CN115055924A - 一种Cd合金旋转靶材的加工方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种Cd合金旋转靶材的加工方法，将安装好的Cd合金旋转靶材采用端距粗加工和端距精加工结合的方式，对靶材进行两端端距加工和外圆加工；选择适用的刀具及刀片，按照加工参数进行加工：端距粗加工的走刀速度为0.2‑0.5mm/r，端距粗加工的单边进刀量为2‑3mm/r；端距精加工的走刀速度为0.05‑0.2mm/r，端距精加工的单边进刀量为0.05‑0.3mm/r。本发明结合Cd合金旋转靶材的特性，通过对刀具、刀片的筛选，结合靶材的旋转速度、刀具的走刀速度、单边进刀量等因素的综合反复试验，得出适应Cd合金旋转靶材的加工方法，此方法加工性能高，生产出的产品精度高。
Description
技术领域
本发明属于靶材加工技术领域，更具体地，涉及一种Cd合金旋转靶材的加工方法。
背景技术
溅射镀膜通常是利用高能放电使气体电离等离子化，正离子在电场作用下高速轰击阴极溅射靶体，击出阴极溅射靶体原子或分子，飞向被镀基体表面沉积成薄膜。溅射靶材表面粗糙度、靶材内部杂质、孔洞、裂纹、晶粒大小及均匀性均会对溅射镀膜产生影响。靶材表面粗糙度、靶材端距问题、孔洞可能会在靶材溅射造成打火现象。
碲化镉基光伏太阳能组件的组成包括诸如钼靶溅射成的背接触层，碲化镉溅射成的吸收层，硫化镉缓冲层，锡酸镉及ITO、氧化镉溅射而成的透明导电氧化物薄膜窗口层。为充分利用太阳能，光伏组件尺寸一般较大，因此需要大型旋转靶材来做大面积镀膜。大型旋转靶对靶材表面粗糙度、尺寸精度有较高需求。旋转靶材内衬管一般为不锈钢材质或者钛背管，溅射过程要保持溅射组件真空，所以背管密封性要保证。
CdIn、CdSn合金旋转靶材可用于溅射透明导电氧化物薄膜，应用于光伏组件的窗口层，而Cd及其合金属于高毒性重金属元素，对人体的危害巨大。目前很少公司具备对镉及其合金靶材研发及生产的许可，文献对该类型靶材的制备、机加工研究较少甚至没有。如何加工大型CdIn、CdSn合金旋转靶材在本领域并未有过报道。
综上所述，因此需要发明一种加工Cd合金旋转靶材的加工方法，满足使用需求，具有巨大的市场前景和经济意义。
发明内容
本发明针对上述现有技术的不足，提供一种Cd合金旋转靶材的加工方法，尤其适用于大尺寸CdIn、CdSn合金旋转靶材。该加工方法便捷高效，靶材加工后尺寸精度高、表面粗糙度小于0.8μm，且不损伤背管，不会造成大量含镉碎屑飞溅，加工精度高，安全可靠。
本发明的目的通过以下技术方案予以实现：
公开一种Cd合金旋转靶材的加工方法，将安装好的Cd合金旋转靶材采用端距粗加工和端距精加工结合的方式，对靶材进行两端端距加工和外圆加工；
选择适用的刀具及刀片，按照加工参数进行加工：所述的端距粗加工的走刀速度为0.2-0.5mm/r，所述的端距粗加工的单边进刀量为2-3mm/r；所述的端距精加工的走刀速度为0.05-0.2mm/r，所述的端距精加工的单边进刀量为0.05-0.3mm/r。
本发明的Cd合金旋转靶材的加工方法选用普通车床完成靶材机加工，具有普适性，结合Cd合金旋转靶材的特性，通过对刀具、刀片的筛选，结合靶材的旋转速度、刀具的走刀速度、单边进刀量等因素的综合反复试验，得出适应Cd合金旋转靶材的加工方法，此方法加工性能高，生产出的产品精度高。
同时，考虑到靶材在机加工时产生的镉粉尘，人体吸入危害极大，因此采用了异丙醇或乙醇作用切削剂和冷却剂。因其具有较高的冷却效率，以及较好的润滑性，可以高效地带走机加工过程产生的热量，也避免了因镉合金熔点低且易氧化防止加工过程产热导致靶材表面氧化，造成机加工碎屑与靶材黏连，划伤靶材的问题。
进一步地，所述的Cd合金为CdIn、CdSn合金的一种。
本发明选用普通车床完成靶材机加工。安装三爪夹具夹紧铝件，将旋转靶背管左右端扣紧在铝件上，固定靶材。将靶材左右两端精加工，确保靶材长度在图纸给定公差范围，靶材粗糙度小于1.6μm。
进一步地，所述的外圆加工采用外圆粗加工和外圆精加工结合的方式进行，所述的外圆粗加工的走刀速度为0.2-0.5mm/r，外圆粗加工的单边进刀量为2-3mm/r；外圆粗加工去除靶材表面毛刺、氧化皮等缺陷。
进一步地，所述的外圆精加工的走刀速度为0.05-0.2mm/r，外圆精加工的单边进刀量为0.05-0.3mm/r。外圆精加工可降低靶材粗糙度至1.6μm。
进一步地，所述的Cd合金旋转靶材的转速为200-400RPM。
进一步地，加工刀具与Cd合金旋转靶材使用异丙醇或乙醇作为冷却剂。
进一步地，所述的刀具选择DJCL 2525M11 JOKLV01或SDJCR 2525M11JOKLV01型号。
进一步地，所述的刀片选择DCGT11T302YD120型号。
最后将加工好的Cd合金旋转靶材进行抛光处理。
本发明与现有技术相比具有以下有益效果：
本发明的Cd合金旋转靶材的加工方法选用普通车床完成靶材机加工，具有普适性，结合Cd合金旋转靶材的特性，通过对刀具、刀片的筛选，结合靶材的旋转速度、刀具的走刀速度、单边进刀量等因素的综合反复试验，得出适应Cd合金旋转靶材的加工方法，此方法加工性能高，生产出的产品精度高。
本发明使用普通车床对大型旋转靶进行外圆及端面加工，具备铣床，锯床等不具备的能力。
本发明使用铝夹具夹持背管端面，由于铝夹具硬度低，可以防止碰伤及磨损背管端口，保证背管气密性。
本发明的Cd合金旋转靶材的加工方法对于端面及外圆粗车，提供了适用于Cd合金旋转靶材的加工参数，该机加工参数可以实现靶材安全平稳加工，又保证了加工效率。
并且对端面及外圆精加工提供了适用于Cd合金旋转靶材的加工参数，小的走刀速度及进刀量可以降低靶材加工过程的产热，且细化接刀痕迹，降低靶材表面粗糙度。精加工步骤，靶材尺寸一般差不多达到靶材精度要求，小的进刀量可以防止机加工超过公差。
同时，考虑到靶材在机加工时产生的镉粉尘，人体吸入危害极大，因此采用了异丙醇或乙醇水溶液作为冷却液。因其具有较高的冷却效率，以及较好的润滑性，可以高效地带走机加工过程产生的热量，也避免了镉合金熔点低且易氧化，造成机加工碎屑与靶材黏连，划伤靶材的问题。
附图说明
图1为本发明所述的Cd合金旋转靶材的加工方法的生产工艺流程图。
图2为本发明所述的Cd合金旋转靶材的加工方法使用的普通车床及铝夹具。
具体实施方式
下面具体实施例进一步详细说明本发明。除非特别说明，本发明实施例使用的各种原料均可以通过常规市购得到，或根据本领域的常规方法制备得到，所用设备为实验常用设备。除非另有定义或说明，本文中所使用的所有专业与科学用语与本领域技术熟练人员所熟悉的意义相同。
本发明公开的Cd合金旋转靶材的加工方法，将安装好的Cd合金旋转靶材采用端距粗加工和端距精加工结合的方式进行靶材两端端距加工和外圆加工；
确定靶材长度，选择适用的刀具及刀片，端距粗加工的走刀速度为0.2-0.5mm/r，端距粗加工的单边进刀量为2-3mm/r；端距精加工的走刀速度为0.05-0.2mm/r，端距精加工的单边进刀量为0.05-0.3mm/r。
其具体操作如下。
实施例1
本实施例的CdIn合金旋转靶材的加工方法，其生产工艺流程见图1，包括以下步骤：
S1. 装夹：选用普通车床完成CdIn合金靶材机加工，如图2。安装三爪夹具夹紧铝件，将CdIn合金旋转靶背管左右端扣紧在铝件上，固定靶材。使用三爪夹具夹持铝件，既保证了夹持的稳定性，也不至于夹具过多，浪费夹具装夹时间。使用铝夹具夹持背管端面，由于铝夹具硬度低，可以防止碰伤及磨损背管端口，保证背管气密性。
S2. 加工靶材两端端距：
A. 端距粗加工
将靶材左右两端粗加工，确定靶材长度，加工过程采用异丙醇作为冷却剂及润滑剂。
选择适用的刀具及刀片，本实施例中，刀具选择：DJCL 2525M11 JOKLV01.刀片选择：DCGT11T302YD120；刀具选择依据的是材料的硬度、塑性韧性以及材料的形状。该型号刀杆强度高，刀具硬度及强度高，使用寿命长适合加工高硬材料。
确定切削参数：端距粗加工时，述Cd合金旋转靶材的转速为200-400RPM，本实施例中优选为300 RPM。
端距粗加工的走刀速度为0.2-0.5mm/r，本实施例中选用0.3mm/r；端距粗加工的单边进刀量为2-3mm/r，本实施例中选用2.5mm/r；该机加工参数可以实现靶材安全平稳加工，又保证了加工效率。
B. 端距精加工
将靶材左右两端精加工，确保靶材长度在图纸给定公差范围，靶材粗糙度小于0.8μm，加工过程采用异丙醇冷却以及润滑。加工参数如下：
选择适用的刀具及刀片，本实施例中，刀具选择DJCL 2525M11 JOKLV01，刀片选择DCGT11T302YD120；
确定切削参数：端距精加工时，述Cd合金旋转靶材的转速为200-400RPM，本实施例中优选为300 RPM。
端距精加工的走刀速度为0.05-0.2mm/r，本实施例中优选为0.1mm/r；端距精加工的单边进刀量为0.05-0.3mm/r，本实施例中优选为0.1mm/r。
S3. 外圆加工，采用外圆粗加工和外圆精加工结合的方式进行。
A. 外圆粗加工：去除靶材表面毛刺.氧化皮等缺陷。采用异丙醇冷却及润滑。
选择适用的刀具及刀片，与端距加工相同。
确定切削参数：端距粗加工时，Cd合金旋转靶材的转速为200-400RPM，本实施例中优选为400RPM。
外圆粗加工的走刀速度为0.2-0.5mm/r，本实施例中选用0.4mm/r外圆粗加工的单边进刀量为2-3mm/r。
B. 外圆精加工：降低靶材粗糙度至1.6 μm，确定靶材外径，
选择适用的刀具及刀片，与端距加工相同。
确定切削参数：端距粗加工时，述Cd合金旋转靶材的转速为200-400RPM，本实施例中优选为200RPM。
外圆精加工的走刀速度为0.05-0.2mm/r，本实施例中优选为0.05mm/r，外圆精加工的单边进刀量为0.2mm/r。
S4. 抛光
使用3M红色百洁布抛光靶材，进一步降低靶材表面粗糙度，获得一致外观。使得靶材表面粗糙度达到0.8 μm以下。卡盘转速：100 RPM，抛光时长：1-3min/段，抛光压力为10N。
实施例2
本实施例的CdSn合金旋转靶材的加工方法，包括以下步骤：
S1. 装夹：选用普通车床完成CdSn合金旋转靶材机加工。安装三爪夹具夹紧铝件，将旋转靶背管左右端扣紧在铝件上，固定靶材。
S2. 加工靶材两端端距：
A.端距粗加工
将靶材左右两端粗加工，确定靶材长度，加工过程采用异丙醇作为冷却剂及润滑剂。
将靶材左右两端粗加工，确定靶材长度，加工过程采用异丙醇作为冷却剂及润滑剂。
选择适用的刀具及刀片，本实施例中，刀具选择SDJCR 2525M11JOKLV01，刀片选择DCGT11T302YD120；
确定切削参数：端距粗加工时，Cd合金旋转靶材的转速为200-400RPM，本实施例中优选为200 RPM。
端距粗加工的走刀速度为0.2-0.5mm/r，本实施例中选用0.5mm/r；端距粗加工的单边进刀量为2-3mm/r，本实施例中选用3mm/r；该机加工参数可以实现靶材安全平稳加工，又保证了加工效率。
B.端距精加工
将靶材左右两端精加工，确保靶材长度在图纸给定公差范围，靶材粗糙度小于1.6μm，加工过程采用异丙醇冷却以及润滑。加工参数如下：
选择适用的刀具及刀片，本实施例中，刀具选择SDJCR 2525M11JOKLV01，刀片选择：DCGT11T302YD120；
确定切削参数：端距精加工时，述Cd合金旋转靶材的转速为200-400RPM，本实施例中优选为300 RPM。
端距精加工的走刀速度为0.05-0.2mm/r，本实施例中优选为0.0.5mm/r；端距精加工的单边进刀量为0.05-0.3mm/r，本实施例中优选为0.2mm/r。
S3. 外圆加工，采用外圆粗加工和外圆精加工结合的方式进行。
S4. 抛光
使用3M红色百洁布抛光靶材，进一步降低靶材表面粗糙度，获得一致外观。使得靶材表面粗糙度达到0.8 μm。卡盘转速：100 RPM，抛光时长：1-3min/段，抛光压力为10N。
对比例1
本对比例针对实施例1，步骤S3外圆加工中A外圆粗加工参数（外圆粗加工的走刀速度为0.2-0.5mm/r，本实施例中选用0.4mm/r外圆粗加工的单边进刀量为2-3mm/r。）做了对比。将走刀速度改为0.6mm/r，单边进刀量改成3.5mm/r，其余参数一致，这样加工，导致靶材加工下来表面接刀纹特别深，靶材表面粗糙度达到8μm。此外，加工碎屑也呈厚厚的连续长条状，划伤靶材。
对比例2
本对比例针对实施例1，步骤S3外圆加工中B外圆精加工参数（外圆精加工的走刀速度为0.05mm/r，外圆精加工的单边进刀量为0.2mm/r。）做了对比。将走刀速度改为0.2mm/r，单边进刀量改成0.5mm/r，其余参数一致，这样加工，导致靶材加工下来粗糙度达到4.2μm左右，且靶材外圆公差难以做到±0.5mm。此外，由于加工单边进刀量较大，由于靶材较长，车靶材全跳动甚至达到1.5mm。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明的技术方案所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所做的任何修改.等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种Cd合金旋转靶材的加工方法，其特征在于，将安装好的Cd合金旋转靶材采用端距粗加工和端距精加工结合的方式，对靶材进行两端端距加工和外圆加工；
选择适用的刀具及刀片，按照加工参数进行加工：所述的端距粗加工的走刀速度为0.2-0.5mm/r，所述的端距粗加工的单边进刀量为2-3mm/r；所述的端距精加工的走刀速度为0.05-0.2mm/r，所述的端距精加工的单边进刀量为0.05-0.3mm/r。
2.根据权利要求1所述的Cd合金旋转靶材的加工方法，其特征在于，所述的Cd合金为CdIn、CdSn合金的一种。
3.根据权利要求1所述的Cd合金旋转靶材的加工方法，其特征在于，所述的外圆加工采用外圆粗加工和外圆精加工结合的方式进行，所述的外圆粗加工的走刀速度为0.2-0.5mm/r，所述的外圆粗加工的单边进刀量为2-3mm/r。
4.根据权利要求3所述的Cd合金旋转靶材的加工方法，其特征在于，所述的外圆精加工的走刀速度为0.05-0.2mm/r，外圆精加工的单边进刀量为0.05-0.3mm/r。
5.根据权利要求1~4任意一项所述的Cd合金旋转靶材的加工方法，其特征在于，所述的Cd合金旋转靶材的转速为200-400RPM。
6.根据权利要求5所述的Cd合金旋转靶材的加工方法，其特征在于，加工时，刀具与Cd合金旋转靶材使用异丙醇或乙醇作为冷却剂。
7.根据权利要求1~4任意一项所述的Cd合金旋转靶材的加工方法，其特征在于，所述的刀具选择DJCL 2525M11 JOKLV01或SDJCR 2525M11JOKLV01型号。
8.根据权利要求7所述的Cd合金旋转靶材的加工方法，其特征在于，所述的刀片选择DCGT11T302YD120型号。
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| CN103862073A (zh) * | 2012-12-18 | 2014-06-18 | 宁夏东方钽业股份有限公司 | 一种车削方法与一种车刀 |
| WO2014094452A1 (zh) * | 2012-12-18 | 2014-06-26 | 宁夏东方钽业股份有限公司 | 一种铌靶材及其制备方法 |
| CN107470650A (zh) * | 2016-06-07 | 2017-12-15 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 银靶材的加工方法 |
| CN111299613A (zh) * | 2020-03-27 | 2020-06-19 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 一种钛铝合金靶材的机加工方法及其产品和用途 |
| CN113001114A (zh) * | 2021-03-01 | 2021-06-22 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 一种旋转靶材溅射面的车削方法 |
| CN113579647A (zh) * | 2021-07-08 | 2021-11-02 | 先导薄膜材料有限公司 | 一种银旋转靶材的加工方法 |
| CN215469771U (zh) * | 2021-04-30 | 2022-01-11 | 漳州市合琦靶材科技有限公司 | 一种合金靶材连续式制备夹具系统 |
| CN114592173A (zh) * | 2022-01-11 | 2022-06-07 | 先导薄膜材料有限公司 | 一种CdIn合金靶材及其制备方法 |
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Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103862073A (zh) * | 2012-12-18 | 2014-06-18 | 宁夏东方钽业股份有限公司 | 一种车削方法与一种车刀 |
| WO2014094452A1 (zh) * | 2012-12-18 | 2014-06-26 | 宁夏东方钽业股份有限公司 | 一种铌靶材及其制备方法 |
| CN107470650A (zh) * | 2016-06-07 | 2017-12-15 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 银靶材的加工方法 |
| CN111299613A (zh) * | 2020-03-27 | 2020-06-19 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 一种钛铝合金靶材的机加工方法及其产品和用途 |
| CN113001114A (zh) * | 2021-03-01 | 2021-06-22 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 一种旋转靶材溅射面的车削方法 |
| CN215469771U (zh) * | 2021-04-30 | 2022-01-11 | 漳州市合琦靶材科技有限公司 | 一种合金靶材连续式制备夹具系统 |
| CN113579647A (zh) * | 2021-07-08 | 2021-11-02 | 先导薄膜材料有限公司 | 一种银旋转靶材的加工方法 |
| CN114592173A (zh) * | 2022-01-11 | 2022-06-07 | 先导薄膜材料有限公司 | 一种CdIn合金靶材及其制备方法 |
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