CN115189224A - 激光器以及包括该激光器的激光雷达 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种用于激光雷达的激光器，包括：多个发光单元，每个发光单元包括多个发光点，其中所述多个发光单元的各个阴极或者阳极共用，每个发光单元上分别具有接线单元，所述接线单元分别电连接到相对应的每个发光单元的未共用的阳极或者阴极。具有多个发光单元的激光器的面积未增大，并且多个发光单元发射的探测光束产生的回波光束由同一探测器接收，能够提高激光雷达的垂直角度分辨率和点云密度。

Description

激光器以及包括该激光器的激光雷达
技术领域
本发明涉及激光探测领域，尤其涉及可用于激光雷达的激光器以及包括该激光器的激光雷达。
背景技术
现有激光雷达的发光单元和探测器的比例为1：1，各个发光单元和探测器一一对应设置。由于目前对激光雷达的垂直角度分辨率越来越高，需要提高发光单元密度，由于发射端的印刷电路板面积有限，而电容、开关等器件的面积是一定的，因此上述方案受到器件面积的限制，难以实现在有限的印刷电路板的面积内提高发光单元的密度，从而难以提高激光雷达的垂直角度分辨率。
垂直腔面发射激光器VCSEL包括多个腔，每个腔构成一个发光点，多个发光点构成一个面阵，因为VCSEL的效率更高，带宽更窄，温漂更小，可以发射更小的功率来达到同样的测距能力，并且这对于人眼安全也是非常有利。
典型的VCSEL设计如图1所示，面积为L*L，包括发光区域(图中实心圆点覆盖区域)与打线区域(图中斜线区域)，其中每个实心圆点对应于一个发光点，打线区域用于电连接到驱动电压。
VCSEL的衬底是GaAs，常规的做法是底部N极(阴极)，顶部P极(阳极)通过互连金属层打线连接到电路板。同一片晶粒(DIE)上多个VCSEL是共N极的。激光雷达需要每个发光单元都是可寻址的，从而可以实现轮巡发光，即使需要同时发光，也应该尽量保持较大的角度差，这样可以最大程度避免光串扰。典型的激光器驱动电路如图2所示，其中采用共阳极的方式驱动激光器LASER1、LASER2、…、LASERn，所有的激光器的阳极共用VLASER电源。每个激光器(LASER1-LASERn)的阴极各自连接一个开关器件(Q1-Qn)和开关驱动(DRV1-DRVn)，开关器件可以为GaN，DRV1-DRVn为GaN驱动，由开关器件的选通来控制激光器的发光。每个激光器配备一个放电电容(如2图中所示的C1…Cn)，并且对于每个激光器和对应的放电电容，均设置一个供电开关(未示出)，用于对放电电容进行充电。当供电开关导通时，供电电源VLASER向电容C充电，经过一段时间后，供电开关断开(无法通电，电容C的充电回路断开)，GaN开关的驱动信号足以打开GaN开关之后，电容C与激光器LASER1、GaN开关及地之间形成放电回路，使激光器LASER1发光。对于这种结构的驱动电路，需要为每个激光器配备一个单独的GaN开关，电路结构复杂，成本较高。
背景技术部分的内容仅仅是公开人所知晓的技术，并不当然代表本领域的现有技术。
发明内容
有鉴于现有技术的至少一个缺陷，本发明提供一种用于激光雷达的激光器，包括：多个发光单元，每个发光单元包括多个发光点，其中所述多个发光单元的各个阴极或者阳极共用，每个发光单元上分别具有接线单元，所述接线单元分别电连接到相对应的每个发光单元的未共用的阳极或者阴极。通过本发明的实施例，激光器具有多个发光单元，但激光器的面积未增大，当用于激光雷达时，多个发光单元发射的探测光束产生的回波光束由同一探测器接收，因此能够提高激光雷达的垂直角度分辨率和点云密度。
根据本发明的一个方面，所述多个发光单元的未共用的阳极或者阴极通过绝缘层隔开，共用的阴极或阳极通过第一金属层连接。
根据本发明的一个方面，所述多个发光单元配置成可被同时驱动发光或相继被驱动发光。
根据本发明的一个方面，当所述多个发光单元相继被驱动发光时，所述多个发光单元的接线单元连接到不同的电压源。
根据本发明的一个方面，当所述多个发光单元被同时驱动发光时，所述多个发光单元的接线单元连接到相同的电压源或不同的电压源。
根据本发明的一个方面，所述激光器包括两个所述发光单元，所述两个发光单元的阴极共用，每个发光单元包括一个接线单元。
根据本发明的一个方面，每个发光单元还包括第二金属层，所述第二金属层覆盖所述发光单元的未共用的阳极或者阴极，并且具有用于每个发光点发光的开口。
根据本发明的一个方面，所述接线单元为所述第二金属层的一部分或者设置在所述第二金属层上的接线焊盘。
本发明还提供一种激光雷达，包括：
发射单元，包括多个如上所述的激光器，其中每个激光器包括多个发光单元，配置成发射探测光束，每个发光单元包括多个发光点，其中所述多个发光单元的各个阴极或者阳极共用，每个发光单元上分别具有接线单元，所述接线单元分别电连接到相对应的每个发光单元的未共用的阳极或者阴极；
接收单元，包括多个探测器，配置为接收所述探测光束在目标物上反射后的回波光束，并将所述回波光束转换为电信号。
根据本发明的一个方面，所述激光雷达的发射单元与接收单元构成多个探测通道，每个探测通道包括相对应的一个发光单元和一个探测器。
根据本发明的一个方面，所述同一激光器的多个发光单元发射的探测光束产生的回波光束由同一探测器接收。
根据本发明的一个方面，所述多个激光器沿着竖直方向呈多列分布，多列激光器相互交错，使得多个激光器中每个发光单元发出的探测光束的主光线方向相互错开。
根据本发明的一个方面，所述多列激光器在竖直方向上整体相互交错，或者仅在每列激光器的中间部分相互交错。
根据本发明的一个方面，所述激光雷达的垂直角分辨率小于0.4°。
根据本发明的一个方面，所述发射单元还包括驱动电路，配置成为所述激光器的多个发光单元提供不同的驱动电压。
根据本发明的一个方面，所述发射单元还包括开关器件，所述开关器件包括第一端、第二端和控制端，所述控制端可根据驱动信号控制所述开光器件的导通和断开，所述第一端电连接到所述发光单元的共用的阴极或阳极，第二端接地。
根据本发明的一个方面，所述发射单元配置成依次驱动每个发光单元发射探测光束。
根据本发明实施例的激光雷达包括具有多个发光单元的激光器，具有多个发光单元的激光器的面积未增大，并且多个发光单元发射的探测光束产生的回波光束由同一探测器接收，能够提高激光雷达的垂直角度分辨率和点云密度。同时，在相同面积下发光单元数量翻倍，由此驱动电路中不同驱动电压驱动的多个发光单元共用开关器件，从而节省开关器件及其驱动，降低成本，实现驱动高密度发光单元的发射电路。另外，根据本发明实施例的激光器，各个发光单元具有一个接线单元，使得发光单元可以布置更多发光点，并且减少接线单元，使连接线更少，不易遮挡发光单元发光，提高发光单元的发光效率。
附图说明
构成本公开的一部分的附图用来提供对本公开的进一步理解，本公开的示意性实施例及其说明用于解释本公开，并不构成对本公开的不当限定。在附图中：
图1示出了一种典型的VCSEL；
图2示出了典型的激光器驱动电路；
图3示出了根据本发明一个实施例的激光器的俯视图；
图4示出了图3激光器的剖视图；
图5示出了根据本发明一个实施例的发光单元的平面图；
图6示出了根据本发明一个实施例的激光雷达；
图7示意性示出了根据本发明一个实施例的发射单元和接收单元的布置方式；
图8示出了根据本发明一个实施例的发射单元的激光器的布置方式；
图9A和9B示出了根据本发明实施例的发射单元与现有发射单元的对比图；
图10A和图10B示出了根据本发明实施例的激光器的两种排布方式；
图11示出了根据本发明一个实施例的发射单元的驱动电路；和
图12示出了根据本发明一个实施例的驱动电路的原理图。
具体实施方式
在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本发明的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语"中心"、"纵向"、"横向"、"长度"、"宽度"、"厚度"、"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"、"竖直"、"水平"、"顶"、"底"、"内"、"外"、"顺时针"、"逆时针"等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语"第一"、"第二"仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有"第一"、"第二"的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，"多个"的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语"安装"、"相连"、"连接"应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接:可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之"上"或之"下"可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征"之上"、"上方"和"上面"包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征"之下"、"下方"和"下面"包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
为了在不显著增大激光器面积的情况下提高激光器的发光密度，使得当用于激光雷达时，能够提高激光雷达的垂直角度分辨率和点云密度，本发明提供一种激光器，该激光器包括多个发光单元，每个发光单元包括多个发光点，多个发光单元的阴极或者阳极共用，每个发光单元上分别具有接线单元，所述接线单元分别电连接到相对应的每个发光单元的未共用的阳极或者阴极。通过这样的方式，在相同尺寸下能够实现发光单元数量的显著增加，提高激光雷达的垂直角度分辨率和点云密度。
图3示出了根据本发明一个实施例的激光器的俯视图，图4示出了图3激光器的剖视图，下面参考图3和图4详细描述激光器的具体结构。
如图3所示，激光器10包括发光单元11和12，每个发光单元包括多个发光点，如图3中圆形的发光点111和121所示。所述发光单元11和12可以为类型相同的发光单元，例如具有多个发光点的VCSEL发光单元。图3中示意性示出了激光器10包括两个发光单元11和12，本发明不限于此，激光器10也可以包括三个或更多个发光单元。为了清楚起见，下文将以两个发光单元11和12为例进行描述。
优选的，当激光器10用于激光雷达时，为了同时兼顾测量近距离目标和测量远距目标，发光单元11和12的多个发光点可以进行分组。如图3所示，对于发光单元11的多个发光点111，其中右侧较密集的发光点111(以虚线框出)用于探测远距离目标，左侧较为稀疏的、数量较少的发光点111(以虚线框出)用于探测近距离目标。或者可替换的，左侧的发光点111也可以采取与右侧发光点111类似的密集排布方式。对于发光单元12的多个发光点121也是如此。
图4更清楚地示出了激光器10的内部结构。如图4所示，发光单元11和12的阴极共用，即发光单元11和12的阴极通过同一个阴极金属层13实现(或者可替换的，发光单元11和12各自的阴极通过金属层电连接在一起)，发光单元11和12的未共用的阳极是相互分离的。对于发光单元11，阳极113例如为环形形状的金属电极，围绕每个发光点111布置，中间的开口为发光通路，用于出射激光(如图4中的箭头所示)。当在阴极金属层13与阳极113之间施加驱动电压时，发光单元11的发光点111将发出激光。类似的，对于发光单元12，其阳极123同样可以为环形的金属电极，围绕每个发光点121布置，中间开口出射激光。
如图3所述，每个发光单元还包括接线单元，例如发光单元11和12分别包括接线单元115和125，接线单元115电连接到发光单元11的未共用的阳极113，接线单元125电连接到发光单元12的未共用的阳极123。对于每个发光单元11，其阴极金属层13例如通过开关器件接地，接线单元115用于连接到驱动电压源，从而驱动发光单元11的各个发光点发射激光束。所述接线单元例如可以为接线焊盘的形式。
另外，根据本发明的一个优选实施例，相邻的发光单元之间，未共用的阳极或者阴极通过绝缘层隔开。如图4所述，发光单元11和12的阴极共用，而阳极未共用，发光单元11和12之间，其阳极113和123通过绝缘层116分隔开，以实现单独控制和驱动。
图3和图4的实施例中，以多个发光单元阴极共用、阳极未共用为例进行了说明，本发明不限于此，本发明也可以以多个发光单元阳极共用、阴极未共用的方式来实施，这些都在本发明的保护范围内。
根据本发明的一个优选实施例，在每个发光单元内还包括第二金属层，所述第二金属层覆盖所述发光单元的未共用的阳极或者阴极，并且具有对应于每个发光点的开口。图5示出了发光单元11的平面图。如图4和图5所示，发光单元11包括第二金属层117，第二金属层117例如覆盖在发光单元11的阳极113上方，第二金属层117可以为整体的金属层，其上具有对应于每个发光点的开口(如图5中的空白部所示)，用作每个发光点发出的激光束的通光路径。发光单元11和12之间，其第二金属层117和127相互分隔开，以实现单独控制和驱动。根据本发明的一个实施例，所述接线单元115可以由所述第二金属层117的一部分构成，或者由设置在所述第二金属层117上的接线焊盘构成。
本发明不限于发光单元的具体数目，但优选的，激光器10包括两个发光单元11和12，所述两个发光单元的阴极共用，每个发光单元包括一个接线单元。
根据本发明的实施例，激光器10中包括的多个发光单元可被同时驱动发光，或者可以相继被驱动发光，当多个发光单元相继被驱动发光时，所述多个发光单元的接线单元连接到不同的电压源；当多个发光单元被同时驱动发光时，多个发光单元的接线单元连接到相同的电压源或不同的电压源。
上面描述了包括多个发光单元的激光器，各个发光单元具有一个接线单元(PAD)，接线单元例如为阳极焊盘，通过金属打线连接到电源HV，多个发光单元共用阴极焊盘，激光器整体占用面积不变，由于各个发光单元仅具有一个接线单元，使得发光单元可以布置更多发光点，并且减少接线单元，使连接线更少，不易遮挡发光单元发光，提高发光单元的发光效率。
图6示出了根据本发明一个实施例的激光雷达20，激光雷达20包括发射单元21和接收单元22，其中发射单元21包括多个如上所述的激光器10，其中每个激光器包括多个发光单元，配置成发射探测光束L，每个发光单元包括多个发光点，其中所述多个发光单元的各个阴极共用或者阳极共用，每个发光单元上分别具有接线单元，所述接线单元分别电连接到相对应的每个发光单元的未共用的阳极或者阴极。接收单元22包括多个探测器，配置为接收所述探测光束L在目标物OBJ上反射后的回波光束L'，并将所述回波光束L'转换为电信号。
根据本发明的一个优选实施例，激光雷达20的发射单元21与接收单元22构成多个探测通道，每个探测通道包括相对应的一个发光单元11或12和一个探测器221。如图7所示，其中示意性示出了发射单元21包括激光器10和激光器10'，其中激光器10对应于探测器221，激光器10'对应于探测器221'，即两个发光单元11和12与探测器221对应，分别构成两个探测通道，同样地，两个发光单元11’和12’与探测器221’对应，也分别构成两个探测通道。如图7所示，激光器10包括两个发光单元11和12，激光器10'包括两个发光单元11'和12'，每个激光器的两个发光单元发出的探测光束产生的回波光束由同一个探测器接收，例如发光单元11'和12'发出的探测光束产生的回波光束由探测器221'接收。更多数目的探测通道也是同理，此处不再赘述。另外在图7中，仅是为了表示激光器与探测器二者的对应关系，并不表示其实际位置。
图7中，激光器10和激光器10'排布成一列。也可以构思将多个激光器沿着竖直方向呈多列分布，如图8所示的，多列激光器相互交错，使得多个激光器中每个发光单元发出的探测光束的主光线方向相互错开。如图8所示，激光器10-1、10-2排布成一列，激光器10-3和10-4排布成一列。对于每个激光器，例如包括两个发光单元，每个发光单元分别发射出探测光束，优选的，每个发光单元的探测光束的主光线方向相互错开，避免重叠，本发明中，探测光束的主光线方向是指探测光束的中心光线的方向，在图8中为垂直纸面的方向。本领域技术人员容易理解，在图8中，线条10-1-1和10-1-2用于表示激光器10-1的两个发光单元的探测光束的主光线方向在图中的高度位置，线条10-2-1和10-2-2用于表示激光器10-2的两个发光单元的探测光束的主光线方向在图中的高度位置，线条10-3-1和10-3-2用于表示激光器10-3的两个发光单元的探测光束的主光线方向在图中的高度位置，线条10-4-1和10-4-2用于表示激光器10-4的两个发光单元的探测光束的主光线方向在图中的高度位置。如图8中根据各个发光单元的探测光束的主光线方向的高度位置，探测光束的主光线方向在竖直方向上是相互错开的。对于下文的图9A和9B同样如此。
通过采用图8所示的布局方式，两列激光器交错排列，能够显著提高激光雷达的垂直角度分辨率，参考图9A和图9B详细解释如下。
图9A对应于图8的激光器布局方式，图9B对应于现有激光雷达中激光器的布局方式。垂直角度分辨率可以表示为arctan(L/H),其中L为激光器垂直方向的间距，H为焦距，图9A和9B虚线框面积相同，对于图9B所示典型多个激光器的排布，激光器之间间距为L，焦距为f时，虚线框面积中垂直分辨率为arctan(L/f)；而对于图9A所示每个激光器具有两个发光单元，两列激光器交错排布，相同面积中发光单元的数目由1个变为4个，其垂直分辨率为arctan(L/4f)，分辨率提高4倍。图中仅示出了两列共4个激光器交错排布，每列也可以是N个激光器交错排布，还可以是三列、四列或更多列激光器交错排布。单个激光器在竖直方向上也可以包括三个或更多个共阴极(或共阳极)发光单元，共同对应一个探测器，会进一步提高垂直分辨率，有效解决了由于受到探测器器件密度限制提高垂直分辨率的问题。优选的，所述激光雷达的垂直角分辨率小于0.4°。
图10A和图10B示出了根据本发明实施例的激光器的两种排布方式。图10A中，两列激光器在竖直方向上整体相互交错，每列具有N个激光器(竖直方向直线排列)，两列激光器全部左右加密交错。或者可替换的，如图10B所示，两列激光器在竖直方向上交错排布，每列具有N个激光器(竖直方向直线排列)，部分激光器左右加密交错，比如中间区域的激光器加密，而靠近上端和下端的激光器不进行加密。
根据本发明的实施例，激光器10中包括的多个发光单元可被同时驱动发光，或者可以相继被驱动发光，当多个发光单元相继被驱动发光时，所述多个发光单元的接线单元连接到不同的电压源；当多个发光单元被同时驱动发光时，多个发光单元的接线单元连接到相同的电压源或不同的电压源。
为了驱动激光器发射探测光束，所述发射单元21还包括驱动电路，配置成为所述激光器的多个发光单元提供不同的驱动电压。所述驱动电路例如可采用不同驱动电压驱动的多个发光单元共用开关器件来实现，驱动电路设置驱动电压HV1、HV2、HV3、HV4。参考图11描述，图11中示出了四个发光单元，例如图7中的发光单元11、12、11'和12'，其中发光单元11、12属于激光器10，发光单元11'、12'属于激光器10'。如图11所示，激光器10和10'采用阴极共用的连接方式，各个发光单元的接线单元分别与HV1-HV4中任意两个连接，比如激光器10中发光单元11的接线单元与HV1连接，发光单元12的接线单元与HV2连接；激光器10'中发光单元11'的接线单元与HV3连接，发光单元12'的接线单元与HV4连接。其他激光器的发光单元可以分别与HV1、HV2、HV3和HV4连接。
所述发射单元21还包括开关器件Q1，所述开关器件Q1可以为GaN开关，也可以为NMOS管。以NMOS管为例，开关器件Q1包括第一端(漏极D)、第二端(源极S)和控制端(栅极G)，所述控制端可根据驱动信号DRV1控制所述开光器件的导通和断开，所述第一端电连接到每个所述激光器的共用的阴极，第二端接地。当开关器件Q1导通时，为激光器10和10'的发光单元11、12、11'和12'形成回路，从而驱动电压HV1、HV2、HV3、HV4驱动相应的发光单元发射出探测光束。
图12示出了驱动电路建立其中一个驱动电压HVn的过程。其中VH为发光单元发光所需要的驱动电压；VL为零电位或者较低电位，在此电压下发光单元不发光。通常VH、VL为开关电源产生的稳压电源，开关Sn可以为开关器件或者多路选择器件MUX。先控制HV开关切换电路，HV1切换开关连接到VH，HV2、HV3、HV4切换开关连接到VL，供电电源VH向电容C1充电，经过一段时间后，开关Sn断开；再通过控制器控制开关驱动(DRV1)发射驱动脉冲使开关Q1导通，电容C1与发光单元11、开关Q1及地之间形成放电回路，此时发光单元11发光。采用图11和12所示的驱动电路，能够减少开关器件的数量，同时减小了PCB占用面积。
图11和12所示的驱动电路的具体连接可以根据实际情况来进行调整。例如对于发光单元11和12，如果控制发光单元11和12同时发光，可以将发光单元11和12同时连接到HV1，或者将发光单元11与HV1连接，发光单元12与HV2连接，通过控制开关S1和S2切换到VH，开关S3和S4切换到VL，开关器件Q1导通使得发光单元11与12同时发光。当控制发光单元11和12相继发光时，可以将发光单元11与HV1连接，发光单元12与HV2连接，可以通过开关S1由VL切换到VH，并使开关器件Q1导通使发光单元11发光；之后开关S2由VL切换到VH，开关S1由VH切换到VL，并使开关器件Q1导通使发光单元12发光，从而实现发光单元11和12相继发光。
通过控制驱动电压HV1、HV2、HV3、HV4的建立以及控制开关器件Q1的导通和闭合，可以依次驱动每个激光器的发光单元发射探测光束。优选的，一个激光器中的两个或多个发光单元相继发射探测光束。
上面描述的激光雷达包括具有多个发光单元的激光器，具有多个发光单元的激光器的面积未增大，并且多个发光单元发射的探测光束产生的回波光束由同一探测器接收，能够提高激光雷达的垂直角度分辨率和点云密度。同时，在相同面积下发光单元数量翻倍，由此驱动电路中不同驱动电压驱动的多个发光单元共用开关器件，从而节省开关器件及其驱动，降低成本，实现驱动高密度发光单元的发射电路。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (17)

1.一种用于激光雷达的激光器，包括：多个发光单元，每个发光单元包括多个发光点，其中所述多个发光单元的各个阴极或者阳极共用，每个发光单元上分别具有接线单元，所述接线单元分别电连接到相对应的每个发光单元的未共用的阳极或者阴极。
2.如权利要求1所述的激光器，其中所述多个发光单元的未共用的阳极或者阴极通过绝缘层隔开，共用的阴极或阳极通过第一金属层连接。
3.如权利要求1所述的激光器，其中所述多个发光单元配置成可被同时驱动发光或相继被驱动发光。
4.如权利要求3所述的激光器，其中当所述多个发光单元相继被驱动发光时，所述多个发光单元的接线单元连接到不同的电压源。
5.如权利要求3所述的激光器，其中当所述多个发光单元被同时驱动发光时，所述多个发光单元的接线单元连接到相同的电压源或不同的电压源。
6.如权利要求1所述的激光器，其中所述激光器包括两个所述发光单元，所述两个发光单元的阴极共用，每个发光单元包括一个接线单元。
7.如权利要求1所述的激光器，其中每个发光单元还包括第二金属层，所述第二金属层覆盖所述发光单元的未共用的阳极或者阴极，并且具有用于每个发光点发光的开口。
8.如权利要求7所述的激光器，其中所述接线单元为所述第二金属层的一部分或者设置在所述第二金属层上的接线焊盘。
9.一种激光雷达，包括：
发射单元，包括多个如权利要求1-8中任一项所述的激光器，其中每个激光器包括多个发光单元，配置成发射探测光束，每个发光单元包括多个发光点，其中所述多个发光单元的各个阴极或者阳极共用，每个发光单元上分别具有接线单元，所述接线单元分别电连接到相对应的每个发光单元的未共用的阳极或者阴极；
接收单元，包括多个探测器，配置为接收所述探测光束在目标物上反射后的回波光束，并将所述回波光束转换为电信号。
10.如权利要求9所述的激光雷达，其中所述激光雷达的发射单元与接收单元构成多个探测通道，每个探测通道包括相对应的一个发光单元和一个探测器。
11.如权利要求9或10所述的激光雷达，其中所述同一激光器的多个发光单元发射的探测光束产生的回波光束由同一探测器接收。
12.如权利要求9或10所述的激光雷达，其中所述多个激光器沿着竖直方向呈多列分布，多列激光器相互交错，使得多个激光器中每个发光单元发出的探测光束的主光线方向相互错开。
13.如权利要求12所述的激光雷达，其中所述多列激光器在竖直方向上整体相互交错，或者仅在每列激光器的中间部分相互交错。
14.如权利要求13述的激光雷达，其中所述激光雷达的垂直角分辨率小于0.4°。
15.如权利要求9或10所述的激光雷达，其中所述发射单元还包括驱动电路，配置成为所述激光器的多个发光单元提供不同的驱动电压。
16.如权利要求15所述的激光雷达，其中所述发射单元还包括开关器件，所述开关器件包括第一端、第二端和控制端，所述控制端可根据驱动信号控制所述开光器件的导通和断开，所述第一端电连接到所述发光单元的共用的阴极或阳极，第二端接地。
17.如权利要求9或10所述的激光雷达，其中所述发射单元配置成依次驱动每个发光单元发射探测光束。
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