CN115223913A - 基板剥离装置、成膜装置、基板载台、基板剥离方法及成膜方法 - Google Patents

基板剥离装置、成膜装置、基板载台、基板剥离方法及成膜方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种不会给基板上的显示器元件区域带来不良影响且能够短时间地将基板从基板载台剥离的基板剥离装置、成膜装置、基板载台、基板剥离方法及成膜方法。该基板剥离装置从利用配设有多个的吸附垫对基板进行保持的基板载台(100)将所述基板剥离，其特征在于，在基板载台(100)，以分别沿着所保持的所述基板中的外周部和所保持的所述基板中的与显示器元件区域之间对应的边界部的方式设置有所述多个吸附垫和将所述基板剥离的多个剥离部。

Description

基板剥离装置、成膜装置、基板载台、基板剥离方法及成膜 方法
技术领域
本发明涉及将保持于基板载台的基板剥离的基板剥离装置、成膜装置、基板载台、基板剥离方法及成膜方法。
背景技术
近年来，在FPD(Flat Panel Display：平板显示器)产业中，考虑到生产效率，存在利用被称为母体玻璃(mother glass)的大型玻璃基板的倾向。为了能够从一块母体玻璃对各个显示器用的多个图像显示部进行分割，使用大型的玻璃基板。例如，对一边超过两米的母体玻璃实施成膜等制造工艺，并沿着将图像显示部隔开的基板裁断线进行分割，成为期望的各种尺寸的最终产品。一般而言，母体玻璃的厚度小于几毫米。使挠曲、破损的影响最小化成为重要的课题，在制造工序中，母体玻璃一边与基板载台一体地被搬送，一边被实施真空成膜处理。
为了使母体玻璃与基板载台一体化，优选使用粘合构件。在粘合构件中，要求保持母体玻璃的粘合力和能够短时间地将玻璃分离的剥离性，优选能够多次地进行再利用。例如，在专利文献1中公开了具备用于保持基板的多个粘合构件和从各粘合构件的侧方向基板突出的剥离销的技术。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2015-046517号公报
发明内容
发明要解决的课题
在专利文献1公开的技术中，遍及基板整个区域地配置粘合构件和剥离销。因此，在需要成膜等后续加工的功能部，换言之，在最终产品的图像显示部(显示器元件区域)，粘合构件、剥离销也会与基板接触。例如，在真空成膜中有可能会由于粘合构件接触而产生导热性能的局部差异，会损害成膜的均匀性。或者，有可能会由于剥离销抵碰而在图像显示部残留痕迹。这有可能会给高精细的图像显示带来影响。
鉴于上述课题，一些实施例的目的在于在抑制对基板上的显示器元件区域的影响的同时，将基板从基板载台剥离。
用于解决课题的手段
本发明的一侧面的基板剥离装置从利用配设有多个的吸附垫对基板进行保持的基板载台将所述基板剥离，其特征在于，在所述基板载台，以分别沿着所保持的所述基板中的外周部和所保持的所述基板中的与显示器元件区域之间对应的边界部的方式设置有所述多个吸附垫和将所述基板剥离的多个剥离部。
发明的效果
根据至少一部分的实施方式，能够在抑制对基板上的显示器元件区域的影响的同时，将基板从基板载台剥离。
附图说明
图1是示出本发明的实施方式的基板的一例的说明图(俯视图)。
图2是示出本发明的实施方式的基板载台的一例的说明图(俯视图)。
图3是示出本发明的实施方式的基板载台的一例的说明图(俯视图)。
图4是本发明的实施方式的基板载台的示意性剖视图。
图5是本发明的实施方式的基板载台的示意性剖视图。
图6是示出对本发明的实施方式的基板的处理步骤的流程图。
图7是本发明的实施方式的基板保持装置的动作说明图。
图8是本发明的实施方式的基板保持装置的动作说明图。
图9是本发明的实施方式的基板保持装置的动作说明图。
图10是本发明的实施方式的基板保持装置的动作说明图。
图11是本发明的实施方式的反转装置的动作说明图。
图12是本发明的实施方式的成膜处理时的动作说明图。
图13是本发明的实施方式的基板剥离动作的概要说明图。
图14是本发明的实施方式的基板剥离动作的概要说明图。
图15是本发明的实施例1的基板剥离装置的动作说明图。
图16是示出本发明的实施例2的剥离销单元的一例的说明图(俯视图)。
图17是本发明的实施例2的基板剥离装置的动作说明图。
图18是示出本发明的实施例3的剥离销单元的一例的说明图(示意性剖视图)。
图19是本发明的实施例3的基板剥离装置的动作说明图。
图20是本发明的实施例的有机EL显示装置的说明图。
附图标记说明
10…母体玻璃(基板)10x…母体玻璃设置部位11、12、13…图像显示部14…内部区域15…外部区域100，100X…基板载台110…平板状构件110x…基板保持面111、112…贯通孔120…吸附垫123…粘合构件341…剥离销。
具体实施方式
以下，基于附图，对本发明的实施方式及实施例进行说明。本说明书中记载的结构部件的尺寸、材质、形状、其相对配置等只要没有特别特定的记载，就不将本发明的范围仅限定于此。本说明书中的“粘合”是指在具有粘合性的粘合材料与玻璃基板等被粘物表面接触的情况下由该粘合材料与该被粘物表面之间的分子间力产生的性质。另外，“剥离”是指该粘合材料从该被粘物分离。
以下，对本发明的实施方式的基板剥离装置、成膜装置、基板载台、基板剥离方法及成膜方法进行说明。此外，在上述装置及方法中，能够优选地应用于电子器件的制造装置及电子器件的制造方法等。另外，成膜方法能够采用蒸镀、溅射等各种方法，成膜材料也能够采用各种材料。此外，本实施方式的基板剥离方法及成膜方法还可被理解为使计算机执行它们的程序、保存有该程序的存储介质。存储介质也可以是能够由计算机读取的非暂时性的存储介质。
在以下说明的实施方式及实施例中，将基板载台及基板的行进方向设为X轴方向，将在基板面内与行进方向正交的方向设为Y轴方向，将与基板面垂直的方向(在本实施方式及实施例中为铅垂方向)设为Z轴方向。
(实施方式)
在本实施方式中，以基板为母体玻璃的情况为例进行说明。但是，在实施方式中能够应用的基板的材料并不限于玻璃。
＜母体玻璃＞
图1是示出作为本实施方式的基板的母体玻璃10的一例的俯视图。如图示那样，用O、P、Q、R来表示母体玻璃10的顶点。该母体玻璃10在后续工序中被三面板成型为图像显示部11、12、13。上述图像显示部11、12、13相当于显示器元件区域。将边OR上的点J与边PQ上的点K连结的线JK和将边OP上的点G与边JK上的点H连结的线GH是在后续工序中被裁断的裁断线。在图1中，将与裁断线对应的区域称为作为边界部的内部区域14，将母体玻璃10的周缘部称为作为外周部的外部区域15。在被裁断之后，除了内部区域14和外部区域15之外的部位相当于显示器元件区域。
此外，在图1中示出了从母体玻璃10对图像显示部进行三面板成型的例子，但实施方式并不限定于此，能够进行图像显示尺寸的多面板成型，面板成型图案并不限定于图示的例子。基板尺寸也能够适当地选择。
＜基板载台＞
使用图2～图5，对本实施方式的基板载台100进行说明。为了强调地示出特征性的结构，比例尺有时与实际不同。
基板载台100避开图像显示部而将粘合构件、剥离销离散地配置在母体玻璃10的外周部15、与显示器元件区域之间对应的边界部14。边界部14是与在后续工序中将母体玻璃裁断的基板裁断线对应的部位等。
图2是示出本实施方式的基板载台100的一例的俯视示意图。通过在基板载台100的基板保持面110x载置母体玻璃10，并且，使母体玻璃10吸附于吸附垫120，从而将母体玻璃10保持于基板载台100。换言之，构成为基板载台100与母体玻璃10成为一体化的状态。在图2中，用虚线表示母体玻璃设置部位10x。基板载台100具备平板状构件110。在该平板状构件110以分别沿着母体玻璃10的内部区域14和外部区域15的方式设置有多个贯通孔111、112。贯通孔111用于供用于载置母体玻璃10的基板载置销240和在基板剥离时使用的剥离销341穿过，贯通孔112用于设置粘合式的吸附垫120。
另外，基板载台100具备多个用于相对于平板状构件110支承母体玻璃10的周围的支承件130。作为支承件130，能够利用一般的夹紧件等各种公知技术。载置于基板载台100的母体玻璃10通过利用配置有多个的吸附垫120及支承件130固定于基板保持面110x，从而成为与基板载台100一体化的状态。
接着，说明在经过成膜处理等规定的处理之后将母体玻璃10从基板载台100剥离的工序。在此，参照图3～图5，对利用剥离销将母体玻璃10剥离的情况进行说明。图3(A)还示出了安装于基板载台100的吸附垫120中的粘合构件123和剥离销341。另外，为了容易理解配置关系，仅将母体玻璃10的外缘用虚线表示。图4及图5是基板载台100的局部剖视图，分别为图3(A)中的E-E’剖视图、F-F’剖视图。
吸附垫120以穿过吸附垫用的贯通孔112的状态安装于平板状构件110。吸附垫120中的轴126的被固定部127通过公知的方法与固定构件150一体化，并固定于平板状构件110。固定构件150与平板状构件110的固定部件只要采用螺栓等未图示的公知技术即可。
剥离销341通过贯穿剥离销用的贯通孔111而能够从基板保持面110x出没地移动，从而能够使母体玻璃10接近基板保持面110x或者从基板保持面110x远离。剥离销341既可以使用未图示的驱动机构按每一根独立地进行移动，也可以使用剥离销架台一起移动多个。
另外，也能够不使用剥离销而采用兼具剥离功能的吸附垫。图3(B)示出了将兼具剥离功能的吸附垫安装于基板载台100的一例。在该吸附垫的情况下，具备粘合构件123、升降台125及在它们之间设置有多个的金属球124。并且，在升降台125下降的状态下，粘合构件123维持平板形状而成为能够吸附基板(母体玻璃10)的状态，在升降台125上升时，粘合构件123由于金属球124而变形，与基板的粘合力降低。由此，能够将基板从基板载台100剥离。
此外，平板状构件110的形状及尺寸可以根据母体玻璃10的尺寸及进行面板成型的图像显示部的尺寸而适当地设定。另外，贯通孔111、112、吸附垫120及支承件130的尺寸、个数及配置也可以根据母体玻璃10的尺寸及面板成型尺寸而适当地设定。
＜吸附垫＞
参照图4，更详细地对吸附垫120进行说明。吸附垫120在金属制的轴126经由未图示的粘接层设置有粘合构件123。作为粘合构件123的材料，为了抑制给真空下的制造工艺带来不良影响的排气的产生，优选采用不含硅氧烷键的氟橡胶。另外，构成粘接层的材料也同样地优选使用不释放排气成分的公知的粘接剂、双面胶带。在本实施方式中，使用φ10mm的不锈钢制的轴126，并使用由φ10mm、厚度0.5mm的氟橡胶构成的粘合构件123。粘合构件123构成为能够使用未图示的间隔件等在一定的范围内沿图中的上下方向进行调整，以便能够管理从基板保持面110x起的突出量。上述突出量虽然也取决于构成吸附垫120的构件的尺寸、粘合构件123的压缩特性，但小于母体玻璃10的厚度。吸附垫用的贯通孔112的直径比轴126的外径大，吸附垫120除了容许铅垂方向的上下移动之外，还容许某种程度的摆动。
＜成膜装置及成膜方法＞
本实施方式的成膜装置具备用于将基板保持于基板载台100的装置、使用成膜源在基板上形成薄膜的装置以及使形成有薄膜的基板从基板载台100剥离的基板剥离装置等各种基板处理装置。并且，基板一边被搬送，一边被实施各种处理。以下，参照图6所示的流程图，对基板处理工序进行说明。
基板处理工序大致划分为包括：1.基板保持工序、2.反转工序、3.掩模保持工序、4.成膜工序、5.基板剥离工序，上述一系列的工序在真空氛围下进行。1.基板保持工序还包括：(a)准备工序、(b)基板载置工序、(c)基板粘合工序。以下，按照工序的顺序进行说明。
＜＜1.基板保持工序＞＞
该工序是将作为基板的母体玻璃10保持于基板载台100的工序，利用图7所示的基板保持装置来进行。该基板保持装置具备：基板保持室R1、使母体玻璃10沿Z轴方向上下移动的基板载置销单元200(基板移动机构)、对母体玻璃10进行按压的按压单元400、以及对基板载台100进行支承的支承台500。基板载台100具备平板状构件110。该平板状构件110被支承台500支承，且构成为使基板保持面110x与水平面平行。此外，在图7中，示出了采用滚珠丝杠机构作为使基板载置销240、配备于按压单元400的轴部440上下移动的机构的情况，但也可以采用齿条-小齿轮方式等其他公知技术。上述机构由电源710及控制部720进行控制。
基板载置销单元200具备：马达210、通过马达210而旋转的丝杠轴220、伴随着丝杠轴220的旋转动作而沿着丝杠轴220上下移动的螺母部230、以及固定于螺母部230并与螺母部230一起上下移动的基板载置销240。构成为多个滚珠在螺母部230的内周面与丝杠轴220的外周面之间无限循环。
按压单元400具备：马达410、通过马达410而旋转的丝杠轴420、伴随着丝杠轴420的旋转动作而沿着丝杠轴420上下移动的螺母部430、固定于螺母部430且与螺母部430一起上下移动的轴部440、以及设置于轴部440的前端的按压部450。此外，构成为多个滚珠在螺母部430的内周面与丝杠轴420的外周面之间无限循环。按压部450以分别与多个吸附垫120中的每一个对应的方式设置有多个。
基板保持室R1被划分为基板处理区域A1、第一驱动源配置区域A2及第二驱动源配置区域A3。经由基板处理区域A1在铅垂方向的下方设置有第一驱动源配置区域A2，在铅垂方向的上方设置有第二驱动源配置区域A3。在基板处理区域A1配设有基板载台100等。并且，在第一驱动源配置区域A2配设有基板载置销单元200中的马达210等，在第二驱动源配置区域A3配设有按压单元400中的马达410等。
通过以上的结构，能够抑制由于马达210、410的旋转而产生的异物、在滚珠丝杠的滑动部产生的异物侵入到基板处理区域A1。此外，也可以不将区域A1、A2、A3的全部都配置在基板保持室R1的真空氛围内，而是例如将基板处理区域A1配置在基板保持室R1的真空氛围内，将第一驱动源配置区域A2及第二驱动源配置区域A3配置在大气氛围下。
＜＜＜1(a).准备工序＞＞＞
在进行母体玻璃10的保持动作之前的准备状态下，基板载置销240及按压部450均在铅垂方向的最上方的位置待机。基板载置销240成为从基板载台100中的平板状构件110的销用的贯通孔111向比基板保持面110x靠铅垂方向上方的位置突出的状态。吸附垫120中的粘合构件123与基板保持面110x相比稍许突出而固定于平板状构件110(参照图4)。另外，按压部450从基板载台100分离。在该状态下，将母体玻璃10搬入到基板保持室R1的基板处理区域A1，并如图7所示那样将母体玻璃10载置在多个基板载置销240之上。此外，母体玻璃10向基板保持室R1内的搬送利用未图示的搬送机器人等来进行。由于搬送机器人是公知技术，所以省略其说明。
＜＜＜1(b)基板载置工序＞＞＞
在利用马达210使基板载置销240向铅垂方向下方移动时，基板载置销240的前端贯穿平板状构件110的销用的贯通孔111而向比基板保持面110x的相反侧的面靠下方的位置移动。其结果是，母体玻璃10成为与吸附垫120的粘合构件123接触的状态。
图8示出了基板载置销240向下方移动而母体玻璃10与吸附垫120的粘合构件123接触的状态。在从母体玻璃10对多个图像显示部进行多面板成型的情况下，成为在相当于图像显示部的玻璃面不存在粘合构件123的状态(参照图1)。伴随着基板载置销240向下方的移动，有时会在母体玻璃10残留有起伏，但也能够通过调整基板载置销240向下方的移动来减少母体玻璃10的起伏。
＜＜＜1(c)基板粘合工序＞＞＞
接着，使用按压机构对母体玻璃10进行按压。通过利用马达410使按压部450向铅垂方向下方移动，从而能够充分地确保吸附垫120的粘合构件123与母体玻璃10的接触面。此时，也可以不将多个按压部450同时按压于母体玻璃，而是以使按压区域从特定的开始点朝向特定的结束地点逐渐变化的方式进行控制。例如，可以是，以从母体玻璃10的长边方向的中央部开始按压并朝向两端部依次按压的方式进行控制。图9示出了按压部450向下方移动而母体玻璃10与从平板状构件110稍许突出的粘合构件123接触并粘合(吸附)的状态。
之后，如图10所示，利用马达410使按压部450向铅垂方向上方移动，利用支承件130将母体玻璃10的周围固定于基板载台100，母体玻璃10与基板载台100一体化。如以上那样，完成由基板保持室R1进行的基板保持工序。
＜＜2.反转工序＞＞
图11(A)、(B)是反转装置的示意性剖视图。反转装置具备反转室R2。在该反转室R2内设置有对基板载台100进行保持的保持构件610、固定于保持构件610的旋转轴620、使旋转轴620旋转的马达630、以及对旋转轴620进行轴支承的支承构件640。
与母体玻璃10一体化的基板载台100被未图示的公知的搬送机器人等从基板保持室R1搬送至反转室R2，并保持于保持构件610(参照图11(A))。之后，基板载台100旋转180度，母体玻璃10成为相对于基板载台100朝向铅垂方向下方(悬吊)的状态(参照图11(B))。
＜＜3.掩模保持工序＞＞
保持有母体玻璃10的基板载台100从反转室R2被搬送至对准室。在对准室待机的掩模20与母体玻璃10对位，基板载台100以与掩模20的上方对准的状态载置。作为将基板载台100与掩模20固定的部件，只要采用适当的公知技术即可。例如，也能够采用电磁铁等利用磁力的部件、夹紧件等机械机构。另外，也可以不将基板载台100与掩模20固定，而是在位于辊等搬送用构件上的掩模20之上载置基板载台100，并在搬送用构件之上一体地移动。
＜＜4.成膜工序＞＞
在本实施方式中，作为成膜方式的一例，示出了采用真空蒸镀方式的情况。图12是蒸镀装置的示意性剖视图。蒸镀装置具备成膜室R3，在成膜室R3的内部设置有作为成膜源的蒸发源30。一体地保持有母体玻璃10及掩模20的基板载台100从对准室被搬送至成膜室R3。通过使基板载台100通过成膜材料从蒸发源30蒸发或升华的空间，从而在母体玻璃10形成薄膜。此外，也能够采用如下结构：设置多个成膜室，并分别配置不同的成膜源，依次对基板载台100进行搬送，在母体玻璃10上依次对多种薄膜进行成膜。在成膜结束时，将与母体玻璃10组合的掩模20拆下。或者，也存在再次组合其他掩模而反复进行成膜工序的情况。
＜＜5.基板剥离工序＞＞
在如上所述进行了成膜处理之后，将作为基板的母体玻璃10从基板载台100剥离。此外，之后，沿着裁断线将被剥离的母体玻璃10裁断，得到多个作为最终产品的图像显示部。在本实施方式中，构成为不会给母体玻璃10中的图像显示部(显示器元件区域)带来不良影响，且能够短时间地将母体玻璃10从基板载台100剥离。以下，在具体的基板剥离装置、基板剥离方法及基板剥离工序的说明之前，对本实施方式的基板剥离的概要进行说明。
＜＜＜基板剥离的概要＞＞＞
基板(特别是母体玻璃)在基板剥离时的基板面内，有时会在剥离完成完毕区域与未剥离区域的边界区域产生的基板的弯折部产生裂纹。推测这是由于：基板挠曲所引起的应力和以剥离动作为原因的基板变形所引起的应力重叠，应力局部集中。另外，在采用使吸附垫120中的粘合构件123、剥离销341等与图像显示部抵碰的结构的情况下，有可能会给高精细的图像显示带来不良影响。另外，已知若保持粘合构件123的表面与基板表面平行的状态不变地欲使基板从粘合构件123剥离，则需要较大的力，难以将基板剥离，对基板的负荷也会变大。而且，通过实验等确认了如下情况：在基板的重心附近，与远离重心的区域相比，难以将基板从粘合构件123剥离。
基于以上的内容，在本实施方式中，对基板剥离的方法进行了研究。以下，参照图13及图14，对本实施方式的基板剥离的概要进行说明。图13是基板载台100X的俯视图，示出了应用于对图像显示部进行十面板成型的母体玻璃的基板载台100X。图14(A)是示出剥离销的位置与剥离销前端从基板保持面起的突出量(高度)的关系的图表，该图(B)是示出剥离动作的经过时间与剥离销的移动速度的关系的图表。
在本实施方式中，采用了粘合构件123及剥离销341不与基板的显示器元件区域(图像显示部)接触的结构。具体而言，采用了如下结构：在基板载台100X以分别沿着所保持的基板中的外周部和所保持的基板中的与显示器元件区域之间对应的边界部的方式设置有多个吸附垫120和将基板剥离的多个剥离部。此外，在采用兼具剥离功能的吸附垫120的情况下，剥离部相当于吸附垫120。另外，在采用剥离销341的情况下，剥离部相当于供剥离销341出没的贯通孔111。在图13中示出了后者的例子。在本实施方式中，上述边界部与将基板裁断时的裁断线对应。即，边界部是包含裁断线且相对于裁断线具有规定的宽度的区域。但是，也包含如下情况：实施方式中的边界部为在设置有两个画面以上的显示器元件区域(图像显示部)的最终产品中成为显示器元件区域之间的边界的部分。
根据这样的结构，能够在抑制对基板上的显示器元件区域的影响的同时，将基板从基板载台剥离。
接着，对实施方式中的附加性的结构进行说明。优选的是，除了粘合构件123及剥离销341不与基板的显示器元件区域接触的结构(方法)之外，还适当地组合以下的一个以上的结构并进行采用。此外，关于以下的结构，并不是必须的，即使没有以下的结构，也能够在抑制对基板上的显示器元件区域的影响的同时，将基板从基板载台剥离。另外，在将以下的结构组合的情况下，能够尽可能适当地组合多个结构。只要根据基板的尺寸、重量等而采用适当的组合即可。
(1)优选的是，以使基板从基板的外侧朝向内侧剥离的方式按从配设在外侧的吸附垫120到配设在内侧的吸附垫120的顺序进行剥离动作。在采用兼具剥离功能的吸附垫120的情况下，只要先于来自配设在内侧的吸附垫120的剥离动作而进行来自配设在外侧的吸附垫120的剥离动作即可。
在采用剥离销341的情况下，在剥离动作中，在全部的剥离销341从基板保持面110x突出时，配设在外侧的剥离销341的从基板保持面110x起的突出量比配设在内侧的剥离销341大即可。例如，通过使剥离销341的移动速度不同，从而能够使配设在外侧的剥离销341的从基板保持面110x起的突出量比配设在内侧的剥离销341大。即，只要使配设在外侧的剥离销341的移动速度比配设在内侧的剥离销341快即可。另外，通过使剥离销341的移动开始时机不同，从而能够使配设在外侧的剥离销341的从基板保持面110x起的突出量比配设在内侧的剥离销341大。即，只要使配设在外侧的剥离销341的移动开始时机比配设在内侧的剥离销341早即可。而且，通过使剥离销341的长度不同，从而能够使配设在外侧的剥离销341的从基板保持面110x起的突出量比配设在内侧的剥离销341大。即，只要使配设在外侧的剥离销341的销的长度比配设在内侧的剥离销341长即可。此外，也可以将它们适当地组合。
另外，通过采用配设在外侧的吸附垫120的吸附力比配设在内侧的吸附垫120小那样的结构，还能够使基板从基板的外侧朝向内侧剥离。在该情况下，既能够采用兼具剥离功能的吸附垫120，也能够采用具备剥离销341的结构。在后者的情况下，也可以适当地组合在内侧和外侧改变剥离销341的移动速度的结构、改变剥离销341的移动开始时机的结构及改变剥离销341的长度的结构。
(2)在剥离动作中，在全部的剥离销341从基板保持面110x突出时，可以将从基板保持面110x起的突出量最小的剥离销341设置成贯穿设置于边界部的贯通孔111并从基板保持面110x出没。并且，该突出量最小的剥离销341更优选地被设置成贯穿配设在不与基板的重心G0重叠的位置的贯通孔(例如在图13中为位于O所示的位置的贯通孔)而从基板保持面110x出没。此外，位置O相当于边界部且距重心G0最近的位置。并且，在基板的剥离时，可以从基板的外侧呈大致同心圆状地朝向内侧进行剥离，最后，利用从位于位置O的贯通孔111出没的剥离销341进行剥离。如上所述，与远离重心G0的区域相比，基板的重心G0的附近难以剥离，当在重心G0的附近最后将基板剥离时，对基板的负荷会变大。与此相对，通过利用从设置在不与基板的重心G0重叠的位置O的贯通孔111出没的剥离销341最后进行剥离，从而能够抑制对基板的负荷。
在此，为了从基板的外侧呈大致同心圆状地朝向内侧进行剥离，需要使从位于与位置O等距离的位置的贯通孔111突出的剥离销341的突出量(高度)相同。此外，在图13中，用虚线示出多个同心圆。例如，在剥离动作中，在全部的剥离销341从基板保持面110x突出时，只要使全部的剥离销341的前端位于假想的弯曲面(球面、椭圆球面)上、圆锥面上等即可。图14(A)是示出剥离销341分别从图13中的配设在边界部L的多个贯通孔111突出时的剥离销341的位置与从基板保持面110x起的突出量(高度)的关系的图表。图表L1示出了全部的剥离销341的前端位于假想的圆锥面上的情况。图表L1中的黑圈示出了一部分的剥离销341的前端的位置。另外，图表L2示出了全部的剥离销341的前端位于假想的弯曲面上的情况。图表L2中的白圈示出了一部分的剥离销341的前端的位置。通过采用这样的结构，从基板的外侧呈大致同心圆状地朝向内侧进行剥离，最后，利用从位于位置O的贯通孔111出没的剥离销341进行剥离。
此外，在剥离时，越增大粘合构件123的表面与基板表面的倾斜，则基板越容易剥离，能够减小对基板的负荷。即，优选的是，使吸附垫120的两旁的剥离销341的高低差变大。在上述图表L1中，可知能够与吸附垫120的位置无关地增大吸附垫120的两旁的剥离销341的高低差。与此相对，在图表L2中，可知在位置O的附近，吸附垫120的两旁的剥离销341的高低差变小。因此，可知在剥离动作中，更优选构成为在全部的剥离销341从基板保持面110x突出时，全部的剥离销341的前端都位于假想的圆锥面上。
(3)可以是，在分别从吸附垫120的两旁的贯通孔111突出的第一剥离销341和第二剥离销341从基板保持面110x突出的状态下，第一剥离销341从基板保持面110x起的突出量与第二剥离销341从基板保持面110x起的突出量不同。由此，在剥离时，由于粘合构件123的表面与基板表面不平行而成为倾斜的状态，因此，基板容易剥离，能够减小对基板的负荷。因此，关于设置于基板载台100X的全部的吸附垫(粘合构件123)和分别从其两旁的贯通孔111突出的剥离销341，优选像这样构成。即，在着眼于设置在基板载台100X的任意的吸附垫120的情况下，关于分别从其两旁的贯通孔111突出的第一剥离销341和第二剥离销341，可以如上述那样构成。例如，在图13所示的结构中，在剥离动作中，在全部的剥离销341从基板保持面110x突出时，只要使全部的剥离销341的前端都位于假想的弯曲面、圆锥面上即可。
(4)可以是，在剥离动作中，多个剥离销341的移动速度以变慢的方式变化。在该情况下，在从外侧朝向内侧将基板剥离时，在接近基板的重心G0的附近的剥离速度变慢。如上所述，由于在基板的重心G0的附近难以将基板从粘合构件123剥离，因此，通过使剥离速度变慢，从而能够抑制对基板的负荷。此外，图14(B)是示出经过时间与剥离销341的移动速度的关系的图表。在本实施方式中，对于全部的剥离销341而言，一律使移动速度在中途变慢。另外，在本实施方式中，使速度在中途变慢一个阶段，但也可以分为多个阶段而使速度变慢，或者连续地使速度变慢。
(5)可以是，配设在外侧的吸附垫120的吸附力比配设在内侧的吸附垫120大。例如，在基板载台100X中，能够使沿着所保持的基板中的外周部设置的多个吸附垫120的吸附力比沿着所保持的基板中的与显示器元件区域之间对应的边界部设置的吸附垫120大。另外，在图13中，也能够减小配设在接近位置O的位置的吸附垫120的吸附力，越是配设在远离位置O的位置的吸附垫120，则越使吸附力增大。通过如以上那样构成，即使在难以剥离的重心G0的附近，也能够容易地将基板剥离，能够抑制对基板的负荷。
基于以上的概要，以下，对更具体的基板剥离装置、基板剥离方法及基板剥离工序进行说明。
＜＜＜关于基板剥离的实施例1＞＞＞
完成成膜并将掩模拆下后的基板载台100被搬送到基板剥离装置的基板剥离室R4。图15是示出实施例1的基板剥离装置的简要结构的示意性剖视图，示出了具备图3(B)所示的兼具剥离功能的吸附垫120的基板载台100被搬送到基板剥离室R4的状态。
在实施了成膜处理并将掩模拆下之后，一体化的母体玻璃10和基板载台100在通过反转装置而被再反转之后，被搬送到基板剥离室R4。被搬送到基板剥离室R4的基板载台100在被载置于支承台500之后，将支承件130解除(参照图15(A))。然后，通过设置于吸附垫120的升降台125的上升，金属球124上升，母体玻璃10从基板载台100剥离。此时，先于来自配设在内部区域14的粘合构件123的剥离而进行来自配设在母体玻璃10的外部区域15的粘合构件123的剥离(参照图15(B))。由此，能够减小剥离完毕的外部区域15与未剥离的内部区域14的边界区域处的母体玻璃10的弯折，能够不使母体玻璃10破损地缩短剥离的周期时间。
＜＜＜关于基板剥离的实施例2＞＞＞
图16是构成实施例2的基板剥离装置的剥离销单元350的俯视图。在本实施例中，采用如下结构：在释放支承件130之后，利用剥离销将通过吸附垫120和支承件130而支承固定于基板保持面110x的母体玻璃10从吸附垫120剥离。
在剥离销单元350，在剥离销架台360设置有26根剥离销341。剥离销341的根数、外径、长度等规格能够根据粘合构件123、母体玻璃10的尺寸、图像显示部的面板成型图案等而适当地变更。剥离销341由能够在真空下使用且排气成分较少的材料构成，例如与不锈钢等金属制的主体和母体玻璃10接触的前端部位由氟树脂、氟橡胶等形成。
为了便于说明，在图16中，用坐标对各个剥离销341进行区分，在图中，以将剥离销架台360的左下的剥离销称为(x1、y1)、将架台右上的剥离销称为(x7、y5)的方式进行区分并说明。在该基板剥离装置中，构成为利用剥离销341将母体玻璃10的内部区域14和外部区域15剥离，换言之，将各显示器元件区域(图像显示部)的周围剥离。在与图1所示的图像显示部11、12、13相当的坐标、例如(x3、y4)、(x3、y2)、(x6、y3)不存在剥离销341。
图17(A)是被搬送到基板剥离室R4的基板载台100和设置有剥离销单元350的基板剥离室R4的示意性剖视图，示出了支承件130被解除的状态。各个剥离销341构成为能够使用马达、滚珠丝杠等驱动机构独立地在图中上下移动。并且，如图17(B)所示，在本实施例中，构成为外部区域15中的剥离销341的移动速度比内部区域14中的剥离销341的移动速度快。由此，在外部区域15中，先行进行母体玻璃10的剥离，能够减小外部区域15与内部区域14的边界区域处的母体玻璃10的弯折，能够不使母体玻璃10破损地缩短剥离的周期时间。
此外，也可以是，将剥离销341的移动速度设为恒定，并使外部区域15中的剥离销341的移动开始时机比内部区域14中的剥离销341的移动开始时机早。在该情况下，也能够同样地在外部区域15中先行进行母体玻璃10的剥离，能够得到同样的作用效果。
＜＜＜关于基板剥离的实施例3＞＞＞
在本实施例中，示出了剥离销341的长度根据配置的位置而不同的情况的结构。在本实施例中，构成为在全部的剥离销341都从基板保持面110x突出时，以两个边界部的交点(在图16中相当于坐标(x5、y3))为中心点，使剥离销341的突出量(高度)朝向外部区域而呈大致同心圆状地逐渐增加。
图18(A)相当于在图16中在将销(x1、y1)与销(x7、y1)连结的A1-A2及将销(x1、y5)与销(x7、y5)连结的A3-A4处切断的示意性剖视图。图18(B)相当于在图16中在将销(x1、y1)与销(x1、y5)连结的C1-C2处切断的示意性剖视图。图18(C)相当于在图16中在将销(x1、y3)与销(x7、y3)连结的B1-B2处切断的示意性剖视图。图18(D)相当于在图16中在将销(x5、y1)与销(x5、y5)连结的D1-D2处切断的示意性剖视图。图18(E)相当于在图16中在将销(x7、y1)与销(x7、y5)连结的C3-C4处切断的示意性剖视图。
对于剥离销341的高度而言，销(x5、y3)最低，以销(x5、y3)为中心的同心圆上的销高度相等。随着远离(x5、y3)，剥离销341的高度逐渐增加。全部的剥离销341的前端构成为位于以(x5、y3)为顶点的假想的圆锥面上。此外，相邻的剥离销341的高低差为约1mm以上且2mm以下，剥离销341彼此的最大高低差为约20mm。
图19(A)是被搬送到基板剥离室R4的基板载台100和设置有剥离销单元350的基板剥离室R4的示意性剖视图，示出了支承件130被解除的状态。
如上所述，若保持粘合构件123的表面与基板表面平行的状态不变地欲使基板从粘合构件123剥离，则需要较大的力，难以将基板剥离，对基板的负荷会变大。由此，还有可能会使作为基板的母体玻璃10破裂。这是因为，在基板吸附于粘合构件123的状态下，若利用粘合构件123的两旁的一组的剥离销341同时将基板上推，则粘合构件123的两侧的力会变得均衡，其结果是，剥离阻力变大。
通过采用在各实施例中示出的结构，并使粘合构件123(吸附垫120)的两旁的剥离销341的高度不同，从而能够使粘合力的作用线与剥离销341的作用方向错开，通过使力矩发挥作用，从而能够减小剥离阻力。
在实施例3的情况下，通过使剥离销架台360移动，从而能够使预先使高度不同的全部的剥离销341一体地移动，并且能够根据位置而使母体玻璃10的剥离时机不同。在实施例3的情况下，如图19(B)所示，母体玻璃10的剥离从外部区域15开始，并朝向内部区域14行进而通过销(x5、y3)完成。在本实施例中，也能够减小外部区域15与内部区域14的边界区域处的母体玻璃10的弯折，能够不使母体玻璃10破损地缩短剥离周期时间。
＜＜＜关于基板剥离的其他实施例＞＞＞
如上所述，也可以采用如下结构：通过在内部区域14配置粘合力比外部区域15大的吸附垫120(粘合构件123)，从而先从外部区域15的粘合构件123进行剥离。在该情况下，也能够减小外部区域15与内部区域14的边界区域处的母体玻璃10的弯折，能够不使母体玻璃10破损地缩短剥离周期时间。
另外，相反地，也能够构成为配设在外部区域15的吸附垫120的吸附力比配设在内侧的吸附垫120大。在该情况下，具有如下优点：在难以剥离的基板的重心附近，能够容易地将基板从粘合构件123剥离。
在采用在内侧和外侧改变吸附垫120的粘合力的结构的情况下，只要通过组合基板的尺寸、重量及在上述各种实施例等中示出的某个结构而选择使内侧和外侧中的哪个粘合力增大即可。此外，在改变粘合力的情况下，不仅包括利用配设在内部区域14的吸附垫120和配设在外部区域15的吸附垫120来变更粘合力的情况，例如还能够构成为以图13的位置O为中心，随着呈大致同心圆状地朝向外侧而使粘合力逐渐减小或逐渐增加。
关于吸附垫120的粘合力，能够通过改变构成粘合构件123的材料的种类、厚度、接触面积而适当地设定。
＜电子器件的制造方法＞
接着，对使用本实施例的成膜装置的电子器件的制造方法的一例进行说明。以下，作为电子器件的例子，示出有机EL显示装置的结构，并例示有机EL显示装置的制造方法。
首先，对要制造的有机EL显示装置进行说明。图20(A)是有机EL显示装置800的整体图，图20(B)示出了一个像素的截面构造。
如图20(A)所示，在有机EL显示装置800的显示区域801呈矩阵状地配置有多个具备多个发光元件的像素802。详细情况随后进行说明，但发光元件分别具有具备被一对电极夹着的有机层的构造。此外，在此所说的像素是指在显示区域801中能够进行所期望的颜色的显示的最小单位。在本实施例的有机EL显示装置的情况下，通过示出互不相同的发光的第一发光元件802R、第二发光元件802G、第三发光元件802B的组合来构成像素802。像素802通常由红色发光元件、绿色发光元件和蓝色发光元件的组合构成，但也可以为黄色发光元件、青色发光元件和白色发光元件的组合，只要为至少一种颜色以上即可，并不被特别限制。
图20(B)是图20(A)的S-S线处的局部剖视示意图。像素802由多个发光元件构成，各发光元件在基板803上具有第一电极(阳极)804、空穴输送层805、发光层806R、806G、806B中的某一个、电子输送层807以及第二电极(阴极)808。其中的空穴输送层805、发光层806R、806G、806B、电子输送层807相当于有机层。另外，在本实施例中，发光层806R是发出红色光的有机EL层，发光层806G是发出绿色光的有机EL层，发光层806B是发出蓝色光的有机EL层。发光层806R、806G、806B分别形成为与发出红色光、绿色光、蓝色光的发光元件(有时也表述为有机EL元件)对应的图案。
另外，第一电极804按各发光元件分开地形成。空穴输送层805、电子输送层807和第二电极808既可以在多个发光元件802R、802G、802B中共用地形成，也可以按各发光元件形成。此外，为了防止第一电极804与第二电极808由于异物而短路，在第一电极804之间设置有绝缘层809。而且，由于有机EL层会由于水分、氧而劣化，所以设置有用于保护有机EL元件免受水分、氧的影响的保护层810。
在图20(B)中，空穴输送层805、电子输送层807由一个层表示，但根据有机EL显示元件的构造的不同，也可以由具备空穴阻挡层、电子阻挡层的多个层形成。另外，也可以在第一电极804与空穴输送层805之间形成具有如下的能带构造的空穴注入层，所述能带构造能够顺畅地进行空穴从第一电极804向空穴输送层805的注入。同样地，也可以是，在第二电极808与电子输送层807之间也形成有电子注入层。
接着，具体地说明有机EL显示装置的制造方法的例子。
首先，准备用于驱动有机EL显示装置的电路(未图示)及形成有第一电极804的基板(母体玻璃)803。
在形成有第一电极804的基板803上以旋涂的方式形成丙烯酸树脂，通过光刻法对丙烯酸树脂进行图案化，以便在形成有第一电极804的部分形成开口，并形成绝缘层809。该开口部相当于发光元件实际发光的发光区域。
将对绝缘层809进行了图案化的基板803载置在配置有粘合构件的基板载台上。利用粘合构件对基板803进行保持。在搬入到第一有机材料成膜装置并反转之后，将空穴输送层805作为共用的层而在显示区域的第一电极804上进行成膜。空穴输送层805通过真空蒸镀而进行成膜。由于空穴输送层805实际上形成为比显示区域801大的尺寸，因此，不需要高精细的掩模。
接着，将形成至空穴输送层805的基板803搬入到第二有机材料成膜装置。进行基板与掩模的对准，将基板载置在掩模上，在基板803的配置有发出红色光的元件的部分，对发出红色光的发光层806R进行成膜。
与发光层806R的成膜同样地，利用第三有机材料成膜装置对发出绿色光的发光层806G进行成膜，而且，利用第四有机材料成膜装置对发出蓝色光的发光层806B进行成膜。在完成发光层806R、806G、806B的成膜之后，利用第五成膜装置在显示区域801的整体对电子输送层807进行成膜。电子输送层807作为共用的层而形成于三种颜色的发光层806R、806G、806B。
在金属性蒸镀材料成膜装置移动形成至电子输送层807的基板，对第二电极808进行成膜。
之后，移动到等离子体CVD装置而对保护层810进行成膜，完成对基板803的成膜工序。在反转之后，如在上述实施方式或实施例中说明的那样，通过将粘合构件从基板803剥离，从而使基板803从基板载台分离。之后，经过裁断而完成有机EL显示装置800。
从将对绝缘层809进行了图案化的基板803搬入到成膜装置起到完成保护层810的成膜为止，若暴露于包含水分、氧的氛围中，则由有机EL材料构成的发光层有可能会由于水分、氧而劣化。因此，在本实施例中，在真空氛围或惰性气体氛围下进行成膜装置之间的基板的搬入搬出。

Claims (20)

1.一种基板剥离装置，所述基板剥离装置从利用配设有多个的吸附垫对基板进行保持的基板载台将所述基板剥离，其特征在于，
在所述基板载台，以分别沿着所保持的所述基板中的外周部和所保持的所述基板中的与显示器元件区域之间对应的边界部的方式设置有所述多个吸附垫和将所述基板剥离的多个剥离部。
2.根据权利要求1所述的基板剥离装置，其特征在于，
所述边界部是与在后续工序中将所述基板裁断的裁断线对应的部位。
3.根据权利要求1或2所述的基板剥离装置，其特征在于，
所述多个吸附垫兼具将所述基板剥离的功能。
4.根据权利要求3所述的基板剥离装置，其特征在于，
先于来自配设在内侧的所述吸附垫的剥离动作而进行来自配设在外侧的所述吸附垫的剥离动作。
5.根据权利要求1或2所述的基板剥离装置，其特征在于，
在所述基板载台，以分别沿着所保持的所述基板中的外周部和所保持的所述基板中的与显示器元件区域之间对应的边界部的方式设置有多个贯通孔，并且，
所述基板剥离装置具备多个剥离销，所述多个剥离销被设置成贯穿所述多个贯通孔而从所述基板载台的基板保持面出没。
6.根据权利要求5所述的基板剥离装置，其特征在于，
在剥离动作中，在全部的所述剥离销从所述基板保持面突出时，配设在外侧的所述剥离销的从所述基板保持面起的突出量比配设在内侧的所述剥离销大。
7.根据权利要求6所述的基板剥离装置，其特征在于，
通过使所述剥离销的移动速度不同，从而使配设在外侧的所述剥离销的从所述基板保持面起的突出量比配设在内侧的所述剥离销大。
8.根据权利要求6所述的基板剥离装置，其特征在于，
通过使所述剥离销的移动开始时机不同，从而使配设在外侧的所述剥离销的从所述基板保持面起的突出量比配设在内侧的所述剥离销大。
9.根据权利要求6所述的基板剥离装置，其特征在于，
通过使所述剥离销的长度不同，从而使配设在外侧的所述剥离销的从所述基板保持面起的突出量比配设在内侧的所述剥离销大。
10.根据权利要求6～9中任一项所述的基板剥离装置，其特征在于，
在剥离动作中，在全部的所述剥离销从所述基板保持面突出时，从所述基板保持面起的突出量最小的所述剥离销被设置成贯穿设置于所述边界部的所述贯通孔而从所述基板保持面出没。
11.根据权利要求10所述的基板剥离装置，其特征在于，
从所述基板保持面起的突出量最小的所述剥离销被设置成贯穿配设在不与所述基板的重心重叠的位置的所述贯通孔而从所述基板保持面出没。
12.根据权利要求5所述的基板剥离装置，其特征在于，
在剥离动作中，在全部的所述剥离销从所述基板保持面突出时，全部的所述剥离销的前端位于假想的圆锥面上。
13.根据权利要求5所述的基板剥离装置，其特征在于，
在从任意的所述吸附垫的两旁的所述贯通孔突出的第一剥离销和第二剥离销从所述基板保持面突出的状态下，所述第一剥离销从所述基板保持面起的突出量与所述第二剥离销从所述基板保持面起的突出量不同。
14.根据权利要求5所述的基板剥离装置，其特征在于，
多个所述剥离销的移动速度以变慢的方式变化。
15.根据权利要求1或2所述的基板剥离装置，其特征在于，
配设在外侧的所述吸附垫的吸附力比配设在内侧的所述吸附垫小。
16.根据权利要求1或2所述的基板剥离装置，其特征在于，
配设在外侧的所述吸附垫的吸附力比配设在内侧的所述吸附垫大。
17.一种成膜装置，其特征在于，所述成膜装置具备：
成膜源，所述成膜源在保持于所述基板载台的基板上形成薄膜；以及
权利要求1～16中任一项所述的基板剥离装置。
18.一种基板载台，所述基板载台具备多个用于保持基板的吸附垫，其特征在于，
以分别沿着所保持的所述基板中的外周部和所保持的所述基板中的与显示器元件区域之间对应的边界部的方式配设有所述多个吸附垫和将所述基板剥离的多个剥离部。
19.一种基板剥离方法，从利用配设有多个的吸附垫对基板进行保持的基板载台将所述基板剥离，其特征在于，
所述基板剥离方法包括：
利用以分别沿着所述基板中的外周部和所述基板中的与显示器元件区域之间对应的边界部的方式设置的所述多个吸附垫来保持所述基板的工序；以及
利用以分别沿着所述外周部和所述边界部的方式设置的多个剥离部来剥离所述基板的工序。
20.一种成膜方法，在保持于基板载台的基板上形成薄膜，其特征在于，
所述成膜方法包括：
利用以分别沿着所述基板中的外周部和所述基板中的与显示器元件区域之间对应的边界部的方式设置于所述基板载台的多个吸附垫来保持所述基板的工序；
利用成膜源在保持于所述基板载台的所述基板上形成薄膜的工序；以及
利用以分别沿着所述外周部和所述边界部的方式设置于所述基板载台的多个剥离部来剥离所述基板的工序。
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