CN115133296A - 接地组件及镀膜设备 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种接地组件及镀膜设备，涉及半导体技术领域，接地组件包括屏蔽罩、导电机构和接地件；接地件设置在屏蔽罩的外侧；接地件包括第一连接结构和第二连接结构；第一连接结构与屏蔽罩连接，第二连接结构与导电机构的一端连接，导电机构的另一端穿过屏蔽罩，且导电机构的另一端用于与镀膜设备的喷淋板连接。由于接地件设置在屏蔽罩的外侧，喷淋板设置在屏蔽罩的内侧，屏蔽罩能够起到隔热效果，降低喷淋板向接地件的传热量，从而防止接地件温度过高，降低接地件温度过高对其阻值的影响，保证接地件使用效果的稳定性，延长接地件的使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种接地组件及镀膜设备。
背景技术
喷淋板在半导体领域中有着广泛的应用，它是一种气体引入装置，类似于家用的淋浴喷头。在工艺过程中，通常对喷淋板的温度有一定要求，因此，大多数喷淋板中会设置陶瓷加热盘，以加热喷淋板。
陶瓷加热盘在工艺过程中会产生多余的电荷，需要设置接地装置将多余的电荷接地导出，同时保证射频不受影响。现有技术中，屏蔽罩固定在壳体上，接地装置设置在屏蔽罩内侧，接地装置的一个端子压接在喷淋板上，另一个端子压接在屏蔽罩内。
但是，陶瓷加热盘的热量会传递至接地装置上，容易导致接地装置的温度过高，使接地装置的使用效果下降，甚至造成接地装置损坏。
发明内容
本发明的目的在于提供一种接地组件，以解决现有技术中的接地装置容易温度过高的技术问题。
本发明提供的接地组件，包括屏蔽罩、导电机构和接地件；
所述接地件设置在所述屏蔽罩的外侧；所述接地件包括第一连接结构和第二连接结构；
所述第一连接结构与所述屏蔽罩连接，所述第二连接结构与所述导电机构的一端连接，所述导电机构的另一端穿过所述屏蔽罩，且所述导电机构的另一端用于与镀膜设备的喷淋板连接。
进一步地，所述屏蔽罩上设有第一安装孔；
所述第一导电件与所述第二导电件垂直设置；
所述第一导电件的一端用于与镀膜设备的喷淋板连接，所述第一导电件的另一端与所述第二导电件的一端连接，所述第二导电件的另一端与所述第一安装孔相对设置，且所述第二导电件的另一端与所述第二连接结构连接。
进一步地，所述导电机构还包括第三导电件；
所述第三导电件的一端穿过所述第一安装孔并与所述第二导电件远离所述第一导电件的一端连接，所述第三导电件的另一端与所述第二连接结构连接。
进一步地，所述第三导电件的一端与所述第二导电件远离所述第一导电件的一端螺纹连接。
进一步地，所述第三导电件包括外侧壁；所述外侧壁远离所述第二导电件的端部上设有夹持部。
进一步地，所述接地组件还包括盒体；
所述屏蔽罩的外表面包括第一端面，所述盒体与所述第一端面连接；所述第一端面上设有连接件；
所述接地件设置在所述盒体内；所述连接件的一端伸入所述盒体内，且所述连接件与所述第一连接结构连接；所述导电机构的一端伸入所述盒体内，且所述导电机构的一端与所述第二连接结构连接。
进一步地，所述接地组件还包括盖体；所述盒体上设有敞口，所述盖体可拆卸地盖合在所述敞口上。
进一步地，所述盒体与所述第一端面可拆卸地连接。
进一步地，所述盒体包括底板，所述底板的外表面与所述第一端面相对设置；
所述底板的内表面上设有凹槽，所述接地件设置在所述凹槽内。
本发明的目的还在于提供一种镀膜设备，包括本发明提供的接地组件。
本发明提供的接地组件，包括屏蔽罩、导电机构和接地件；所述接地件设置在所述屏蔽罩的外侧；所述接地件包括第一连接结构和第二连接结构；所述第一连接结构与所述屏蔽罩连接，所述第二连接结构与所述导电机构的一端连接，所述导电机构的另一端穿过所述屏蔽罩，且所述导电机构的另一端用于与镀膜设备的喷淋板连接。其中，壳体上设有开口，屏蔽罩固定罩设在开口处，且喷淋板设置在壳体内，屏蔽罩的内表面朝向壳体内部设置，屏蔽罩的外表面朝向壳体外部设置；喷淋板通过导电机构与接地件电连接，接地件与屏蔽罩电连接，从而将喷淋板上的电荷导出接地；由于接地件设置在屏蔽罩的外侧，喷淋板设置在屏蔽罩的内侧，屏蔽罩能够起到隔热效果，降低喷淋板向接地件的传热量，从而防止接地件温度过高，降低接地件温度过高对其阻值的影响，保证接地件使用效果的稳定性，延长接地件的使用寿命。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的接地组件的结构示意图；
图2是本发明实施例提供的接地组件的剖面图；
图3是本发明实施例提供的接地组件中接地件的主视图；
图4是本发明实施例提供的接地组件的局部放大图。
图标：1-屏蔽罩；11-第一端面；2-接地件；21-第一连接结构；22-第二连接结构；3-盒体；31-敞口；32-底板；4-壳体；5-喷淋板；6-导电机构；61-第一导电件；62-第二导电件；63-第三导电件；64-连接部；7-连接件。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明提供了一种接地组件及镀膜设备，下面给出多个实施例对本发明提供的接地组件及镀膜设备进行详细描述。
实施例1
本实施例提供的接地组件，如图1至图4所示，包括屏蔽罩1、导电机构6和接地件2；接地件2设置在屏蔽罩1的外侧；接地件2包括第一连接结构21和第二连接结构22；第一连接结构21与屏蔽罩1连接，第二连接结构22与导电机构6的一端连接，导电机构6的另一端穿过屏蔽罩1，且导电机构6的另一端用于与镀膜设备的喷淋板5连接。
具体地，屏蔽罩1用于设置在镀膜设备的壳体4上，壳体4上设有开口，屏蔽罩1固定罩设在开口处，且喷淋板5设置在壳体4内，屏蔽罩1的内表面朝向壳体4内部设置，屏蔽罩1的外表面朝向壳体4外部设置；喷淋板5通过导电机构6与接地件2的第二连接结构22电连接，接地件2的第一连接结构21与屏蔽罩1电连接，从而将喷淋板5上的电荷导出接地；由于接地件2设置在屏蔽罩1的外侧，喷淋板5设置在屏蔽罩1的内侧，屏蔽罩1能够起到隔热效果，降低喷淋板5向接地件2的传热量，从而防止接地件2温度过高，降低接地件2温度过高对其阻值的影响，保证接地件2使用效果的稳定性，延长接地件2的使用寿命。
接地件2设置在屏蔽罩1的外侧，接地件2可以设置在屏蔽罩1的外表面上，也可以设置在屏蔽罩1的外表面的外侧。
第一连接结构21可以为连接端子，也可以为连接触点等任意适合的形式，第二连接结构22可以为连接端子，也可以为连接触点等任意适合的形式。
其中，导电机构6可以为导线，也可以由多个导电件依次连接形成。
本实施例中，导电机构6包括第一导电件61和第二导电件62；屏蔽罩1上设有第一安装孔；第一导电件61与第二导电件62垂直设置；第一导电件61的一端用于与镀膜设备的喷淋板5连接，第一导电件61的另一端与第二导电件62的一端连接，第二导电件62的另一端与第一安装孔相对设置，且第二导电件62的另一端与第二连接结构22连接。
第一导电件61和第二导电件62电连接，第一导电件61与喷淋板5电连接，第二导电件62与接地件2的第二连接结构22电连接。
其中，第一导电件61的一端可以直接压接在喷淋板5的顶面上；在另一种实施方式中，喷淋板5的顶面上预留螺纹孔，第一导电件61的一端压接在螺纹孔内。
第一导电件61的另一端与第二导电件62的一端可以通过紧固件连接，例如螺钉或螺栓等紧固件，也可以焊接为一体。
第二导电件62的另一端与第一安装孔相对设置，第二导电件62的另一端可以位于屏蔽罩1内侧，可以通过第一安装孔伸出至屏蔽罩1外侧。本实施例中，第二导电件62的另一端位于屏蔽罩1内侧。
在装配时，屏蔽罩1未安装在壳体4上之前，将第一导电件61紧固在喷淋板5的顶面上，再利用紧固件将第二导电件62紧固在第一导电件61上；然后将屏蔽罩1安装在壳体4上，屏蔽罩1上设有第一安装孔，第一安装孔能够露出第二导电件62远离第一导电件61的一端；将接地件2设置在屏蔽罩1的外侧，将第二导电件62远离第一导电件61的一端与第二连接结构22通过导电件电连接，将屏蔽罩1与第一连接结构21连接。
设置第一导电件61和第二导电件62，屏蔽罩1能够露出第二导电件62远离第一导电件61的一端，导电件可以穿过第二安装孔与第二导电件62进行连接，可以在安装屏蔽罩1后再安装接地件2，装配的便捷性和互换性提高，拆装较为便捷。
第一导电件61和第二导电件62可以为块状，也可以为杆状等任意适合的形状。第一导电件61和第二导电件62均由金属制成，例如铜或铁等任意导电的金属材料。
本实施例中，第一导电件61和第二导电件62均为铜棒，铜棒具有良好的导电性能，并且第一导电件61和第二导电件62的外表面设置银或金材料的镀层，以进一步提升第一导电件61和第二导电件62的导电性能。
第一导电件61的顶端与第二导电件62的一端连接，第一导电件61的顶端为一平面结构，第二导电件62的一端设置连接部64，连接部64具有一个连接端面，连接端面与第一导电件61的顶面贴合并通过紧固件连接，使第一导电件61与第二导电件62面接触，提高第一导电件61和第二导电件62的接触面积，进一步提升第一导电件61和第二导电件62的导电性能。
进一步地，导电机构6还包括第三导电件63；第三导电件63的一端穿过第一安装孔并与第二导电件62远离第一导电件61的一端连接，第三导电件63的另一端与第二连接结构22连接。
第三导电件63可以为块状，也可以为杆状等任意适合的形状。第三导电件63均由金属制成，例如铜或铁等任意导电的金属材料。
本实施例中，第三导电件63均为铜棒，铜棒具有良好的导电性能，并且第三导电件63的外表面设置银或金材料的镀层，以进一步提升第三导电件63的导电性能。
在第二导电件62和第二连接结构22之间设置第三导电件63，使第三导电件63将第二导电件62与第二连接结构22连接起来。第三导电件63与第二导电件62可以通过紧固件连接，也可以采用焊接等连接方式。
其中，第三导电件63的一端与第二导电件62远离第一导电件61的一端可以采用卡接或螺纹连接等可拆卸地连接方式，以便于拆装。
本实施例中，第三导电件63的一端与第二导电件62远离第一导电件61的一端螺纹连接，第三导电件63与第二导电件62旋紧即可连接，便捷度较高。
装配时，屏蔽罩1未安装在壳体4上之前，将第一导电件61紧固在喷淋板5的顶面上，再利用紧固件将第二导电件62紧固在第一导电件61上；然后将屏蔽罩1安装在壳体4上，第二导电件62远离第一导电件61的一端位于屏蔽罩1的内侧；将第三导电件63设置在屏蔽罩1的外侧，将第三导电件63的一端伸入第一安装孔并与第二导电件62远离第一导电件61的一端旋紧，然后将接地件2设置在屏蔽罩1的外侧，将第三导电件63远离第二导电件62的一端与第二连接结构22连接，再将屏蔽罩1与第一连接结构21连接。可以在安装屏蔽罩1后再安装接地件2，并且第三导电件63与第二导电件62连接等便捷度较高，使接地组件整体装配的便捷度增强。
进一步地，第三导电件63包括外侧壁；外侧壁远离第二导电件62的端部上设有夹持部。
夹持部可以供钳子或镊子等工具进行夹持，在装配时，可以便于工具夹紧第三导电件63后，带动第三导电件63旋转，从而使第三导电件63与第二导电件62旋紧。
进一步地，屏蔽罩1的外表面包括第一端面11，盒体3与第一端面11连接；第一端面11上设有连接件7；接地件2设置在盒体3内；连接件7的一端伸入盒体3内，且连接件7与第一连接结构21连接；导电机构6的一端伸入盒体3内，且导电机构6的一端与第二连接结构22连接。
其中，第一端面11可以为屏蔽罩1朝向壳体4外部的表面上任意一个端面，本实施例中，第一端面11与壳体4的开口相对设置。
连接件7可以为连接块，也可以为连接螺柱等任意适合的形式。连接件7可以与第一端面11焊接为一体，也可以通过紧固件固定在第一端面上。连接件7由导电材料制成，且连接件7与第一端面11电连接。
接地件2设置在盒体3内，盒体3能够对接地件2起到保护作用，防止接地件2损坏。并且，盒体3也能够起到隔热效果，进一步防止接地件2温度升高。盒体3可以由隔热材料制成，以进一步提高隔热效果。
具体地，连接件7为连接螺柱，第一连接结构21套设在连接螺柱上，并通过螺母压接在第一连接结构21上，使第一连接结构21与连接件7电连接；盒体3上设有第二安装孔，第二安装孔与第一安装孔相对设置，第三导电件63远离第二导电件62的一端通过第二安装孔伸入盒体3内，且第二连接结构22套设在第三导电件63上，并通过螺母压接在第三导电件63上，使第二连接结构22与第三导电件63电连接。
在装配第二导电件62和第三导电件63时，第三导电件63设置在盒体3内，将第三导电件63的一端依次穿过第二安装孔和第一安装孔后与第二导电件62连接，第二安装孔对第三导电件63具有导向作用，使第三导电件63沿适合的方向穿过盒体3并与第二导电件62连接。
此外，第二安装孔处还可以形成套筒结构，套筒结构能够进一步提升对第三导电件63的导向作用。
其中，盒体3可以为封闭盒体3，盒体3上也可以为设有敞口31，在敞口31上设置盖体。
本实施例中，接地组件还包括盖体；盒体3上设有敞口31，盖体可拆卸地盖合在敞口31上。敞口31与底板32相对设置。
盖体与盒体3可以螺纹连接，也可以卡接等任意适合的方式。盖体可拆卸地盖合在敞口31上，能够方便地敞开或覆盖敞口31，便于在盒体3内拆装接地件2等部件。
本实施例中，盖体与盒体3通过螺钉连接，螺钉设置在盖体的四个角部位置。
进一步地，盒体3与第一端面11可拆卸地连接。
盒体3与第一端面11可拆卸地连接，可以便于盒体3的拆装，提高装配的便捷性。盒体3与第一端面11可以卡接，也可以螺纹连接等任意适合的方式。本实施例中，盒体3与第一端面11通过螺钉连接，四个螺钉分别设置在盒体3的四个角部位置。
进一步地，盒体3包括底板32，底板32的外表面与第一端面11相对设置；底板32的内表面上设有凹槽，接地件2设置在凹槽内。
凹槽可以对接地件2进行限位，使接地件2安装在预设的位置。接地件2与凹槽可以间隙配合，也可以与凹槽卡接。
装配时，屏蔽罩1未安装在壳体4上之前，将第一导电件61紧固在喷淋板5的顶面上，再利用紧固件将第二导电件62紧固在第一导电件61上；然后将屏蔽罩1安装在壳体4上，第二导电件62远离第一导电件61的一端位于屏蔽罩1的内侧；在第一端面11上安装盒体3，盒体3上设有第二安装孔，第二安装孔与第一安装相对设置，将第三导电件63设置在盒体3内，并将第三导电件63的一端依次穿过第二安装孔和第一安装孔后与第二导电件62紧固；将接地件2放置在凹槽内，将连接件7与第一连接结构21连接，将第三导电件63的一端与第二连接结构22连接；最后将盖体盖合在敞口31上。
实施例2
本实施例提供的镀膜设备，包括实施例1提供的接地组件。喷淋板5通过导电机构6与接地件2电连接，接地件2与屏蔽罩1电连接，从而将喷淋板5上的电荷导出接地；由于接地件2设置在屏蔽罩1的外侧，喷淋板5设置在屏蔽罩1的内侧，屏蔽罩1能够起到隔热效果，降低喷淋板5向接地件2的传热量，从而防止接地件2温度过高，降低接地件2温度过高对其阻值的影响，保证接地件2使用效果的稳定性，延长接地件2的使用寿命。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种接地组件，其特征在于，包括屏蔽罩(1)、导电机构(6)和接地件(2)；
所述接地件(2)设置在所述屏蔽罩(1)的外侧；所述接地件(2)包括第一连接结构(21)和第二连接结构(22)；
所述第一连接结构(21)与所述屏蔽罩(1)连接，所述第二连接结构(22)与所述导电机构(6)的一端连接，所述导电机构(6)的另一端穿过所述屏蔽罩(1)，且所述导电机构(6)的另一端用于与镀膜设备的喷淋板(5)连接。
2.根据权利要求1所述的接地组件，其特征在于，所述导电机构(6)包括第一导电件(61)和第二导电件(62)；
所述屏蔽罩(1)上设有第一安装孔；
所述第一导电件(61)与所述第二导电件(62)垂直设置；
所述第一导电件(61)的一端用于与镀膜设备的喷淋板(5)连接，所述第一导电件(61)的另一端与所述第二导电件(62)的一端连接，所述第二导电件(62)的另一端与所述第一安装孔相对设置，且所述第二导电件(62)的另一端与所述第二连接结构(22)连接。
3.根据权利要求2所述的接地组件，其特征在于，所述导电机构(6)还包括第三导电件(63)；
所述第三导电件(63)的一端穿过所述第一安装孔并与所述第二导电件(62)远离所述第一导电件(61)的一端连接，所述第三导电件(63)的另一端与所述第二连接结构(22)连接。
4.根据权利要求3所述的接地组件，其特征在于，所述第三导电件(63)的一端与所述第二导电件(62)远离所述第一导电件(61)的一端螺纹连接。
5.根据权利要求3所述的接地组件，其特征在于，所述第三导电件(63)包括外侧壁；所述外侧壁远离所述第二导电件(62)的端部上设有夹持部。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的接地组件，其特征在于，所述接地组件还包括盒体(3)；
所述屏蔽罩(1)的外表面包括第一端面(11)，所述盒体(3)与所述第一端面(11)连接；所述第一端面(11)上设有连接件(7)；
所述接地件(2)设置在所述盒体(3)内；所述连接件(7)的一端伸入所述盒体(3)内，且所述连接件(7)与所述第一连接结构(21)连接；所述导电机构(6)的一端伸入所述盒体(3)内，且所述导电机构(6)的一端与所述第二连接结构(22)连接。
7.根据权利要求6所述的接地组件，其特征在于，所述接地组件还包括盖体；所述盒体(3)上设有敞口(31)，所述盖体可拆卸地盖合在所述敞口(31)上。
8.根据权利要求6所述的接地组件，其特征在于，所述盒体(3)与所述第一端面(11)可拆卸地连接。
9.根据权利要求6所述的接地组件，其特征在于，所述盒体(3)包括底板(32)，所述底板(32)的外表面与所述第一端面(11)相对设置；
所述底板(32)的内表面上设有凹槽，所述接地件(2)设置在所述凹槽内。
10.一种镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的接地组件。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210950106.2A CN115133296A (zh) | 2022-08-09 | 2022-08-09 | 接地组件及镀膜设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210950106.2A CN115133296A (zh) | 2022-08-09 | 2022-08-09 | 接地组件及镀膜设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115133296A true CN115133296A (zh) | 2022-09-30 |
Family
ID=83386106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210950106.2A Pending CN115133296A (zh) | 2022-08-09 | 2022-08-09 | 接地组件及镀膜设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN115133296A (zh) |
-
2022
- 2022-08-09 CN CN202210950106.2A patent/CN115133296A/zh active Pending
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Legal Events
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| PB01 | Publication | ||
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