CN113579647A - 一种银旋转靶材的加工方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种银旋转靶材的加工方法，涉及金属靶材加工技术领域。本发明提供的银旋转靶材的加工方法包括以下步骤：对银旋转靶材表面进行车削加工，所述车削加工依次包括粗加工和精加工，所述粗加工过程中的进刀量为1‑1.5mm，所述精加工过程中的进刀量为0.2‑0.5mm。本发明技术方案通过在对银旋转靶材进行车削加工过程中将粗加工配合精加工，准确控制加工过程的进刀量，可有效避免出现丝条，并防止银合金旋转靶材反粘靶材上，加工后靶材表面的粗糙度可以达到1.5Ra以下，从而得到外观完美、性能优越的银合金旋转靶材。
Description
技术领域
本发明涉及金属靶材加工技术领域，特别涉及一种银旋转靶材的加工方法。
背景技术
采用车削工艺加工直径为500-30000mm的银旋转靶过程中，靶材旋转与车刀摩擦发热，会产生碎屑反粘于靶材上，导致靶材表面出现小颗粒瑕疵、或靶材表明呈丝条状，影响靶材的外观。与此同时，车削过程中，进给速度、进刀量同样影响靶材表面的粗糙度，粗糙度越大的靶材需要越长时间的预溅射处理，不仅影响使用，还会在靶材表面引入异物杂质，并且溅射过程中常常出现异常放电现象。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种银旋转靶材的加工方法，旨在解决目前银旋转靶加工过程中出现的银碎屑反粘靶材，粗糙度较高且加工效率低小的问题。
为实现上述目的，本发明提出了一种银旋转靶材的加工方法，包括以下步骤：对银旋转靶材表面进行车削加工，所述车削加工依次包括粗加工和精加工，所述粗加工过程中的进刀量为1-1.5mm，所述精加工过程中的进刀量为0.2-0.5mm。
本发明技术方案中，在精加工之前进行粗加工，粗加工的粗糙度可达到10Ra以上，粗加工过程中加快加工速度，可以达到快速加工从而缩短加工时间的目的。精加工过程的进刀量小于粗加工过程的进刀量，加工后的粗糙度可以达到1.5Ra以下，精加工后的银旋转靶材表面呈现亮银色。
作为本发明所述银旋转靶材的加工方法的优选实施方式，所述精加工过程按照进刀量依次减小包括三个阶段，第一阶段的进刀量为0.5mm，第二阶段的进刀量为0.3mm，第三阶段的进刀量为0.2mm。
发明人经过反复试验发现，将精加工过程分三阶段进行，每阶段的进刀量逐步减少，可降低靶材与刀片之间的挤压程度，从而降低粗糙度；反之，若进刀量逐步增大，引起挤压程度更大，从而会导致银旋转靶材粗糙度增大。第一阶段的进刀量为0.5mm时，加工后的粗糙度可达到2.5-4Ra；第二阶段的进刀量为0.3mm时，加工后的粗糙度可达到1.8-2.2Ra；第三阶段的进刀量为0.2mm，加工后的粗糙度可达到1.5Ra以下。
作为本发明所述银旋转靶材的加工方法的优选实施方式，所述精加工过程中银旋转靶材的转速为400-600转/分钟，进给速度为0.05-0.1mm/转。
发明人经过反复试验发现，进给速度同时影响靶材表面粗糙度和外观质量，当控制进给速度为0.05-0.1mm/转时，可使银靶材表面粗糙度降低，并避免出现丝条，且随着进给速度的降低，粗糙度逐渐降低，但是若进给速度低于0.05mm/转，则靶材表面会出现丝条，影响外观质量；若进给速度高于0.1mm/转，靶材粗糙度升高。因此，综合考虑后，选择进给速度为0.05-0.1mm/转最合适。
作为本发明所述银旋转靶材的加工方法的优选实施方式，所述精加工过程中刀片与靶材之间的角度为45°。
本发明技术方案中，精加工过程中刀片与靶材之间的角度最好为45°，该角度下车削后角的车削量减少，可达到修复细微颗粒的作用，从而降低银旋转靶材的粗糙度。
作为本发明所述银旋转靶材的加工方法的优选实施方式，所述粗加工过程中的进给速度为0.2-0.3mm/转，银旋转靶材的转速为300-600转/分钟。
作为本发明所述银旋转靶材的加工方法的优选实施方式，所述车削加工采用金刚石刀片。
金刚石刀具由于具有极高的硬度和耐磨性、低摩擦系数、高弹性模量、高热导、低热膨胀系数，以及与非铁金属亲和力小等优点，可以用于非金属硬脆材料如石墨、高耐磨材料、复合材料、高硅铝合金及其它韧性有色金属材料的精密加工。
作为本发明所述银旋转靶材的加工方法的优选实施方式，在所述车削加工过程中采用异丙醇喷雾式或水线式在所述银旋转靶材与刀片的交接口处进行冷却。
本发明技术方案中，在车削加工过程中采用异丙醇喷雾式或水线式在银旋转靶材与刀片的交接口处进行冷却，可以避免银碎屑在高温情况下反粘在靶材上。
作为本发明所述银旋转靶材的加工方法的优选实施方式，在所述精加工之后，还包括端面加工和/或抛光。
作为本发明所述银旋转靶材的加工方法的优选实施方式，所述端面加工过程中的进刀量为1-1.5mm，进给速度为0.2-0.3mm/转，银旋转靶材的转速为300-600转/分钟。
本发明技术方案中，采用上述参数对银旋转靶材端面进行加工处理，并且，为防止加工端距尺寸错误，车刀需从圆筒处进刀，往背管断口处走刀。
作为本发明所述银旋转靶材的加工方法的优选实施方式，采用百洁布进行抛光操作，所述百洁布的目数为1000-3000目。
本发明技术方案中，精加工后的银旋转靶材表面呈现亮银色，如需要更加低的粗糙度，可根据实际情况使用1000-3000目数的百洁布进行抛光，抛光后呈现银白色。
相对于现有技术，本发明的有益效果为：
本发明技术方案通过在对银旋转靶材进行车削加工过程中将粗加工配合精加工，准确控制加工过程的进刀量，可有效避免出现丝条，并防止银合金旋转靶材反粘靶材上，加工后靶材表面的粗糙度可以达到1.5Ra以下，从而得到外观完美、性能优越的银合金旋转靶材。
附图说明
图1为本发明实施例中银旋转靶材车削加工过程的结构示意图；
图2为本发明实施例1加工后的银旋转靶材照片。
具体实施方式
为更好地说明本发明的目的、技术方案和优点，下面将通过具体实施例对本发明作进一步说明。
图1为本发明实施例中银旋转靶材车削加工过程的结构示意图，其中，1为银旋转靶材；2为刀片。车削加工过程中，银旋转靶材以其自身的圆柱体中心轴为中心进行旋转。
实施例1
本实施例的银旋转靶材加工方法包括以下步骤：
(1)粗加工
进刀量为1-1.5mm，进给速度为0.2-0.3mm/转，银旋转靶材的转速为300-600转/分钟；
(2)精加工，精加工过程中刀片与靶材之间的角度为45°
第一阶段：进刀量为0.5mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第二阶段：进刀量为0.3mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第三阶段：进刀量为0.2mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
其中，车削加工(即粗加工和精加工过程)采用金刚石刀片，
在车削加工过程中采用异丙醇喷雾式或水线式在银旋转靶材与刀片的交接口处进行冷却。
实施例1加工后的银旋转靶材表面呈现亮银色，靶材表面的粗糙度小于1.4Ra，表面无丝条、无碎屑。
实施例2
本实施例的银旋转靶材加工方法包括以下步骤：
(1)粗加工
进刀量为1-1.5mm，进给速度为0.2-0.3mm/转，银旋转靶材的转速为300-600转/分钟；
(2)精加工，精加工过程中刀片与靶材之间的角度为45°
第一阶段：进刀量为0.45mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第二阶段：进刀量为0.35mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第三阶段：进刀量为0.25mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
其中，车削加工(即粗加工和精加工过程)采用金刚石刀片，
在车削加工过程中采用异丙醇喷雾式或水线式在银旋转靶材与刀片的交接口处进行冷却。
实施例2加工后的银旋转靶材表面呈现亮银色，靶材表面的粗糙度小于1.5Ra，表面无丝条、无碎屑。
实施例3
本实施例的银旋转靶材加工方法包括以下步骤：
(1)粗加工
进刀量为1-1.5mm，进给速度为0.2-0.3mm/转，银旋转靶材的转速为300-600转/分钟；
(2)精加工，精加工过程中刀片与靶材之间的角度为45°
第一阶段：进刀量为0.5mm，进给速度为0.05mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第二阶段：进刀量为0.3mm，进给速度为0.05mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第三阶段：进刀量为0.2mm，进给速度为0.05mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
其中，车削加工(即粗加工和精加工过程)采用金刚石刀片，
在车削加工过程中采用异丙醇喷雾式或水线式在银旋转靶材与刀片的交接口处进行冷却。
实施例1加工后的银旋转靶材表面呈现亮银色，靶材表面的粗糙度小于1.1Ra，表面无丝条、无碎屑。
实施例4
本实施例的银旋转靶材加工方法包括以下步骤：
(1)粗加工
进刀量为1-1.5mm，进给速度为0.2-0.3mm/转，银旋转靶材的转速为300-600转/分钟；
(2)精加工，精加工过程中刀片与靶材之间的角度为45°
第一阶段：进刀量为0.5mm，进给速度为0.07mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第二阶段：进刀量为0.3mm，进给速度为0.07mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第三阶段：进刀量为0.2mm，进给速度为0.07mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
其中，车削加工(即粗加工和精加工过程)采用金刚石刀片，
在车削加工过程中采用异丙醇喷雾式或水线式在银旋转靶材与刀片的交接口处进行冷却。
实施例1加工后的银旋转靶材表面呈现亮银色，靶材表面的粗糙度小于1.3Ra，表面无丝条、无碎屑。
实施例5
本实施例的银旋转靶材加工方法包括以下步骤：
(1)粗加工
进刀量为1-1.5mm，进给速度为0.2-0.3mm/转，银旋转靶材的转速为300-600转/分钟；
(2)精加工，精加工过程中刀片与靶材之间的角度为45°
第一阶段：进刀量为0.5mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第二阶段：进刀量为0.3mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第三阶段：进刀量为0.2mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
(3)端面加工
进刀量为1-1.5mm，进给速度为0.2-0.3mm/转，银旋转靶材的转速为300-600转/分钟；
(4)抛光
采用百洁布进行抛光操作，所述百洁布的目数为1000-3000目；
其中，车削加工(即粗加工、精加工和端面加工过程)采用金刚石刀片，
在车削加工过程中采用异丙醇喷雾式或水线式在银旋转靶材与刀片的交接口处进行冷却。
实施例5加工后的银旋转靶材表面呈现银白色，靶材表面的粗糙度小于0.9Ra，表面无丝条、无碎屑。
对比例1
本对比例的银旋转靶材加工方法包括以下步骤：
(1)粗加工
进刀量为1-1.5mm，进给速度为0.2-0.3mm/转，银旋转靶材的转速为300-600转/分钟；
(2)精加工，精加工过程中刀片与靶材之间的角度为45°
第一阶段：进刀量为0.6mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第二阶段：进刀量为0.6mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第三阶段：进刀量为0.4mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
其中，车削加工(即粗加工和精加工过程)采用金刚石刀片，
在车削加工过程中采用异丙醇喷雾式或水线式在银旋转靶材与刀片的交接口处进行冷却。
对比例1加工后的银旋转靶材表面呈现亮银色，靶材表面的粗糙度大于1.7Ra，表面出现明显丝条、靶材表面粘连有碎屑。
对比例2
本对比例的银旋转靶材加工方法包括以下步骤：
(1)粗加工
进刀量为1.6-2.0mm，进给速度为0.2-0.3mm/转，银旋转靶材的转速为300-600转/分钟；
(2)精加工，精加工过程中刀片与靶材之间的角度为45°
第一阶段：进刀量为0.5mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第二阶段：进刀量为0.3mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第三阶段：进刀量为0.2mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
其中，车削加工(即粗加工和精加工过程)采用金刚石刀片，
在车削加工过程中采用异丙醇喷雾式或水线式在银旋转靶材与刀片的交接口处进行冷却。
对比例2加工后的银旋转靶材表面呈现亮银色，靶材表面的粗糙度大于1.6Ra，表面出现明显丝条、靶材表面粘连有碎屑。
对比例3
本对比例的银旋转靶材加工方法包括以下步骤：
(1)粗加工
进刀量为1-1.5mm，进给速度为0.2-0.3mm/转，银旋转靶材的转速为300-600转/分钟；
(2)精加工，精加工过程中刀片与靶材之间的角度为45°
第一阶段：进刀量为0.5mm，进给速度为0.15mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第二阶段：进刀量为0.3mm，进给速度为0.15mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第三阶段：进刀量为0.2mm，进给速度为0.15mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
其中，车削加工(即粗加工和精加工过程)采用金刚石刀片，
在车削加工过程中采用异丙醇喷雾式或水线式在银旋转靶材与刀片的交接口处进行冷却。
对比例3加工后的银旋转靶材表面呈现亮银色，靶材表面的粗糙度大于2.0Ra，表面出现明显丝条、靶材表面无碎屑。
对比例4
本对比例的银旋转靶材加工方法包括以下步骤：
(1)粗加工
进刀量为1-1.5mm，进给速度为0.2-0.3mm/转，银旋转靶材的转速为300-600转/分钟；
(2)精加工，精加工过程中刀片与靶材之间的角度为45°
第一阶段：进刀量为0.5mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第二阶段：进刀量为0.3mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
第三阶段：进刀量为0.2mm，进给速度为0.1mm/转，银旋转靶材的转速为400-600转/分钟；
其中，车削加工(即粗加工和精加工过程)采用钨碳钢合金刀片，
在车削加工过程中采用异丙醇喷雾式或水线式在银旋转靶材与刀片的交接口处进行冷却。
对比例4加工后的银旋转靶材表面呈现灰色，靶材表面的粗糙度大于1.9Ra，表面丝条明显、靶材表面粘连有碎屑。
最后所应当说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本发明作了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的实质和范围。
Claims (10)
1.一种银旋转靶材的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：对银旋转靶材表面进行车削加工，所述车削加工依次包括粗加工和精加工，所述粗加工过程中的进刀量为1-1.5mm，所述精加工过程中的进刀量为0.2-0.5mm。
2.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述精加工过程按照进刀量依次减小包括三个阶段，第一阶段的进刀量为0.5mm，第二阶段的进刀量为0.3mm，第三阶段的进刀量为0.2mm。
3.如权利要求1或2所述的加工方法，其特征在于，所述精加工过程中银旋转靶材的转速为400-600转/分钟，进给速度为0.05-0.1mm/转。
4.如权利要求1或2所述的加工方法，其特征在于，所述精加工过程中刀片与靶材之间的角度为45°。
5.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述粗加工过程中的进给速度为0.2-0.3mm/转，银旋转靶材的转速为300-600转/分钟。
6.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述车削加工采用金刚石刀片。
7.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，在所述车削加工过程中采用异丙醇喷雾式或水线式在所述银旋转靶材与刀片的交接口处进行冷却。
8.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，在所述精加工之后，还包括端面加工和/或抛光。
9.如权利要求8所述的加工方法，其特征在于，所述端面加工过程中的进刀量为1-1.5mm，进给速度为0.2-0.3mm/转，银旋转靶材的转速为300-600转/分钟。
10.如权利要求8所述的加工方法，其特征在于，采用百洁布进行抛光操作，所述百洁布的目数为1000-3000目。
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Effective date of registration: 20230621 Address after: In the workshop of Leading Film Materials Co., Ltd. at the intersection of Longzihu Road and Tongnenenebb Huainan Road, Xinzhan District, Hefei City, Anhui Province, 230000 Applicant after: Leading Film Materials (Anhui) Co.,Ltd. Address before: 230000 northwest corner of the intersection of Longzihu road and tonghuai South Road, Xinzhan District, Hefei City, Anhui Province Applicant before: Pilot film materials Co.,Ltd. |
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