CN115026485B - 一种半导体生产用线材的导向器 - Google Patents

Abstract

本申请涉及半导体生产设备技术领域，提供一种半导体生产用线材的导向器，用于输送半导体生产用的线材，线材穿设在引线导管中，其中导向器包括：导向装置，其上开设有导向通道，引线导管位于导向通道内，导向装置通过在导向通道内通气而将引线导管限位于导向通道的中间；冷却装置，其内设置有传输通道，线材穿设在传输通道内，并通过传输通道外的气体对线材进行冷却；导气装置，其连接导向装置和冷却装置，并将经过导向装置的气体进行导流并散热；散热装置，其设置在导向装置和冷却装置的一侧，并连通冷却装置和导向装置，并将经过冷却装置的气体输送到导向装置中。解决焊接前的线材温度过高的问题，实现气体的循环使用，节约生产成本。

Description

一种半导体生产用线材的导向器

技术领域

本申请涉及半导体元器件加工技术领域，更具体地说，是涉及一种半导体生产用线材的导向器。

背景技术

大功率半导体晶体管在生产过程中，为了提高产品的性能及竞争力，提高芯片与框架的粘接性能，降低粘接面的焊接空洞、虚焊等芯片粘接质量问题，目前采用的是点焊料生产工艺，通过线材作为焊料不断输入到焊接位置进行点焊。

粘片过程中通过加热底板产生高温，将焊料熔接到框架基岛表面，此时加热底板表面的温度会对传送过程的线材造成温度影响，会影响线材传送过程的稳定性，由于高温而引起线材的融化、氧化等问题。而且线材需要利用导向装置对引线导管进行导向，现有的导向装置只采用引线导管，线材通过导向装置的过程当中，容易接触到导向装置的内边缘，导致存在摩擦；摩擦会使得线材外表面被刮伤形成刮痕造成质量隐患，同时，在摩擦过程中引线导管容易被磨损造成损坏；再者，相互摩擦容易产生碎屑异物，会沾到电路板上或沾到芯片的表面，影响了产品质量。

现有的生产半导体的焊接设备中，由于线材与导管之间的摩擦而导致线材刮伤、导向部分易摩擦，且产生碎屑而影响到产品质量；由于焊接前的线材温度过高而导致线材融化、氧化等问题而影响到产品质量。

因此，现有技术还有待于改进和发展。

发明内容

本申请的目的在于提供一种半导体生产用线材的导向器，解决现有技术中由于引线导管的摩擦而导致导向部分易摩擦受力而使设备压力输出不足，且产生碎屑而影响到产品质量，由于焊接前的线材温度过高而导致线材融化、氧化等问题而影响到产品质量的问题。

为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：

本申请提供一种半导体生产用线材的导向器，用于输送半导体生产用的线材，线材穿设在引线导管中，其中导向器包括：

导向装置，导向装置上开设有导向通道，引线导管位于导向通道内，导向装置通过在导向通道内通气而将引线导管限位于导向通道的中间；

冷却装置，冷却装置内设置有传输通道，线材穿设在传输通道内，并通过传输通道外的气体对线材进行冷却；

导气装置，导气装置连接导向装置和冷却装置，并将经过导向装置的气体进行导流并散热；

散热装置，散热装置设置在导向装置和冷却装置的一侧，并连通冷却装置和导向装置，并将经过冷却装置的气体输送到导向装置中。

在一个实施例中，导向装置包括：

第一进风通道，第一进风通道与散热装置相连接，并用于输入气体；

第一空腔，第一空腔设置在导向通道上，并与第一进风通道相连通；

第一导向部，第一导向部上贯穿开设有第一定中孔，第一定中孔与导向通道同心设置，第一导向部的周向对称分布有出气口，出气口连通第一空腔和第一定中孔；

引线导管穿设在第一定中孔中。

在一个实施例中，第一导向部包括：若干导向块，相邻的导向块之间形成出气口，若干导向块围成第一定中孔。

在一个实施例中，导气装置内贯穿设置有导气通道，导气通道的一端连接第一定中孔的下端，另一端连接传输通道，引线导管穿设在导气通道内；

导气装置还包括：第二空腔，第二空腔设置在导气通道背离导向装置的一端；

第二导向部，第二导向部上贯穿开设有第二定中孔，第二定中孔与导气通道同心设置，第二导向部的周向对称分布有进气口，进气口连通第二空腔和第二定中孔；

第一出风通道，第一出风通道连通第二空腔，并用于抽出第二空腔内的气体。

在一个实施例中，导气装置还包括：散热圆片，散热圆片沿上下方向间隔设置在导气通道的外侧。

在一个实施例中，冷却装置包括：沿上下方向依次设置在传输通道外侧的进气腔、出气腔、换气腔，进气腔与换气腔之间连通有第一气道，换气腔与出气腔之间连通有第二气道，在进气腔设置冷却进气口，在出气腔设置冷却出气口。

在一个实施例中，散热装置包括：

散热本体，散热本体内设置有散热流道，散热流道连通冷却出气口和第一进风通道；

散热鳍片，散热鳍片设置在散热本体上，并位于散热流道的外侧。

在一个实施例中，冷却进气口上通过管道连接有循环气泵，循环气泵通过管道连接第一出风通道。

在一个实施例中，循环气泵与第一出风通道之间的管道上连接有换向电磁阀，换向电磁阀用于将第一出风通道连通循环气泵，或者将外部冷却空气连通循环气泵。

在一个实施例中，散热流道和冷却出气口之间连通有调压阀。

本申请提供的一种半导体生产用线材的导向器的有益效果至少在于：通过将线材穿设在引线导管中，且将引线导管置于导向通道内，并在导向通道内通气使引线导管位于导向通道的中间位置，不与通道的边缘进行接触，利用气流的作用将引线导管限定在导向通道的中间位置，从而避免了与导向装置的实体部分接触而导致设备压力输出不足，而且不会产生摩擦现象，避免了产生线材被刮伤和碎屑而影响到产品质量。通过将进行导向后的线材穿设过冷却装置，传输通道与导向通道相通并可同心设置，线材在传输通道内被传送的过程中被冷却，实现了对传输通道内的线材的充分冷却，降温效果好，使线材既实现了在传输通道的中间位置进行输送，也实现冷却效果，避免了焊接前的线材温度过高而导致线材融化、氧化等问题而影响到产品质量。通过冷却装置内的冷气对传输通道内的线材进行冷却后进入到散热装置，散热装置将冷气输送到导向装置，并在输送过程中对冷气进行散热，使冷却的气体在带出冷却装置中的线材的热量后，可以将热量及时散热，并再次进入到导向装置，通过该气体所产生的气流对引线导管进行包围而使引线导管在周围气流的作用下被限定在导向通道的中间位置，在导向装置中可以实现对线材的再次冷却，从而使输送的冷气被充分利用，节约了能源。通过在导向装置和冷却装置之间设置导气装置，引线导管穿设过导气装置，并可以使从导向装置中所流出的冷气沿着导气装置进行流动，由于导向装置有一定的延伸距离，在导向装置内的气流可以对位于导气装置内的引线导管进行作用，使线材能稳定地在导向装置内输送到冷却装置中，且该段距离内冷气对线材持续降温，保证了在焊接前线材稳定位于通道中间移动，从而不会与各部件产生摩擦以及得到足够冷却降温，提高了生产质量。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的一种用半导体生产用线材的导向器的主要结构示意图；

图2为本申请实施例提供的一种半导体生产用线材的导向器的主要结构的爆炸图；

图3为图2的A部放大图；

图4为本申请实施例提供的一种半导体生产用线材的导向器的冷却装置的气体流向示意图；

图5为本申请实施例提供的一种半导体生产用线材的导向器的散热装置的爆炸图；

图6为本申请实施例提供的一种半导体生产用线材的导向器的导气装置的第二种结构的爆炸图；

图7为图6的B部放大图；

图8为本申请实施例提供的一种半导体生产用线材的导向器的导气装置的第二种结构的剖视图；

图9为本申请实施例二提供的一种半导体生产用线材的导向器的第二种结构的结构示意图。

其中，图中各附图标记：

100、引线导管；200、导向装置；210、导向部本体；211、导向通道；220、第一进风通道；221、第一进风支路；222、缓存气腔；230、第一空腔；240、第一导向部；241、第一定中孔；242、导向块；243、出气口；300、导气装置；310、导气管主体；320、导气通道；330、排气孔；340、第二空腔；341、第二导向部；342、第一出风通道；343、进气口；344、第二定中孔；400、冷却装置；410、冷却部本体；411、传输通道；420、进气腔；421、冷却进气口；430、出气腔；431、冷却出气口；440、换气腔；450、第一气道；460、第二气道；500、散热装置；510、散热本体；511、散热流道；520、散热鳍片；530、温度感应器；531、压力感应器；532、导管开关；600、换向电磁阀；610、调压阀；620、循环气泵；700、过滤部。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当部件被称为“固定于”或“设置于”另一个部件，它可以直接或者间接位于该另一个部件上。当一个部件被称为“连接于”另一个部件，它可以是直接或者间接连接至该另一个部件上。术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置为基于附图所示的方位或位置，仅是为了便于描述，不能理解为对本技术方案的限制。术语“第一”、“第二”仅用于便于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明技术特征的数量。“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1，图2；本实施例的提供一种半导体生产用线材的导向器，应用在半导体生产工艺，特别是大功率半导体晶体管的点焊料生产工艺中，具体用于输送半导体生产用的线材，线材穿设在引线导管100中，引线导管100置于导向器内，使线材到达焊接位置用于焊接。其中导向器沿上下方向设置，使线材沿上下方向输送，导向器沿上下方向依次包括：导向装置200，导气装置300，以及冷却装置400；另外在导向装置200和导气装置300的一侧还设置有散热装置500。如图1、图2、图8所示，导向装置200上开设有导向通道211，导向通道211沿上下方向贯通导向装置200，引线导管100位于导向通道211内，导向装置200通过在导向通道211内通气而将引线导管100限位于导向通道211的中间。导气装置300连接导向装置200和冷却装置400，并将经过导向装置200的气体进行导流并散热；从导向通道211内流出的气体大部分进入到导向装置200，且穿过导向装置200的引线导管100内的线材也贯穿导气装置300进入到冷却装置400，进入到导气装置300内的气体对引线导管100进行稳定的导向作用，且对线材进行冷却。如图1、图2、图4所示，冷却装置400内设置有传输通道411，线材从导气装置300内穿出并穿设在传输通道411内，冷却装置400通有冷却气体，并通过传输通道411外的冷却气体对线材进行冷却，从而使线材从导向通道211一直到传输通道411均可进行冷却，以及线材在周围气流的作用下被限定在传输通道411的中间位置进行传输。线材从传输通道411内穿出后进入到焊接区域。位于一侧的散热装置500连通冷却装置400和导向装置200，并将经过冷却装置400的冷却气体输送到导向装置200中。这样气体经传输通道411的外侧后进入到散热装置500，再经散热装置500进入到导向装置200的导向通道211，进而进入到导气装置300，进入到导气装置300的冷却气体可以实现两种流向：其一是可通过导气装置300进行输出，或者其二是可进入到冷却装置400的传输通道411内，传输通道411排出。

通过将线材穿设在引线导管100中，且将引线导管100置于导向通道211内，并在导向通道211内通气使引线导管100位于导向通道211的中间位置，不与通道的边缘进行接触，利用气流的作用将引线导管100限定在导向通道211的中间位置，从而避免了引线导管100与导向装置200的实体部分接触而导致设备压力输出不足，而且不会产生摩擦现象，避免了产生碎屑而影响到产品质量。通过将进行导向后的线材穿设过冷却装置400，传输通道411与导向通道211相通并可同心设置，线材在传输通道411内被传送的过程中被冷却，实现了对传输通道内的线材的充分冷却，降温效果好，使线材既实现了在传输通道411的中间位置进行输送，也实现冷却效果，避免了焊接前的线材温度过高而导致线材融化、氧化等问题而影响到产品质量。通过冷却装置400内的冷气对传输通道内的线材进行冷却后进入到散热装置500，散热装置500将冷气输送到导向装置200，并在输送过程中对冷气进行散热，使冷却的气体在带出冷却装置400中的线材的热量后，可以将热量及时散热，并再次进入到导向装置200，通过该气体所产生的气流对引线导管100进行包围而使引线导管100在周围气流的作用下被限定在导向通道211的中间位置，在导向装置200中可以实现对线材的再次冷却，从而使输送的冷气被充分利用，节约了能源。通过在导向装置200和冷却装置400之间设置导气装置300，引线导管100穿设过导气装置300，并可以使从导向装置200中所流出的冷气沿着导气装置300进行流动，由于导向装置200有一定的延伸距离，在导向装置200内的气流可以对位于导气装置300内的引线导管100进行作用，使线材能稳定地在导向装置200内输送到冷却装置400中，且该段距离内冷气对线材持续降温，保证了在焊接前线材稳定位于通道中间移动，从而不会与各部件产生摩擦以及得到足够冷却降温，提高了生产质量。

如图1、图2、图3所示，本实施例中的导向装置200具体包括：导向部本体210，在导向部本体210内开设的第一进风通道220、第一空腔230、以及第一导向部240。第一进风通道220与散热装置500相连接，并用于输入气体。第一空腔230设置在导向通道211上，并与第一进风通道220相连通；具体为第一空腔230设置在导向部本体210的中间，导向通道211与第一空腔230同心设置，第一导向部240位于第一空腔230内，第一导向部240上贯穿开设有第一定中孔241，第一定中孔241与导向通道211同心设置，第一导向部240的周向对称分布有出气口243，出气口243连通第一空腔230和第一定中孔241。通过在第一导向部240上设置出气口243，当引线导管100穿设在第一定中孔241内时，气体从第一进风通道220进入第一空腔230内，然后从各个出气口243排出到第一定中孔241内，由于出气口243是对称形式，因此引线导管100在第一定中孔241和导向通道211中通过时，气流与引线导管100之间的作用力是一种平衡力，从而确保引线导管100在导向通道211中通过的过程中，不会与边缘发生摩擦。

如图2、图3所示，本实施例中的第一导向部240具体包括：若干导向块242，相邻的导向块242之间形成出气口243，若干导向块242围成第一定中孔241，使第一定中孔241类似于圆形或方形，引线导管100穿设在第一定中孔241内。出气口243的数量为大于或等于四的偶数，出气口243为轴对称方式排列，为偶数阵列，在保证排气通畅的条件下，尽量设置出气口243的孔径越小，确保小孔出气，出气口243为圆形或方形，本实施例的出气口243为方形。若干导向块242与第一空腔230之间形成环形通道，环形通道与所有出气口243相连通，并与第一进风通道220相连通。为使各出气口243的气流更均匀，第一进风通道220包括至少两个第一进风支路221，缓存气腔222。两侧的第一进风支路221的一端连通所述第一空腔230，且两侧的第一进风支路221对称设置，两侧的第一进风支路221的另一端均连接到缓存其腔222，缓存气腔连通到散热装置500。散热装置500所输送的冷气到缓存气腔中进行缓存，减小气体的冲击力，然后再从两侧的第一进风支路进入到第一空腔230中，并均匀的通过出气口243进入到第一定中孔241中，作用于引线导管100上。本实施例中的进气口343大于出气口243，由注入大于排出，使得气体在第一空腔230内部形成一定的气体压力差，保证输出气体的强度。由于导向装置200中的导向通道211开设在第一空腔230的中间底部，通过导向通道211连接到下方的导气装置300，进入到第一空腔230中的气体可以进入到导气装置300。在导向装置200上设置安装通孔，安装通孔通过螺丝与铝线压焊机固定连接。

若干导向块242的上端面通过粘合胶与第一空腔230的顶面进行固定连接，若干导向块242的下端面通过粘合胶与第一空腔230的底面进行固定连接。从而使第一导向部240能稳定的固定在第一空腔230内。

如图1、图2、图4所示，通过导气装置300对引线导管100进行导向，可以使线材进入到冷却装置400，本实施例中的冷却装置400具体包括：冷却部本体410，传输通道411位于在冷却部本体410内。还包括位于冷却部本体410内且沿上下方向依次设置在传输通道411外侧的进气腔420、出气腔430、换气腔440，进气腔420与换气腔440之间连通有第一气道450，换气腔440与出气腔430之间连通有第二气道460，在进气腔420设置冷却进气口421，在出气腔430设置冷却出气口431。冷却进气口421位于冷却出气口431的下方，这样冷气从冷却进气口421进入到进气腔420，并在进气腔420内形成气流环流并通过第一气道450到达换气腔440内，与此同时对传输通道411进行冷却作用；新的冷气不断补充，使得已使用的冷气从第一气道450的末端排出，从而使得换气腔440内的气体向出气腔430方向排出，由于第一气道450的末端伸入换气腔440内，使得气体的流动为U型的走向，再加上第二气道460形成了一个收窄的空间，降低气体排出的速度，使得冷气在进气腔420、第一气道450、换气腔440之间停留更长的时间，提高了冷气的利用率，保证了对传输通道411的充分冷却，使线材能充分冷却。

如图1、图2、图5所示，本实施例中的散热装置500具体包括：散热本体510，以及散热鳍片520。散热本体510内设置有散热流道511，散热流道511连通冷却出气口431和第一进风通道220。散热鳍片520设置在散热本体510上，并位于散热流道511的外侧。从冷却出气口431所排出的气体在散热本体510内的散热流道511内进行流动，并进入到导向装置200的第一进风通道220内，在散热本体510内的散热流道511采用蛇形流道，延长散热流道511的距离，从而使气体在散热流道511内的流动时间变长，散热本体510上的散热鳍片520及时与外部进行散热，使从冷却装置400中流出的气体进行散热，散热后的气体温度降低并进入到导向装置200内作用在引线导管100，使气体可以对线材的输送环境进行降温，而且使引线导管100在气流的作用下位于导向通道的中间位置进行限位。

如图1、图9所示，同时，本实施例中在散热装置500和导向装置200之间设置有温度感应器530、压力感应器531以及导管开关532，通过温度感应器530和压力感应器531随时观测流向导向装置200的管道内的气体温度与压力数据。并根据实际情况对导管开关532进行控制调整，以保证流入到导向装置200的温度及压力的稳定性。例如温度感应器530和压力感应器531达到一定数值时，自动关闭或者开启导管开关532，保证供给第一进风通道220内的压缩空气的温度及压力的稳定性。

本实施例中的导气装置300连接在导向装置200和冷却装置400之间。具体可以设置两种不同的结构，根据不同的结构形成以下不同的方案。

导气装置300的结构一：（结构一未画出具体结构，其是在结构二的基础上进行简化，可参考结构二的图示，如图1、图2、图6、图7所示）

导气装置300包括导气管主体310，导气管主体310内贯穿设置有导气通道320，导气通道320的一端连接第一定中孔241的下端，另一端连接传输通道411，引线导管100穿设在导气通道320内，线材穿设过引线导管100后进入到传输通道411。传输通道411与导气通道320相通，导气通道320内的气流可以从传输通道411内流出，或者在导气管主体310内设置有排气孔330，排气孔330连通到导气通道320，也可以使导气通道320内的气体从排气孔330内流出。采用该方式，使导气通道320内的气流对引线导管100继续作用，使引线导管100稳定限位在导气通道320的中间位置，不会与边缘内壁相接触而摩擦。

导气装置300的结构二：

如图6、图7、图8所示，导气装置300包括导气管主体310，导气管主体310内贯穿设置有导气通道320，导气通道320的一端连接第一定中孔241的下端，另一端连接传输通道411，引线导管100穿设在导气通道320内。在导气管主体310的下方开设有第二空腔340，第二导向部341，以及第一出风通道342。第二空腔340设置在导气通道320背离导向装置200的一端。第二导向部341上贯穿开设有第二定中孔344，第二定中孔344与导气通道320同心设置，第二导向部341的周向对称分布有进气口343，进气口343连通第二空腔340和第二定中孔344。具体的第一出风通道342设置在导气管主体310的侧壁上，第一出风通道342连通第二空腔340，并用于抽出第二空腔340内的气体。通过抽出第二空腔340中的气体，产生的吸力使空气从导气通道320内的气体进入到第二定中孔内，并经过各个进气口343而进入到第二空腔340中；由于进气口343是对称形式，因此引线导管100在第二定中孔和导向通道211中通过时，气流与引线导管100之间的作用力是一种平衡力，从而确保引线导管100在导气通道320中通过的过程中，不会与边缘发生摩擦。这样就在引线导管100的末端和中段都能通过气流对其进行平衡作用，从而使整个引线导管100能稳定的限位在导向通道211和导气通道320的中间位置。

如图8、图9所示，另外在第一出风通道342的出口处连接有过滤部700，例如过滤部700包括在管道上设置有积灰腔，在积灰腔内设置过滤网。由于第一出风通道342的吸力作用，还可以将引线导管100或者线材上所带入的碎渣、灰尘等通过第一出风通道342吸入到过滤部，避免灰尘进入到焊接位置，从而导致不良。

如图8、图9所示，为节约能源，实现冷却气体的循环利用，在冷却进气口421上通过管道连接有循环气泵620，循环气泵620通过管道连接第一出风通道342。通过循环气泵将第一出风通道342内的气体抽出，并送入到冷却进气口421，使冷却气体进入到冷却装置400，对穿设在冷却装置400中的线材进行冷却，经过冷却装置400后的气体通过冷却出气口431进入到散热本体510的散热流道511中，通过散热鳍片520对散热流道511中的气体进行散热，使气体冷却，冷却后的气体通过第一进风通道220进入到导向装置200内，在导向装置200内对引线导管100进行限位，大部分冷却气体通过导向通道211进入到导气通道320，在导向气通道内进行冷却和限位，使引线导管100保持稳定，再通过第二定中孔进入到进气口343，从进气口343进入到第二空腔340，最后从第一出风通道342流出到循环气泵。实现气体的循环利用过程。这样气体可以在整个循环管道内进行多次循环使用，节约了能源。

如图8、图9所示，本实施例中的循环气泵与第一出风通道342之间的管道上连接有换向电磁阀600，换向电磁阀600用于将第一出风通道342连通循环气泵，或者将外部冷却空气连通循环气泵。换向电磁阀600可以进行换向，对循环气泵的连接方式进行控制。具体结构中，当通过换向电磁阀600连接到循环气泵和第一出风通道342时，使整个管路相通可以实现气体的循环利用。而当需要补充冷却气体时，启动换向电磁阀600，使外部冷却空气连通循环气泵，此时第一出风通道342连通到外部，这样将新的冷却气体输入到管路中，到温度降低到合适时，再调整换向电磁阀600，从而使循环气泵和第一出风通道342连通，实现循环闭路。

在结构一和结构二的基础上，导气装置300还包括：设置在导气管主体310外壁上的散热圆片（图示中未画出），散热圆片沿上下方向间隔设置在导气通道320的外侧。通过散热圆片可以增加导气管主体310与外部空气的接触面积，从而可以实现对导气管主体310的散热，使导气管主体310内的气体的温度散热出去，实现对循环气体的进一步散热，使循环气体能多次使用，更加节能。

如图1、图9所示，另外，在散热流道511和冷却出气口431之间连通有调压阀610。当管道内的气体压力过大，特别是在进入到第一进风通道220内的气体压力过大，可以通过调压阀610进行调节压力，以保证在第一进风通道220内的气压稳定。

综上所述，通过将线材穿设在引线导管100中，且将引线导管100置于导向通道211内，并在导向通道211内通气使引线导管100位于导向通道211的中间位置，不与通道的边缘进行接触，利用气流的作用将引线导管100限定在导向通道的中间位置，从而避免了引线导管100与导向装置200的实体部分接触而导致设备压力输出不足，而且不会产生摩擦现象，避免了产生碎屑而影响到产品质量。通过将进行导向后的线材穿设过冷却装置400，传输通道与导向通道211相通并可同心设置，线材在传输通道内被传送的过程中被冷却，实现了对传输通道内的线材的充分冷却，降温效果好，使线材既实现了在传输通道的中间位置进行输送，也实现冷却效果，避免了焊接前的线材温度过高而导致线材融化、氧化等问题而影响到产品质量。通过冷却装置400内的冷气对传输通道内的线材进行冷却后进入到散热装置500，散热装置500将冷气输送到导向装置200，并在输送过程中对冷气进行散热，使冷却的气体在带出冷却装置400中的线材的热量后，可以将热量及时散热，并再次进入到导向装置200，通过该气体所产生的气流对引线导管100进行包围而使引线导管在周围气流的作用下被限定在导向通道的中间位置，在导向装置200中可以实现对线材的再次冷却，从而使输送的冷气被充分利用，节约了能源。通过在导向装置200和冷却装置400之间设置导气装置300，引线导管100穿设过导气装置300，并可以使从导向装置200中所流出的冷气沿着导气装置300进行流动，由于导向装置200有一定的延伸距离，在导向装置200内的气流可以对位于导气装置300内的引线导管100进行作用，使线材能稳定地在导向装置200内输送到冷却装置400中，且该段距离内冷气对线材持续降温，保证了在焊接前线材稳定位于通道中间移动，从而不会与各部件产生摩擦以及得到足够冷却降温，提高了生产质量。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种半导体生产用线材的导向器，用于输送半导体生产用的线材，线材穿设在引线导管中，其特征在于，包括：

导向装置，所述导向装置上开设有导向通道，所述引线导管位于导向通道内，所述导向装置通过在所述导向通道内通气而将所述引线导管限位于所述导向通道的中间；所述导向装置包括：第一进风通道、第一空腔以及第一导向部；所述第一进风通道用于输入气体；所述第一空腔设置在所述导向通道上，并与所述第一进风通道相连通；所述第一导向部上贯穿开设有第一定中孔，所述第一定中孔与所述导向通道同心设置，所述第一导向部的周向对称分布有出气口，所述出气口连通所述第一空腔和所述第一定中孔；所述引线导管穿设在所述第一定中孔中；所述第一进风通道包括至少两个第一进风支路以及缓存气腔，两侧的所述第一进风支路的一端连通所述第一空腔，且两侧的所述第一进风支路对称设置，两侧的所述第一进风支路的另一端均连接到所述缓存气腔；

冷却装置，所述冷却装置内设置有传输通道，所述线材穿设在传输通道内，并通过传输通道外的气体对所述线材进行冷却；所述冷却装置包括：沿上下方向依次设置在所述传输通道外侧的进气腔、出气腔、换气腔，所述进气腔与所述换气腔之间连通有第一气道，所述换气腔与所述出气腔之间连通有第二气道，在所述进气腔设置冷却进气口，在所述出气腔设置冷却出气口；

导气装置，所述导气装置连接所述导向装置和所述冷却装置，并将经过所述导向装置的气体进行导流并散热；所述导气装置内贯穿设置有导气通道，所述导气通道的一端连接所述第一定中孔的下端，另一端连接所述传输通道，所述引线导管穿设在所述导气通道内；所述导气装置还包括：第二空腔、第二导向部以及第一出风通道，所述第二空腔设置在所述导气通道背离所述导向装置的一端；所述第二导向部上贯穿开设有第二定中孔，所述第二定中孔与所述导气通道同心设置，所述第二导向部的周向对称分布有进气口，所述进气口连通所述第二空腔和所述第二定中孔；所述第一出风通道连通所述第二空腔，并用于抽出所述第二空腔内的气体；在所述引线导管的末端和中段都能通过气流对其进行平衡作用，从而使整个引线导管能稳定的限位在导向通道和导气通道的中间位置；

所述进气口的开口大于所述出气口的开口；

散热装置，所述散热装置设置在所述导向装置和所述冷却装置的一侧，并连通所述冷却装置和所述导向装置，并将经过所述冷却装置的气体输送到导向装置中，并连通到所述缓存气腔；

所述冷却进气口上通过管道连接有循环气泵，所述循环气泵通过管道连接所述第一出风通道；所述循环气泵与所述第一出风通道之间的管道上连接有换向电磁阀，所述换向电磁阀用于将所述第一出风通道连通所述循环气泵，或者将外部冷却空气连通所述循环气泵；当通过所述换向电磁阀连接到循环气泵和第一出风通道时，使整个管路相通实现气体的循环利用；而当需要补充冷却气体时，启动所述换向电磁阀，使外部冷却空气连通所述循环气泵，此时所述第一出风通道连通到外部，这样将新的冷却气体输入到管路中。

2.如权利要求1所述的半导体生产用线材的导向器，其特征在于，所述第一导向部包括：若干导向块，相邻的导向块之间形成出气口，所述若干导向块围成所述第一定中孔。

3.如权利要求2所述的半导体生产用线材的导向器，其特征在于，所述导气装置还包括：散热圆片，所述散热圆片沿上下方向间隔设置在所述导气通道的外侧。

4.如权利要求2所述的半导体生产用线材的导向器，其特征在于，所述散热装置包括：

散热本体，所述散热本体内设置有散热流道，所述散热流道连通所述冷却出气口和所述第一进风通道；

散热鳍片，所述散热鳍片设置在所述散热本体上，并位于所述散热流道的外侧。

5.如权利要求4所述的半导体生产用线材的导向器，其特征在于，所述散热流道和所述冷却出气口之间连通有调压阀。

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