施例，上述第一电极的预设端部结构被配置为形成沿母线延伸方向延伸的第一边缘区域，上述第二电极的预设端部结构被配置为形成沿上述母线延伸方向延伸的第二边缘区域；

其中，上述第一电极被配置为在与上述第一边缘区域重合的端部具有上述预设端部结构，和/或，在与上述第二边缘区域重合的端部具有上述预设端部结构。

根据本公开的实施例，上述第一电极和上述第二电极在母线延伸方向上的宽度相等，上述预设端部结构在上述母线延伸方向上的宽度大于上述第一电极或上述第二电极在上述母线延伸方向上的宽度。

根据本公开的实施例，上述叉指换能器还包括第一金属条结构，上述第一金属条结构被配置为与上述子母线平行设置，上述第一金属条结构被配置为连接多个上述第二电极的预设端部结构和多个上述第一电极。

根据本公开的实施例，上述条状栅结构包括等间隔平行设置的多个第二金属条结构，上述第二金属条结构被配置为与上述母线平行设置。

根据本公开的实施例，上述第一电极被配置为沿上述电极延伸方向依次穿过上述子母线和多个上述第二金属条结构来连接上述母线。

根据本公开的实施例，上述第二电极被配置为沿上述电极延伸方向依次穿过上述子母线和多个上述第二金属条结构来连接上述母线。

根据本公开的实施例，上述条状栅结构还包括等间隔平行设置的多个第三金属条结构，上述第三金属条结构的一端被配置为连接上述母线，另一端被配置为连接上述子母线。

根据本公开的实施例，上述第三金属条结构被配置为延伸方向与上述电极延伸方向平行。

本公开的另一个方面提供了一种声表面波滤波器，包括至少一个如上所述的声表面波器件。

根据本公开的实施例，通过在第一电极与子母线之间的区域设置有第二电极，并在第一电极和第二电极相对设置的一端设置有预设端部结构，以改变声波在叉指换能器中的传播速度，从而使得叉指换能器可以将非活塞波形的其余波形滤除，其波形的传播模式符合活塞波形的模式。此外，通过在母线与子母线之间设置条状栅结构，可以在母线与子母线之间的区域形成短路结构，用以减弱该区域的电场强度，抑制声波在该区域的传播。通过上述结构设置，可以至少部分地克服了相关技术中存在的无法有效抑制横向寄生模式，声表面波器件的品质因数较低的技术问题，进而有效减少了声表面波器件的寄生模式，使得声表面波器件具有较高的品质因数。

附图说明

通过以下参照附图对本公开实施例的描述，本公开的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

图1示意性示出了根据本公开实施例的声表面波器件的俯视图。

图2示意性示出了根据本公开实施例的叉指换能器的局部放大示意图。

图3A示意性示出了根据本公开另一实施例的叉指换能器的局部放大示意图。

图3B示意性示出了根据本公开另一实施例的叉指换能器的局部放大示意图。

图3C示意性示出了根据本公开另一实施例的叉指换能器的局部放大示意图。

图4示意性示出了根据本公开另一实施例的声表面波器件的俯视图。

图5A示意性示出了根据本公开实施例的条状栅结构的示意图。

图5B示意性示出了根据本公开另一实施例的声表面波器件的俯视图。

图5C示意性示出了根据本公开另一实施例的声表面波器件的俯视图。

图5D示意性示出了根据本公开另一实施例的声表面波器件的俯视图。

图5E示意性示出了根据本公开另一实施例的声表面波器件的俯视图。

图6示意性示出了根据本公开另一实施例的声表面波器件的俯视图。

图7示意性示出了根据本公开实施例的声表面波谐振器的示意图。

图8示意性示出了根据本公开实施例的声表面波滤波器的示意图。

图9示意性示出了根据本公开另一实施例的声表面波滤波器的示意图。

具体实施方式

以下，将参照附图来描述本公开的实施例。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本公开的范围。在下面的详细描述中，为便于解释，阐述了许多具体的细节以提供对本公开实施例的全面理解。然而，明显地，一个或多个实施例在没有这些具体细节的情况下也可以被实施。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本公开的概念。

在此使用的术语仅仅是为了描述具体实施例，而并非意在限制本公开。在此使用的术语“包括”、“包含”等表明了所述特征、步骤、操作和/或部件的存在，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、步骤、操作或部件。

在此使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有本领域技术人员通常所理解的含义，除非另外定义。应注意，这里使用的术语应解释为具有与本说明书的上下文相一致的含义，而不应以理想化或过于刻板的方式来解释。

在使用类似于“A、B和C等中至少一个”这样的表述的情况下，一般来说应该按照本领域技术人员通常理解该表述的含义来予以解释(例如，“具有A、B和C中至少一个的系统”应包括但不限于单独具有A、单独具有B、单独具有C、具有A和B、具有A和C、具有B和C、和/或具有A、B、C的系统等)。在使用类似于“A、B或C等中至少一个”这样的表述的情况下，一般来说应该按照本领域技术人员通常理解该表述的含义来予以解释(例如，“具有A、B或C中至少一个的系统”应包括但不限于单独具有A、单独具有B、单独具有C、具有A和B、具有A和C、具有B和C、和/或具有A、B、C的系统等)。

声表面波可以指在固体半空间表面存在的一种沿表面传播，能量集中于表面附近的弹性波，因其能量密度高、传播速度慢等特点，基于声表面波制作的声表面波器件在谐振器、滤波器、传感器等产品中得到了广泛应用。例如，基于声表面波器件可以制成能够在高频电路中作为带通滤波器使用的声表面波滤波器；再例如，基于声表面波器件的兰姆波、瑞利波、拉夫波、水平剪切波等模式可以制成谐振器，并且可以通过将多个该谐振器构成梯型或晶格型拓扑结构来设计滤波器或双工器。

随着声波器件技术的发展，声表面波器件向着小型化、高频化和宽带化的方向发展，同时对于声表面波器件的功率承受能力的要求也越来越高。据此，相关技术中在声表面波器件的基础上，提出了一系列的改进器件，如掩埋型温度补偿声表面波器件(Temperature Compensated Surface Acoustic Wave，TC-SAW)、基于绝缘衬底上的压电材料的声表面波器件(POI-SAW)等。而由于声表面波是一种声波，基于其自身的特点，声表面波器件无可避免地会产生较多的横向寄生模式。相关技术中对于声表面波器件的改进无法在满足上述需求的同时，对横向寄生模式进行有效地抑制。

例如，掩埋型温度补偿声表面波器件是在压电衬底和电极表面铺一层温度补偿层，因而相较于常规的声表面波器件具有更佳的频率温度系数(Temperature Coefficientof Frequency，TCF)和品质因数(Q值)。然而该器件表现出强烈的横向模式，使得该器件的通带有较大的波纹，整体插损下降。

再例如，基于绝缘衬底上的压电材料的声表面波器件是通过将LiNbO₃和LiTaO₃制作成薄膜材料以应用在声表面波器件中，相较于常规的声表面波器件具有更佳的工作频率、等效耦合系数(Equivalent Coupling Coefficient，k2eff)和品质因数。然而，由于该器件的压电层的频率温度系数较差，在工业温度(-20～85℃)范围内会产生较大的频偏，使其插损恶化。

有鉴于此，本公开的实施例提供了一种声表面波器件及声表面波滤波器，该声表面波器件可以有效地抑制横向寄生模式，从而提高器件的品质因数及性能。具体地，本公开的实施例提供的声表面波器件包括：压电衬底；以及叉指换能器，被配置为设置在压电衬底的表面；其中，叉指换能器包括平行设置的两条母线，每条母线被配置为通过条状栅结构连接一条子母线，子母线被配置为连接有问隔设置的多个第一电极和多个第二电极，其中一条子母线的第一电极被配置为沿电极延伸方向与另一条子母线的第二电极相对设置，第一电极和第二电极相对设置的一端均被配置为具有预设端部结构，其中，第一电极在电极延伸方向的长度大于第二电极在电极延伸方向的长度。

图1示意性示出了根据本公开实施例的声表面波器件的俯视图。

如图1所示，声表面波器件可以包括压电衬底100和叉指换能器200。

根据本公开的实施例，压电衬底100可以指由压电材料制作而成的衬底。

根据本公开的实施例，制成压电衬底100的压电材料可以包括但不限于SiO2(二氧化硅)、AlN(氮化铝)、Al2O3(氧化铝)、LiNbO3(铌酸锂)、LiTaO3(钽酸锂)，或者掺杂有其它元素的上述材料等。制成压电衬底100所采用的具体压电材料可以根据应用场景进行选择，在此不作限定。

根据本公开的实施例，压电衬底100可以具有正压电效应和逆压电效应。具体地，正压电效应可以指当压电衬底100在沿一定方向上受到外力的作用而变形时，压电衬底100的内部会产生极化现象，即压电衬底100的两个相对表面上会出现正负相反的电荷，当外力去掉后，压电衬底100可以恢复到不带电的状态。逆压电效应可以指当在压电衬底100的极化方向上施加电场，压电衬底100会发生形变，而当施加的电场消除后，该形变会随之消失。

根据本公开的实施例，基于压电衬底100的正压电效应和逆压电效应，压电衬底100可以实现声电转换。具体地，可以通过对压电衬底100施加变化的电压，如交流电压的方式，使得压电衬底100发生振动，从而在压电衬底100的表面产生声波。在压电衬底100因接收到的声波产生振动后，因极化现象，压电衬底100可以产生变化的电压。

根据本公开的实施例，叉指换能器200可以被配置为设置在压电衬底100的表面。该压电衬底100的表面可以指压电衬底100的可以产生并传递声波的表面。

根据本公开的实施例，叉指换能器200包括平行设置的两条母线210，每条母线被配置为通过条状栅结构220连接一条子母线230，子母线230被配置为连接有间隔设置的多个第一电极240和多个第二电极250，其中一条子母线的第一电极240被配置为沿电极延伸方向与另一条子母线的第二电极250相对设置，第一电极240和第二电极250相对设置的一端均被配置为具有预设端部结构260，其中，第一电极240在电极延伸方向的长度大于第二电极250在电极延伸方向的长度。

根据本公开的实施例，叉指换能器200的两条母线210可以分别和声表面波器件的两个端口连接，以通过端口接收外部输入的电信号，或通过该端口向外部输出电信号。

根据本公开的实施例，条状栅结构220可以由交叉设置的多个金属条构成。多个金属条中的至少一个金属条的两端可以分别连接母线210和子母线230，以实现母线210和子母线230的电连接。

根据本公开的实施例，子母线230可以被配置为与母线210平行设置。

根据本公开的实施例，子母线230上可以连接有交错排列的第一电极240和第二电极250。多个第一电极240和多个第二电极250之间可以平行设置，相邻的电极之间具有一定的空隙，且每两个相邻的电极之间的空隙可以相等。

根据本公开的实施例，电极延伸方向可以指第一电极240的长边所处的方向。第一电极240或第二电极250的电极延伸方向可以与子母线230的延伸方向相互垂直，或者，第一电极240或第二电极250的电极延伸方向与子母线230的延伸方向的夹角可以为0～90°之间的任意值，在此不作限定。

根据本公开的实施例，叉指换能器200可以是由两个叉指电极结构交叉形成的。具体地，一个叉指电极结构可以由一条母线210、一个条状栅结构220、一条子母线230以及与该子母线230连接的多个第一电极240和多个第二电极250组成。在将两个叉指电极结构交叉时，可以将其中一个叉指电极结构的第一电极240与另一个叉指电极结构的第二电极250相对设置，相对设置的第一电极240和第二电极250之间可以留有一定的空隙，且该第一电极240的长边和该第二电极250的长边可以位于同一条直线上。

根据本公开的实施例，预设端部结构260可以指位于第一电极240和第二电极250的边缘，且具有一定形状的结构。预设端部结构260的形状在此不作限定，例如可以是矩阵、三角形、菱形、六边形等。预设端部结构260的具体尺寸可以根据具体应用场景进行确定，在此不作限定。

根据本公开的实施例，通过在第一电极与子母线之间的区域设置有第二电极，并在第一电极和第二电极相对设置的一端设置有预设端部结构，以改变声波在叉指换能器中的传播速度，从而使得叉指换能器可以将非活塞波形的其余波形滤除，其波形的传播模式符合活塞波形的模式。此外，通过在母线与子母线之间设置条状栅结构，可以在母线与子母线之间的区域形成短路结构，用以减弱该区域的电场强度，抑制声波在该区域的传播。通过上述结构设置，可以至少部分地克服了相关技术中存在的无法有效抑制横向寄生模式，声表面波器件的品质因数较低的技术问题，进而有效减少了声表面波器件的寄生模式，使得声表面波器件具有较高的品质因数。

下面参考图2、图3A～图3C、图4、图5A～图5E和图6，结合具体实施例对图1所示的声表面波器件做进一步说明。

图2示意性示出了根据本公开实施例的叉指换能器的局部放大示意图。

如图2所示，第一电极240和第二电极250的短边的长度可以相等，即第一电极240和第二电极250在母线延伸方向上的宽度相等，例如可以均为L。

根据本公开的实施例，叉指换能器200中第一电极240和第二电极250所处的区域的图形占空比可以为L/P，P可以指电极的周期，P可以通过对第一电极240的宽度与相邻的两个第一电极240之间的空隙的宽度求和来获取。

根据本公开的实施例，相对设置的第一电极240和第二电极250之间的间隙的宽度可以为GD，子母线230的宽度可以为WB。通过设置GD和WB的尺寸，可以使得叉指换能器200的边缘位于S2模式分布的波峰处，以减弱S2横向模式。

根据本公开的实施例，预设端部结构260可以是矩形结构，其沿电极延伸方向和母线延伸方向的尺寸可以分别为Wm和Lm。Lm可以大于L，即预设端部结构260在母线延伸方向上的宽度可以大于第一电极240或第二电极250在母线延伸方向上的宽度。

根据本公开的实施例，通过设置该预设端部结构260，可以影响叉指换能器200中各部分的声速。具体地，第一电极240上的预设端部结构260所处区域和第二电极250上的预设端部结构260所处区域的声速会降低，而第一电极240中自与子母线230的连接端至预设端部结构260之间区域、第二电极250中自与子母线230的连接端至预设端部结构260之间区域、以及第一电极240与第二电极250之间的空隙区域的声速则不会受影响。

根据本公开的实施例，预设端部结构260还可以设置在第一电极240上的其他位置，以进一步地调整叉指换能器200中各部分的声速。

图3A示意性示出了根据本公开另一实施例的叉指换能器的局部放大示意图。

如图3A所示，第一电极240的预设端部结构可以被配置为形成沿母线延伸方向延伸的第一边缘区域。第一电极240可以被配置为在与该第一边缘区域重合的端部具有预设端部结构260。

图3B示意性示出了根据本公开另一实施例的叉指换能器的局部放大示意图。

如图3B所示，第二电极250的预设端部结构可以被配置为形成沿母线延伸方向延伸的第二边缘区域。第一电极240可以被配置为在与该第二边缘区域重合的端部具有预设端部结构260。

图3C示意性示出了根据本公开另一实施例的叉指换能器的局部放大示意图。

如图3C所示，第一电极240可以被配置为在与该第一边缘区域重合的端部，和与该第二边缘区域重合的端部均具有预设端部结构260。

根据本公开的实施例，通过上述预设端部结构260的设置，可以使得预设端部结构260与子母线230之间的区域的声速低于叉指换能器的中间区域的声速，从而使声表面波器件呈现活塞运动模式，有效减弱了横向模式。

图4示意性示出了根据本公开另一实施例的声表面波器件的俯视图。

如图4所示，叉指换能器还包括第一金属条结构270。

根据本公开的实施例，第一金属条结构270可以由具有较高导电率的材料制成，如铝、铜、银等。

根据本公开的实施例，第一金属条结构270可以被配置为与子母线230平行设置，且第一金属条结构270被配置为连接多个第二电极250的预设端部结构260和多个第一电极240，即该第一金属条结构270可以用于将多个第二电极250的预设端部结构260中位于同一侧的预设端部结构260短路连接。

根据本公开的实施例，第一金属条结构270在电极延伸方向上的宽度可以大于、等于或小于预设端部结构260在电极延伸方向上的宽度，在此不作限定。

根据本公开的实施例，通过第一金属条结构270的连接可以进一步地降低子母线230与第一金属条结构270之间的区域的声速，以更好地抑制声表面波器件的横向模式。

图5A示意性示出了根据本公开实施例的条状栅结构的示意图。

如图5A所示，条状栅结构220可以由等间隔平行设置的多个第二金属条结构221和等间隔平行设置的多个第三金属条结构222交叉连接构成。

根据本公开的实施例，第二金属条结构221可以被配置为与母线210平行设置。

根据本公开的实施例，第二金属条结构221在沿电极延伸方向上的宽度及每两个第二金属条结构221之间的间隙宽度可以用于配置条状栅结构220的占空比。具体地，第二金属条结构221在沿电极延伸方向上的宽度可以为Wr，每两个第二金属条结构221之间的间隙宽度可以为Wg，则条状栅结构220的占空比为Wr/(Wr+Wg)。

根据本公开的实施例，多个第三金属条结构222中的至少部分第三金属条结构222可以分别连接母线210和子母线230，以实现母线210与子母线230的连接，即该部分的第三金属条结构222的一端可以被配置为连接母线210，另一端可以被配置为连接子母线230。

根据本公开的实施例，条状栅结构220中的第二金属条结构221和第三金属条结构222的数量在此不作限定，即条状栅结构220的栅结构在沿电极延伸方向上的疏密程度和沿母线延伸方向上的疏密程度可以根据具体应用场景下声表面波器件的特性而设置成任意值。

图5B示意性示出了根据本公开另一实施例的声表面波器件的俯视图。

如图5B所示，相较于如图1所示的声表面波器件，该声表面波器件在沿电极延伸方向上具有更稀疏的栅结构，而在沿母线延伸方向上具有更稠密的栅结构。

根据本公开的实施例，图5B中的第三金属条结构222还可以沿母线延伸方向移动任意距离，以实现产生的声波的相位转变。具体地，叉指换能器200的电极的周期可以为P，第三金属条结构222沿母线延伸方向移动的距离可以为p，则声波的相位转变为p/P*180°。

根据本公开的实施例，第三金属条结构222可以被配置为与第二金属条结构221垂直设置，即第三金属条结构222可以被配置为其延伸方向与电极延伸方向平行；或者，第三金属条结构222也可以被配置为与第二金属条结构221基于任意角度倾斜设置，在此不作限定。

图5C示意性示出了根据本公开另一实施例的声表面波器件的俯视图。

如图5C所示，第二金属条结构221可以被配置为与母线210平行设置，第三金属条结构222可以被配置为相对于电极延伸方向倾斜设置，倾斜角，即第三金属条结构222的延伸方向与电极延伸方向的夹角可以为α。

在本公开的其他实施例中，第一电极240或第二电极250可以取代第三金属条结构222，用以实现母线210与子母线230的连接。

图5D示意性示出了根据本公开另一实施例的声表面波器件的俯视图。

如图5D所示，第一电极240可以被配置为沿电极延伸方向依次穿过子母线230和多个第二金属条结构221来连接母线210。即多个第二金属条结构221和第一电极240的延伸部分可以共同构成该条状栅结构220。

图5E示意性示出了根据本公开另一实施例的声表面波器件的俯视图。

如图5E所示，第二电极250可以被配置为沿电极延伸方向依次穿过子母线230和多个第二金属条结构221来连接母线210。即多个第二金属条结构221和第二电极250的延伸部分可以共同构成该条状栅结构220。

图6示意性示出了根据本公开另一实施例的声表面波器件的俯视图。

如图6所示，叉指换能器200可以倾斜设置，具体地，母线210、条状栅结构220和子母线230可以相对于声波传播方向倾斜设置，该声波传播方向可以是压电衬底100的表面上垂直于电极延伸方向的方向。倾斜的角度可以为5°、10°、15°等，在此不作限定。

根据本公开的实施例，通过将叉指换能器200倾斜设置，可以进一步地抑制其他种类的横向振动模式，以提高声表面波器件的品质因数和性能。

图7示意性示出了根据本公开实施例的声表面波谐振器的示意图。

如图7所示，声表面波谐振器可以由一个声表面波器件及两侧的反射栅构成，该声表面波器件和两侧的反射栅可以共用一个压电衬底。

根据本公开的实施例，声表面波器件可以是如图1、图2、图3A～图3C、图4、图5A～图5E和图6中任意一图所示的声表面波器件，该声表面波器件的描述具体参考上述实施例中关于声表面波器件的描述，在此不再赘述。

根据本公开的实施例，通过上述声表面波器件的结构设置，并结合具体应用场景为各个结构设置合适的尺寸，可以将声表面波器件的横向模式充分抑制，提高声表面波器件的品质因数，从而提高声表面波谐振器的整体性能。

根据本公开的实施例，如图7所示的声表面波谐振器可以是构成滤波器、传感器等器件的基本单元，通过采用串联、并联和/或级联的方式来连接多个声表面波谐振器，可以构建不同的拓扑结构，以得到具有不同功能的滤波器、传感器等器件。例如，可以通过连接多个声表面波谐振器构成梯型或晶格型拓扑结构来设计滤波器。

图8示意性示出了根据本公开实施例的声表面波滤波器的示意图。

如图8所示，该滤波器可以是由多个声表面波谐振器通过级联的方式构建得到的梯型滤波器。每个声表面波谐振器可以由单个本公开实施例提供的声表面波器件和两侧的反射栅组成。

在本公开的另一实施例中，也可以通过将声表面波器件并排设置的方式来构成滤波器。

图9示意性示出了根据本公开另一实施例的声表面波滤波器的示意图。

如图9所示，该滤波器可以是由并排设置的多个叉指换能器和两侧的反射栅构成的DMS(Double Mode SAW，双模式声表面波)器件，多个叉指换能器和两侧的反射栅可以共用一个压电衬底。DMS器件可以具有良好的左侧滚降特性，基于该DMS器件可以进一步设计滤波器或双工器件。

需要注意的是，利用本公开实施例提供的声表面波器件也可以制成其他滤波器、传感器等器件，将其他滤波器、传感器等器件中的原声表面波器件替换为本公开实施例提供的声表面波器件即可，在此不再赘述。

本领域技术人员可以理解，本公开的各个实施例和/或权利要求中记载的特征可以进行多种组合和/或结合，即使这样的组合或结合没有明确记载于本公开中。特别地，在不脱离本公开精神和教导的情况下，本公开的各个实施例和/或权利要求中记载的特征可以进行多种组合和/或结合。所有这些组合和/或结合均落入本公开的范围。

以上对本公开的实施例进行了描述。但是，这些实施例仅仅是为了说明的目的，而并非为了限制本公开的范围。尽管在以上分别描述了各实施例，但是这并不意味着各个实施例中的措施不能有利地结合使用。本公开的范围由所附权利要求及其等同物限定。不脱离本公开的范围，本领域技术人员可以做出多种替代和修改，这些替代和修改都应落在本公开的范围之内。

Claims (10)

1.一种声表面波器件，包括：

压电衬底；以及

叉指换能器，被配置为设置在所述压电衬底的表面；

其中，所述叉指换能器包括平行设置的两条母线，每条所述母线被配置为通过条状栅结构连接一条子母线，所述子母线被配置为连接有间隔设置的多个第一电极和多个第二电极，其中一条所述子母线的所述第一电极被配置为沿电极延伸方向与另一条所述子母线的所述第二电极相对设置，所述第一电极和所述第二电极相对设置的一端均被配置为具有预设端部结构，其中，所述第一电极在所述电极延伸方向的长度大于所述第二电极在所述电极延伸方向的长度。

2.根据权利要求1所述的声表面波器件，其中，所述第一电极的预设端部结构被配置为形成沿母线延伸方向延伸的第一边缘区域，所述第二电极的预设端部结构被配置为形成沿所述母线延伸方向延伸的第二边缘区域；

其中，所述第一电极被配置为在与所述第一边缘区域重合的端部具有所述预设端部结构，和/或，在与所述第二边缘区域重合的端部具有所述预设端部结构。

3.根据权利要求1或2所述的声表面波器件，其中，所述第一电极和所述第二电极在母线延伸方向上的宽度相等，所述预设端部结构在所述母线延伸方向上的宽度大于所述第一电极或所述第二电极在所述母线延伸方向上的宽度。

4.根据权利要求1或2所述的声表面波器件，其中，所述叉指换能器还包括第一金属条结构，所述第一金属条结构被配置为与所述子母线平行设置，所述第一金属条结构被配置为连接多个所述第二电极的预设端部结构和多个所述第一电极。

5.根据权利要求1或2所述的声表面波器件，其中，所述条状栅结构包括等间隔平行设置的多个第二金属条结构，所述第二金属条结构被配置为与所述母线平行设置。

6.根据权利要求5所述的声表面波器件，其中，所述第一电极被配置为沿所述电极延伸方向依次穿过所述子母线和多个所述第二金属条结构来连接所述母线。

7.根据权利要求5所述的声表面波器件，其中，所述第二电极被配置为沿所述电极延伸方向依次穿过所述子母线和多个所述第二金属条结构来连接所述母线。

8.根据权利要求5所述的声表面波器件，其中，所述条状栅结构还包括等间隔平行设置的多个第三金属条结构，所述第三金属条结构的一端被配置为连接所述母线，另一端被配置为连接所述子母线。

9.根据权利要求8所述的声表面波器件，其中，所述第三金属条结构被配置为延伸方向与所述电极延伸方向平行。

10.一种声表面波滤波器，包括至少一个权利要求1～9中任一项所述的声表面波器件。

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