CN115125485A - 一种中波红外滤光片制备方法 - Google Patents

一种中波红外滤光片制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及滤光片制备领域，尤其涉及一种中波红外滤光片制备方法。本发明中的中波红外滤光片制备方法，采用专门的制备设备。首先将基板放置在进料工位一上，固定组件通过旋转伸缩驱动件驱动固定架伸缩，从两侧夹持滤光片。接着移动至进料工位二，将镀膜原料放置在基板上。再移动至镀膜工位，电子枪工作，使镀膜材料加热蒸发。配合固定架的旋转，带动基板转动，加快镀膜材料的流动，使其覆盖均匀、高效成膜。单侧覆膜完成后，转动基板，使其反面朝上，返回进料工位二，再对其放料、覆膜。最后移动至出料工位，被机械手移动至对应的收纳框内。通过自动化、高效化的制备过程，提高了制备的效率，实现了批量、智能的加工。

Description

一种中波红外滤光片制备方法
技术领域
本发明涉及滤光片制备领域，尤其涉及一种中波红外滤光片制备方法。
背景技术
中波红外滤光片主要应用于安防监控领域。具体到产品比如：监控摄相机，遥控器，红外幕墙产品，红外感应马桶、水龙头、洗手液装置，红外测温器，红外打印机，交互式电子白板，红外触摸屏，指纹识别机，人脸识别系统等。应用光泛，需求量大。同时对中波红外滤光片的加工精度要求也越来越高，容易造成加工费时长，效率低的问题。如何在高精度加工的过程中保证中波红外滤光片制备的自动化、高效化、功能集中化成为人们关注的问题。
发明内容
针对背景技术中存在的问题，提出一种中波红外滤光片制备方法。本发明中的中波红外滤光片制备方法，采用专门的制备设备，通过自动化、高效化、功能集中化的制备过程，提高了制备的效率，实现了批量、智能的加工，减少加工的工序，缩短了加工的时间。
本发明提出一种中波红外滤光片制备方法，步骤如下：
S1、对基片进行初裁；
S2、将基片放入丙酮试剂中清洗，再放入无水乙醇中清洗，最后用氮气吹干，备用；
S3、将基片、镀膜原料放入制备设备中，按照膜系设计数据的设置镀膜参数；
S4、制备设备自动对基片的两端进行镀膜。
优选的，基材为硅、蓝宝石或锗中的任意一种。
优选的，镀膜材料为ZnS、Ge和PbTe中的任意一种或多种。
优选的，制备设备包括制备箱；制备箱的上端设置箱盖，侧端连接抽真空仪器，内部设置制备室；制备室的底部设置有旋转的转动台；转动台的中心设置有安装组件，外周设置有固定组件；安装组件上设置有可调节的电子枪；制备室的侧壁上依次设置有进料工位一、进料工位二、镀膜工位和出料工位；进料工位一、进料工位二和出料工位上均设置有收纳框和机械手。
优选的，安装组件包括安装座、安装架和调节件；安装座的下端连接制备箱，上端穿过转动台，连接安装架；调节件设置在安装架上，对电子枪进行角度调节。
优选的，安装架的上端设置有安装槽，下端设置有安装腔；电子枪通过转轴转动设置在安装槽上。
优选的，调节件包括电机、齿轮、齿条、升降座和调节杆；齿轮通过电机传动，转动设置在安装腔内；升降座设置在齿轮的两侧；齿条设置在两组升降座的相对端上，且分别与齿轮啮合；调节杆位于转轴的两侧，上端滑动连接电子枪的底部，下端伸入安装腔，连接对应的升降座。
优选的，安装腔的底部设置导杆；升降座滑动连接导杆。
优选的，固定组件对应工位设置四组，包括制备座、支撑架、旋转伸缩驱动件和固定架；制备座旋转设置在转动台上；支撑架设置在制备座的两侧；旋转伸缩驱动件设置在两组支撑架上端；通过旋转伸缩驱动件传动的固定架设置在两组支撑架的相对端上。
优选的，制备座上设置有收渣槽；收渣槽位于两组支撑架之间。
与现有技术相比，本发明具有如下有益的技术效果：
本发明中的中波红外滤光片制备方法，采用专门的制备设备，设置进料工位一、进料工位二、镀膜工位和出料工位。首先将基板放置在进料工位一上，固定组件通过旋转伸缩驱动件驱动固定架伸缩，从两侧夹持滤光片，对其限位、平放。接着移动至进料工位二，将镀膜原料放置在基板上。再移动至镀膜工位，电子枪工作。利用加速电子轰击镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发。配合固定架的旋转，带动基板转动，加快镀膜材料的流动，使其覆盖均匀、高效成膜。单侧覆膜完成后，转动基板，使其反面朝上，返回进料工位二，再对其放料、覆膜。最后移动至出料工位，被机械手移动至对应的收纳框内。通过自动化、高效化、功能集中化的制备过程，提高了制备的效率，实现了批量、智能的加工，减少加工的工序，缩短了加工的时间。
此外，本发明设置安装组件，通过安装架对电子枪提供支撑。同时设置调节件，通过电机带动齿轮转动，推动两侧的齿条上下移动，升降座带动调节杆同步升降。使得电子枪以转轴为中心，两侧一上一下，调节发射角度，进一步实现精准、智能镀膜。
附图说明
图1为本发明一种实施例中制备设备的结构示意图；
图2为本发明一种实施例中制备设备的打开状态示意图；
图3为本发明一种实施例中制备箱的内部结构示意图；
图4为本发明一种实施例中安装组件和固定组件的结构示意图；
图5为本发明一种实施例中安装架的剖视图。
附图标记：1、制备箱；2、箱盖；3、抽真空仪器；4、螺纹杆；5、旋紧件；6、转动台；7、固定组件；8、安装组件；9、电子枪；10、收纳框；11、机械手；12、制备座；13、支撑架；14、旋转伸缩驱动件；15、固定架；16、收渣槽；17、安装座；18、安装架；19、电机；20、齿轮；21、齿条；22、升降座；23、调节杆；24、安装腔；25、安装槽；26、导杆。
具体实施方式
实施例一
本发明提出的一种中波红外滤光片制备方法，步骤如下：
S1、对基片进行初裁；
S2、将基片放入丙酮试剂中清洗，再放入无水乙醇中清洗，最后用氮气吹干，备用；
S3、将基片、镀膜原料放入制备设备中，按照膜系设计数据的设置镀膜参数；
S4、制备设备自动对基片的两端进行镀膜。
实施例二
本发明提出的一种中波红外滤光片制备方法，步骤如下：
S1、对基片进行初裁；
S2、将基片放入丙酮试剂中清洗，再放入无水乙醇中清洗，最后用氮气吹干，备用；
S3、将基片、镀膜原料放入制备设备中，按照膜系设计数据的设置镀膜参数；
S4、制备设备自动对基片的两端进行镀膜。
进一步的，基材为硅、蓝宝石或锗中的任意一种。
进一步的，镀膜材料为ZnS、Ge和PbTe中的任意一种或多种。
本实施例中的中波红外滤光片制备方法，采用专门的制备设备，通过自动化、高效化的制备过程，提高了制备的效率，实现了批量、智能的加工。
实施例三
如图1、3所示，制备设备包括制备箱1；制备箱1的上端设置箱盖2，侧端连接抽真空仪器3，内部设置制备室；制备室的底部设置有旋转的转动台6；转动台6的中心设置有安装组件8，外周设置有固定组件7；安装组件8上设置有可调节的电子枪9；制备室的侧壁上依次设置有进料工位一、进料工位二、镀膜工位和出料工位；进料工位一、进料工位二和出料工位上均设置有收纳框10和机械手11。
本实施例中在制备室内设置进料工位一、进料工位二、镀膜工位和出料工位。进行滤光片制备时，将基片放置在进料工位一的收纳框10内。将镀膜原料放置在进料工位二的收纳框10内。封住箱盖2，启动抽真空仪器3，构成真空环境。随着转动台6的转动和机械手11启动。首先将基板放置在进料工位一上，固定组件7对其限位、平放。接着移动至进料工位二，将镀膜原料放置在基板上。再移动至镀膜工位，电子枪9工作。利用加速电子轰击镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发，并成膜。最后移动至出料工位，被机械手11移动至对应的收纳框10内。
实施例四
如图1、3所示，制备设备包括制备箱1；制备箱1的上端设置箱盖2，侧端连接抽真空仪器3，内部设置制备室；制备室的底部设置有旋转的转动台6；转动台6的中心设置有安装组件8，外周设置有固定组件7；安装组件8上设置有可调节的电子枪9；制备室的侧壁上依次设置有进料工位一、进料工位二、镀膜工位和出料工位；进料工位一、进料工位二和出料工位上均设置有收纳框10和机械手11。
如图2所示，制备箱1的上端设置有开口。箱盖2卡合设置在开口上。开口的外周设置有一圈螺纹杆4。箱盖2上设置有供螺纹杆4穿过的通孔。进行制备时，将箱盖2封住开口，螺纹杆4穿过通孔，与旋紧件5螺纹配合，形成密封环境。
实施例五
如图1、3所示，制备设备包括制备箱1；制备箱1的上端设置箱盖2，侧端连接抽真空仪器3，内部设置制备室；制备室的底部设置有旋转的转动台6；转动台6的中心设置有安装组件8，外周设置有固定组件7；安装组件8上设置有可调节的电子枪9；制备室的侧壁上依次设置有进料工位一、进料工位二、镀膜工位和出料工位；进料工位一、进料工位二和出料工位上均设置有收纳框10和机械手11。
如图4所示，安装组件8包括安装座17、安装架18和调节件；安装座17的下端连接制备箱1，上端穿过转动台6，连接安装架18；调节件设置在安装架18上，对电子枪9进行角度调节。
进一步的，安装架18的上端设置有安装槽25，下端设置有安装腔24；电子枪9通过转轴转动设置在安装槽25上。
如图5所示，调节件包括电机19、齿轮20、齿条21、升降座22和调节杆23；齿轮20通过电机19传动，转动设置在安装腔24内；升降座22设置在齿轮20的两侧；齿条21设置在两组升降座22的相对端上，且分别与齿轮20啮合；调节杆23位于转轴的两侧，上端滑动连接电子枪9的底部，下端伸入安装腔24，连接对应的升降座22。
进一步的，安装腔24的底部设置导杆26；升降座22滑动连接导杆26。导杆26对升降座22进行限位，使其升降稳定，进而对电子枪9的角度调节稳定。
本实施例中提出安装组件8的具体结构，通过安装架18对电子枪9提供支撑。同时设置调节件，通过电机19带动齿轮20转动，推动两侧的齿条21上下移动，升降座22带动调节杆23同步升降。使得电子枪9以转轴为中心，两侧一上一下，调节发射角度，实现精准镀膜。
实施例六
如图1、3所示，制备设备包括制备箱1；制备箱1的上端设置箱盖2，侧端连接抽真空仪器3，内部设置制备室；制备室的底部设置有旋转的转动台6；转动台6的中心设置有安装组件8，外周设置有固定组件7；安装组件8上设置有可调节的电子枪9；制备室的侧壁上依次设置有进料工位一、进料工位二、镀膜工位和出料工位；进料工位一、进料工位二和出料工位上均设置有收纳框10和机械手11。
如图4所示，固定组件7对应工位设置四组，包括制备座12、支撑架13、旋转伸缩驱动件14和固定架15；制备座12旋转设置在转动台6上；支撑架13设置在制备座12的两侧；旋转伸缩驱动件14设置在两组支撑架13上端；通过旋转伸缩驱动件14传动的固定架15设置在两组支撑架13的相对端上。
进一步的，制备座12上设置有收渣槽16；收渣槽16位于两组支撑架13之间。收渣槽16对镀膜过程中产生的料渣进行收集。
本实施例中设置固定组件7，通过旋转伸缩驱动件14驱动固定架15伸缩，从两侧夹持滤光片。使用电子枪9镀膜时，通过固定架15的旋转，带动基板转动，加快镀膜材料的流动，使其覆盖均匀、高效。单侧覆膜完成后，转动基板，使其反面朝上，返回进料工位二，再对其放料、覆膜。
上面结合附图对本发明的实施方式作了详细说明，但是本发明并不限于此，在所属技术领域的技术人员所具备的知识范围内，在不脱离本发明宗旨的前提下还可以作出各种变化。

Claims (10)

1.一种中波红外滤光片制备方法，其特征在于，步骤如下：
S1、对基片进行初裁；
S2、将基片放入丙酮试剂中清洗，再放入无水乙醇中清洗，最后用氮气吹干，备用；
S3、将基片、镀膜原料放入制备设备中，按照膜系设计数据的设置镀膜参数；
S4、制备设备自动对基片的两端进行镀膜。
2.根据权利要求1所述的一种中波红外滤光片制备方法，其特征在于，基材为硅、蓝宝石或锗中的任意一种。
3.根据权利要求1所述的一种中波红外滤光片制备方法，其特征在于，镀膜材料为ZnS、Ge和PbTe中的任意一种或多种。
4.根据权利要求1所述的一种中波红外滤光片制备方法，其特征在于，制备设备包括制备箱(1)；制备箱(1)的上端设置箱盖(2)，侧端连接抽真空仪器(3)，内部设置制备室；制备室的底部设置有旋转的转动台(6)；转动台(6)的中心设置有安装组件(8)，外周设置有固定组件(7)；安装组件(8)上设置有可调节的电子枪(9)；制备室的侧壁上依次设置有进料工位一、进料工位二、镀膜工位和出料工位；进料工位一、进料工位二和出料工位上均设置有收纳框(10)和机械手(11)。
5.根据权利要求4所述的一种中波红外滤光片制备方法，其特征在于，安装组件(8)包括安装座(17)、安装架(18)和调节件；安装座(17)的下端连接制备箱(1)，上端穿过转动台(6)，连接安装架(18)；调节件设置在安装架(18)上，对电子枪(9)进行角度调节。
6.根据权利要求5所述的一种中波红外滤光片制备方法，其特征在于，安装架(18)的上端设置有安装槽(25)，下端设置有安装腔(24)；电子枪(9)通过转轴转动设置在安装槽(25)上。
7.根据权利要求5所述的一种中波红外滤光片制备方法，其特征在于，调节件包括电机(19)、齿轮(20)、齿条(21)、升降座(22)和调节杆(23)；齿轮(20)通过电机(19)传动，转动设置在安装腔(24)内；升降座(22)设置在齿轮(20)的两侧；齿条(21)设置在两组升降座(22)的相对端上，且分别与齿轮(20)啮合；调节杆(23)位于转轴的两侧，上端滑动连接电子枪(9)的底部，下端伸入安装腔(24)，连接对应的升降座(22)。
8.根据权利要求7所述的一种中波红外滤光片制备方法，其特征在于，安装腔(24)的底部设置导杆(26)；升降座(22)滑动连接导杆(26)。
9.根据权利要求4所述的一种中波红外滤光片制备方法，其特征在于，固定组件(7)对应工位设置四组，包括制备座(12)、支撑架(13)、旋转伸缩驱动件(14)和固定架(15)；制备座(12)旋转设置在转动台(6)上；支撑架(13)设置在制备座(12)的两侧；旋转伸缩驱动件(14)设置在两组支撑架(13)上端；通过旋转伸缩驱动件(14)传动的固定架(15)设置在两组支撑架(13)的相对端上。
10.根据权利要求9所述的一种中波红外滤光片制备方法，其特征在于，制备座(12)上设置有收渣槽(16)；收渣槽(16)位于两组支撑架(13)之间。
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