CN115029684A - 燃气加热沉积炉及系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了燃气加热沉积炉及系统，包括炉体以及用于给炉体内的待增密物件进行加热的加热装置，所述炉体上部设置有贯穿至炉体内腔的出气口，所述加热装置包括伸入炉体内部用于散热的至少一个辐射管以及通过燃烧出气管中的尾气给所述辐射管加热的燃烧器。将沉积炉的加热方式改为燃气辐射管形式，燃料以沉积炉尾气为主，天燃气为辅，这样既节省了大量电能，又将沉积炉尾气作为热源对沉积炉进行加热，同时燃气辐射管出来的燃烧烟气对碳源气进行预热，真正做到沉积炉系统的节能环保。

Description

燃气加热沉积炉及系统

技术领域

本发明涉及化学气相沉积制备领域，具体涉及燃气加热沉积炉及系统。

背景技术

随着电子、半导体、太阳能及航天技术迅猛发展、对耐高温、耐热冲击性非常好的C/C复核材料需求量也迅猛增加。C/C复合材料是在碳纤维基础上进行了石墨化增强处理后的产品，而燃气加热沉积炉(cvi)是制造高性能碳碳复合材料的核心设备，而目前市面上已有的沉积炉都不是非常完美，主要表现在：炉内温度分布不均导致沉积速度低并且不均匀，碳源气经过沉积炉后的废气热值很高、因为环保原因必须进行废气焚烧处理，废气焚烧形成的热量回收效率低，而沉积炉的热源仍然采用电加热，需要消耗大量的电能，这不仅增加了设备成本(采用电加热需要采用大型变压器)，而且增加了系统生产的碳排放。

发明内容

本发明的目的在于提供燃气加热沉积炉及系统，将沉积炉的加热方式改为燃气辐射管形式，燃料以沉积炉尾气为主，天燃气为辅，这样既节省了大量电能，又将沉积炉尾气作为热源对沉积炉进行加热，同时燃气辐射管出来的燃烧烟气对碳源气进行预热，真正做到沉积炉系统的节能环保。

燃气加热沉积炉，包括炉体以及用于给炉体内的待增密物件进行加热的加热装置，所述加热装置包括伸入炉体内部用于散热的至少一个辐射管以及通过燃烧出气管中的尾气给所述辐射管加热的燃烧器。

进一步地，所述辐射管一端为置于炉体内腔的封闭末端，另一端为穿透炉体的开口端；所述燃烧器为连接在所述开口端的烧嘴，烧嘴通过开口端伸入辐射管中。

进一步地，所述烧嘴包括燃气内管、套设在所述燃气内管外的空气外管以及烧嘴通道，所述燃气内管用于与出气管连通，所述烧嘴通道分别与空气外管出风口、燃气内管连通并延伸至辐射管内。

进一步地，所述烧嘴通道包括柱状部，所述柱状部的一端与空气外管连接，另一端呈锥形凸起形成有用于混合燃气与空气的锥形部。

进一步地，所述空气外管与开口端之间还安装有烟气管，所述烟气管上设置有烟气出口，所述空气外管与烟气管的顶部、烟气管的底部与开口端之间分别通过法兰连接。

进一步地，所述辐射管内设置有套管，所述套管内形成有贯穿的燃烧通道，所述燃烧通道与烧嘴通道相连通。

进一步地，所述烟气管与柱状部之间形成有第一环形间隙，所述辐射管与套管之间形成有第二环形间隙，所述第一环形间隙与第二环形间隙连通。。

一种燃气加热沉积炉系统，包括燃气加热沉积炉，还包括尾气循环管以及设置在尾气循环管上的尾气净化装置，所述尾气循环管一端连接于所述炉体的出气口，另一端连接于所述燃气内管的进气口，用于循环利用炉体内化学气相沉积反应后的尾气，所述尾气净化装置包括一级尾气净化设备，用于去除尾气中的腐蚀性气体与降温；二级尾气净化设备，用于去除尾气中的粉尘和油雾。

进一步地，还包括烟气预热管以及设置在烟气预热管上的预热装置，用于对将要进入炉体内的化学气体进行预热，所述预热装置一端连接所述烟气管的烟气出口，另一端用于烟气排放。

进一步地，所述尾气循环管上还连通有燃气供给管，所述尾气循环管上设置有尾气切断阀，用于控制化学气相沉积反应后经尾气净化装置净化后的尾气的通断，所述燃气供给管上设置有燃气切断阀，用于控制燃气的通断。

本发明具有的有益效果：

本发明燃气加热沉积炉及系统为封闭循环式反应系统，该系统具有尾气净化装置和预热装置，通过调节尾气净化装置的尾气切断阀门，来控制循环尾气量的通断，当循环尾气不足时，尾气循环管上的燃气低压开关动作，通过调节燃气供给管上设置有燃气切断阀通过调节天燃气的通断来控制加入的新鲜气体的流量和比例。通过将沉积炉排出的尾气作为加热燃气，节约电能的同时，提高尾气的利用率，并同时解决了尾气排放的问题。

2、将原有的电加热装置替换为燃气辐射管加热，以沉积炉内排出的尾气作为燃气来源之一，与空气进行混合，进而实现对沉积炉内的待增密物件进行化学气相沉积反应，当燃气与空气在燃气辐射管内燃烧通道内加热时，所述燃烧废气将一部分热量通过其表面散发出去后，高温烟气从燃气辐射管与烧嘴之间的环形空隙排出(在流经该环形空隙过程中，高温烟气通过辐射管烧嘴将一部分热量传递给辐射管烧嘴的助燃空气，高温废气温度降低、烧嘴的助燃空气温度升高，从而实现烧嘴助燃空气的自身预热，实现燃烧废气的第一次余热回收)，形成辐射管系统的燃烧废气；同时在本系统中，为每台沉积炉配置一台炭源气预热器，将单台沉积炉的所有辐射管高温废气汇集到一起，再通入炭源气预热器，将其中的大部分热量传递给炭源气，自身温度降低后通过烟囱排到大气中，沉积炉所需的炭源气通过炭源气预热器后，温度升高，然后通入沉积炉，将炭源气预热后再通入沉积炉，有效提高了沉积炉底部的温度，促进沉积炉底部温度的均匀性。

附图说明

图1为本发明的现有技术结构示意图；

图2为本发明的燃气加热沉积炉系统结构示意图；

图3为本发明的烧嘴部分放大结构示意图；

附图标记：1-炉体，2-电加热部件，3-碳纤维辐射罩，4-托板，5-待渗碳物件，6-沉积炉盖，7-工艺废气排放口，8-焦油冷凝器，9-过滤器，10-第一泵，11-废气焚烧炉，12-热回收器，13-烟囱，14-碳源气均风板，15-集气装置，16-出油器，17-第二泵，18-尾气切断阀，19-燃气切断阀，20-燃气低压开关，21-烧嘴前燃气管路系统，22-烧嘴，23-烧嘴前助燃空气管路系统，24-预热装置，25-辐射管，26-助燃风机，221-燃气内管，222-空气外管，223-烟气管，224-烧嘴通道，224a-柱状部，224b-锥形部，27-套管。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本发明作进一步的详细说明，但本发明的实施方式不限于此。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖向”、“纵向”、“侧向”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“开有”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例1

燃气加热沉积炉，包括炉体1以及用于给炉体1内的待增密物件进行加热的加热装置，所述炉体1上部设置有贯穿至炉体1内腔的出气口，所述加热装置包括伸入炉体1内部用于散热的至少一个辐射管25以及通过燃烧出气管中的尾气给所述辐射管25加热的燃烧器。

在一种实施例中，所述辐射管25一端为置于炉体1内腔的封闭末端，另一端为穿透炉体1的开口端；所述燃烧器为连接在所述开口端的烧嘴22，烧嘴22通过开口端伸入辐射管25中。

具体的，所述烧嘴22包括燃气内管221、套设在所述燃气内管221外的空气外管222以及烧嘴通道224，所述燃气内管221用于与出气管连通，所述烧嘴通道224分别与空气外管222出风口、燃气内管221连通并延伸至辐射管25内。

具体的，所述烧嘴通道224包括柱状部224a，所述柱状部224a的一端与空气外管222连接，另一端呈锥形凸起形成有用于混合燃气与空气的锥形部224b。

具体的，所述燃气内管221位于空气外管222内的端部上设置有喷嘴。

具体的，所述空气外管222、燃气内管221、烧嘴通道224的中心轴线重合。

在一种实施例中，所述辐射管25内设置有套管27，所述套管27内形成有贯穿的燃烧通道，所述燃烧通道与烧嘴通道224相连通。

在一种实施例中，所述套管27至少设置有一个连接体，连接体的下部设置有缩径段。

具体的，所述套管27为陶瓷耐火焰套管27。

在一种实施例中，所述空气外管222与开口端之间还安装有烟气管223，所述烟气管223上设置有烟气出口，所述空气外管222与烟气管223的顶部、烟气管223的底部与开口端之间分别通过法兰连接。

具体的，所述烟气管223与柱状部224a之间形成有第一环形间隙，所述辐射管25与套管27之间形成有第二环形间隙，所述第一环形间隙与第二环形间隙连通。

具体的，所述空气外管222底部设置有第一连接法兰，所述烟气管223的顶部设置有上连接法兰，所述的空气外管222、烟气管223之间通过第一连接法兰、上连接法兰相连接。

具体的，所述烟气管223的底部设置有下连接法兰，所述的开口端设置有第二连接法兰，所述烟气管223、开口端之间通过下连接法兰、第二套管27连接法兰相连接。

燃气加热沉积炉的工作过程为，当沉积炉内尾气进入到加热装置时，加热装置包括辐射管25与烧嘴22，烧嘴22包括一个烧嘴通道224，一个燃气内管221，一个空气外管222，一个烟气排出管。尾气由燃气内管221进入烧嘴通道224，助燃气(空气)通过空气外管222进入烧嘴通道224；在烧嘴通道224内，燃气与助燃气体发生燃烧化学反应，燃烧产生的烟气由烧嘴通道224出口进入辐射管25内套管27的燃烧通道内。烟气与套管27进行热交换，套管27一端与烧嘴22连通，使燃气在套管27内燃烧，燃烧后的烟气由管子的另一端排出，经套管27外壁与辐射管25内壁之间的第一环形间隙，进入烟气管223内壁与柱状部224a之间形成的第二环形间隙，并对柱状部224a内的空气进行一次预热，烟气经烟气管223的烟气出口流出进入烟气预热管，流经预热装置24内，对预热装置24内的炭源气进行一次预热。预热装置24为现有的热传导装置，如一种热传导管，管的一侧表面上端固定连接有第一出口，且管的另一侧表面下端固定连接有第二出口，所述管的上端固定连接有上连接管，且管的下端固定连接有下连接管，所述外冷凝管的内部设置有与上连接管、下连接管连通的内冷凝管。上连接管、下连接管以及内冷凝管用于传输炭源气，管内传输烟气从而实现热传递。

实施例2

一种燃气加热沉积炉系统，包括燃气加热沉积炉，还包括尾气循环管以及设置在尾气循环管上的尾气净化装置，所述尾气循环管一端连接于所述炉体1的出气口，另一端连接于所述燃气内管221的进气口，用于循环利用炉体1内化学气相沉积反应后的尾气。

具体的，还包括烟气预热管以及设置在烟气预热管上的预热装置24，用于对将要进入炉体1内的化学气体进行预热，所述预热装置24一端连接所述烟气管223的出气口，另一端用于烟气排放。

具体的，所述尾气循环管上还连通有燃气供给管，所述尾气循环管上设置有尾气切断阀18，用于控制化学气相沉积反应后经尾气净化装置净化后的尾气的通断，所述燃气供给管上设置有燃气切断阀19，用于控制燃气的通断。

具体的，所述尾气净化设备包括一级尾气净化设备，用于去除尾气中的腐蚀性气体与降温；二级尾气净化设备，用于去除尾气中的粉尘和油雾。

现有技术中沉积炉系统主要包含炉体1、电加热部件2、碳纤维辐射罩3、炉盖、炭源气均风板，待渗碳物件5(如坩埚)置于托架上后有规则地层层码放在炉膛炭源气均风板上方，炭源气进入炉膛后在高温下热解并在碳纤维内部沉积，填充待渗碳物件5中的空隙，从而形成高性能的碳碳复合材料。炭源气在炉膛内通过化学反应将其中一部分炭沉积到待渗碳物件5后，剩余尾气(成分较为复杂，比如H2,N2,焦油及一些相关烃类物质)则由第一泵10通过炉盖上面的工艺废气排放口7抽出，沉积炉中的尾气从工艺废气排放口7排出后，先通过焦油冷凝器8进行冷却、然后经过滤器9进入第一泵10排出。

由于从第一泵10抽出的剩余尾气中含有H2、焦油及一些烃类温室气体，直接排放会造成环境污染，需要进行环保处理，对于目前市面上普遍存在的沉积炉常规加热工艺，对该剩余尾气的处理基本都是采用高温焚烧方式：将该剩余尾气作为燃料在废气焚烧炉11内进行高温焚烧，焚烧后的高温废气经过热回收器12后排入烟囱13，而相关厂家对热回收器12回收的热量很难找到合适的利用方式。

而本发明的沉积炉加热工艺在保证其主体工艺基本不变的前提下，改变了剩余尾气的热量回收方式，具体如下：

车间内由第一泵10抽出所有沉积炉的剩余尾气并依次经过焦油冷凝器8进行冷却、经过滤器9过滤后进入第一泵10排出通入汇集装置、然后通过除油器清除大部分的液体油脂(如焦油)，再经过第二泵17将除油后的剩余尾气加压到合适的压力(该压力值根据后续辐射管25烧嘴22系统所需的燃气压力确定)，经过尾气切断阀18后进入烧嘴前燃气管路系统21(燃气管路系统用于对烧嘴22前的燃气进行调/稳压、安全切断、及流量调节)，然后再进入烧嘴22的燃气内管221；助燃风机26从大气中抽取一定量的新鲜空气增压后通过烧嘴前助燃空气管路系统23(用于调节进入烧嘴22的空气流量)也进入烧嘴22的空气外管222，剩余尾气及助燃空气在烧嘴22内进行混合并点燃，在直线型辐射管25内燃烧，将辐射管25加热并将其中很大一部分热量通过其表面以辐射加热的方式散发出去，直线型辐射管25安装在沉积炉原有电加热装置所处的空间，让辐射管25表面散发出去的热量等效代替原有的电加热所提供的热量。辐射管25内的燃烧废气将一部分热量通过其表面散发出去后，高温烟气从辐射管25与烧嘴22之间的环形空隙排出(在流经该环形空隙过程中，高温烟气通过辐射管25烧嘴22将一部分热量传递给辐射管25烧嘴22的助燃空气，高温废气温度降低、烧嘴22的助燃空气温度升高，从而实现烧嘴22助燃空气的自身预热，实现燃烧废气的第一次余热回收)，形成辐射管25的燃烧废气；同时在本系统中，为每台沉积炉配置一台炭源气预热装置24，将单台沉积炉的所有辐射管25高温废气汇集到一起，再通入炭源气预热装置24，将其中的大部分热量传递给炭源气，自身温度降低后通过烟囱13排到大气中，沉积炉所需的炭源气通过炭源气预热装置24后，温度升高，然后通入沉积炉，将炭源气预热后再通入沉积炉，有效提高了沉积炉底部的温度，这样既有效减少炭源气在沉积炉内产生的焦油量，又使沉积炉内温度更加均匀，待渗碳物件5表面碳沉积的均匀性。

在沉积炉的升温阶段，由于还没有沉积尾气产生，烧嘴22的燃料采用纯天燃气代替，具体做法是：尾气切断阀18置于关闭状态、开启燃气切断阀19，烧嘴22燃烧一定量的天燃气将沉积炉炉膛温度升高到沉积工艺温度，当沉积尾气产生后，开启尾气切断阀18、然后再慢慢关闭燃气切断阀19，直到完全切断，如果在工艺操作过程中，沉积尾气压力不够导致燃气低压开关20动作或者沉积尾气的热量不能满足沉积炉的热量需求时，可以将燃气切断阀19打开，向沉积尾气中适当补充一定量的天燃气。

图1是本发明一个实施例提出的燃气加热沉积系统的结构示意图，如图1所示，本发明实施例提出的燃气加热沉积系统包括燃气加热沉积炉的炉体1。

需要说明的是，本发明实施例对沉积炉的炉体1不做具体的限制，只要能实现化学气相沉积即可。常见的沉积炉主要包括包含炉体1、加热部件、碳纤维辐射罩3、炉盖、炭源气均风板。

进一步的，本发明实施例的燃气加热沉积系统还包括：

尾气净化装置，一端连接于所述炉体1的排气口，另一端连接于燃烧器的燃气内管221进气口，用于循环利用化学气相沉积反应后的尾气，其中，所述尾气净化装置包括尾气净化设备和燃气供给设备；

烧嘴前助燃空气管路系统23，连接于燃烧器空气外管222的进气口，用于为燃烧器供给新鲜气体；

本发明实施例中，尾气净化装置通过尾气循环管实现尾气的循环利用，尾气循环管的一端连接于炉体1的排气口，尾气循环管的另一端连接于燃烧器燃气内管221的进气口，用于将化学气相沉积的尾气导出炉体1，经处理后，再回到燃烧器。烧嘴前助燃空气管路系统23通过新鲜气体供给管为燃烧器的空气外管222提供新鲜气体，新鲜气体供给管连接于燃烧器的空气外管222的进气口。

本发明实施例中，净化设备为第一净化设备，设在尾气循环管上，用于去除尾气中的腐蚀性气体，并降低尾气的温度。所述第一净化设备包括焦油冷凝器8及过滤器9。

较佳的，第一净化设备连接在炉体1的排气口处的尾气循环管上，化学沉积反应的尾气从炉体1的排气口抽出后，先进入第一净化设备中，尾气经第一净化设备的净化，除去尾气中的腐蚀性气体，同时起到降低尾气温度的作用。第一净化设备连接在炉体1的排气口处使尾气得到初步的净化，除去尾气中的腐蚀性气体，防止尾气腐蚀后面的设备或管道，延长系统的使用寿命。

需要说明的是，本发明实施例对第一净化设备不做具体的限制，第一净化设备的目的是：一方面适当降低气体温度，另一方面去除化学反应后可能存在的腐蚀性气体，可以通过化学法、物理法或物理-化学法来达到除去尾气中含有的腐蚀性气体的目的，随沉积反应的不同，生成的气体就不同，所选用的净化方法就会不同，因此，可以根据反应尾气中要除去的气体组分来选择相应的净化方法，以尾气中含氯气为例来进行说明，可用碱溶液(NaOH溶液)吸收法来达到除去氯气的目的。

本发明实施例中，燃气供给设备设在尾气循环管上，用于供给天燃气。该燃气供给设备可设在尾气循环管上第一净化设备之后处，反应后的尾气从炉体1的排气口出来后进入尾气循环管，经过第一净化设备之后，部分天燃气直接从燃气供给设备进入尾气循环管中，本发明实施例并不对燃气供给设备做具体的限制，能够达到供给天燃气的目的即可，可以只包括燃气供给管，或者，该尾燃气供给上可以设有天燃气切断阀19、天燃气泵和天燃气流量控制器中的至少一个，可以根据需要来灵活的选取。

本发明实施例中，该尾气净化装置还包括第一泵10和/或尾气切断阀18和/或尾气流量控制器，设在尾气循环管，用于控制循环气量；烧嘴前助燃空气管路系统23设在新鲜气体供给管上，如需其它新鲜反应气体，可并联更多流量控制器，分别用于控制新鲜的电离气体和新鲜的反应气体的流量和比例，进而控制炉体1内的工作压力，以保证炉体1内的电离气体和反应气体时刻处于稳定状态。

本发明实施例并不对第一泵10和流量控制器做具体的限制，用于控制尾气循环管中气体的流量和压力。第一泵10还可以为机械泵；流量控制器可以选择质量流量控制器、体积流量控制器，优选质量流量控制器。

通过阀门、泵和流量控制器来控制管路中的气体流量和压力是常规手段，所用设备均属于现有技术的成熟产品，本领域技术人员可以根据需要进行自由选择，在此不再详述。

在化学气相沉积系统的运行过程中，可以通过调节第一泵10、尾气切断阀18、燃气切断阀19来控制天燃气供给的流量、循环气体的流量、新鲜气体的流量和炉体1的工作压力。

尾气净化装置还包括：第二净化设备，设在尾气循环管上，用于去除尾气中的粉尘和油雾。需要说明的是，本发明实施例并不对第二净化设备做具体的限制，，第二净化设备可以选择除尘装置，如旋风除尘器、静电除尘器，初步去除尾气中的粉尘和油雾等。

第二净化设备设置在燃气供给设备之前以及在第二净化设备设备之后。第二净化设备包括集气装置15与出油器16。

较佳的，本发明实施例将第二净化设备设置在燃气供给设备之前，可以通过进一步的净化，去除尾气中的粉尘和油雾等，净化后再燃烧能够减少环境污染。

更进一步的，可在燃气供给设备与第二净化设备之间设置第二泵17，进一步为尾气循环提供动力，本发明实施例也不对第二泵17做具体的限定，可以选择真空泵，如机械泵，可以将第一泵10设置为一级泵，将第二泵17设置为二级泵。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，依据本发明的技术实质，在本发明的精神和原则之内，对以上实施例所作的任何简单的修改、等同替换与改进等，均仍属于本发明技术方案的保护范围之内。

Claims (10)

1.燃气加热沉积炉，包括炉体(1)以及用于给炉体(1)内的待增密物件进行加热的加热装置，其特征在于，所述加热装置包括伸入炉体(1)内部用于散热的至少一个辐射管(25)以及通过燃烧出气管中的尾气给所述辐射管(25)加热的燃烧器。

2.根据权利要求1所述的燃气加热沉积炉，其特征在于，所述辐射管(25)一端为置于炉体(1)内腔的封闭末端，另一端为穿透炉体(1)的开口端；所述燃烧器为连接在所述开口端的烧嘴(22)，烧嘴(22)通过开口端伸入辐射管(25)中。

3.根据权利要求2所述的燃气加热沉积炉，其特征在于，所述烧嘴(22)包括燃气内管(221)、套设在所述燃气内管(221)外的空气外管(222)以及烧嘴通道(224)，所述燃气内管(221)用于与出气管连通，所述烧嘴通道(224)分别与空气外管(222)出风口、燃气内管(221)连通并延伸至辐射管(25)内。

4.根据权利要求3所述的燃气加热沉积炉，其特征在于，所述烧嘴通道(224)包括柱状部(224a)，所述柱状部(224a)的一端与空气外管(222)连接，另一端呈锥形凸起形成有用于混合燃气与空气的锥形部(224b)。

5.根据权利要求4所述的燃气加热沉积炉，其特征在于，所述空气外管(222)与开口端之间还安装有烟气管(223)，所述烟气管(223)上设置有烟气出口，所述空气外管(222)与烟气管(223)的顶部、烟气管(223)的底部与开口端之间分别通过法兰连接。

6.根据权利要求5所述的燃气加热沉积炉，其特征在于，所述辐射管(25)内设置有套管(27)，所述套管(27)内形成有贯穿的燃烧通道，所述燃烧通道与烧嘴通道(224)相连通。

7.根据权利要求6所述的燃气加热沉积炉，其特征在于，所述烟气管(223)与柱状部(224a)之间形成有第一环形间隙，所述辐射管(25)与套管(27)之间形成有第二环形间隙，所述第一环形间隙与第二环形间隙连通。

8.一种燃气加热沉积炉系统，其特征在于，包括：权利要求1～7任意一项所述的燃气加热沉积炉，还包括尾气循环管以及设置在尾气循环管上的尾气净化装置，所述尾气循环管一端连接于所述炉体(1)的出气口，另一端连接于燃气内管(221)的进气口，用于循环利用炉体(1)内化学气相沉积反应后的尾气，所述尾气净化装置包括一级尾气净化设备，用于去除尾气中的腐蚀性气体与降温；二级尾气净化设备，用于去除尾气中的粉尘和油雾。

9.根据权利要求8所述的燃气加热沉积炉系统，其特征在于，还包括烟气预热管以及设置在烟气预热管上的预热装置(24)，用于对将要进入炉体(1)内的化学气体进行预热，所述预热装置(24)一端连接烟气管(223)的烟气出口，另一端用于烟气排放。

10.根据权利要求9所述的燃气加热沉积炉系统，其特征在于，所述尾气循环管上还连通有燃气供给管，所述尾气循环管上设置有尾气切断阀(18)，用于控制化学气相沉积反应后经尾气净化装置净化后的尾气的通断，所述燃气供给管上设置有燃气切断阀(19)，用于控制燃气的通断。

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