CN114892256B - 一种叶片的电解抛光装置 - Google Patents

一种叶片的电解抛光装置 Download PDF

Info

Publication number
CN114892256B
CN114892256B CN202210445108.6A CN202210445108A CN114892256B CN 114892256 B CN114892256 B CN 114892256B CN 202210445108 A CN202210445108 A CN 202210445108A CN 114892256 B CN114892256 B CN 114892256B
Authority
CN
China
Prior art keywords
clamping
electrode
driving
swinging
blade
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202210445108.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN114892256A (zh
Inventor
陈顺华
谷和伟
张俊生
王勇
董伯麟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hefei University of Technology
Original Assignee
Hefei University of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hefei University of Technology filed Critical Hefei University of Technology
Priority to CN202210445108.6A priority Critical patent/CN114892256B/zh
Publication of CN114892256A publication Critical patent/CN114892256A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN114892256B publication Critical patent/CN114892256B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25FPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
    • C25F3/00Electrolytic etching or polishing
    • C25F3/16Polishing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/12Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25FPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
    • C25F7/00Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic removal of material from objects; Servicing or operating

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

本发明公开了一种叶片的电解抛光装置,包括基座以及设于基座上的电解池和清洗机构;电解池内设有电极机构;基座的上方活动设有用于夹持叶片的夹持机构;夹持机构至少具有两个分别位于电解池和清洗机构上方的夹持端头;夹持机构可绕Z轴旋转,并且可向清洗机构倾斜。本发明设置了电解池和清洗机构,利用电解池中的电极机构可实现对叶面的抛光,同时设置了清洗机构对抛光后的叶片进行清洗,从而保证抛光精度,并且本发明在基座上方活动设置了夹持机构,夹持机构至少具有两个分别位于电解池和清洗机构上方的夹持端头,并且夹持机构可绕Z轴旋转,并且可向清洗机构倾斜,能够使得叶片抛光与清洗同时进行,从而使得叶片抛光效率大大提高。

Description

一种叶片的电解抛光装置
技术领域
本发明涉及叶片抛光技术领域,尤其是涉及一种叶片的电解抛光装置。
背景技术
随着机电产品要求的不断提高,人们对叶片的表面质量的要求也不断提高,传统的 抛光工艺已经满足不了人们的需求。基于此,越来越多的人们倾向于电解抛光。电解抛光是利用作为阳极的工件在加工过程中溶解于电解液,从而达到工件表面粗糙度下降, 光亮度提高的目的。电化学抛光在工业领域主要用于提高金属表面的光洁度,优化表面质量,增强工件的耐腐蚀性等。
电解抛光的原理目前最流行的理论是黏膜理论,该理论认为:电解抛光过程中游离 的金属离子可以与电解液形成一层薄膜吸附在工件表面,由于工件表面凹凸不平,这就造成了在凸起的部分薄膜比较薄,而在凹陷的部分,薄膜比较厚。这使得凸起的部分容 易被腐蚀掉,从而使工件表面趋于平整,最终达到抛光的效果。
目前,针对叶片抛光暂无良好的抛光装置,导致叶片抛光效率较低,同时表面光洁度还达不到需求。因此,有必要设计一种叶片的电解抛光装置来解决上述问题。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术中没有较为良好的抛光装置对叶片进行抛光,使得叶 片抛光效率较低,而且叶片表面光洁度达不到需求的问题而提出一种叶片的电解抛光装 置。
实现本发明目的的技术方案是:一种叶片的电解抛光装置,包括基座以及设于基座 上的电解池和清洗机构;所述电解池内设有电极机构;所述基座的上方活动设有用于夹持叶片的夹持机构;所述夹持机构至少具有两个分别位于电解池和清洗机构上方的夹持端头;所述夹持机构可绕Z轴旋转,并且可向清洗机构倾斜,使夹持于清洗机构上方的 叶片浸入清洗机构中。
所述电极机构包括设于电解池内的安装座以及呈线性分布于安装座上的若干个电 极;所述电极内部具有喷液通道,并且其顶部设有与喷液通道连通的喷液口;所述安装座上设有若干个与电极一一对应的安装孔,每个电极均设于与其对应的安装孔中,并且 电极的外壁与安装孔内壁密封;所述安装座内设有与所有安装孔均连通的电解液导液槽; 所述安装座的侧壁上设有与电解液导液槽连通的电解液入口;所述安装座上对应每个电极均设有一驱动组件;所述驱动组件用于驱动对应的电极升降。
所述电极的下段的外壁设置成螺纹状;所述安装孔的孔口处设有用于容纳驱动组件 的容纳缺口;所述容纳缺口中设有与电极的螺纹段螺纹连接的支撑块;所述驱动组件包括设于容纳缺口中的驱动电机;所述容纳缺口中还转动连接有与驱动电机传动的驱动轴;所述驱动轴上设有与电极螺纹段传动的第一涡轮。
所述夹持机构包括对称设于基座两端的立柱、高度可调地设于两立柱之间的横梁以 及设于横梁上的摆动组件;所述摆动组件底部转动连接有夹具盘;所述摆动组件内部设有用于驱动夹具盘绕Z轴旋转的旋转组件;所述夹持端头沿夹具盘的周向均布有四个;所述摆动组件用于驱动夹具盘倾斜,使得夹持于清洗机构上方夹持端头地上的叶片浸入 清洗机构中。
所述横梁的两端均设有滑动座,两个滑动座分别与两个立柱滑动连接;每个立柱上 均转动连接有与滑动座螺纹连接的升降丝杆;所述升降丝杆由设于立柱上的升降电机驱 动运转。
所述摆动组件包括摆动座;所述横梁的中部设有用于安装摆动座的安装缺口;所述 摆动座的两端通过转轴转动安装于安装缺口内,并且其中一根转轴伸入横梁内部;所述横梁内部设有用于驱动摆动座摆动的摆动电机。
所述摆动座的底部转动安装有连接轴;所述夹具盘与连接轴固定连接;所述旋转组 件包括固定于连接轴上的第二涡轮以及转动安装于摆动座内部并与第二涡轮传动的蜗杆;所述摆动座一侧还设有用于驱动蜗杆运转的旋转电机。
所述夹持端头包括转动连接于夹具盘上的夹持轴以及设于夹持轴外端,并用于夹持 叶片的夹爪组件;所述夹具盘内部还设有用于驱动夹持轴旋转的夹持电机。
所述夹爪组件包括对称设置的两个夹爪,并且两个夹爪均与夹持轴的外端滑动连接; 所述两个夹爪之间通过弹簧相连。
所述清洗机构为超声波清洗池。
采用了上述技术方案,本发明具有以下的有益效果:(1)本发明设置了电解池和清洗机构,利用电解池中的电极机构可实现对叶面的抛光,同时设置了清洗机构对抛光后 的叶片进行清洗,从而保证抛光精度,并且本发明在基座上方活动设置了夹持机构,夹 持机构至少具有两个分别位于电解池和清洗机构上方的夹持端头,并且夹持机构可绕Z 轴旋转,并且可向清洗机构倾斜,能够使得叶片抛光与清洗同时进行,从而使得叶片抛光效率大大提高。
(2)本发明的电极机构采用若干个呈线性分布的电极,并且每个电极均对应一个驱动组件,可以根据叶片形状对每个电极的高度进行调节,从而使得电极机构与叶片型 面之间的间隙稳定,从而进一步提高了抛光效果。
(3)本发明的电极与安装孔孔的支撑块螺纹连接,并且通过驱动电机配合第一涡轮进行驱动电极升降,不仅结构简单,而且使得电极的升降更加易于控制。
(4)本发明的夹持机构采用安装于横梁上的摆动组件摆动从而使得夹持于清洗机构上方夹持端头地上的叶片浸入清洗机构中,不仅结构巧妙,而且操控较为方便。
(5)本发明的横梁采用滑动座连接于立柱上,保证了横梁运动的稳定性,并且采用升降丝杆配合升降电机驱动活动座运动实现横梁的升降,不仅结构简单,而且易于控制。
(6)本发明在横梁上设置了安装缺口以便于摆动座的安装,同时采用摆动电机驱动转轴旋转从而实现摆动座摆动,不仅结构简单,而且易于控制。
(7)本发明的连接轴由旋转电机配合蜗杆和第二涡轮驱动运转,能够减小摆动座的占据空间,使得整体结构更加紧凑。
(8)本发明的夹持端头包括夹持轴和夹爪组件,并且设置了夹持电机,能够对夹持的叶片进行翻面,无需重复装夹,进一步提高了抛光效率。
(9)本发明的夹爪组件采用对称设置的两个夹爪,两个夹爪滑动设于夹持轴端部,并且两个夹爪之间通过弹簧相连,使得叶片夹持更加方便。
(10)本发明的清洗机构采用超声波清洗池,以保证及时去除加工过程残留在叶片型面上的杂质、气泡等,保证了抛光精度。
附图说明
为了使本发明的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本 发明作进一步详细的说明。
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明电极机构的结构示意图。
图3为本发明夹持机构的结构示意图。
图4为本发明夹具盘内部结构示意图。
附图中的标号为:
基座1、电解池2、清洗机构3、电极机构4、安装座4-1、电极4-2、安装孔4-3、 驱动组件4-4、容纳缺口4-5、支撑块4-6、夹持机构5、立柱5-1、横梁5-2、摆动组件5-3、摆动座5-3-1、安装缺口5-3-2、连接轴5-3-3、摆动电机5-3-4、夹具盘5-4、旋转 组件5-5、第二涡轮5-5-1、蜗杆5-5-2、旋转电机5-5-3、滑动座5-6、升降丝杆5-7、升 降电机5-8、夹持端头6、夹持轴6-1、夹爪组件6-2、夹爪6-2-1、弹簧6-2-2、夹持电机 6-3。
具体实施方式
(实施例1)
见图1至图4,本实施例的一种叶片的电解抛光装置,包括基座1以及设于基座上的电解池2和清洗机构3;所述电解池2内设有电极机构4;所述基座1的上方活动设 有用于夹持叶片的夹持机构5;所述夹持机构5至少具有两个分别位于电解池2和清洗 机构3上方的夹持端头6;所述夹持机构5可绕Z轴旋转,并且可向清洗机构3倾斜, 使夹持于清洗机构3上方的叶片浸入清洗机构3中。
进一步的,所述电极机构4包括设于电解池2内的安装座4-1以及呈线性分布于安装座4-1上的若干个电极4-2;所述电极4-2内部具有喷液通道,并且其顶部设有与喷液 通道连通的喷液口;所述安装座4-1上设有若干个与电极4-2一一对应的安装孔4-3,每 个电极4-2均设于与其对应的安装孔4-3中,并且电极4-2的外壁与安装孔4-3内壁密封;所述安装座4-1内设有与所有安装孔4-3均连通的电解液导液槽;所述安装座4-1 的侧壁上设有与电解液导液槽连通的电解液入口;所述安装座4-1上对应每个电极4-2 均设有一驱动组件4-4;所述驱动组件4-4用于驱动对应的电极4-2升降,以便于根据叶 片形状对每个电极4-2的高度进行调节,从而使得电极机构4与叶片型面之间的间隙稳 定,从而进一步提高了抛光效果。
进一步的,为了便于对电极4-2升降进行控制,所述电极4-2的下段的外壁设置成螺纹状;所述安装孔4-3的孔口处设有用于容纳驱动组件4-4的容纳缺口4-5;所述容纳 缺口4-5中设有与电极4-2的螺纹段螺纹连接的支撑块4-6;所述驱动组件4-4包括设于 容纳缺口4-5中的驱动电机;所述容纳缺口4-5中还转动连接有与驱动电机传动的驱动 轴;所述驱动轴上设有与电极4-2螺纹段传动的第一涡轮。
进一步的,所述夹持机构5包括对称设于基座1两端的立柱5-1、高度可调地设于两立柱5-1之间的横梁5-2以及设于横梁5-2上的摆动组件5-3;所述摆动组件5-3底部 转动连接有夹具盘5-4;所述摆动组件5-3内部设有用于驱动夹具盘5-4绕Z轴旋转的 旋转组件5-5;所述夹持端头6沿夹具盘5-4的周向均布有四个;所述摆动组件5-3用于 驱动夹具盘5-4倾斜,使得夹持于清洗机构3上方夹持端头6地上的叶片浸入清洗机构 3中。本实施列的夹持机构5采用安装于横梁5-2上的摆动组件5-3摆动从而使得夹持 于清洗机构3上方夹持端头6地上的叶片浸入清洗机构3中,不仅结构巧妙,而且操控 较为方便。
进一步的,为了保证横梁5-2高度调节的稳定性,所述横梁5-2的两端均设有滑动座5-6,两个滑动座5-6分别与两个立柱5-1滑动连接;每个立柱5-1上均转动连接有与 滑动座5-6螺纹连接的升降丝杆5-7;所述升降丝杆5-7由设于立柱5-1上的升降电机 5-8驱动运转。
进一步的,所述摆动组件5-3包括摆动座5-3-1;所述横梁5-2的中部设有用于安装摆动座5-3-1的安装缺口5-3-2,以便于摆动座5-3-1的安装;所述摆动座5-3-1的两端 通过转轴转动安装于安装缺口5-3-2内,并且其中一根转轴伸入横梁5-2内部;所述横 梁5-2内部设有用于驱动摆动座5-3-1摆动的摆动电机5-3-4,本实施列采用摆动电机 5-3-4驱动转轴旋转从而实现摆动座5-3-1摆动,不仅结构简单,而且易于控制。
进一步的,所述摆动座5-3-1的底部转动安装有连接轴5-3-3;所述夹具盘5-4与连接轴5-3-3固定连接;所述旋转组件5-5包括固定于连接轴5-3-3上的第二涡轮5-5-1以 及转动安装于摆动座5-3-1内部并与第二涡轮5-5-1传动的蜗杆5-5-2;所述摆动座5-3-1 一侧还设有用于驱动蜗杆5-5-2运转的旋转电机5-5-3,本实施列的连接轴5-3-3由旋转 电机5-5-3配合蜗杆5-5-2和第二涡轮5-5-1驱动运转,能够减小摆动座5-3-1的占据空 间,使得整体结构更加紧凑。
进一步的,所述夹持端头6包括转动连接于夹具盘5-4上的夹持轴6-1以及设于夹持轴6-1外端,并用于夹持叶片的夹爪组件6-2;所述夹具盘5-4内部还设有用于驱动夹 持轴6-1旋转的夹持电机6-3,能够对夹持的叶片进行翻面,无需重复装夹,进一步提 高了抛光效率。
进一步的,为了便于对叶片进行夹持,所述夹爪组件6-2包括对称设置的两个夹爪6-2-1,并且两个夹爪6-2-1均与夹持轴6-1的外端滑动连接;所述两个夹爪6-2-1之间 通过弹簧6-2-2相连。
进一步的,所述清洗机构3为超声波清洗池,以保证及时去除加工过程残留在叶片型面上的杂质、气泡等,保证了抛光精度。
本实施列的工作过程:首先将待抛光的叶片夹持于四个夹持端头6上,然后升降电机5-8、摆动电机5-3-4和旋转电机5-5-3工作,将其中一个待抛光叶片定位到电极4-2 上方,然后由驱动电机调整每根电极4-2的位置,使得电极4-2与叶片型面之间间隙稳 定,然后进行电解抛光,抛光完成后,旋转电机5-5-3驱动连接轴5-3-3旋转90度,对 下个叶片进行抛光,如此循环抛光,同时当已抛光的叶片位于超声波清洗池上方时,摆 动电机5-3-4工作,同时将位于超声波清洗池上方已抛光的叶片浸入超声波清洗池内进行清洗,并且驱动再次调整每根电极4-2的位置,始终保持与电极4-2与叶片型面之间 间隙稳定,针对单个叶片来说,其总是在电解池2与超声波清洗池之间循环,可实现一 边抛光,一边清洗,在保证抛光精度的同时,提高了抛光效率。
以上所述的具体实施例,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细 说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发 明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种叶片的电解抛光装置,其特征在于:包括基座(1)以及设于基座上的电解池(2)和清洗机构(3);所述电解池(2)内设有电极机构(4);所述基座(1)的上方活动设有用于夹持叶片的夹持机构(5);所述夹持机构(5)至少具有两个分别位于电解池(2)和清洗机构(3)上方的夹持端头(6);所述夹持机构(5)可绕Z轴旋转,并且可向清洗机构(3)倾斜,使夹持于清洗机构(3)上方的叶片浸入清洗机构(3)中;所述电极机构(4)包括设于电解池(2)内的安装座(4-1)以及呈线性分布于安装座(4-1)上的若干个电极(4-2);所述电极(4-2)内部具有喷液通道,并且其顶部设有与喷液通道连通的喷液口;所述安装座(4-1)上设有若干个与电极(4-2)一一对应的安装孔(4-3),每个电极(4-2)均设于与其对应的安装孔(4-3)中,并且电极(4-2)的外壁与安装孔(4-3)内壁密封;所述安装座(4-1)内设有与所有安装孔(4-3)均连通的电解液导液槽;所述安装座(4-1)的侧壁上设有与电解液导液槽连通的电解液入口;所述安装座(4-1)上对应每个电极(4-2)均设有一驱动组件(4-4);所述驱动组件(4-4)用于驱动对应的电极(4-2)升降。
2.根据权利要求1所述的一种叶片的电解抛光装置,其特征在于:所述电极(4-2)的下段的外壁设置成螺纹状;所述安装孔(4-3)的孔口处设有用于容纳驱动组件(4-4)的容纳缺口(4-5);所述容纳缺口(4-5)中设有与电极(4-2)的螺纹段螺纹连接的支撑块(4-6);所述驱动组件(4-4)包括设于容纳缺口(4-5)中的驱动电机;所述容纳缺口(4-5)中还转动连接有与驱动电机传动的驱动轴;所述驱动轴上设有与电极(4-2)螺纹段传动的第一涡轮。
3.根据权利要求1所述的一种叶片的电解抛光装置,其特征在于:所述夹持机构(5)包括对称设于基座(1)两端的立柱(5-1)、高度可调地设于两立柱(5-1)之间的横梁(5-2)以及设于横梁(5-2)上的摆动组件(5-3);所述摆动组件(5-3)底部转动连接有夹具盘(5-4);所述摆动组件(5-3)内部设有用于驱动夹具盘(5-4)绕Z轴旋转的旋转组件(5-5);所述夹持端头(6)沿夹具盘(5-4)的周向均布有四个;所述摆动组件(5-3)用于驱动夹具盘(5-4)倾斜,使得夹持于清洗机构(3)上方夹持端头(6)地上的叶片浸入清洗机构(3)中。
4.根据权利要求3所述的一种叶片的电解抛光装置,其特征在于:所述横梁(5-2)的两端均设有滑动座(5-6),两个滑动座(5-6)分别与两个立柱(5-1)滑动连接;每个立柱(5-1)上均转动连接有与滑动座(5-6)螺纹连接的升降丝杆(5-7);所述升降丝杆(5-7)由设于立柱(5-1)上的升降电机(5-8)驱动运转。
5.根据权利要求4所述的一种叶片的电解抛光装置,其特征在于:所述摆动组件(5-3)包括摆动座(5-3-1);所述横梁(5-2)的中部设有用于安装摆动座(5-3-1)的安装缺口(5-3-2);所述摆动座(5-3-1)的两端通过转轴转动安装于安装缺口(5-3-2)内,并且其中一根转轴伸入横梁(5-2)内部;所述横梁(5-2)内部设有用于驱动摆动座(5-3-1)摆动的摆动电机(5-3-4)。
6.根据权利要求5所述的一种叶片的电解抛光装置,其特征在于:所述摆动座(5-3-1)的底部转动安装有连接轴(5-3-3);所述夹具盘(5-4)与连接轴(5-3-3)固定连接;所述旋转组件(5-5)包括固定于连接轴(5-3-3)上的第二涡轮(5-5-1)以及转动安装于摆动座(5-3-1)内部并与第二涡轮(5-5-1)传动的蜗杆(5-5-2);所述摆动座(5-3-1)一侧还设有用于驱动蜗杆(5-5-2)运转的旋转电机(5-5-3)。
7.根据权利要求3所述的一种叶片的电解抛光装置,其特征在于:所述夹持端头(6)包括转动连接于夹具盘(5-4)上的夹持轴(6-1)以及设于夹持轴(6-1)外端,并用于夹持叶片的夹爪组件(6-2);所述夹具盘(5-4)内部还设有用于驱动夹持轴(6-1)旋转的夹持电机(6-3)。
8.根据权利要求7所述的一种叶片的电解抛光装置,其特征在于:所述夹爪组件(6-2)包括对称设置的两个夹爪(6-2-1),并且两个夹爪(6-2-1)均与夹持轴(6-1)的外端滑动连接;所述两个夹爪(6-2-1)之间通过弹簧(6-2-2)相连。
9.根据权利要求1所述的一种叶片的电解抛光装置,其特征在于:所述清洗机构(3)为超声波清洗池。
CN202210445108.6A 2022-04-22 2022-04-22 一种叶片的电解抛光装置 Active CN114892256B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210445108.6A CN114892256B (zh) 2022-04-22 2022-04-22 一种叶片的电解抛光装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210445108.6A CN114892256B (zh) 2022-04-22 2022-04-22 一种叶片的电解抛光装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN114892256A CN114892256A (zh) 2022-08-12
CN114892256B true CN114892256B (zh) 2024-04-09

Family

ID=82719500

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210445108.6A Active CN114892256B (zh) 2022-04-22 2022-04-22 一种叶片的电解抛光装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN114892256B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116652791B (zh) * 2022-11-08 2024-06-04 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司 一种硅电极表面抛光设备及抛光方法

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6033548A (en) * 1997-07-28 2000-03-07 Micron Technology, Inc. Rotating system and method for electrodepositing materials on semiconductor wafers
JP2000129500A (ja) * 1998-10-29 2000-05-09 Hitachi Ltd 電解研磨装置
US6599415B1 (en) * 2001-04-30 2003-07-29 Advanced Cardiovascular Systems, Inc. Apparatus and method for electropolishing surfaces
JP2008111178A (ja) * 2006-10-31 2008-05-15 Takashi Shimatani 電解研磨方法、電解研磨装置およびその電極棒
CN102601686A (zh) * 2012-04-10 2012-07-25 大连理工大学 一种整体叶轮类零件旋转磨料流抛光装置
CN102851729A (zh) * 2012-05-08 2013-01-02 上海超导科技股份有限公司 金属基带的多通道连续化电解抛光装置及抛光方法
CN207418901U (zh) * 2017-09-28 2018-05-29 东海县海龙水晶工艺品有限公司 一种电解抛光装置
CN212865056U (zh) * 2020-08-13 2021-04-02 嘉兴永发电子有限公司 一种不锈钢电解抛光清洗装置
CN112695372A (zh) * 2020-12-02 2021-04-23 无锡市鹏振智能科技有限公司 一种旋转式电解抛光清洗设备
RU2755908C1 (ru) * 2021-01-09 2021-09-22 Аскар Джамилевич Мингажев Установка для электрополирования лопатки турбомашины
CN113478031A (zh) * 2021-07-28 2021-10-08 南京航空航天大学 柔性电极动态变形电解加工方法及应用
CN215968128U (zh) * 2021-08-25 2022-03-08 德州惠正通风空调设备有限公司 一种风机叶片生产用高效抛光设备

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM465986U (zh) * 2013-05-02 2013-11-21 Chung Shan Inst Of Science 卷對卷電化學拋光裝置

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6033548A (en) * 1997-07-28 2000-03-07 Micron Technology, Inc. Rotating system and method for electrodepositing materials on semiconductor wafers
JP2000129500A (ja) * 1998-10-29 2000-05-09 Hitachi Ltd 電解研磨装置
US6599415B1 (en) * 2001-04-30 2003-07-29 Advanced Cardiovascular Systems, Inc. Apparatus and method for electropolishing surfaces
JP2008111178A (ja) * 2006-10-31 2008-05-15 Takashi Shimatani 電解研磨方法、電解研磨装置およびその電極棒
CN102601686A (zh) * 2012-04-10 2012-07-25 大连理工大学 一种整体叶轮类零件旋转磨料流抛光装置
CN102851729A (zh) * 2012-05-08 2013-01-02 上海超导科技股份有限公司 金属基带的多通道连续化电解抛光装置及抛光方法
CN207418901U (zh) * 2017-09-28 2018-05-29 东海县海龙水晶工艺品有限公司 一种电解抛光装置
CN212865056U (zh) * 2020-08-13 2021-04-02 嘉兴永发电子有限公司 一种不锈钢电解抛光清洗装置
CN112695372A (zh) * 2020-12-02 2021-04-23 无锡市鹏振智能科技有限公司 一种旋转式电解抛光清洗设备
RU2755908C1 (ru) * 2021-01-09 2021-09-22 Аскар Джамилевич Мингажев Установка для электрополирования лопатки турбомашины
CN113478031A (zh) * 2021-07-28 2021-10-08 南京航空航天大学 柔性电极动态变形电解加工方法及应用
CN215968128U (zh) * 2021-08-25 2022-03-08 德州惠正通风空调设备有限公司 一种风机叶片生产用高效抛光设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN114892256A (zh) 2022-08-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110524350B (zh) 一种不锈钢管及其制备系统与加工方法
CN114892256B (zh) 一种叶片的电解抛光装置
CN113305328A (zh) 一种便于在管件柱面上钻孔的钻床
CN220073472U (zh) 一种用于齿轮加工的打磨机
CN219027102U (zh) 不锈钢铸件抛光装置
CN114737243B (zh) 一种机械零部件表面电镀设备
CN214869661U (zh) 一种玻璃加工用的超精密抛光设备
CN211305776U (zh) 一种用于陶瓷瓷砖的磨釉机
CN211613517U (zh) 一种电镀前金属表面清洁装置
CN208628923U (zh) 一种用车床加工轴向槽的工装
CN218225918U (zh) 一种实木床毛边清理装置
CN219275384U (zh) 一种不锈钢板加工用边框打磨装置
CN108015369B (zh) 一种电化学去毛刺设备
CN215145443U (zh) 一种电火花机
CN111730445A (zh) 一种用于机械加工的倒棱机及其使用方法
CN117144440B (zh) 一种金属微弧氧化处理装置及处理方法
CN111730556B (zh) 一种轮流夹持水龙头的夹具
CN220055337U (zh) 一种电解抛光翻转装置
CN211639438U (zh) 一种金属瓶盖加工用抛光装置
CN220827482U (zh) 一种五金件表面电镀装置
CN220767222U (zh) 一种刀具表面镀膜装置
CN220279141U (zh) 一种管状五金件打磨装置
CN217833013U (zh) 一种办公桌生产用边角打磨机
CN220352285U (zh) 一种电镀用熔融液浸泡钢管架
CN217193995U (zh) 一种不锈钢金属铸件加工用切削装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant