CN115083992A - 一种晶圆清洗设备的卡盘组件及使用方法和晶圆清洗设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆清洗设备技术领域的一种晶圆清洗设备的卡盘组件及使用方法和晶圆清洗设备，旨在解决现有技术中人为方式解除对晶圆的夹持会影响整体的清洗效率的问题。其包括依次连接的晶圆卡盘和夹持组件，所述夹持组件包括设置于晶圆卡盘底端的齿盘，所述齿盘的顶端两侧均固定安装有连接柱，所述连接柱的另一端与晶圆卡盘的底侧壁滑动连接，所述齿盘的两侧均传动连接有同步齿轮，所述同步齿轮的另一端固定安装有螺纹轴，所述螺纹轴的另一端螺纹安装有同步套；本发明适用于晶圆清洗设备，能够达到晶圆清洗前的夹持以及清洗完毕后晶圆夹持的自动解除的技术效果。

Description

一种晶圆清洗设备的卡盘组件及使用方法和晶圆清洗设备

技术领域

本发明涉及一种晶圆清洗设备的卡盘组件及使用方法和晶圆清洗设备，属于晶圆清洗设备技术领域。

背景技术

在晶圆清洗设备对晶圆进行清洗前，需要通过卡盘组件来对晶圆进行夹持固定。

现有的卡盘组件对夹持的固定多是通过离心力来实现的，这种夹持方式能够保证晶圆夹持的稳定性，由于是通过离心力来实现固定的，在完成清洗后，需要通过人为的方式来解除对晶圆的夹持，这就会影响整体的清洗效率，具有一定的局限性，可见，亟需一种晶圆清洗设备的卡盘组件。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种晶圆清洗设备的卡盘组件，包括依次连接的晶圆卡盘和夹持组件。

所述夹持组件包括设置于晶圆卡盘底端的齿盘，所述齿盘的顶端两侧均固定安装有连接柱，所述连接柱的另一端与晶圆卡盘的底侧壁滑动连接，所述齿盘的两侧均传动连接有同步齿轮，所述同步齿轮能够随齿盘同步转动，所述同步齿轮的另一端固定安装有螺纹轴，所述螺纹轴的另一端螺纹安装有同步套，所述同步套的另一端固定安装有夹持板，所述齿盘的中部开设有连接槽，所述连接槽的内侧插接有与驱动源相连接的驱动轴，所述螺纹轴的中部外表面活动安装有限位板，所述限位板的顶端与晶圆卡盘的底侧壁固定连接，所述同步套的顶端固定安装有稳定板，所述稳定板的另一端与晶圆卡盘的底侧壁滑动连接，所述夹持板两侧为圆角设置，所述夹持板的内侧顶端固定安装有限位条。

所述齿盘的底侧设置有用于限位驱动轴的限位机构。

所述晶圆卡盘与连接柱的接触处开设有弧形槽。

在一些实施例中，所述限位机构包括固定安装于齿盘底端的限位环，所述限位环的内部一侧转动安装有螺纹杆，所述螺纹杆的另一端螺纹安装有限位柱。

在一些实施例中，所述螺纹杆的中部外表面固定安装有联动齿轮，所述联动齿轮的顶端啮合连接有齿环，所述齿环的侧面固定安装有同步杆，所述同步杆的另一端贯穿限位环的内壁并活动安装有调节套，所述限位环与同步杆接触处开设有活动槽。

在一些实施例中，所述齿环的顶端两侧均固定安装有稳定柱，所述稳定柱的另一端与齿盘的底侧壁滑动连接，所述限位柱的顶端固定安装有稳定条，所述稳定条的另一端与齿盘的底侧壁滑动连接。

在一些实施例中，所述调节套与限位环螺纹连接，所述调节套与同步杆接触处开设有同步槽。

在一些实施例中，所述弧形槽的两侧均设置有用于保护连接柱的缓冲保护机构。

在一些实施例中，所述缓冲保护机构包括开设于弧形槽两侧的缓冲槽，所述缓冲槽的内侧粘接有缓冲海绵。

在一些实施例中，所述缓冲保护机构还包括设置于弧形槽底端两侧的缓冲弧形板，所述缓冲弧形板相远离的一侧固定安装有弹簧柱，所述弹簧柱的另一端固定连接有支撑板，所述支撑板与晶圆卡盘固定连接。

本发明还提供一种晶圆清洗设备，包括上述的晶圆清洗设备的卡盘组件。

一种晶圆清洗设备的卡盘组件的使用方法，所述方法包括，

将驱动轴通过连接槽与齿盘进行插接。

转动调节套，直至调节套处于相对于限位环的拧紧状态，以实现限位柱对驱动轴的限位。

将晶圆置于晶圆卡盘上，启动驱动源带动齿盘进行转动，齿盘会先相对于晶圆卡盘发生转动，以实现夹持组件对晶圆的夹持，完成夹持后，齿盘会带动晶圆卡盘同步转动，此时进行对晶圆的清洗。

当晶圆完成清洗时，驱动源不再给予动力，齿盘停止转动，由于惯性的原因，夹持组件会解除对晶圆的夹持。

与现有技术相比，本发明所达到的有益效果：

1、通过设置夹持组件，当晶圆完成清洗时，驱动源不再给予动力，齿盘停止转动，由于惯性的原因，此时晶圆卡盘会相对于齿盘转动一定的距离，即连接柱由弧形槽的一端移动至弧形槽的另一端。在晶圆卡盘相对于齿盘转动的过程中，齿盘会带动同步齿轮朝着与夹持时相反的方向进行转动，螺纹轴随之转动，带动同步套进行移动，同步套随之带动夹持板朝着远离晶圆的方向移动，当齿盘结束与晶圆卡盘的相对移动时，夹持板恰好解除对晶圆的夹持，以实现清洗完毕后晶圆夹持的自动解除。

2、通过设置限位机构，在对驱动轴与齿盘之间的连接关系进行限位时，先将驱动轴通过连接槽与齿盘进行插接，而后转动调节套，同步杆带动齿环发生转动，齿环带动联动齿轮进行转动，螺纹杆随之带动限位柱朝着驱动轴处的孔进行移动，直至限位柱与驱动轴处的孔完全接触，此时调节套也已处于相对于限位环的拧紧状态，从而完成对驱动轴的限位，以保证驱动轴在驱动源作用下带动齿盘转动时的稳定性，使得在齿盘与驱动轴可拆卸的前提下，能够保证齿盘与驱动轴之间连接的稳定性，以此保证齿盘在驱动轴的作用下转动时的稳定性。

3、通过设置缓冲保护机构，能够在晶圆卡盘在惯性的作用下相对于夹持组件发生转动时，对连接柱进行缓冲保护，以保障连接柱及相关结构的使用寿命。

附图说明

图1是本发明一实施例的晶圆清洗设备的卡盘组件的结构示意图；

图2是本发明图1中晶圆清洗设备的卡盘组件的结构正视示意图；

图3是本发明图1中夹持组件的结构示意图；

图4是本发明图3中夹持盘的结构示意图；

图5是本发明图4中A处结构的放大示意图；

图6是本发明图1中限位机构的结构示意图；

图7是本发明图6中限位环的结构示意图；

图8是本发明图6中调节套的结构侧视剖面示意图；

图9是本发明图1中缓冲保护机构的结构示意图；

图10是本发明图1中缓冲保护机构的结构示意图；

图11是本发明驱动轴的结构示意图。

图中：1、晶圆卡盘；101、弧形槽；2、夹持组件；201、齿盘；202、连接柱；203、同步齿轮；204、螺纹轴；205、同步套；206、夹持板；207、连接槽；208、驱动轴；209、限位板；210、稳定板；211、限位条；3、限位机构；301、限位环；302、螺纹杆；303、限位柱；304、联动齿轮；305、齿环；306、同步杆；307、调节套；308、稳定柱；309、稳定条；310、同步槽；311、活动槽；4、缓冲保护机构；401、缓冲槽；402、缓冲海绵；403、缓冲弧形板；404、弹簧柱；405、支撑板。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、 “底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

具体实施方式一

以下是一种晶圆清洗设备的卡盘组件的具体实施方式。

本实施例下的一种晶圆清洗设备的卡盘组件，如图1所示，包括依次连接的晶圆卡盘1和夹持组件2。

如图2、图9和图11所示，所述夹持组件2包括设置于晶圆卡盘1底端的齿盘201，所述齿盘201的顶端两侧均固定安装有连接柱202，所述连接柱202的另一端与晶圆卡盘1的底侧壁滑动连接，所述齿盘201的两侧均传动连接有同步齿轮203，所述同步齿轮203能够随齿盘201同步转动3，所述同步齿轮203的另一端固定安装有螺纹轴204，所述螺纹轴204的另一端螺纹安装有同步套205，所述同步套205的另一端固定安装有夹持板206，所述齿盘201的中部开设有连接槽207，所述连接槽207的内侧插接有与驱动源相连接的驱动轴208，所述螺纹轴204的中部外表面活动安装有限位板209，所述限位板209的顶端与晶圆卡盘1的底侧壁固定连接，所述同步套205的顶端固定安装有稳定板210，所述稳定板210的另一端与晶圆卡盘1的底侧壁滑动连接，所述夹持板206两侧为圆角设置，所述夹持板206的内侧顶端固定安装有限位条211。

所述晶圆卡盘1与连接柱202的接触处开设有弧形槽101，弧形槽101与连接柱202相适配。

所述齿盘201的底侧设置有用于限位驱动轴208的限位机构3。

通过上述技术方案，如图2所示，连接柱202的顶端设置有卡块，通过卡块与弧形槽101进行连接，使得连接柱202能够稳定挂在弧形槽101处，不会掉落。

所述同步齿轮203与齿盘201可以选用锥齿轮，但不限于此，还可以是伞齿轮，只要能实现同步齿轮203与齿盘201间的垂直传动即可。

将驱动轴208通过连接槽207与齿盘201进行插接并通过限位机构3限位锁定后，即可进行对晶圆的清洗，在进行清洗时，将晶圆置于晶圆卡盘1上，启动驱动源，驱动源随之带动齿盘201进行转动。由于连接柱202与晶圆卡盘1是通过弧形槽101进行连接的，在驱动源带动齿盘201转动时，齿盘201会先相对于晶圆卡盘1转动一定的距离，即连接柱202由弧形槽101的一端移动至弧形槽101的另一端。在齿盘201相对于晶圆卡盘1转动的过程中，齿盘201会带动同步齿轮203发生转动，螺纹轴204随之转动，带动同步套205进行移动，同步套205随之带动夹持板206朝着晶圆的方向移动，当齿盘201结束与晶圆卡盘1的相对移动时，夹持板206恰好完成对晶圆的夹持，随后驱动源便能够带动夹持组件2与晶圆卡盘1上的晶圆同步转动，进行相关的清洗工作。

当晶圆完成清洗时，驱动源不再给予动力，齿盘201停止转动，由于惯性的原因，此时晶圆卡盘1会相对于齿盘201转动一定的距离，即连接柱202由弧形槽101的一端移动至弧形槽101的另一端。在晶圆卡盘1相对于齿盘201转动的过程中，齿盘201会带动同步齿轮203朝着与夹持时相反的方向进行转动，螺纹轴204随之转动，带动同步套205进行移动，同步套205随之带动夹持板206朝着远离晶圆的方向移动，当齿盘201结束与晶圆卡盘1的相对移动时，夹持板206恰好解除对晶圆的夹持。

通过设置弧形槽101，在晶圆卡盘1与夹持组件2之间形成一个缓冲空间，使得在完成晶圆的清洗后，晶圆卡盘1能够利用惯性相对于夹持组件2发生转动，从而达到清洗后夹持组件2自动解除对晶圆夹持的效果。

限位板209的设置，用于保证螺纹轴204转动时的稳定性，同时也对螺纹轴204起到了一定的限位作用。

晶圆卡盘1与稳定板210接触处开设有相适配的滑槽，通过设置稳定板210于滑槽，能够保证同步套205相对于晶圆卡盘1移动时的稳定性，同时也对同步套205起到了一定的限制作用，使得同步套205不会随螺纹轴204同步转动，能够将螺纹轴204的转动转换为水平移动。

在一些实施例中，如图5、图6、图7、图8和图11所示，所述限位机构3包括固定安装于齿盘201底端的限位环301，所述限位环301的内部一侧转动安装有螺纹杆302，所述螺纹杆302的另一端螺纹安装有限位柱303，所述螺纹杆302的中部外表面固定安装有联动齿轮304，所述联动齿轮304的顶端啮合连接有齿环305，所述齿环305的侧面固定安装有同步杆306，所述同步杆306的另一端贯穿限位环301的内壁并活动安装有调节套307，所述限位环301与同步杆306接触处开设有活动槽311，所述齿环305的顶端两侧均固定安装有稳定柱308，所述稳定柱308的另一端与齿盘201的底侧壁滑动连接，所述限位柱303的顶端固定安装有稳定条309，所述稳定条309的另一端与齿盘201的底侧壁滑动连接，所述调节套307与限位环301螺纹连接，所述调节套307与同步杆306接触处开设有同步槽310。

通过上述技术方案，如图11所示，驱动轴208的侧面还开设有与限位柱303相适配的孔，当限位柱303与该孔完全接触时，能够实现限位柱303对驱动轴208的限位，以完成驱动轴208与齿盘201之间的连接关系的限位。

由于调节套307与限位环301是螺纹连接的，在转动调节套307时，调节套307会相对于限位环301发生位移，从而相对于同步杆306发生竖直方向上的，而同步槽310的形状，与调节套307相对于同步杆306发生竖直方向上的运动轨迹一致，从而达到转动调节套307时能够带动同步杆306同步移动的效果。

在对驱动轴208与齿盘201之间的连接关系进行限位时，先将驱动轴208通过连接槽207与齿盘201进行插接，而后转动调节套307，在调节套307转动的过程中，调节套307处的同步槽310会带动同步杆306发生移动，从而带动齿环305发生转动，齿环305在转动时能够带动联动齿轮304进行转动，以此带动螺纹杆302进行转动，螺纹杆302随之带动限位柱303朝着驱动轴208处的孔进行移动，直至限位柱303与驱动轴208处的孔完全接触，此时调节套307也已处于相对于限位环301的拧紧状态，从而完成对驱动轴208的限位，以保证驱动轴208在驱动源作用下带动齿盘201转动时的稳定性。

稳定柱308用于连接齿环305与齿盘201，齿盘201与稳定柱308接触处开设有相适配的滑槽。如图6所示，稳定柱308的顶端设置有卡块，使得稳定柱308能够稳定挂在齿盘201处，不会掉落，从而保证齿环305转动时的稳定性。

活动槽311的设置为同步杆306提供了一定的移动空间，同时也保证了同步杆306在调节套307的作用下移动时的稳定性。

稳定条309用于连接限位柱303与齿盘201，齿盘201与稳定条309接触处开设有相适配的滑槽，以此保证限位柱303移动时的稳定性。

通过设置限位机构3，使得在齿盘201与驱动轴208可拆卸的前提下，能够保证齿盘201与驱动轴208之间连接的稳定性，以此保证齿盘201在驱动轴208的作用下转动时的稳定性。

在一些实施例中，所述弧形槽101的两侧均设置有用于保护连接柱202的缓冲保护机构4。

通过上述技术方案，通过设置缓冲保护机构4，能够在晶圆卡盘1在惯性的作用下相对于夹持组件2发生转动时，对连接柱202进行缓冲保护，以保障连接柱202及相关结构的使用寿命。

在一些实施例中，缓冲保护机构4对连接柱202的保护是这样实现的，所述缓冲保护机构4包括开设于弧形槽101两侧的缓冲槽401，所述缓冲槽401的内侧粘接有缓冲海绵402。

通过上述技术方案，通过在弧形槽101的两侧开设缓冲槽401，在缓冲槽401中设置缓冲海绵402，使得晶圆卡盘1在惯性的作用下相对于夹持组件2发生转动时，缓冲海绵402能够对连接柱202进行缓冲保护。

在一些实施例中，缓冲保护机构4对连接柱202的保护是这样实现的，所述缓冲保护机构4还包括设置于弧形槽101底端两侧的缓冲弧形板403，所述缓冲弧形板403相远离的一侧固定安装有弹簧柱404，所述弹簧柱404的另一端固定连接有支撑板405，所述支撑板405与晶圆卡盘1固定连接。

通过上述技术方案，晶圆卡盘1在惯性的作用下相对于夹持组件2发生转动时，缓冲弧形板403能够对连接柱202进行缓冲，同时在弹簧柱404的作用下发生一定的位移，从而消减连接柱202转动时的作用力，以此达到一个缓冲保护的作用。

在使用时，将驱动轴208通过连接槽207与齿盘201进行插接并通过限位机构3限位锁定后，即可进行对晶圆的清洗。

在对驱动轴208与齿盘201之间的连接关系进行限位时，先将驱动轴208通过连接槽207与齿盘201进行插接，而后转动调节套307，在调节套307转动的过程中，调节套307处的同步槽310会带动同步杆306发生移动，从而带动齿环305发生转动，齿环305在转动时能够带动联动齿轮304进行转动，以此带动螺纹杆302进行转动，螺纹杆302随之带动限位柱303朝着驱动轴208处的孔进行移动，直至限位柱303与驱动轴208处的孔完全接触，此时调节套307也已处于相对于限位环301的拧紧状态，从而完成对驱动轴208的限位，以保证驱动轴208在驱动源作用下带动齿盘201转动时的稳定性。

在进行清洗时，将晶圆置于晶圆卡盘1上，启动驱动源，驱动源随之带动齿盘201进行转动。由于连接柱202与晶圆卡盘1是通过弧形槽101进行连接的，在驱动源带动齿盘201转动时，齿盘201会先相对于晶圆卡盘1转动一定的距离，即连接柱202由弧形槽101的一端移动至弧形槽101的另一端。在齿盘201相对于晶圆卡盘1转动的过程中，齿盘201会带动同步齿轮203发生转动，螺纹轴204随之转动，带动同步套205进行移动，同步套205随之带动夹持板206朝着晶圆的方向移动，当齿盘201结束与晶圆卡盘1的相对移动时，夹持板206恰好完成对晶圆的夹持，随后驱动源便能够带动夹持组件2与晶圆卡盘1上的晶圆同步转动，进行相关的清洗工作。

当晶圆完成清洗时，驱动源不再给予动力，齿盘201停止转动，由于惯性的原因，此时晶圆卡盘1会相对于齿盘201转动一定的距离，即连接柱202由弧形槽101的一端移动至弧形槽101的另一端。在晶圆卡盘1相对于齿盘201转动的过程中，齿盘201会带动同步齿轮203朝着与夹持时相反的方向进行转动，螺纹轴204随之转动，带动同步套205进行移动，同步套205随之带动夹持板206朝着远离晶圆的方向移动，当齿盘201结束与晶圆卡盘1的相对移动时，夹持板206恰好解除对晶圆的夹持。

具体实施方式二

以下是一种晶圆清洗设备的具体实施方式。

本发明还提供一种晶圆清洗设备，通过适配具体实施方式一所述的晶圆清洗设备的卡盘组件，能够实现晶圆的夹持与清洗，以降低整个清洗流程中相关工序的操作难度。

具体实施方式三

以下是一种晶圆清洗设备的卡盘组件的使用方法的具体实施方式。

本实施方式下的一种晶圆清洗设备的卡盘组件的使用方法，所述方法包括，

将驱动轴208通过连接槽207与齿盘201进行插接。

转动调节套307，直至调节套307处于相对于限位环301的拧紧状态，以实现限位柱303对驱动轴208的限位。

将晶圆置于晶圆卡盘1上，启动驱动源带动齿盘201进行转动，齿盘201会先相对于晶圆卡盘1发生转动，以实现夹持组件2对晶圆的夹持，完成夹持后，齿盘201会带动晶圆卡盘1同步转动，此时进行对晶圆的清洗。

当晶圆完成清洗时，驱动源不再给予动力，齿盘201停止转动，由于惯性的原因，夹持组件2会解除对晶圆的夹持。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种晶圆清洗设备的卡盘组件，其特征在于：包括依次连接的晶圆卡盘（1）和夹持组件（2）；

所述夹持组件（2）包括设置于晶圆卡盘（1）底端的齿盘（201），所述齿盘（201）的顶端两侧均固定安装有连接柱（202），所述连接柱（202）的另一端与晶圆卡盘（1）的底侧壁滑动连接，所述齿盘（201）的两侧均传动连接有同步齿轮（203），所述同步齿轮（203）能够随齿盘（201）同步转动，所述同步齿轮（203）的另一端固定安装有螺纹轴（204），所述螺纹轴（204）的另一端螺纹安装有同步套（205），所述同步套（205）的另一端固定安装有夹持板（206），所述齿盘（201）的中部开设有连接槽（207），所述连接槽（207）的内侧插接有与驱动源相连接的驱动轴（208），所述螺纹轴（204）的中部外表面活动安装有限位板（209），所述限位板（209）的顶端与晶圆卡盘（1）的底侧壁固定连接，所述同步套（205）的顶端固定安装有稳定板（210），所述稳定板（210）的另一端与晶圆卡盘（1）的底侧壁滑动连接，所述夹持板（206）两侧为圆角设置，所述夹持板（206）的内侧顶端固定安装有限位条（211）；

所述晶圆卡盘（1）与连接柱（202）的接触处开设有弧形槽（101）；

所述齿盘（201）的底侧设置有用于限位驱动轴（208）的限位机构（3）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备的卡盘组件，其特征在于：所述限位机构（3）包括固定安装于齿盘（201）底端的限位环（301），所述限位环（301）的内部一侧转动安装有螺纹杆（302），所述螺纹杆（302）的另一端螺纹安装有限位柱（303）。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗设备的卡盘组件，其特征在于：所述螺纹杆（302）的中部外表面固定安装有联动齿轮（304），所述联动齿轮（304）的顶端啮合连接有齿环（305），所述齿环（305）的侧面固定安装有同步杆（306），所述同步杆（306）的另一端贯穿限位环（301）的内壁并活动安装有调节套（307），所述限位环（301）与同步杆（306）接触处开设有活动槽（311）。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗设备的卡盘组件，其特征在于：所述齿环（305）的顶端两侧均固定安装有稳定柱（308），所述稳定柱（308）的另一端与齿盘（201）的底侧壁滑动连接，所述限位柱（303）的顶端固定安装有稳定条（309），所述稳定条（309）的另一端与齿盘（201）的底侧壁滑动连接。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗设备的卡盘组件，其特征在于：所述调节套（307）与限位环（301）螺纹连接，所述调节套（307）与同步杆（306）接触处开设有同步槽（310）。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备的卡盘组件，其特征在于：所述弧形槽（101）的两侧均设置有用于保护连接柱（202）的缓冲保护机构（4）。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆清洗设备的卡盘组件，其特征在于：所述缓冲保护机构（4）包括开设于弧形槽（101）两侧的缓冲槽（401），所述缓冲槽（401）的内侧粘接有缓冲海绵（402）。

8.根据权利要求6所述的一种晶圆清洗设备的卡盘组件，其特征在于：所述缓冲保护机构（4）还包括设置于弧形槽（101）底端两侧的缓冲弧形板（403），所述缓冲弧形板（403）相远离的一侧固定安装有弹簧柱（404），所述弹簧柱（404）的另一端固定连接有支撑板（405），所述支撑板（405）与晶圆卡盘（1）固定连接。

9.一种晶圆清洗设备，其特征在于：包括权利要求1-8任一项所述的晶圆清洗设备的卡盘组件。

10.一种晶圆清洗设备的卡盘组件的使用方法，其特征在于：所述方法包括，

将驱动轴（208）通过连接槽（207）与齿盘（201）进行插接；

转动调节套（307），直至调节套（307）处于相对于限位环（301）的拧紧状态，以实现限位柱（303）对驱动轴（208）的限位；

将晶圆置于晶圆卡盘（1）上，启动驱动源带动齿盘（201）进行转动，齿盘（201）会先相对于晶圆卡盘（1）发生转动，以实现夹持组件（2）对晶圆的夹持，完成夹持后，齿盘（201）会带动晶圆卡盘（1）同步转动，此时进行对晶圆的清洗；

当晶圆完成清洗时，驱动源不再给予动力，齿盘（201）停止转动，由于惯性的原因，夹持组件（2）会解除对晶圆的夹持。

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