CN115212646A - 一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置 - Google Patents

一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置,涉及过滤器清洁技术领域,具体涉及双氧水提纯用过滤器的过滤膜外表面清洁技术领域,具体为用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置,包括过滤器外壳,过滤器外壳的上端中心具有开设进水通道的进水口、过滤器外壳的下端中心具有出水口。该用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置,通过设置一级过滤组件和驱动组件,在过滤膜表面被堵塞时通过一级过滤膜周向的扭转对堵塞在外表面的有机物形成挤压,促使堵塞的有机物与一级过滤膜脱离,通过设置震击组件,通过一级过滤膜轴向的移动来使得震击组件在一级过滤膜从扭曲状态复位时对过滤膜进行震击,进一步的促使堵塞的有机物与一级过滤膜脱离。

Description

一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置
技术领域
本发明涉及过滤器清洁技术领域,具体涉及双氧水提纯用过滤器的过滤膜外表面清洁技术领域,具体为一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置。
背景技术
双氧水是半导体制造工业中的一种重要化工产品,用于集成电路的清洗使用。清洗工艺中所使用的双氧水需经过提纯去除其中的有机物。
现有技术中为去除双氧水中有机物,采用聚醚砜膜的膜过滤器结构对双氧水中的有机物进行过滤,使得有机物被独挡在膜过滤器外表面。为去除堵塞在过滤膜表面的有机物现有技术多为通过滤膜自身的周向转动来利用离心力将附着在其表面的有机物离心甩出。此种方式虽可以将一部分的有机物甩出,但对于牢固附着在过滤膜表面的一些有机物却并不能进行清除,因此提出一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置来实现在保留离心转动功能的同时还能在过滤膜外表面堵塞的情况下对过滤膜外表面进行清洁。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明提供了一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置,能够在过滤膜表面被堵塞时通过一级过滤膜周向的扭转对堵塞在外表面的有机物形成挤压,促使堵塞的有机物与过滤膜脱离,同时还通过一级过滤膜轴向的移动来使得震击组件在过滤膜从扭曲状态复位时对过滤膜进行震击,进一步的促使堵塞的有机物与过滤膜脱离。
本发明技术方案如下:
为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置,包括过滤器外壳,过滤器外壳的上端中心具有开设进水通道的进水口、过滤器外壳的下端中心具有出水口,过滤器外壳内部固定装设有二级过滤膜,二级过滤膜的出水管置于出水口的上端,所述过滤器外壳的内部且位于二级过滤膜的外部转动设有一级过滤组件,一级过滤组件包括一级过滤膜、连接环和螺旋弹片,相邻两个一级过滤膜之间通过连接环固定连接,螺旋弹片周向间隔设置在一级过滤膜的外周面上且螺旋弹片的两端分别与对应位置的连接环固定连接,进水口的下表面中心设置有滑动转止组件,一级过滤组件的上部设置有与滑动转止组件配合的上齿环,一级过滤组件的下部设置有下齿环,过滤器外壳的下部开设有驱动腔体,驱动腔体内部设有驱动组件,驱动组件用于在出水口中流量正常状态下驱动下齿环正向转动,驱动组件配合有顶推组件,顶推组件用于在出水口流量正常状态下将下齿环向上顶起,以使得一级过滤组件和滑动转止组件同步转动,驱动组件还配合有蓄能组件,蓄能组件用于在出水口流量异常状态下驱动下齿环反向转动以使得螺旋弹片带动一级过滤膜扭转,每个一级过滤膜中且位于两个连接环之间设有震动组件,震动组件用于在一级过滤膜扭转时进行蓄力在扭转复位时对一级过滤膜内表面进行震击,震动组件还用于在一级过滤膜正向转动时对一级过滤膜内表面进行间歇敲击。
可选的,所述驱动组件包括叶片、转轴、柔性带、伸缩轴和第一压簧,转轴与叶片固定连接,转轴的两端均固定连接有伸缩轴,伸缩轴的外部套设有第一压簧,转轴和伸缩轴之间周向等间距设有柔性带。
可选的,所述驱动组件还包括主动锥齿轮、从动锥齿轮、从动轴和斜齿轮,主动锥齿轮固定安装在伸缩轴的外周面上,从动轴转动设于驱动腔体中,从动锥齿轮固定安装在从动轴的外周面且与主动锥齿轮相适配位置,斜齿轮固定安装在从动轴的上端,斜齿轮与下齿环互相啮合。
可选的,所述顶推组件包括挤压环和挤压杆,挤压环固定设于伸缩轴的外周面上,挤压杆滑动设置在驱动腔体中,挤压杆的上端与下齿环的下表面接触,挤压杆的下端与挤压环表面接触。
可选的,所述蓄能组件包括支撑座、卷簧、棘爪架、棘轮、棘爪和第二压簧,支撑座固定设置在驱动腔体内壁位置,棘爪架固定安装在支撑座的上表面,棘爪架中铰接有棘爪,棘爪架的内侧面设置有第二压簧,且第二压簧与棘爪的弧形侧面固定连接,卷簧的一端与从动轴固定连接,卷簧的另一端与棘轮固定连接。
可选的,所述震动组件包括铰接杆、滑动压块、弹性杆、锥形块、顶压圈、伸缩柱和第三压簧,铰接杆的一端铰接设在连接环上,铰接杆的另一端与滑动压块铰接,滑动压块靠近一级过滤膜的一侧固定连接有弹性杆,弹性杆远离滑动压块的一端固定连接有锥形块,滑动压块远离弹性杆的一端固定连接有伸缩柱,伸缩柱的外部套设有第三压簧伸缩柱远离滑动压块的一端固定连接有顶压圈。
可选的,所述滑动转止组件包括开设在进水口下表面中心的配合轮槽和位于配合轮槽底部的环形槽。
可选的,每个所述一级过滤膜的内周面周向间隔设置有凸起。
有益效果
本发明提供了一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置,具备以下有益效果:
该用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置,通过设置一级过滤组件和驱动组件,在过滤膜表面被堵塞时通过一级过滤膜周向的扭转对堵塞在外表面的有机物形成挤压,促使堵塞的有机物与一级过滤膜脱离,通过设置震击组件,通过一级过滤膜轴向的移动来使得震击组件在一级过滤膜从扭曲状态复位时对过滤膜进行震击,进一步的促使堵塞的有机物与一级过滤膜脱离。
附图说明
图1为本发明外部结构示意图;
图2为图1剖视结构示意图;
图3为图2下部部分结构放大示意图;
图4为图2中A处结构放大的示意图;
图5为图3中B处结构放大的示意图;
图6为一级过滤组件外部结构示意图;
图7为二级过滤组件外部结构示意图;
图8为蓄能组件结构示意图;
图9为滑动转止组件结构示意图。
图中:1、过滤器外壳;2、进水口;3、出水口;4、二级过滤膜;5、一级过滤膜;6、上齿环;7、下齿环;8、驱动腔体;9、集污罐;10、叶片;11、转轴;12、柔性带;13、伸缩轴;14、第一压簧;15、挤压环;16、挤压杆;17、主动锥齿轮;18、从动锥齿轮;19、从动轴;20、铰接杆;21、滑动压块;22、弹性杆;23、锥形块;24、凸起;25、棘爪架;26、棘轮;27、斜齿轮;28、卷簧;29、棘爪;30、第二压簧;31、连接环;32、螺旋弹片;33、环形槽;34、配合轮槽;35、顶压圈;36、伸缩柱;37、第三压簧;38、支撑座。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
请参阅图1至图9,本发明提供一种技术方案:一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置,包括过滤器外壳1,过滤器外壳1的上端中心具有开设进水通道的进水口2、过滤器外壳1的下端中心具有出水口3,出水口3处的双氧水出水速度应至少达到双氧水提纯的标准速度,即至少在正常出水状态下保持10米每秒,过滤器外壳1内部固定装设有二级过滤膜4,二级过滤膜4的出水管置于出水口3的上端,所述过滤器外壳1的内部且位于二级过滤膜4的外部转动设有一级过滤组件,一级过滤组件包括一级过滤膜5、连接环31和螺旋弹片32,每个所述一级过滤膜5的内周面周向间隔设置有凸起24,二级过滤膜4使用聚醚砜膜折叠式滤芯,厚度为一级过滤膜5的三倍,一级过滤膜5为双层的聚醚砜膜结构,质量轻,具有良好的可扭转性能;
如图6所示,相邻两个一级过滤膜5之间通过连接环31固定连接,螺旋弹片32周向间隔设置在一级过滤膜5的外周面上且螺旋弹片32的两端分别与对应位置的连接环31固定连接,如图2和图9所示,进水口2的下表面中心设置有滑动转止组件,所述滑动转止组件包括开设在进水口2下表面中心的配合轮槽34和位于配合轮槽34底部的环形槽33,一级过滤组件的上部设置有与滑动转止组件配合的上齿环6,一级过滤组件的下部设置有下齿环7,为减轻斜齿轮27驱动的负载,下齿环7和上齿环6均采用硬质塑料,塑料外表面喷涂抗氧化层处理;
过滤器外壳1的下部开设有驱动腔体8,如图1和图2所示,在过滤器外壳1的下部设有与其相连通的集污罐9,集污罐9用于收集从一级过滤膜5表面脱落的堵塞有机物,驱动腔体8内部设有驱动组件,所述驱动组件包括叶片10、转轴11、柔性带12、伸缩轴13和第一压簧14,转轴11与叶片10固定连接,转轴11的两端均固定连接有伸缩轴13,伸缩轴13的外部套设有第一压簧14,转轴11和伸缩轴13之间周向等间距设有柔性带12,所述驱动组件还包括主动锥齿轮17、从动锥齿轮18、从动轴19和斜齿轮27,主动锥齿轮17固定安装在伸缩轴13的外周面上,从动轴19转动设于驱动腔体8中,从动锥齿轮18固定安装在从动轴19的外周面且与主动锥齿轮17相适配位置,斜齿轮27固定安装在从动轴19的上端,斜齿轮27与下齿环7互相啮合,驱动组件用于在出水口3中流量正常状态下驱动下齿环7正向转动,斜齿轮27和下齿环7应为斜齿轮结构,以便于斜齿轮27的啮合移动;
如图3所示,驱动组件配合有顶推组件,所述顶推组件包括挤压环15和挤压杆16,挤压环15固定设于伸缩轴13的外周面上,挤压杆16滑动设置在驱动腔体8中,挤压杆16的上端与下齿环7的下表面接触,挤压杆16的下端与挤压环15表面接触,顶推组件用于在出水口3流量正常状态下将下齿环7向上顶起,以使得一级过滤组件和滑动转止组件同步转动;
如图3和图8所示,驱动组件还配合有蓄能组件,所述蓄能组件包括支撑座38、卷簧28、棘爪架25、棘轮26、棘爪29和第二压簧30,支撑座38固定设置在驱动腔体8内壁位置,棘爪架25固定安装在支撑座38的上表面,棘爪架25中铰接有棘爪29,棘爪架25的内侧面设置有第二压簧30,且第二压簧30与棘爪29的弧形侧面固定连接,卷簧28的一端与从动轴19固定连接,卷簧28的另一端与棘轮26固定连接,蓄能组件用于在出水口3流量异常状态下驱动下齿环7反向转动以使得螺旋弹片32带动一级过滤膜5扭转,对于蓄能组件进行说明的是,棘爪29的作用下在于当从动轴19正常转动以及反向转动时对棘轮26进行锁止,使得在从动轴19转动时卷簧28能够蓄力,第二压簧30的作用下在于当卷簧28收紧程度增加,卷簧28的弹性势能大于第二压簧30的弹性势能时,棘轮26能够下压棘爪29反向转动,通过棘轮26的转动进行卸力,以使得从动轴19能够保持持续的转动而不受卷簧28的影响;
如图4所示,每个一级过滤膜5中且位于两个连接环31之间设有震动组件,所述震动组件包括铰接杆20、滑动压块21、弹性杆22、锥形块23、顶压圈35、伸缩柱36和第三压簧37,铰接杆20的一端铰接设在连接环31上,铰接杆20的另一端与滑动压块21铰接,滑动压块21靠近一级过滤膜5的一侧固定连接有弹性杆22,弹性杆22远离滑动压块21的一端固定连接有锥形块23,锥形块23采用锥形外形,在于减小锥形块23移动时的阻力,保留更大的动能,使得锥形块23在和一级过滤膜5接触时能够具有足够的动能,滑动压块21远离弹性杆22的一端固定连接有伸缩柱36,伸缩柱36的外部套设有第三压簧37伸缩柱36远离滑动压块21的一端固定连接有顶压圈35,震动组件用于在一级过滤膜5扭转时进行蓄力在扭转复位时对一级过滤膜5内表面进行震击,震动组件还用于在一级过滤膜5正向转动时对一级过滤膜5内表面进行间歇敲击。
综上所述,该用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置,使用时,将进水口2与双氧水进水一端连接,将出水口3与双氧水出水一端连接;
正常进水状态下,双氧水通过进水口2进入到过滤器外壳1内部经一级过滤膜5后进入到二级过滤膜4,后通过二级过滤膜4的出水管流出到出水口3中;
正常情况下,出水口3处的双氧水出水流量带动叶片10高速旋转,转轴11带动伸缩轴13同步转动,在离心力作用下,柔性带12呈灯笼状扬开,从而处于转轴11和伸缩轴13之间的第一压簧14被压缩,挤压环15以及主动锥齿轮17向靠近从动锥齿轮18的方向移动,于是主动锥齿轮17与从动锥齿轮18之间啮合,从动轴19受力转动,从而斜齿轮27带动下齿环7转动,下齿环7与一级过滤组件同步转动;
同时在挤压环15的挤压作用下,挤压环15将挤压杆16向上顶起,从而使得上齿环6向上进入到环形槽33内,此时下齿环7、一级过滤组件和上齿环6同步转动,以达到在出水口3的出水流量正常情况下一级过滤组件的转动,此时一级过滤膜5的转动使得凸起24间歇性的与锥形块23挡止脱离,从而弹性杆22带动锥形块23不断的向一端摆开后复位,从而使得一级过滤膜5表面间歇性的产生微小震动,增强在一级过滤组件正向转动状态下的防堵塞能力;
在从动轴19转动的过程中,处于棘轮26内部的卷簧28受力收紧,弹性势能增加;
当一级过滤膜5表面附着有较多的堵塞物影响一级过滤膜5的正常通流使用时,此时出水口3处流量减小,不足以驱动转轴11转动,此时在第一压簧14的弹性恢复作用下,挤压环15以及主动锥齿轮17复位移动,于是主动锥齿轮17与从动锥齿轮18脱离啮合,挤压环15不再将挤压杆16向上顶起,此时上齿环6向下滑动至上齿环6与配合轮槽34卡接配合,此时一级过滤组件的上端卡接转止,在卷簧28的弹性恢复作用下卷簧28驱动从动轴19反向转动,于是下齿环7带动一级过滤组件受力扭转,螺旋弹片32受力扭转使得一级过滤膜5表面被扭曲挤压,以促使一级过滤膜5表面的堵塞有机物脱落,同时螺旋弹片32的受力扭转还使得一级过滤膜5轴向之间的距离减小,从而两个连接环31之间的垂直距离减小,通过铰接杆20推动滑动压块21向靠近伸缩柱36方向移动,使得顶压圈35抵紧二级过滤膜4后,第三压簧37受力被压缩;
当一级过滤组件的轴向压缩量减小至下齿环7与斜齿轮27脱离时,此时在螺旋弹片32的弹性恢复作用下,一级过滤膜5恢复形变,惯性作用下将一级过滤膜5表面挤压后的堵塞有机物甩落,同时在第三压簧37的弹性恢复作用下,锥形块23撞击在一级过滤膜5的内表面上,进一步的促使一级过滤膜5外表面的堵塞有机物脱落;
在螺旋弹片32弹性恢复后,一级过滤组件的轴向长度恢复,下齿环7再次与斜齿轮27啮合,从而在发生堵塞时多次对一级过滤组件进行扭曲复位,避免过渡扭曲破坏一级过滤膜5的同时获得更好的堵塞有机物清理效果;
在一级过滤膜5外表面的堵塞有机物脱落后,出水口3处的水流流量恢复正常,叶片10恢复高速转动,此时下齿环7再次被向上顶起,从而上齿环6再次进入到环形槽33中,此时上齿环6、一级过滤组件和斜齿轮27同步转动,恢复至正常进水状态。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置,包括过滤器外壳(1),过滤器外壳(1)的上端中心具有开设进水通道的进水口(2)、过滤器外壳(1)的下端中心具有出水口(3),过滤器外壳(1)内部固定装设有二级过滤膜(4),二级过滤膜(4)的出水管置于出水口(3)的上端,其特征在于:所述过滤器外壳(1)的内部且位于二级过滤膜(4)的外部转动设有一级过滤组件,一级过滤组件包括一级过滤膜(5)、连接环(31)和螺旋弹片(32),相邻两个一级过滤膜(5)之间通过连接环(31)固定连接,螺旋弹片(32)周向间隔设置在一级过滤膜(5)的外周面上且螺旋弹片(32)的两端分别与对应位置的连接环(31)固定连接,进水口(2)的下表面中心设置有滑动转止组件,一级过滤组件的上部设置有与滑动转止组件配合的上齿环(6),一级过滤组件的下部设置有下齿环(7),过滤器外壳(1)的下部开设有驱动腔体(8),驱动腔体(8)内部设有驱动组件,驱动组件用于在出水口(3)中流量正常状态下驱动下齿环(7)正向转动,驱动组件配合有顶推组件,顶推组件用于在出水口(3)流量正常状态下将下齿环(7)向上顶起,以使得一级过滤组件和滑动转止组件同步转动,驱动组件还配合有蓄能组件,蓄能组件用于在出水口(3)流量异常状态下驱动下齿环(7)反向转动以使得螺旋弹片(32)带动一级过滤膜(5)扭转,每个一级过滤膜(5)中且位于两个连接环(31)之间设有震动组件,震动组件用于在一级过滤膜(5)扭转时进行蓄力在扭转复位时对一级过滤膜(5)内表面进行震击,震动组件还用于在一级过滤膜(5)正向转动时对一级过滤膜(5)内表面进行间歇敲击。
2.根据权利要求1所述的一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置,其特征在于:所述驱动组件包括叶片(10)、转轴(11)、柔性带(12)、伸缩轴(13)和第一压簧(14),转轴(11)与叶片(10)固定连接,转轴(11)的两端均固定连接有伸缩轴(13),伸缩轴(13)的外部套设有第一压簧(14),转轴(11)和伸缩轴(13)之间周向等间距设有柔性带(12)。
3.根据权利要求2所述的一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置,其特征在于:所述驱动组件还包括主动锥齿轮(17)、从动锥齿轮(18)、从动轴(19)和斜齿轮(27),主动锥齿轮(17)固定安装在伸缩轴(13)的外周面上,从动轴(19)转动设于驱动腔体(8)中,从动锥齿轮(18)固定安装在从动轴(19)的外周面且与主动锥齿轮(17)相适配位置,斜齿轮(27)固定安装在从动轴(19)的上端,斜齿轮(27)与下齿环(7)互相啮合。
4.根据权利要求2所述的一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置,其特征在于:所述顶推组件包括挤压环(15)和挤压杆(16),挤压环(15)固定设于伸缩轴(13)的外周面上,挤压杆(16)滑动设置在驱动腔体(8)中,挤压杆(16)的上端与下齿环(7)的下表面接触,挤压杆(16)的下端与挤压环(15)表面接触。
5.根据权利要求1所述的一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置,其特征在于:所述蓄能组件包括支撑座(38)、卷簧(28)、棘爪架(25)、棘轮(26)、棘爪(29)和第二压簧(30),支撑座(38)固定设置在驱动腔体(8)内壁位置,棘爪架(25)固定安装在支撑座(38)的上表面,棘爪架(25)中铰接有棘爪(29),棘爪架(25)的内侧面设置有第二压簧(30),且第二压簧(30)与棘爪(29)的弧形侧面固定连接,卷簧(28)的一端与从动轴(19)固定连接,卷簧(28)的另一端与棘轮(26)固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置,其特征在于:所述震动组件包括铰接杆(20)、滑动压块(21)、弹性杆(22)、锥形块(23)、顶压圈(35)、伸缩柱(36)和第三压簧(37),铰接杆(20)的一端铰接设在连接环(31)上,铰接杆(20)的另一端与滑动压块(21)铰接,滑动压块(21)靠近一级过滤膜(5)的一侧固定连接有弹性杆(22),弹性杆(22)远离滑动压块(21)的一端固定连接有锥形块(23),滑动压块(21)远离弹性杆(22)的一端固定连接有伸缩柱(36),伸缩柱(36)的外部套设有第三压簧(37)伸缩柱(36)远离滑动压块(21)的一端固定连接有顶压圈(35)。
7.根据权利要求1所述的一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置,其特征在于:所述滑动转止组件包括开设在进水口(2)下表面中心的配合轮槽(34)和位于配合轮槽(34)底部的环形槽(33)。
8.根据权利要求1所述的一种用于双氧水提纯用过滤器的清洁装置,其特征在于:每个所述一级过滤膜(5)的内周面周向间隔设置有凸起(24)。
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