CN114981033A - 焊道检查装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及焊道检查装置，更详细地说，涉及可精确检查焊道的焊道检查装置。本发明公开了一种焊道检查装置，检查管道(10)中的焊道(20)有无缺陷，包括：外壳(100)，包围所述管道(10)，以覆盖所述焊道(20)，并且在内部形成密封的检查空间(S)；检查工具(200)，设置在所述外壳(100)，以在所述检查空间(S)确认所述焊道(20)的状态；缺陷判断部，基于通过所述检查工具(200)确认的所述焊道(20)的状态判断所述焊道(20)有无缺陷。
Description
技术领域
本发明涉及焊道检查装置，更详细地说，涉及可精确检查焊道的焊道检查装置。
背景技术
通常，焊接是使两种固体材料之间建立直接的原子间键来进行接合，多使用于金属材料的焊接。
尤其是，在用于半导体制造工艺的基板处理装置及基板处理系统使用的管道，为了设置管道使用焊接，在这种焊接存在缺陷的情况下，出现为了基板处理而使用的化学物质等的泄漏，因此可威胁工作人员的安全，所以需要用于判断焊接有无缺陷的检查装置。
以往，熟练的工作人员在外侧用肉眼直接检查焊道来确认焊接的完整性及有无缺陷，但是根据工作人员的熟练度及操作状态，缺陷分辨能力有所不同，并且存在无法客观化及检查成本增加的问题。
据此，以往开发了在焊道表面照射激光束来确认焊道有无缺陷的装置，但是需要将检查对象放在装置的正确位置，因此存在在狭窄区间及高处区间的检查方面存在局限性的问题。
另外，还有一部分公开了利用相机成像焊道图像的检查方法，但是根据操作环境的照度，成像的图像发生变化，因此存在无法进行精确检查的问题。
发明内容
要解决的问题
本发明的目的在于，为了解决如上所述的问题，提供一种便携性优秀的同时可恒定且精确地检查焊道的焊道检查装置。
解决问题的手段
本发明是为了达到如上所述的本发明的目的而提出的，本发明公开了一种焊道检查装置，检查管道10中的焊道20有无缺陷，包括：外壳100，包围所述管道10，以覆盖所述焊道20，并且在内部形成密封的检查空间S；检查工具200，设置在所述外壳100，以在所述检查空间S确认所述焊道20的状态；缺陷判断部，基于通过所述检查工具200确认的所述焊道20的状态判断所述焊道20有无缺陷。
所述外壳100可以是便携式的，以拆装于预设的所述管道10的所述焊道20。
所述检查工具200可朝向所述焊道20地设置在所述外壳100的内侧面。
所述检查工具200可包括：视觉检查部210，对所述焊道20进行成像；照明部230，在用于通过所述视觉检查部210进行成像的所述检查空间S内形成适当的照度。
所述检查工具200可包括激光检查部220，所述激光检查部220测量所述焊道20的位移。
所述检查工具200在所述外壳100的内侧面沿着所述管道10的外周面可进行旋转。
在所述外壳100内侧面沿着所述管道10的外周面可设置多个所述检查工具200。
所述管道10可以是为了用于基板处理的基板处理装置及基板处理系统供应及排放气体而设置。
所述检查工具200可包括泄漏传感器，所述泄漏传感器判断所述管道10是否泄漏气体。
所述缺陷判断部通过由所述检查工具200的确认的所述焊道20的宽度W、高度及微孔存在与否中的至少一种可判断有无缺陷。
所述缺陷判断部根据在所述管道10中与所述焊道20的两端间隔标记的水平的一对标记线L至所述焊道20中心C的间距是否一致可判断有无缺陷。
发明的效果
本发明的焊道检查装置具有便携性优秀、容易拆装于焊道部位，因此可对预设的对象进行检查的优点。
尤其是，本发明的焊道检查装置具有如下的优点：结构紧凑，因此不论预设对象的环境如何，都可进行检查，在诸如狭窄区间及高处区间的难以接近的区间也可进行稳定的焊道检查。
另外，本发明的焊道检查装置具有如下的优点：提供一贯的检查空间，并且能够通过恒定的照明进行检查，因此在检查时，即使有外部环境变化，也可进行稳定的焊道检查。
另外，本发明的焊道检查装置具有如下的优点：利用检查工具通过焊道的各种参数从多方面执行检查，而非通过工作人员的主观性检查，并且基于数值化数据判断有无缺陷，因此可执行具有高可靠性的焊道检查。
另外，本发明的焊道检查装置具有如下的优点：测量焊道部位的各种参数，并且基于测量的参数，通过预设算法判断有无缺陷，因此能够一贯、高可靠性及快速地执行检查。
附图说明
图1是示出本发明的焊道检查装置的外观的立体图。
图2是示出图1的焊道检查装置的A-A方向剖面的外观的剖面图。
图3是示出图1的焊道检查装置的B-B方向剖面的外观的剖面图。
图4是示出图1的焊道检查装置的C-C方向剖面的外观的剖面图。
图5是示出图1的焊道检查装置的视觉检查部的外观的立体图。
图6是示出图1的焊道检查装置的激光检查部的外观的立体图。
具体实施方式
以下，参照附图如下说明本发明的焊道检查装置。
如图1至图4所示，本发明的焊道检查装置检查管道10中的焊道20有无缺陷，包括：外壳100，包围管道10，以覆盖焊道20，并且在内部形成密封的检查空间S；检查工具200，设置在外壳100，以在检查空间S确认焊道20的状态；缺陷判断部，基于通过检查工具200确认的焊道20的状态判断焊道20有无缺陷。
在此使用的管道10作为通过焊接结合的对象，可采用各种结构。
例如，所述管道10是为了用于基板处理的基板处理装置及基板处理系统供应及排放气体而设置的，为了根据基板处理装置及基板处理系统的设置环境实现各种形状的管道系统，可将多个管道10相互焊接设置。
此时，在焊接管道10时，为了判断焊接有无缺陷，在各个管道10的末端可标记相互平行的标记线L。
即，所述管道10在焊接时通过焊道20的中心线与预标记的标记线L之间的距离与平行的程度等可判断焊道20有无缺陷，此时可作为一个基准使用标记线L。
所述标记线L可通过各种方式标记，例如，可利用激光在管道10的末端侧沿着圆周标记，考虑到形成焊道20的预测宽度，可在与管道10的末端间隔预定间距的点进行标记。
所述焊道20作为将一对管道10的末端相互接触进行焊接的部位，可采用各种结构。
例如，通过焊接结合一对管道10，所述焊道20可形成为以焊接点为准具有预定宽度，更进一步地从管道10具有预定高度。
所述外壳100作为包围所述管道10，以覆盖所述焊道20，并且在内部形成密封的检查空间S的结构，可采用各种结构。
另外，所述外壳100可以是便携式的，以拆装于预设的所述管道10的所述焊道20。
例如，所述外壳100可包括：外壳部件110、120，包围管道10，以覆盖焊道20；铰链部130，设置在外壳部件110、120的一端，并且铰链旋转外壳部件110、120，使外壳部件110、120包围管道10。
所述外壳部件110、120作为形成为一对通过结合形成密封的检查空间S的结构，可采用各种结构。
例如，如图1所示，所述外壳部件110、120可形成包围管道10外部并且与管道10的外周面相对应的检查空间S。
此时，所述外壳部件110、120对应于管道10的外周面在正面形成为半圆形状，相互接触进行结合，进而包围管道10的同时可形成检查空间S，举另一示例，在正面可形成为外廓包括曲线与一部分线性结构的具有角度的形状。
另一方面，所述外壳部件110、120通过结合可形成密封且黑暗的检查空间S，由此通过检查工具200对于检查形成预定的照度环境，进而可执行一贯的检查。
为此，在所述外壳部件110、120中，在与两端的管道10相接的部分可形成密封部件111、121，在两端紧贴于管道10来密封检查空间S的同时可形成黑暗空间。
另一方面，更进一步地，在所述外壳部件110、120中，在与两端的管道10相接部分配置具有弹性的材料，进而可与各种尺寸的管道10紧贴结合。
例如，在所述外壳部件110、120中，在与两端的管道10相接分配置弹性材料，在管道10的直径相对较大的情况下，因为弹性材料的弹性而被加压紧贴，进而也可适用于各种直径的管道10。
另一方面，所述外壳部件110、120下端部通过后述的铰链部130保持结合的状态，并且通过以铰链部130为准的相对旋转可结合于管道10，而设置铰链部130的相对侧，即上端部在结合到管道10时可通过各种方式结合。
例如，所述外壳部件110、120可通过诸如利用塑料的过盈配合方式、螺丝结合方式、利用磁力的结合等的各种方法结合，通过结合可形成检查空间S。
所述铰链部130作为结合于外壳部件110、120的一侧，使外壳部件110、120中的至少一个相对旋转，进而包围管道10的外周面的结构，可采用各种结构。
例如，如图4所示，所述铰链部130以贯通一对外壳部件110、120的铰链轴131为准进行相对旋转，进而以设置铰链轴131的下端部为准进行旋转可结合或者分离上端部，进而上端部可结合于管道10。
所述检查工具200作为设置在外壳100以在检查空间S中确认焊道20状态的结构，可采用各种结构。
例如，所述检查工具200朝向焊道20地设置在外壳100的形成检查空间S的内侧面。
更具体地说，所述检查工具200设置成在外壳100的形成检查空间S的内侧面包围焊道20的外周面，进而可沿着焊道20的圆周方向检查所有部分。
更进一步地，在外壳100内侧面沿着管道10的外周面设置多个所述检查工具200，进而可沿着焊道20的圆周方向检查所有部分。
作为另一示例，所述检查工具200可设置成在外壳100内侧面沿着管道10的外周面可进行旋转，更加具体地说，在外壳100内部沿着焊道20的圆周方向进行旋转，进而可检查焊道20的所有部分。
在该情况下，所述检查工具200具有旋转驱动部(未示出)，以使所述检查工具200可进行旋转，将焊道20作为旋转轴，可使检查工具200沿着外壳100内侧面进行旋转，为了稳定旋转，在外壳100内侧面可形成旋转导件。
如图2及图4所示，所述检查工具200对焊道20进行成像以确认焊道20状态的结构，可采用各种结构。
例如，所述检查工具200可包括：视觉检查部210，对焊道20进行成像；照明部230，在用于通过视觉检查部210进行成像的检查空间S内形成适当的照度。
所述视觉检查部210作为对焊道20进行成像的结构，可采用各种结构。
例如，所述视觉检查部210可包括：支撑部211，设置在外壳100的内侧面；相机212，在支撑部211向焊道20侧凸出地结合来对焊道20进行成像；凸出引导部213，结合在相机212的前端，并接触于焊道20。
所述视觉检查部210通过与后述的缺陷判断部进行通信可提供焊道20的图像，以使缺陷判断部能够判断焊道20有无缺陷。
所述支撑部211作为设置在外壳100内侧面的结构，可采用各种结构。
例如，所述支撑部211可配置在外壳100的内侧面，以稳定设置后述的相机212。
所述相机212作为向焊道20侧凸出地结合在支撑部211以对焊道20进行成像的结构，可采用各种结构。
例如，所述相机212设置成从支撑部211朝向焊道20侧，可对焊道20进行成像，并且向缺陷判断部发送成像的图像，进而可基于焊道20的成像图像判断有无缺陷。
在该情况下，所述相机212二维成像曲线形状的焊道20可提供二维图像。
所述凸出引导部213作为结合在相机212的前端并接触于焊道20的结构，可采用各种结构。
例如，所述凸出引导部213以相机212的透镜为准结合在两侧面，可向焊道20凸出，并且具有曲率，使末端接触于焊道20的圆周的一部分，进而所述凸出引导部213可安装在焊道20。
由此，所述凸出引导部213沿着焊道20的圆周相接地安装，进而可引导相机212成像焊道20的正确位置，更加优选为，如图5所示，一对所述凸出引导部213在相机212透镜的侧面凸出与焊道20相接地夹住焊道20，进而可使相机212成像作为成像对象的焊道20的正确位置。
另一方面，所述视觉检查部210以单数可旋转地设置在外壳100内侧面，进而通过旋转可对焊道20的圆周进行成像。
另外，作为另一示例，在外壳100内侧面固定设置多个所述视觉检查部210，例如，如图4所示，固定设置4个所述视觉检查部210，以对焊道20的预设的位置分别进行成像，进而可获取焊道20的各个位置的图像。
在该情况下，设置8个所述凸出引导部213，并且可设置成包围焊道20的圆周。
所述激光检查部220作为测量焊道20位移的结构，可采用各种结构。
例如，所述激光检查部220可包括：激光支撑部222，设置在外壳100内侧面，以设置激光模块221；激光模块221，朝向焊道20地设置在激光支撑部222，以朝向焊道20发射激光。
所述激光支撑部222作为设置在外壳100内侧面，以稳定设置激光模块221的结构，可采用各种结构。
另外，所述激光支撑部222还可设置后述的照明部230。
所述激光模块221作为朝向焊道20发射激光以测量焊道20的位移的结构，可采用各种结构。
例如，所述激光模块221发射及接收线光束，进而可测量焊道20的表面高度，为此可包括用于照射光的发光部与接收反射的光的受光部。
由此，所述激光模块221通过数值数据确认焊道20的表面高度可提供于缺陷判断部，以基于焊道20的表面高度通过缺陷判断部判断焊道20有无缺陷。
所述照明部230作为在用于通过视觉检查部210进行成像的检查空间S内形成适当照度的结构，可采用各种结构。
例如，所述照明部230作为LED照明，设置在外壳100内侧面，可在检查空间S形成适当的照度，也可设置在外壳100内部中的任意一处。
更具体地说，所述照明部230设置在视觉检查部210的支撑部211，可形成用于相机212成像的照度，作为另一示例，如图3所示，设置在激光支撑部222，在检查空间S形成适当的照度，进而可形成用于相机212成像的照度。
另一方面，所述管道10可以是用于供应及排放气体的结构，更进一步地，作为用于供应及排放用于基板处理的工艺气体的结构，可形成有害于人体的气体等流动的流道。
在该情况下，存在因为暴露焊道20中的一部分而对人体造成不良影响或者降低焊道20的耐久性而引起气体持续泄漏的问题。
据此，所述检查工具200可包括泄漏传感器，所述泄漏传感器判断管道10是否泄漏气体。
所述泄漏传感器作为判断管道10是否泄漏气体的结构，可采用各种结构。
例如，所述泄漏传感器可以是设置在外壳100内侧面以检测焊道20内是否有气体泄漏的结构，通过在外壳100朝向管道10设置来密封检查空间S，进而可稳定感应气体是否泄漏。
另一方面，所述检查工具200可包括上述的视觉检查部210、激光检查部220及泄漏传感器中的至少一个，当然也可根据各组合配置在外壳100内。
所述缺陷判断部作为基于通过检查工具200确认的焊道20的状态判断焊道20有无缺陷的结构，可采用各种结构。
例如，所述缺陷判断部基于通过视觉检查部210成像的焊道20的图像可判断焊道20有无缺陷，利用通过激光检查部220确认的焊道20的高度可判断焊道20有无缺陷。
更具体地说，所述缺陷判断部在通过视觉检查部210成像的焊道20的图像上确认焊道20的宽度W、微孔或者咬边等的存在与否，可判断有无缺陷，更进一步地，在管道10中从焊道20的两端间隔标记平行的一对标记线L，根据从所述一对标记线L到焊道20中心C的间距是否一致可判断有无缺陷。
即，根据从焊道20的中心C到位于两侧且在管道10标记的一对标记线L的各个距离d是否是相同的间距，可判断有无缺陷，若是各个间距相互不同的情况，则可判断为存在缺陷。
另外，根据所述焊道20的宽度W是否是预设的适当值，可判断有无缺陷，并且根据在成像的图像上是否存在微孔等可判断有无缺陷。
另一方面，所述缺陷判断部除了视觉检查部210以外，还通过由激光检查部220测量的焊道20的高度可判断相比于管道10形成的焊道20的高度超出预设的范围的情况是存在缺陷的。
另外，在通过泄漏传感器判断为存在气体泄漏的情况下，所述缺陷判断部可判断在焊道20存在缺陷。
另一方面，所述缺陷判断部当然也可通过上述的视觉检查部210、激光检查部220及泄漏传感器的组合综合判断有无缺陷。
本发明的焊道检查装置可以是便携式的，可判断预设管道10的焊道20有无缺陷。
尤其是，所述外壳100可供工作人员携带，进而可拆装于预设的管道10的焊道20，据此除了新设的管道10以外，还可判断预设的管道10有无缺陷，
更进一步地，可不受管道10的设置环境的限制来判断有无缺陷，尤其是，在设置环境为工作人员难以用肉眼分辨的狭窄区间及高处区间的情况下也可接通过简单的设置判断管道10的焊道10有误缺陷。
以上仅是可由本发明实现的优选实施例的一部分的相关说明，众所周知本发明的范围不限于上述的实施例来解释，以上说明的本发明的技术思想及其根本的技术思想可全部包括在本发明的范围内。
Claims (11)
1.一种焊道检查装置，检查管道(10)中的焊道(20)有无缺陷，其特征在于，包括：
外壳(100)，包围所述管道(10)，以覆盖所述焊道(20)，并且在内部形成密封的检查空间(S)；
检查工具(200)，设置在所述外壳(100)，以在所述检查空间(S)确认所述焊道(20)的状态；
缺陷判断部，基于通过所述检查工具(200)确认的所述焊道(20)的状态判断所述焊道(20)有无缺陷。
2.根据权利要求1所述的焊道检查装置，其特征在于，
所述外壳(100)是便携式的，以拆装于预设的所述管道(10)的所述焊道(20)。
3.根据权利要求1所述的焊道检查装置，其特征在于，
所述检查工具(200)朝向所述焊道(20)地设置在所述外壳(100)的内侧面。
4.根据权利要求1所述的焊道检查装置，其特征在于，
所述检查工具(200)包括：
视觉检查部(210)，对所述焊道(20)进行成像；照明部(230)，在用于通过所述视觉检查部(210)进行成像的所述检查空间(S)内形成适当的照度。
5.根据权利要求1所述的焊道检查装置，其特征在于，
所述检查工具(200)包括激光检查部(220)，所述激光检查部(220)测量所述焊道(20)的位移。
6.根据权利要求1所述的焊道检查装置，其特征在于，
所述检查工具(200)在所述外壳(100)的内侧面沿着所述管道(10)的外周面可进行旋转。
7.根据权利要求1所述的焊道检查装置，其特征在于，
在所述外壳(100)内侧面沿着所述管道(10)的外周面设置多个所述检查工具(200)。
8.根据权利要求1所述的焊道检查装置，其特征在于，
所述管道(10)是为了用于基板处理的基板处理装置及基板处理系统供应及排放气体而设置。
9.根据权利要求8所述的焊道检查装置，其特征在于，
所述检查工具(200)包括泄漏传感器，所述泄漏传感器判断所述管道(10)是否泄漏气体。
10.根据权利要求1所述的焊道检查装置，其特征在于，
所述缺陷判断部通过由所述检查工具(200)的确认的所述焊道(20)的宽度(W)、高度及微孔存在与否中的至少一种判断有无缺陷。
11.根据权利要求1所述的焊道检查装置，其特征在于，
所述缺陷判断部根据在所述管道(10)中与所述焊道(20)的两端间隔标记的水平的一对标记线(L)至所述焊道(20)中心(C)的间距是否一致来判断有无缺陷。
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