CN114914329A - 一种太阳电池的制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及太阳电池技术领域，具体提供一种太阳电池的制备方法，该方法包括：提供半导体衬底层，还包括：通过第一喷墨打印工艺在所述半导体衬底层的至少一侧形成透明导电膜；通过第二喷墨打印工艺在所述透明导电膜背离所述半导体衬底层的一侧表面形成栅线电极。采用该太阳电池的制备方法，工艺简单，工艺可控性较好，操作维护方便，有助于提高太阳电池的转换效率，并降低太阳电池的成本。

Description

一种太阳电池的制备方法
技术领域
本发明涉及太阳电池技术领域，具体涉及一种太阳电池的制备方法。
背景技术
太阳电池是将太阳能直接转化成电能的装置。目前，晶体硅太阳电池是光伏电池行业的主流，占据80％以上的市场。
晶体硅太阳电池包含形成结的P型和N型扩散区，交界区形成P-N结。当光线照射到晶体硅表面时，一部分光子被晶体硅材料吸收，光子的能量传递给硅原子，使电子发生跃迁，成为自由电子并在P-N结两侧聚集，产生电位差。当外部接通电路时，在该电压的作用下，将有电流流过外部电路产生一定的输出功率。
晶体硅太阳电池的表面一般包含透明导电膜和栅线电极结构。在太阳电池传统的生产过程中，透明导电膜是通过溅射沉积工艺形成的，栅线电极是通过丝网印刷工艺形成的，但是由于制备透明导电膜和栅线电极的设备和工艺复杂且成本较高，存在设备维护不方便和工艺可控性较差的问题，形成太阳电池制备的瓶颈。
可见，太阳电池的透明导电膜和栅线电极的制备工艺有待改善。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中提供的太阳电池的透明导电膜和栅线电极的制备工艺有待改善的问题，从而提供一种太阳电池的制备方法。
本发明提供一种太阳电池的制备方法，包括：提供半导体衬底层，还包括：通过第一喷墨打印工艺在所述半导体衬底层的至少一侧形成透明导电膜；通过第二喷墨打印工艺在所述透明导电膜背离所述半导体衬底层的一侧表面形成栅线电极。
可选的，所述第一喷墨打印工艺的参数包括：第一油墨包括氧化铟锡颗粒、第一树脂粘合剂和第一溶剂，其中，所述氧化铟锡颗粒的直径为10nm～20nm，所述氧化铟锡颗粒与所述第一树脂粘合剂的摩尔比为1:5～50:1，所述第一树脂粘合剂在所述第一油墨中的质量占比为1％～30％，所述第一溶剂在所述第一油墨中的质量占比为10％～40％。
可选的，所述第一油墨的粘度为1mPa.s～10mPa.s；施加给喷墨打印设备打印头的脉冲电压为Von/Voff＝50/1～5/1；喷墨打印设备打印头的伸缩频率为200Hz～3000Hz。
可选的，所述第二喷墨打印工艺的参数包括：第二油墨包括金属、第二树脂粘合剂、第二溶剂和添加剂，其中，所述金属在所述第二油墨中的质量占比为20％～50％。
可选的，所述第二油墨的粘度为3mPa.s～20mPa.s；施加给喷墨打印设备打印头的脉冲电压为Von/Voff＝100/1～5/1；喷墨打印设备打印头的伸缩频率为100Hz～2000Hz。
可选的，形成所述透明导电膜之后，形成所述栅线电极之前，还包括：对所述透明导电膜进行第一固化工艺；所述第一固化工艺的固化温度为150℃～300℃，所述第一固化工艺的固化时间为2min～20min。
可选的，所述第一固化工艺包括加热固化或者紫外线固化。
可选的，形成所述栅线电极之后，还包括：对所述栅线电极进行第二固化工艺，所述第二固化工艺的固化温度为100℃～250℃，所述第二固化工艺的固化时间为2min～20min。
可选的，所述第二固化工艺包括加热固化或者紫外线固化。
可选的，形成所述透明导电膜的步骤包括：通过第一喷墨打印工艺在所述半导体衬底层的一侧形成第一透明导电膜，和/或通过第一喷墨打印工艺在所述半导体衬底层的另一侧形成第二透明导电膜；形成所述栅线电极的步骤包括：通过第二喷墨打印工艺在所述第一透明导电膜背离所述半导体衬底层的一侧表面形成第一栅线电极，和/或通过第二喷墨打印工艺在所述第二透明导电膜背离所述半导体衬底层的一侧表面形成第二栅线电极。
可选的，形成所述透明导电膜之前，还包括：在所述半导体衬底层的两侧形成第一本征半导体层和第二本征半导体层，之后，在所述第一本征半导体层背离所述半导体衬底层的一侧形成第一导电类型半导体层，在所述第二本征半导体层背离所述半导体衬底层的一侧形成第二导电类型半导体层；形成所述透明导电膜之后，所述第一透明导电膜位于所述第一导电类型半导体层背离所述半导体衬底层的一侧表面，所述第二透明导电膜位于所述第二导电类型半导体层背离所述半导体衬底层的一侧表面。
可选的，所述第二透明导电膜的边缘与所述第二导电类型半导体层的边缘的距离为0.4mm～1mm。
可选的，所述第二透明导电膜位于太阳电池的背光面。
可选的，所述透明导电膜的厚度为50nm～150nm，所述透明导电膜的透过率大于或等于90％，所述透明导电膜的方块电阻小于或等于200Ω；所述栅线电极的宽度为5μm～50μm，所述栅线电极的电阻为3μΩ·cm～20μΩ·cm。
可选的，所述透明导电膜包括掺铝氧化锌或者掺锡氧化铟。
本发明的技术方案具有以下有益效果：
1.本发明提供的太阳电池的制备方法，一方面，透明导电膜通过喷墨打印工艺形成，不使用常规的溅射工艺，避免在形成透明导电膜的过程中因溅射轰击造成钝化层损伤而影响太阳电池性能；另一方面，栅线电极也通过喷墨打印工艺形成，不使用常规的丝网印刷工艺，避免形成栅线电极的过程中网版与太阳电池接触容易发生碎片的问题，也能避免形成栅线电极时低温银浆中的树脂粘合剂、表面活性剂和溶剂等有机物残留在栅线电极中而影响太阳电池的导电性的问题，并且由于不再使用掩膜和刻蚀处理就能获得需要的栅线电极图案，可以形成大高宽比和低电阻的栅线电极；由于透明导电膜和栅线电极都是通过喷墨打印工艺形成的，工艺简单且单一，工艺可控性较好，而且可以使用同一种类型的设备，操作维护方便。因此，有助于提高太阳电池的转换效率，并降低太阳电池的成本。
2.进一步，第二透明导电膜的边缘与第二导电类型半导体层的边缘还有一定的距离，防止第二透明导电膜附着在太阳电池的侧壁，避免第一透明导电膜和第二透明导电膜导通，进而避免太阳电池漏电异常。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而容易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明一实施例提供的太阳电池的制备方法的流程示意图；
图2为本发明一实施例提供的太阳电池的制备方法形成的太阳电池的结构示意图；
图3为本发明一实施例提供的喷墨打印设备的系统结构示意图。
附图标记：
11-半导体衬底层；21-第一本征半导体层；22-第二本征半导体层；31-第一导电类型半导体层；32-第二导电类型半导体层；41-第一透明导电膜；42-第二透明导电膜；51-第一栅线电极；52-第二栅线电极；1-载台；2-打印头；3-供墨系统；4-控制系统。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电学连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
本发明一实施例提供一种太阳电池的制备方法，具体以异质结太阳电池为示例进行说明，请参考图1，包括：
S1：提供半导体衬底层。
参考图2，在所述半导体衬底层11的两侧分别形成第一本征半导体层21和第二本征半导体层22；之后，在所述第一本征半导体层21背离所述半导体衬底层11的一侧表面形成第一导电类型半导体层31，在所述第二本征半导体层22背离所述半导体衬底层11的一侧表面形成第二导电类型半导体层32。
第一导电类型半导体层31和第二导电类型半导体层32中，其中一层为N型掺杂、另一层为P型掺杂，半导体衬底层11优选为N型，从而形成N+-N-P的结构，利于载流子的生产和传输。
S2：通过第一喷墨打印工艺在所述半导体衬底层的至少一侧形成透明导电膜。
所述第一喷墨打印工艺的参数包括：第一油墨包括氧化铟锡颗粒、第一树脂粘合剂和第一溶剂，氧化铟锡颗粒作为透明导电膜的主要成分，第一树脂粘合剂使氧化铟锡颗粒在印刷和固化工艺过程中形成连续的薄膜，用于改善成膜性能，第一溶剂可以改善氧化铟锡颗粒材料的溶解性和可印刷性，其中，所述氧化铟锡颗粒的直径为10nm～20nm，例如，10nm、12nm、14nm、16nm、18nm或者20nm，如果直径过大容易发生颗粒团聚堵塞喷头，如果直径过小可能导致小尺寸的氧化铟锡颗粒不容易制造加工成形。所述氧化铟锡颗粒与所述第一树脂粘合剂的摩尔比为1:5～50:1，例如，1:5、1:1、10:1、30:1或者50：1，所述第一树脂粘合剂在所述第一油墨中的质量占比为1％～30％，例如，1％、10％、20％或者30，如果占比过大会使得透明导电膜的电阻较高，需要增加固化时间；如果占比过小浆料黏度低，则可能不利于印刷工艺稳定。所述第一溶剂在所述第一油墨中的质量占比为10％～40％，例如，10％、20％、30％或者40％，如果占比过大油墨黏度低，印刷后图形容易变化；如果占比过小油墨黏度高，印刷过程容易堵塞喷头。所述第一油墨的粘度为1mPa.s～10mPa.s，例如，1mPa.s、2mPa.s、5mPa.s、8mPa.s或者10mPa.s；施加给喷墨打印设备打印头的脉冲电压为Von/Voff＝50/1～5/1，例如，50/1、40/1、30/1、15/1或者5/1；喷墨打印设备打印头的伸缩频率为200Hz～3000Hz，例如，200Hz、500Hz、1000Hz、2000Hz、2500Hz或者3000Hz。第一油墨中还可以包含表面活性剂和酸度调节剂等，有利于改善氧化铟锡颗粒的溶解性和提高供透明导电膜的成膜性能。
所述透明导电膜的厚度为50nm～150nm，例如，50nm、100nm或者150nm，所述透明导电膜的透过率大于或等于90％，所述透明导电膜的方块电阻小于或等于200Ω。所述透明导电膜包括掺铝氧化锌或者掺锡氧化铟，因为掺锡氧化铟中的铟材料资源稀缺价格昂贵、且有毒性，因此，优先使用掺铝氧化锌作为形成透明导电膜喷墨的材料。
具体地，形成所述透明导电膜的步骤包括：通过第一喷墨打印工艺在所述半导体衬底层的一侧形成第一透明导电膜，和/或通过第一喷墨打印工艺在所述半导体衬底层的另一侧形成第二透明导电膜。也就是说，可以仅在太阳电池的受光面通过第一喷墨打印工艺形成第一透明导电膜，或者，可以仅在太阳电池的背光面通过第一喷墨打印工艺形成第二透明导电膜，或者，可以在太阳电池的受光面通过第一喷墨打印工艺形成第一透明导电膜且在太阳电池的背光面通过第一喷墨打印工艺形成第二透明导电膜。参考图2，在本实施例中，通过第一喷墨打印工艺在所述第一导电类型半导体层31背向所述半导体衬底层11的一侧表面形成第一透明导电膜41和通过第一喷墨打印工艺在所述第二导电类型半导体层32背向所述半导体衬底层11的一侧表面形成第二透明导电膜42。
在本实施例中，所述第二透明导电膜42位于太阳电池的背光面。
所述第二透明导电膜42的边缘与所述第二导电类型半导体层32的边缘的距离为0.4mm～1mm，例如，0.4mm、0.5mm、0.8mm或者1mm。将第二透明导电膜42的边缘与第二导电类型半导体层32的边缘设置为保持一定的距离，可以防止第二透明导电膜42附着在太阳电池的侧壁，避免第一透明导电膜41和第二透明导电膜42导通，进而避免太阳电池漏电异常。
形成所述透明导电膜之后，还包括：对所述透明导电膜进行第一固化工艺；所述第一固化工艺的固化温度为150℃～300℃，例如，150℃、200℃、250℃或者300℃，固化温度较低，避免生产效率低而成本高的高温工艺制结过程，也避免高温工艺导致的应力问题，所述第一固化工艺的固化时间为2min～20min，例如，2min、5min、10min、15min或者20min，经固化后，形成结构致密的透明导电膜材料，其光学电学性能得到改善。
优选的是，第一固化工艺使用的设备包括固化炉。
S3：通过第二喷墨打印工艺在所述透明导电膜背离所述半导体衬底层的一侧表面形成栅线电极。
所述第二喷墨打印工艺的参数包括：第二油墨包括金属、第二树脂粘合剂、第二溶剂和添加剂，其中，所述金属在所述第二油墨中的质量占比为20％～50％，例如，20％、30％、40％或者50％，如果质量占比过小可能导致栅线电极的电阻较高，如果质量占比过大则油墨黏度低，不利于印刷工艺稳定。所述第二油墨的粘度为3mPa.s～20mPa.s，例如，3mPa.s、5mPa.s、10mPa.s、20mPa.s或者20mPa.s。施加给喷墨打印设备打印头的脉冲电压为Von/Voff＝100/1～5/1，例如，100/1、80/1、50/1、10/1或者5/1。喷墨打印设备打印头的伸缩频率为100Hz～2000Hz，例如，100Hz、200Hz、500Hz、1000Hz、1500Hz或者2000Hz。在实际工艺过程中，根据第一栅线电极和第二栅线电极的高宽比和形状选取合理的参数即可，这里不做限定。
所述栅线电极的宽度为5μm～50μm，例如，5μm、30μm或者50μm，所述栅线电极的电阻为3μΩ·cm～20μΩ·cm，例如，3μΩ·cm、10μΩ·cm、15μΩ·cm或者20μΩ·cm。
具体地，形成所述栅线电极的步骤包括：通过第二喷墨打印工艺在所述第一透明导电膜背离所述半导体衬底层的一侧表面形成第一栅线电极，和/或通过第二喷墨打印工艺在所述第二透明导电膜背离所述半导体衬底层的一侧表面形成第二栅线电极。也就是说，可以仅在第一透明导电膜的表面通过第二喷墨打印工艺形成第一栅线电极，或者，可以仅在第二透明导电膜的表面通过第二喷墨打印工艺形成第二栅线电极，或者，可以在第一透明导电膜的表面通过第二喷墨打印工艺形成第一栅线电极且在第二透明导电膜的表面均通过第二喷墨打印工艺形成第二栅线电极。参考图2，在本实施例中，通过第二喷墨打印工艺在所述第一透明导电膜41背离所述半导体衬底层11的一侧表面形成第一栅线电极51、以及通过第二喷墨打印工艺在所述第二透明导电膜42背离所述半导体衬底层11的一侧表面形成第二栅线电极52。
形成所述栅线电极之后，还包括：对所述栅线电极进行第二固化工艺，所述第二固化工艺的固化温度为100℃～250℃，例如，100℃、150℃、200℃或者250℃，固化温度较低，避免生产效率低而成本高的高温工艺制结过程，也避免高温工艺导致的应力问题，所述第二固化工艺的固化时间为2min～20min，例如，2min、5min、10min、15min或者20min，经固化后，金属-有机物发生交联，栅线电极电阻降低。
优选的是，第二固化工艺使用的设备包括固化炉。
在本实施例中，形成透明导电膜和栅线电极可以使用同一类型的喷墨打印装置。
请参考图3，本实施例提供一种适用于上述太阳电池的制备方法的喷墨打印装置，包括：
载台1，载台1适于承载太阳电池半成品或者成品；
位于载台1上方的打印头2，打印头2适于把第一油墨或者第二油墨打印到太阳电池的表面，通过选择打印头的分辨率、调节脉冲电压和频率等参数，可以控制打印精度和膜层厚度等；
控制系统4，控制系统4包括打印头移动系统、打印头加热系统、检测定位系统、载台加热系统和载台移动系统等。其中，打印头移动系统可以控制载台1水平移动和上下升降，载台加热系统可以加热载台1升温至300℃；
位于打印头2和控制系统4之间的供墨系统3，供墨系统3通过控制系统4的控制为喷墨打印过程提供稳定的打印材料来源，供墨系统3具有加热和保温功能，有利于使油墨这种打印材料保持一定的温度，防止油膜温度过低导致流动性较差，进而影响喷墨打印效果。
在实际使用过程中，以异质结电池为示例，把第一油墨装入供墨系统3中，把太阳电池半成品放置在载台1上表面，太阳电池半成品包括半导体衬底层11、位于半导体衬底层11两侧表面的第一本征半导体层21和第二本征半导体层22、以及位于第一本征半导体层21背向半导体衬底层11一侧表面的第一导电类型半导体层31和位于第二本征半导体层22背向半导体衬底层11一侧表面的第二导电类型半导体层32；之后，移动打印头2至太阳电池半成品上方，通过光学定位找到需要喷墨打印的位置，打印头2在电信号的驱动下喷出第一油墨，完成透明导电膜的制备。形成透明导电膜之后，把第二油墨装入供墨系统3中，把形成有透明导电膜的太阳电池半成品放置在载台1的表面，移动打印头2至太阳电池半成品上方，通过光学定位找到需要喷墨打印的位置，打印头2在电信号的驱动下喷出第二油墨，完成栅线电极的制备。
这里应该理解的是，为了透明导电膜、栅线电极的工艺的连续性，也可以采用两台喷墨打印装置，一台专用于完成透明导电膜的制备，另一台专用于完成栅线电极的制备。这样可以避免供墨系统3频繁地清洁与更换油墨，且喷墨工艺能更稳定。
本实施例提供的太阳电池的制备方法，透明导电膜通过喷墨打印工艺形成，不使用常规的溅射工艺，避免在形成透明导电膜的过程中因溅射轰击造成钝化层损伤而影响太阳电池性能；同时，栅线电极也通过喷墨打印工艺形成，不使用常规的丝网印刷工艺，避免形成栅线电极的过程中网版与太阳电池接触容易发生碎片的问题，也能避免形成栅线电极时低温银浆中的树脂粘合剂、表面活性剂和溶剂等有机物残留在栅线电极中而影响太阳电池的导电性的问题，并且由于喷墨打印工艺相较于传统的丝网印刷工艺控制精度较高，可以形成较大地高宽比和较低电阻的栅线电极。
根据本申请发明人的测试，本实施例提供的太阳电池相较于现有技术太阳电池转换效率能够提高0.3％以上，太阳电池的成本能够降低0.5％以上。
综上，本申请的太阳电池的制备方法及相应的太阳电池，由于透明导电膜和栅线电极都是通过喷墨打印工艺形成的，工艺简单且单一，工艺可控性较好，而且可以使用同一种类型的设备，操作维护方便，有助于提高太阳电池的转换效率，并降低太阳电池的成本。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而容易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种太阳电池的制备方法，包括：提供半导体衬底层，其特征在于，还包括：
通过第一喷墨打印工艺在所述半导体衬底层的至少一侧形成透明导电膜；
通过第二喷墨打印工艺在所述透明导电膜背离所述半导体衬底层的一侧表面形成栅线电极。
2.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，所述第一喷墨打印工艺的参数包括：第一油墨包括氧化铟锡颗粒、第一树脂粘合剂和第一溶剂，其中，所述氧化铟锡颗粒的直径为10nm～20nm，所述氧化铟锡颗粒与所述第一树脂粘合剂的摩尔比为1:5～50:1，所述第一树脂粘合剂在所述第一油墨中的质量占比为1％～30％，所述第一溶剂在所述第一油墨中的质量占比为10％～40％；
优选的，所述第一油墨的粘度为1mPa.s～10mPa.s；施加给喷墨打印设备打印头的脉冲电压为Von/Voff＝50/1～5/1；喷墨打印设备打印头的伸缩频率为200Hz～3000Hz。
3.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，所述第二喷墨打印工艺的参数包括：第二油墨包括金属、第二树脂粘合剂、第二溶剂和添加剂，其中，所述金属在所述第二油墨中的质量占比为20％～50％；
优选的，所述第二油墨的粘度为3mPa.s～20mPa.s；施加给喷墨打印设备打印头的脉冲电压为Von/Voff＝100/1～5/1；喷墨打印设备打印头的伸缩频率为100Hz～2000Hz。
4.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，形成所述透明导电膜之后，形成所述栅线电极之前，还包括：对所述透明导电膜进行第一固化工艺；所述第一固化工艺的固化温度为150℃～300℃，所述第一固化工艺的固化时间为2min～20min；
优选的是，所述第一固化工艺包括加热固化或者紫外线固化。
5.根据权利要求4所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，形成所述栅线电极之后，还包括：对所述栅线电极进行第二固化工艺；所述第二固化工艺的固化温度为100℃～250℃，所述第二固化工艺的固化时间为2min～20min；
优选的是，所述第二固化工艺包括加热固化或者紫外线固化。
6.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，形成所述透明导电膜的步骤包括：
通过第一喷墨打印工艺在所述半导体衬底层的一侧形成第一透明导电膜，和/或通过第一喷墨打印工艺在所述半导体衬底层的另一侧形成第二透明导电膜；
形成所述栅线电极的步骤包括：通过第二喷墨打印工艺在所述第一透明导电膜背离所述半导体衬底层的一侧表面形成第一栅线电极，和/或通过第二喷墨打印工艺在所述第二透明导电膜背离所述半导体衬底层的一侧表面形成第二栅线电极。
7.根据权利要求6所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，形成所述透明导电膜之前，还包括：
在所述半导体衬底层的两侧形成第一本征半导体层和第二本征半导体层，之后，在所述第一本征半导体层背离所述半导体衬底层的一侧形成第一导电类型半导体层，在所述第二本征半导体层背离所述半导体衬底层的一侧形成第二导电类型半导体层；
形成所述透明导电膜之后，所述第一透明导电膜位于所述第一导电类型半导体层背离所述半导体衬底层的一侧表面，所述第二透明导电膜位于所述第二导电类型半导体层背离所述半导体衬底层的一侧表面。
8.根据权利要求7所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，所述第二透明导电膜的边缘与所述第二导电类型半导体层的边缘的距离为0.4mm～1mm；
优选的，所述第二透明导电膜位于太阳电池的背光面。
9.根据权利要求1至8任一项所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，所述透明导电膜的厚度为50nm～120nm，所述透明导电膜的透过率大于或等于90％，所述透明导电膜的方块电阻小于或等于200Ω；
所述栅线电极的宽度为5μm～50μm，所述栅线电极的电阻为3μΩ·cm～20μΩ·cm。
10.根据权利要求1至8任一项所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，所述透明导电膜包括掺铝氧化锌或者掺锡氧化铟。
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