CN115076323A - PVD和CVD设备中Loadlock传动机构及其控制方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了PVD和CVD设备中Loadlock传动机构及其控制方法，涉及Loadlock传动以及控制技术领域，针对原有的步进电机通过同步轮连接丝杠传动结构，步进电机控制器的控制方法存在传动机构传动刚性差，传动机构定位精度和重复定位精度不准确的问题，现提出如下方案，其包括Loadlock腔体，所述Loadlock腔体的下方设置有Loadlock传动机构。本发明采用丝杆和直线导轨为一体的模组形式，整体的传动刚性更好，相比于原有机构可靠性更高；通过绝对值编码器与控制伺服电机和直线栅尺传感器随时反馈位置信号把整个传动控制做成了一个闭环，控制精度更高。
Description
技术领域
本发明涉及Loadlock传动以及控制技术领域，尤其涉及PVD和CVD设备中Loadlock传动机构及其控制方法。
背景技术
CVD设备是化学气相沉淀设备。CVD(化学气相沉积)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。
PVD和CVD设备中原有的步进电机通过同步轮连接丝杠传动结构，步进电机控制器的控制方法存在传动机构传动刚性差，传动机构定位精度和重复定位精度不准确。
发明内容
本发明提出的PVD和CVD设备中Loadlock传动机构及其控制方法，以解决上述背景技术中提出的PVD和CVD设备中原有的步进电机通过同步轮连接丝杠传动结构，步进电机控制器的控制方法存在传动机构传动刚性差，传动机构定位精度和重复定位精度不准确的问题。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
PVD和CVD设备中Loadlock传动机构，包括Loadlock腔体，所述Loadlock腔体的内部向下方延伸设置有Loadlock传动机构；
所述Loadlock传动机构包括主基座，所述主基座固定安装在Loadlock腔体的底部，所述主基座的下方连接有转动光杆，所述转动光杆的一侧设置有模组安装座，所述模组安装座安装在主基座的下方，所述模组安装座上安装有模组，所述模组的下方设置有滑块，所述滑块上安装有滑块连接块，所述转动光杆下端安装在轴承座上，所述轴承座安装在轴承座安装板的上方，所述轴承座安装板安装在滑块连接块的上方，所述轴承座安装板的底部安装有气缸安装座，所述气缸安装座的下方安装有气缸。
本发明解决技术问题采用的技术方案是，所述主基座的内部安装有直线轴承以及密封件，所述转动光杆贯穿于直线轴承以及密封件，所述转动光杆的底端延伸至轴承座安装板的下方，所述转动光杆的底端通过平键以及螺钉连接有气缸传动块，所述气缸传动块的下方通过圆柱销与气缸相连接。
本发明解决技术问题采用的技术方案是，所述滑块连接块的一侧设置有传感器安装块，所述传感器安装块上安装有传感器，所述模组的一侧贴装有直线栅尺。
本发明解决技术问题采用的技术方案是，所述轴承座的上方安装有轴承端盖。
本发明解决技术问题采用的技术方案是，所述模组底端的一侧设置有电机，所述电机的下端连接有电机安装板，所述电机安装板的下方设置有电机固定板，所述电机固定板的下方设置有护罩。
本发明解决技术问题采用的技术方案是，所述电机的输出端连接有主动轮，所述主动轮的外部设置有同步带，所述同步带的另一侧连接有从动轮。
本发明解决技术问题采用的技术方案是，所述电机为伺服电机。
PVD和CVD设备中Loadlock传动机构的控制方法，包括如下步骤：
S1、伺服电机通过绝对值编码器对举升机构的位置进行反馈；
S2、在通过模组上的直线栅尺对举升机构的位置进行一个实时的监测；
S3、通过传感器反馈位置信号，形成的一个位置传动的闭环。
本发明的有益效果为：
本发明采用丝杆和直线导轨为一体的模组形式，整体的传动刚性更好，模块化的部件安装更方便，装配精度更易保证，相比于原有机构可靠性更高，后期的保养维护更方便；通过绝对值编码器与控制伺服电机和直线栅尺传感器随时反馈位置信号把整个传动控制做成了一个闭环，控制精度更高。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明Loadlock传动机构的结构示意图。
图3为本发明Loadlock传动机构侧视的剖面结构示意图。
图4为本发明Loadlock传动机构底部的结构示意图。
图5为本发明的控制流程框图。
图中标号：1、Loadlock腔体；2、Loadlock传动机构；3、主基座；4、转动光杆；5、模组安装座；6、模组；7、轴承座安装板；8、滑块连接块；9、轴承座；10、轴承端盖；11、电机；12、电机安装板；13、电机固定板；14、护罩；15、气缸安装座；16、传感器安装块；17、传感器；18、直线栅尺；19、同步带；20、从动轮；21、主动轮；22、气缸传动块；23、气缸。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述。在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面结合附图对本发明作进一步说明。
参照图1、图2和图3所示，本实施例提供PVD和CVD设备中Loadlock传动机构，包括Loadlock腔体1，所述Loadlock腔体1的内部向下方延伸设置有Loadlock传动机构2；
所述Loadlock传动机构2包括主基座3，所述主基座3固定安装在Loadlock腔体1的底部，所述主基座3的下方连接有转动光杆4，所述转动光杆4的一侧设置有模组安装座5，所述模组安装座5安装在主基座3的下方，所述模组安装座5上安装有模组6，通过丝杆和直线导轨为一体的模组形式，整体的传动刚性更好，模块化的部件安装更方便，装配精度更易保证，相比于原有机构可靠性更高，后期的保养维护更方便，所述模组6的下方设置有滑块，所述滑块上安装有滑块连接块8，所述转动光杆4下端安装在轴承座9上，所述轴承座9的上方安装有轴承端盖10，通过轴承端盖10和圆螺母实现对转动光杆4的固定以及轴承间隙的调整，所述轴承座9安装在轴承座安装板7的上方，所述轴承座安装板7安装在滑块连接块8的上方，所述轴承座安装板7的底部安装有气缸安装座15，所述气缸安装座15的下方安装有气缸23，所述主基座3的内部安装有直线轴承以及密封件，所述转动光杆4贯穿于直线轴承以及密封件，所述转动光杆4的底端延伸至轴承座安装板7的下方，所述转动光杆4的底端通过平键以及螺钉连接有气缸传动块22，所述气缸传动块22的下方通过圆柱销与气缸23相连接，气缸23通过圆柱销与气缸传动块22连接，用于根据需求对气缸23的角度进行调整。
如图1、图2、图3和图4所示，所述滑块连接块8的一侧设置有传感器安装块16，所述传感器安装块16上安装有传感器17，所述模组6的一侧贴装有直线栅尺18，用于记录转动光杆4上下移动的位置。
如图2、图3和图4所示，所述模组6底端的一侧设置有电机11，所述电机11的下端连接有电机安装板12，所述电机安装板12的下方设置有电机固定板13，所述电机固定板13的下方设置有护罩14，所述电机11的输出端连接有主动轮21，所述主动轮21的外部设置有同步带19，所述同步带19的另一侧连接有从动轮20，通过控制电机11进行运作，带动主动轮21进行转动，通过同步带19的设置，带动从动轮20进行转动，从而带动模组6中的丝杆转动，实现电机11驱动模组6中滑块的上下运动，从而实现转动光杆4的上下直线运动。
如图5所示，一种应用于上述实施例PVD和CVD设备中Loadlock传动机构的控制方法，包括如下步骤：
S1、伺服电机通过绝对值编码器对举升机构的位置进行反馈；
S2、在通过模组6上的直线栅尺18对举升机构的位置进行一个实时的监测；
S3、通过传感器17反馈位置信号，形成的一个位置传动的闭环。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (8)
1.PVD和CVD设备中Loadlock传动机构，包括Loadlock腔体(1)，其特征在于，所述Loadlock腔体(1)的内部向下方延伸设置有Loadlock传动机构(2)；
所述Loadlock传动机构(2)包括主基座(3)，所述主基座(3)固定安装在Loadlock腔体(1)的底部，所述主基座(3)的下方连接有转动光杆(4)，所述转动光杆(4)的一侧设置有模组安装座(5)，所述模组安装座(5)安装在主基座(3)的下方，所述模组安装座(5)上安装有模组(6)，所述模组(6)的下方设置有滑块，所述滑块上安装有滑块连接块(8)，所述转动光杆(4)下端安装在轴承座(9)上，所述轴承座(9)安装在轴承座安装板(7)的上方，所述轴承座安装板(7)安装在滑块连接块(8)的上方，所述轴承座安装板(7)的底部安装有气缸安装座(15)，所述气缸安装座(15)的下方安装有气缸(23)。
2.根据权利要求1所述的PVD和CVD设备中Loadlock传动机构，其特征在于，所述主基座(3)的内部安装有直线轴承以及密封件，所述转动光杆(4)贯穿于直线轴承以及密封件，所述转动光杆(4)的底端延伸至轴承座安装板(7)的下方，所述转动光杆(4)的底端通过平键以及螺钉连接有气缸传动块(22)，所述气缸传动块(22)的下方通过圆柱销与气缸(23)相连接。
3.根据权利要求1所述的PVD和CVD设备中Loadlock传动机构，其特征在于，所述滑块连接块(8)的一侧设置有传感器安装块(16)，所述传感器安装块(16)上安装有传感器(17)，所述模组(6)的一侧贴装有直线栅尺(18)。
4.根据权利要求1所述的PVD和CVD设备中Loadlock传动机构，其特征在于，所述轴承座(9)的上方安装有轴承端盖(10)。
5.根据权利要求1所述的PVD和CVD设备中Loadlock传动机构，其特征在于，所述模组(6)底端的一侧设置有电机(11)，所述电机(11)的下端连接有电机安装板(12)，所述电机安装板(12)的下方设置有电机固定板(13)，所述电机固定板(13)的下方设置有护罩(14)。
6.根据权利要求5所述的PVD和CVD设备中Loadlock传动机构，其特征在于，所述电机(11)的输出端连接有主动轮(21)，所述主动轮(21)的外部设置有同步带(19)，所述同步带(19)的另一侧连接有从动轮(20)。
7.根据权利要求5所述的PVD和CVD设备中Loadlock传动机构，其特征在于，所述电机(11)为伺服电机。
8.根据权利要求1-7任一项所述的PVD和CVD设备中Loadlock传动机构的控制方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、伺服电机通过绝对值编码器对举升机构的位置进行反馈；
S2、在通过模组(6)上的直线栅尺(18)对举升机构的位置进行一个实时的监测；
S3、通过传感器(17)反馈位置信号，形成的一个位置传动的闭环。
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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