CN115196346B - 工件搬运系统及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种工件搬运系统，其使用设置于作业区域的机器人在工作台之间搬运工件，缩短工件搬运所需的时间。针对每个工作台确定待机位置和动作切换点。动作切换点是从工作台位置向作业区域拉回的位置，是在机器人的手处于动作切换点时手或工件至少部分地处于工作台的内部的位置。待机位置是机器人能够不干涉地相对于其他工作台的待机位置直接旋转的位置，是即使机器人通过PTP动作移动到动作切换点也不会使机器人或工件产生干涉的位置。针对每个工作台，在该工作台的待机位置与动作切换点之间通过PTP动作使机器人移动，在动作切换点与工作台位置之间通过直线插补动作使机器人移动。

Description

工件搬运系统及其控制方法

技术领域

本发明涉及具备多关节型机器人并搬运半导体晶片等工件的工件搬运系统及其控制方法。

背景技术

例如，在半导体制造工序中，需要在收纳工件的盒和对工件执行规定处理的工件处理装置之间搬运半导体晶片等工件。此时，需要能够相对于多个盒或多个工件处理装置装载(搬入)/卸载(搬出)工件。另外，搬运装置为了搬运工件而能够动作的空间即作业区域受到限定的情况也很多。因此，大多使用多关节型机器人来搬运工件，该多关节型机器人将多个臂彼此可旋转地连接，并且将马达等的旋转力传递给臂来进行伸缩等动作。在机器人中搬运时载置工件的手经由旋转轴安装在前端的臂上。盒例如是将工件载置成搁板状的盒，在其正面具有朝向作业区域的开口。通过经由开口将手插入盒内，能够进行工件的装载及卸载。同样地，工件处理装置也具有面向作业区域的开口，能够经由开口装载及卸载工件。由收纳工件的盒、工件处理装置和多关节型机器人构成一个工件搬运系统。由于盒也是工件处理装置的工件的装载/卸载的对象这一点没有变化，因而将它们统称为工作台。为了提高半导体制造工序等中的吞吐量，需要能够在工作台间高速地搬运工件的工件搬运系统。

专利文献1公开了如下内容：使用水平多关节型机器人，驱动机器人以使从手侧数第三个旋转轴位于相对工作台接近(access)的轴线上，然后使手相对于工作台直线状地进出，由此不使用直动机构而以高速进行工件的装载及卸载。在工件搬运系统中，在机器人在工作台间移动时，需要使机器人的臂或手不与划分作业区域的壁面碰撞，本发明人的专利文献2公开了如下内容：为了能够容易地生成机器人的安全路径，关于机器人的姿势预先确定几个指定经由点，以经由指定经由点的方式确定机器人的移动路径。

为了缩短搬运时间，需要使搬运用的机器人高速移动，作为机器人移动的高速化的技术，专利文献3公开了如下内容：在使机器人直线移动时，将其加速区间、等速区间及减速区间进一步分割为段，对每个段进行PTP控制。专利文献4公开了如下内容：在生成机器人手臂的轨道时，在开始示教点与目标示教点之间设置中间示教点群，一边使中间示教点群变位一边反复基于中间示教点群生成轨道并进行评价，以通过评价结果良好的中间示教点群的方式生成轨道。

另外，作为使机器人移动时的动作方式，有PTP(点对点：Point To Point)动作和直线插补动作。在机器人的臂或手具有基准点的情况下，PTP动作是仅指定基准点所描绘的轨道的起点和终点来使机器人移动的动作，在使基准点移动到目标坐标为止时，通过同时驱动机器人的各轴来使机器人到达目标坐标。在这种情况下，由于能够使机器人的各轴的马达以其规格上的最高速度动作，因此能够在短时间内到达目标坐标，但基准点的动作轨迹不是直线，另外，轨迹的形状等也得不到保证。为了防止与墙壁等的干涉，需要增加示教点的数量，在每个相邻的示教点之间进行PTP动作。与此相对，直线插补动作是在使基准点移动到目标坐标时，以使基准点的动作轨迹成为直线的方式进行轨迹插补而使机器人移动的动作。在直线插补动作中，能够保证轨迹是直线，但与PTP动作相比，存在到达目标坐标需要时间这样的缺点。

在上述专利文献2所记载的方法中，在作业区域内对每个工作台在成为该工作台正面的跟前侧的位置设定待机/退避位置，使手移动到待机/退避位置后，通过直线插补动作使手笔直地向工作台的内部移动。在待机/退避位置与指定经由点(或原点位置)之间移动时，使用PTP动作。在专利文献1记载的方法中，首先驱动机器人，以使手位于从手侧数第三个旋转轴处在朝工作台接近的轴线上，该位置相当于专利文献2记载的方法中的待机/退避位置，从该位置向工作台内部的手的移动需要是直线状，因此，使用保证轨迹的形状的直线插补动作。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-119556号公报

专利文献2：日本特开2019-84651号公报

专利文献3：日本特开2019-166623号公报

专利文献4：日本特开2019-135076号公报

发明内容

如专利文献1、2等所示，在工件搬运系统中，在将待机/退避位置设定在朝工作台接近的轴线上且成为工作台外的位置的情况下，容易知道待机/退避位置与用于工件的装载及卸载的工作台内部的位置之间的关系，也能够容易地进行机器人的示教。但是，当这样设定待机/退避位置时，由于基于直线插补动作的机器人的移动量大，因此不利于缩短搬运时间。另外，在使机器人在某工作台的待机/退避位置与其他工作台的待机/退避位置之间移动时，能够使用PTP动作，但为了防止机器人的臂旋转时臂或手、乃至搬运中的工件与作业区域的内壁干涉，需要使臂或手通过某种程度折叠的姿势(例如专利文献2中的指定经由点)，相应地花费机器人的移动时间。

本发明的目的在于提供一种工件搬运系统及其控制方法，与将待机/退避位置设定在朝工作台接近的轴线上且成为工作台外的位置的情况相比，能够缩短工件的搬运时间。

本发明的工件搬运系统具有：作业区域；与作业区域相接配置的多个工作台；以及机器人，其设置于作业区域，相对于多个工作台装载/卸载工件来搬运工件，其中，针对每个工作台确定待机位置和动作切换点，动作切换点是从工作台的工作台位置向作业区域拉回的位置，是在机器人处于动作切换点时机器人的一部分或载置于机器人的工件的一部分处于该工作台的内部的位置，待机位置是机器人能够不与作业区域的内壁干涉地相对于其他工作台的待机位置直接旋转的作业区域内的位置，是即使机器人以点对点(PTP)动作移动到与待机位置对应的工作台的动作切换点，机器人及载置于机器人的工件也不与作业区域的内壁及该工作台的内壁干涉的位置，针对每个工作台，机器人以PTP动作在该工作台的待机位置与动作切换点之间移动，机器人以直线插补动作在该工作台的动作切换点与工作台位置之间移动。

根据本发明的工件搬运系统，在机器人的一部分或工件的一部分进入工作台内部的位置确定动作切换点，在待机位置与动作切换点之间通过PTP动作使机器人移动，在动作切换点与工作台位置之间通过直线插补动作使机器人移动，因此，与现有的工件搬运系统相比，机器人的直线插补动作的移动距离变短，能够缩短工件的搬运所需要的时间。另外，由于在某一工作台的待机位置与另一工作台的待机位置之间移动时不需要折叠机器人的臂状物，因此这也能够缩短搬运时间。

在本发明的工件搬运系统中，优选机器人通过PTP动作在待机位置相互之间移动。通过在待机位置相互之间也使机器人以PTP动作移动，能够进一步缩短搬运时间。

在本发明的工件搬运系统中，机器人例如是水平多关节型机器人，该水平多关节型机器人具有：基台；基台侧连杆，其能旋转地与基台连接；臂侧连杆，其与基台侧连杆连接；臂，其旋转自如地与臂侧连杆连接；以及手，其旋转自如地与臂连接来保持工件。在该水平多关节型机器人中，基台侧连杆和臂侧连杆构成连杆机构，该连杆机构进行限制，以使臂侧连杆和臂的连结轴的中心点的移动轨迹成为规定的直线。通过在具备水平方向的运动比铅垂方向的运动大的水平多关节型机器人的工件搬运系统中应用本发明，能够进一步缩短机器人旋转时的搬运时间，能够大幅缩短整体的搬运时间。

本发明的控制方法是一种工件搬运系统中的机器人的控制方法，该工件搬运系统具有：作业区域；与作业区域相接配置的多个工作台；以及设置在作业区域中并相对于多个工作台装载/卸载工件来搬运工件的机器人，该控制方法针对每个工作台确定待机位置和动作切换点，在针对每个工作台使机器人在待机位置与该工作台的工作台位置之间移动时，使机器人以PTP动作在该工作台的待机位置与动作切换点之间移动，使机器人以直线插补动作在该工作台的动作切换点与工作台位置之间移动，动作切换点是从工作台的工作台位置向作业区域拉回的位置，是在机器人处于动作切换点时机器人的一部分或载置在机器人上的工件的一部分处于该工作台的内部的位置，待机位置是机器人能够不与作业区域的内壁干涉地相对于其他工作台的待机位置直接旋转的作业区域内的位置，是即使机器人以PTP动作移动到与待机位置对应的工作台的动作切换点，机器人及载置在机器人上的工件也不与作业区域的内壁及该工作台的内壁干涉的位置。

根据本发明的控制方法，在机器人的一部分或工件的一部分进入工作台的内部的位置确定动作切换点，在待机位置与动作切换点之间通过PTP动作使机器人移动，在动作切换点与工作台位置之间通过直线插补动作使机器人移动，因此，与现有的控制方法相比，直线插补动作中的移动距离变短，能够缩短工件的搬运所需要的时间。另外，由于在某一工作台的待机位置与另一工作台的待机位置之间移动时不需要折叠机器人的臂状物，因此这也能够缩短搬运时间。

在本发明的控制方法中，优选在待机位置相互之间也通过PTP动作使机器人移动。通过这样以PTP动作使其移动，能够进一步缩短搬运时间。

在本发明的控制方法中，机器人例如是水平多关节型机器人，该水平多关节型机器人具有：基台；基台侧连杆，其能旋转地与基台连接；臂侧连杆，其与基台侧连杆连接；臂，其旋转自如地与臂侧连杆连接；以及手，其旋转自如地与臂连接来保持工件。在该水平多关节型机器人中，基台侧连杆和臂侧连杆构成连杆机构，该连杆机构进行限制，以使臂侧连杆和臂的连结轴的中心点的移动轨迹成为规定的直线。通过在具备水平方向上的运动比铅垂方向上的运动大的水平多关节型机器人的工件搬运系统中应用本发明来控制水平多关节型机器人，能够进一步缩短机器人旋转时的搬运时间，能够大幅缩短整体的搬运时间。

(发明效果)

根据本发明，与将待机/退避位置设定在朝工作台接近的轴线上且成为工作台外的位置的情况相比，能够缩短工件的搬运时间。

附图说明

图1是示出本发明一实施方式的工件搬运系统的概略俯视图。

图2是水平多关节型机器人的概略剖视图。

图3是说明本发明的机器人的控制方法的图。

图4是分阶段地示出基于现有的控制方法进行的工件搬运的图。

图5是分阶段地示出基于本发明的控制方法进行的工件搬运的图。

图6是对比实施现有的控制方法及本发明的控制方法的情况，示出工件和手的位置的时间经过的图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1示出本发明一实施方式的工件搬运系统。该工件搬运系统由机器人1和多个工作台20构成，机器人1是配置在作业区域40内的多关节型机器人，多个工作台20与作业区域40相接配置且成为工件21的装载及卸载对象。工件21例如是半导体晶片。在此，设置有五个工作台20，但所设置的工作台20的数量不限于此。在图示右上方的工作台20上已经收纳有工件21。作业区域40是机器人1能够不与其他物体干涉地使手、臂等移动的空间。在图示的例子中，作业区域40为长方形，但作业区域40的形状不限于长方形，也可以是顶点数更多的多边形，也可以是凹多边形，还可以是多边形的边的一部分为曲线的形状。各工作台20具备面向作业区域40的开口，机器人1的手经由该开口进入工作台20的内部，能够相对于该工作台20进行工件21的装载及卸载，多关节型机器人1通过使其连杆、臂、手运动，能够在工作台20的相互之间搬运工件21。

机器人1是与专利文献2中说明的机器人相同的三连杆型的水平多关节型机器人，具有：两根手7a、7b，其保持工件21；臂6，其可旋转地保持手7a、7b；连杆机构3，其可旋转地保持臂6的基端侧的臂关节部J1，并且以臂关节部J1的移动轨迹成为与工作台20的排列方向大致平行的直线的方式动作；以及基台2，其可旋转地支撑连杆机构3的基端侧。连杆机构3具有：位于基台2侧且可旋转地保持在基台2上的基台侧连杆4；以及位于臂6侧的臂部侧连杆5，两个连杆4、5通过连杆关节部J2可相互旋转地连接。

图2是更详细地示出作为水平多关节型机器人的机器人1的图，描绘了使连杆4、5、臂6、手7a、7b延伸的状态下的铅垂剖视图。基台2具备由升降马达(未图示)驱动而沿上下方向升降的升降筒8。基台侧连杆4与升降筒8连接，通过内置于升降筒8的连杆机构马达8a可旋转地被保持，随着升降筒8的升降可相对于基台2升降。在基台侧连杆4中内置有基台侧带轮4a、臂侧带轮4b及带4c，带4c架设在基台侧带轮4a与臂侧带轮4b之间。基台侧带轮4a与臂侧带轮4b的直径比为2：1。臂侧带轮4b与臂侧连杆5连接，在基台侧连杆4以基台侧带轮4a的旋转中心为中心旋转时，基台侧带轮4a与臂侧带轮4b的旋转角度比、即基台侧连杆4与臂侧连杆5的旋转角度比为1：2。而且，基台侧连杆4和臂侧连杆5的长度相等。其结果，连杆机构3的将臂侧连杆5和臂6可旋转地连接的连接轴的中心点(臂关节部J1)的移动轨迹被限制在规定的直线上。

臂6与臂侧连杆5的前端连接，通过内置于臂侧连杆5的臂驱动马达51可旋转地被保持。另外，在图2中，为了便于说明，将臂驱动马达51内置于臂侧连杆5，但臂驱动马达51的设置场所不限于此，例如也可以将臂驱动马达51内置于臂6。手7a、7b与臂6的前端连接，通过内置于臂6的框架马达6a、6b分别可旋转地被保持。手7a、7b相对于臂6的连结中心为同一轴，将该轴设为手7a、7b的旋转中心J3。手7a配置在手7b的上侧。在机器人1上设置有用于驱动机器人1来控制其动作的机器人控制器10，在机器人控制器10上经由线缆16连接有示教器15。示教器15在机器人1的示教时由作业者使用。

在机器人1中，关于其姿势也确定原点位置。在本实施方式的机器人1中，以基台侧连杆4、臂侧环5、臂6及手7a、7b相互重合地折叠且手7a、7b的前端在图1中朝上的状态为原点位置。

在专利文献2所记载的方法中，在作业区域40中成为工作台20的正面的位置设定用于该工作台20的待机/退避位置，在使手从该待机/退避位置向工作台20的内部移动时，执行直线插补动作。待机/退避位置位于工作台20的外部，且位于朝工作台20接近(acces)的轴线上。在使手从工作台20的内部返回到待机/退避位置时也同样地执行直线插补动作。与此相对，在本实施方式的工件搬运系统中，将虽然位于作业区域40内但未必存在于朝该工作台20接近的轴线上的位置作为待机位置。不是将待机/退避位置配置在朝工作台20接近的轴线上，而是将作为该轴线上的位置的、将手从工作台20向作业区域40拉回某距离的点设定为动作切换点。动作切换点一般位于比专利文献2中的待机位置更靠近工作台20侧的位置。因此，一般而言，在动作切换点有手时，手或工件的一部分位于工作台20的内部。

在本实施方式中，“待机位置”是工件的取得或收纳完成而将臂拉回的姿势位置、或者通过使其动作到工作台20的前位置的指令而到达的位置，是满足以下两个条件的位置。

条件1：即使使机器人1以PTP动作从待机位置前进到该工作台20的动作切换点，也不会与作业区域的内壁或工作台的内壁发生干涉。

条件2：即使相对于其他工作台20的待机位置直接旋转，手或装载于手的工件也不会与作业区域40的内壁等干涉。

满足本发明中的以上条件的待机位置例如能够与专利文献2中说明的指定经由点同样地确定。在手或臂折叠的姿势是机器人1的原点位置的情况下，机器人1也能够在原点位置和待机位置之间以PTP动作移动。另外，在本实施方式中，在工作台20上确定了工件21的固定位置，将机器人1的手的工件装载部与工作台20上的工件21的固定位置一致的位置称为“工作台位置”。因此，“工件台位置的示教”是指将手的工件装载部的中心与放置在工件台20上的工件21的中心位置一致的姿势作为坐标进行登记。工件21的装载和卸载在工作台位置处执行。在工件21的搬运中也需要将工件21抄起等高度方向的动作，但本发明以缩短水平方向上的搬运时间为目的，因此，以下省略对机器人1的高度方向动作的说明。

接着，说明本实施方式的工件搬运系统中的控制方法。在本实施方式中，在某工作台20的待机位置与其他工作台20的待机位置之间，能够通过PTP动作直接移动。此时，由于不需要折叠机器人1的连杆机构或臂，因此能够缩短搬运时间。另外，在本实施方式中，通过大幅缩短待机位置与工作台位置之间的工件的搬运时间，进一步缩短了整体的搬运时间。图3是说明本实施方式中的控制方法的图。在图3及其后续的图中，实线箭头示出基于PTP动作的移动，虚线箭头示出基于直线插补动作的移动。在本实施方式中，在待机位置和动作切换点之间，以能够最快移动的PTP动作使手移动，在动作切换点和工作台位置之间，通过直线插补动作使手移动。动作切换点是手经过的位置，在手或工件不与工作台20的内壁等干涉的条件下，被设定为使直线插补动作中的动作量即距离尽可能短。这样的动作切换点被设定在比专利文献2所示的方法中的待机/退避位置更接近工作台位置的位置，因此，根据本实施方式，基于直线插补动作的移动距离变短，整体上手的移动时间即搬运时间被缩短。以下，具体地对比基于现有的控制方法的动作和基于本实施方式的动作进行说明。

在图1所示的工件搬运系统中，考虑使用机器人1的上侧的手7a将收纳于右上的工作台20的工件21搬运到左下的工作台20的情况。图4分阶段地示出现有的控制方法中的机器人1和工件21的动作。(a)示出位于原点位置的机器人1。如(b)所示，机器人1通过PTP动作从原点位置移动到右上的工作台20的待机/退避位置。该待机/退避位置位于朝工作台20接近的轴线上。接着，如(c)所示，通过直线插补动作使手7a移动到工作台位置，取得工件21。在取得工件21后，如(d)所示，手7a通过直线插补动作被拉回到待机/退避位置，之后，机器人1如(e)所示，以PTP动作移动到使手7a某种程度地折叠的姿势位置、即旋转前的中间位置，以使得在手臂旋转时手7a或工件21不与作业区域40的内壁干涉。然后，机器人1一边以PTP动作旋转，一边如(f)所示，移动到将手7a以某种程度折叠的姿势位置、即旋转后的中间位置。(e)、(f)所示的中间位置例如是专利文献2所示的控制方法中的指定经由点。从(f)所示的中间位置起，机器人1通过PTP动作如(g)所示移动到左下的工作台20的待机/退避位置。最后，机器人1的手7a通过直线插补动作移动到左下的工作台20的工作台位置，将工件21收纳在该工作台20上。

图5示出用本实施方式的控制方法实施图4所示的工件21的搬运时的机器人1和工件21的动作。在本实施方式的控制方法中，机器人1也从(a)所示的原点位置如(b)所示那样以PTP动作移动到相对于右上的工作台20的待机位置。此处的待机位置并非处于工作台20的前面，另外，手7a也处于比图5所示的情况折叠得更多的状态。然后，如(c)所示，通过PTP动作，手7a移动到动作切换点，接着如(d)所示，通过直线插补动作移动到工作台位置，取得工件21。在取得工件21后，如(e)所示，手7a通过直线插补动作返回动作切换点，接着通过PTP动作返回(f)所示的待机位置。接着，机器人1通过PTP动作，如(g)所示旋转到左下的工作台20的待机位置。左下的工作台20的待机位置也不在该工作台20的前面，手7a也处于折叠状态。从(g)所示的待机位置起，手7a如(h)所示通过PTP动作移动到动作切换点，接着如(i)所示通过直线插补动作移动到工作台位置，将工件21收纳于工作台20。之后，手7a如(j)所示通过直线插补动作移动到动作切换点，为了进行下一次搬运，如(k)所示通过PTP动作返回待机位置。

图6以对比基于现有的方法的情况(虚线的左侧)与基于本实施方式的方法的情况(虚线的右侧)的方式，示出载置工件21而位于原点位置的机器人1将工件21收纳于工作台20时的手7a与工件21的动作。在图中，用大圆示出工件21，用小圆示出作为手7a相对于臂6的连结中心的旋转轴J3。手7a自身通过用线段示出其中心线来表现。从示出原点位置的(a)到(i)依次经过了时间。在任一控制方法中，手7a都从原点位置起以PTP动作移动。在本实施方式的控制方法中，在(c)中工件21已经通过待机位置，在(e)中工件21的一部分已经进入工作台20中。在(f)的时刻，在现有的控制方法中终于到达待机/退避位置，与此相对，在本实施方式的方法中到达动作切换点。之后，在任一种控制方法中都通过直线插补动作使手7a向工作台位置移动，但在本实施方式的情况下，在(h)中到达工作台位置，与此相对，在现有的控制方法中，在(i)的时刻手部1到达工作台位置。这样，根据本实施方式的控制方法，能够提前到达载置台位置，能够缩短搬运时间。

在本实施方式的工件搬运系统中，每个工作台20的待机位置、动作切换点以及工作台位置例如可以通过使用了示教器15的示教而登记在机器人控制器10中，也可以根据作业区域40的形状、各工作台20相对于作业区域40的位置关系以及机器人1中的连杆机构3、臂6、手7a、7b的尺寸等通过计算而算出并登记在机器人控制器40中。

根据以上说明的本实施方式的工件搬运系统，在手的一部分或工件的一部分进入工作台20的内部的位置确定动作切换点，在待机位置与动作切换点之间通过PTP动作使机器人移动，在动作切换点与工作台位置之间通过直线插补动作使机器人移动，因此，与通过现有的控制方法使机器人动作的情况相比，直线插补动作中的移动距离变短，能够缩短工件的搬运所需要的时间。另外，由于能够通过PTP动作使其在某一工作台的待机位置与另一工作台的待机位置之间直接移动，在机器人1中不需要折叠连杆机构或臂，因此这也能够缩短搬运时间。

附图标记

1…多关节型机器人；2…基台；3…连杆机构；4…基台侧连杆；5…臂部侧连杆；6…臂；7a、7b…手；8…升降筒；10…机器人控制器；15…示教器；20…工作台；21…工件；40…作业区域。

Claims (8)

1.一种工件搬运系统，该工件搬运系统具有：作业区域；多个工作台，该多个工作台与所述作业区域相接配置；以及机器人，该机器人设置于所述作业区域，且相对于所述多个工作台装载/卸载工件来搬运所述工件，其特征在于，

针对每个所述工作台确定待机位置和动作切换点，

所述动作切换点是从所述工作台的工件固定位置向所述作业区域拉回的位置，是在所述机器人处于所述动作切换点时所述机器人的一部分或载置在所述机器人上的工件的一部分处于该工作台的内部的位置，

所述待机位置是所述机器人能够不与所述作业区域的内壁干涉地相对于其他工作台的待机位置直接旋转的所述作业区域内的位置，是即使所述机器人以点对点动作移动到与所述待机位置对应的所述工作台的所述动作切换点，所述机器人及载置在所述机器人上的所述工件也不与所述作业区域的内壁以及该工作台的内壁干涉的位置，

针对每个所述工作台，所述机器人在该工作台的所述待机位置与所述动作切换点之间以点对点动作移动，所述机器人在该工作台的所述动作切换点与所述工件固定位置之间以直线插补动作移动。

2.根据权利要求1所述的工件搬运系统，其特征在于，

所述机器人在所述待机位置相互之间以点对点动作移动。

3.根据权利要求2所述的工件搬运系统，其特征在于，

所述机器人是水平多关节型机器人，具备：

基台；

能旋转地与所述基台连接的基台侧连杆；

与所述基台侧连杆连接的臂侧连杆；

旋转自如地与所述臂侧连杆连接的臂；以及

旋转自如地与所述臂连接以保持所述工件的手，

所述基台侧连杆和所述臂侧连杆构成连杆机构，该连杆机构进行限制，以使所述臂侧连杆与所述臂的连结轴的中心点的移动轨迹成为规定的直线。

4.根据权利要求1所述的工件搬运系统，其特征在于，

所述机器人是水平多关节型机器人，具备：

基台；

能旋转地与所述基台连接的基台侧连杆；

与所述基台侧连杆连接的臂侧连杆；

旋转自如地与所述臂侧连杆连接的臂；以及

旋转自如地与所述臂连接以保持所述工件的手，

所述基台侧连杆和所述臂侧连杆构成连杆机构，该连杆机构进行限制，以使所述臂侧连杆与所述臂的连结轴的中心点的移动轨迹成为规定的直线。

5.一种工件搬运系统中的机器人的控制方法，所述工件搬运系统具有：作业区域；与所述作业区域相接配置的多个工作台；以及设置于所述作业区域并相对于所述多个工作台装载/卸载工件来搬运所述工件的所述机器人，其特征在于，

针对每个所述工作台确定待机位置和动作切换点，

在针对每个所述工作台使所述机器人在所述待机位置与该工作台的工件固定位置之间移动时，使所述机器人以点对点动作在该工作台的所述待机位置与所述动作切换点之间移动，使所述机器人以直线插补动作在该工作台的所述动作切换点与所述工件固定位置之间移动，

所述动作切换点是从所述工作台的所述工件固定位置向所述作业区域拉回的位置，是在所述机器人位于所述动作切换点时所述机器人的一部分或载置在所述机器人上的所述工件的一部分位于该工作台的内部的位置，

所述待机位置是所述机器人能够不与所述作业区域的内壁干涉地相对于其他工作台的待机位置直接旋转的所述作业区域内的位置，是即使所述机器人以点对点动作移动到与所述待机位置对应的工作台的所述动作切换点，所述机器人及载置在所述机器人上的所述工件也不与所述作业区域的内壁以及该工作台的内壁干涉的位置。

6.根据权利要求5所述的控制方法，其特征在于，

使所述机器人在所述待机位置相互之间以点对点动作移动。

7.根据权利要求6所述的控制方法，其特征在于，

所述机器人是水平多关节型机器人，具备：

基台；

能旋转地与所述基台连接的基台侧连杆；

与所述基台侧连杆连接的臂侧连杆；

旋转自如地与所述臂侧连杆连接的臂；以及

旋转自如地与所述臂连接以保持所述工件的手，

所述基台侧连杆和所述臂侧连杆构成连杆机构，该连杆机构进行限制，以使所述臂侧连杆与所述臂的连结轴的中心点的移动轨迹成为规定的直线。

8.根据权利要求5所述的控制方法，其特征在于，

所述机器人是水平多关节型机器人，具备：

基台；

能旋转地与所述基台连接的基台侧连杆；

与所述基台侧连杆连接的臂侧连杆；

旋转自如地与所述臂侧连杆连接的臂；以及

旋转自如地与所述臂连接以保持所述工件的手，

所述基台侧连杆和所述臂侧连杆构成连杆机构，该连杆机构进行限制，以使所述臂侧连杆与所述臂的连结轴的中心点的移动轨迹成为规定的直线。