CN114887976A - 一种清洁装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及芯片制造技术领域，公开了一种清洁装置。清洁装置包括转盘、清洁组件、驱动件和支撑组件。转盘的转动轴线沿第一方向延伸，待清洁基板能够固定在转盘上；清洁组件位于转盘沿第一方向的一侧，清洁组件包括清洁头和连接臂，清洁头设置在连接臂的一端并位于连接臂朝向转盘的一侧；驱动件连接于连接臂的另一端并能够驱动清洁组件沿第二方向移动；支撑组件包括滑轨和滑块，滑轨沿第二方向延伸，滑块与滑轨滑动配合，滑块连接于连接臂相背转盘的一侧，滑块与清洁头设置在连接臂的同一端。本发明减少连接臂的形变量，保证清洁装置的清洁效果和生产效率，也避免驱动件受到的压力过大而损坏，保证驱动件的耐用性，降低维护成本。

Description

一种清洁装置

技术领域

本发明涉及芯片制造技术领域，尤其涉及一种清洁装置。

背景技术

在基板减薄工艺中，大量化学物质及基板的磨屑颗粒会附着在基板及其边缘斜角上。此类化学物质及磨屑颗粒如不清洗干净，将影响后续制程及芯片良率，为此需对基板进行清洁，以达到半导体制程洁净度的要求。清洁装置通常包括转盘、清洁臂和电缸。转盘的转轴水平设置，待清洁基板固定在转盘上，且转盘能够带动待清洁基板转动，设置在清洁臂一端的清洁头抵压在待清洁基板上，电缸连接于清洁臂的另一端并带动清洁头沿水平方向移动，以实现清洁工序。现有技术中，为了保证清洁效果，通常清洁头需要对待清洁基板施加一定的压力，清洁臂易发生弯曲变形，导致清洁头与待清洁基板之间产生缝隙，不能保证清洁效果，同时也降低了耐用性，增加了清洁装置的维护成本，而且待清洁基板施加的反作用力传递至电缸上，增加电缸损坏的风险。

基于此，亟需一种清洁装置用来解决如上提到的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种清洁装置，以减少连接臂的形变量，保证清洁装置的清洁效果和生产效率，也避免驱动件受到的压力过大而损坏，保证驱动件的耐用性，降低维护成本。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种清洁装置，包括：

转盘，所述转盘的转动轴线沿水平设置的第一方向延伸，待清洁基板能够固定在所述转盘上；

清洁组件，位于所述转盘沿所述第一方向的一侧，所述清洁组件包括清洁头和连接臂，所述清洁头设置在所述连接臂的一端并位于所述连接臂朝向所述转盘的一侧；

驱动件，连接于所述连接臂的另一端并能够驱动所述清洁组件沿水平设置的第二方向移动，所述第一方向与所述第二方向垂直；

支撑组件，包括滑轨和滑块，所述滑轨沿所述第二方向延伸，所述滑块与所述滑轨滑动连接，所述滑块连接于所述连接臂相背所述转盘的一侧，所述滑块与所述清洁头设置在所述连接臂的同一端。

作为一种清洁装置的可选技术方案，所述清洁装置还包括抵压组件，所述抵压组件包括抵压件和连接架，所述滑轨固定在所述连接架上，所述抵压件连接于所述连接臂与所述驱动件之间，所述抵压件能够驱动所述连接臂沿所述第一方向移动。

作为一种清洁装置的可选技术方案，所述抵压组件还包括导轨，所述导轨固定设置且沿所述第一方向延伸，所述连接架与所述导轨滑动配合。

作为一种清洁装置的可选技术方案，所述清洁组件还包括喷嘴，所述喷嘴设置在所述连接臂朝向所述转盘的一侧，所述喷嘴能够向所述待清洁基板喷出清洁液。

作为一种清洁装置的可选技术方案，所述喷嘴与所述清洁头沿所述第二方向排布。

作为一种清洁装置的可选技术方案，所述清洁组件还包括转动电机，所述转动电机连接于所述连接臂并能够驱动所述清洁头绕所述第一方向转动。

作为一种清洁装置的可选技术方案，所述转盘的第一端端面上开设有多个吸附孔，所述吸附孔的孔壁上开设有吸附凹槽，所述吸附凹槽贯通所述转盘的第一端端面，所述转盘的第一端端面上设置有塑料孔板，所述塑料孔板上开设有多个通孔，多个所述通孔与多个所述吸附孔一一正对设置，且所述塑料孔板能够遮挡所述吸附凹槽。

作为一种清洁装置的可选技术方案，所述清洁装置还包括移动组件，所述移动组件包括支架和驱动组件，所述支架上开设有用于容纳所述待清洁基板底部的凹槽，所述驱动组件能够驱动所述支架沿水平和/或竖直方向移动。

作为一种清洁装置的可选技术方案，所述清洁装置还包括修整件，所述驱动件能够驱动所述清洁头移动至与所述修整件抵触，以使所述修整件与所述清洁头摩擦。

作为一种清洁装置的可选技术方案，所述清洁装置还包括沿所述第二方向延伸的喷淋管，所述喷淋管设置在所述转盘上方，所述喷淋管上沿轴向间隔设置有多个喷淋头，所述喷淋头的一端与所述喷淋管连通，另一端向下倾斜设置并能够向所述待清洁基板喷淋清洁液。

本发明的有益效果：

本发明提供的清洁装置，其包括转盘、清洁组件、驱动件和支撑组件。清洁组件包括连接臂和清洁头，清洁头设置在朝向转盘的一侧并位于连接臂的一端，连接臂的另一端连接于驱动件，连接臂相背于转盘的一侧连接有滑块，滑块与清洁头位于连接臂的同一侧，滑轨与滑块滑动连接。当清洁头清洁待清洁基板时，转盘固定待清洁基板并绕第一方向转动，驱动件驱动连接臂沿第二方向移动，以使清洁头沿第二方向接触待清洁基板并摩擦清洁待清洁基板，滑轨能够支撑在连接臂相背于待清洁基板的一侧，减少了连接臂的形变量，降低了清洁头与待清洁基板之间产生缝隙的可能性，保证了清洁头能够与待清洁基板完全接触，保证了清洁装置的清洁效果，同时保证了清洁装置运行一次即可完成待清洁基板的一端端面的清洁，避免了二次返工，保证了生产效率，滑轨能够分担驱动件受到的压力，避免了驱动件受到的压力过大而损坏，保证了驱动件的耐用性，从而保证了清洁装置的耐用性，也降低了连接臂变形的可能性，降低了维护成本。同时，设置滑轨和滑块，也能够保证清洁头沿第二方向清洁待清洁基板，保证了清洁过程的顺利进行。

附图说明

图1是本发明实施例提供的清洁装置的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的清洁装置的俯视图；

图3是本发明实施例提供的清洁装置的剖视图；

图4是本发明实施例提供的转盘和移动组件的分解图；

图5是本发明实施例提供的清洁组件、抵压组件和支撑组件的结构示意图；

图6是本发明实施例提供的清洁组件的结构示意图。

图中：

10、待清洁基板；

1、箱体；11、开口；12、穿孔；121、护边；

2、转盘；21、吸附孔；22、塑料孔板；221、通孔；23、转动组件；231、带轮；232、同步带；233、驱动电机；24、旋转接头；

3、清洁组件；31、清洁头；32、连接臂；33、喷嘴；34、转动电机；35、转接部；36、从动轮；37、皮带；

4、驱动件；41、输出端；42、导向件；

5、支撑组件；51、滑轨；52、滑块；

6、移动组件；61、支架；611、凹槽；62、驱动组件；621、第一气缸；622、第二气缸；

7、修整件；8、喷淋管；81、喷淋头；

9、抵压组件；91、抵压件；92、连接架；921、容纳槽；922、条形孔；93、导轨；94、连接块。

具体实施方式

为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本发明实施例的技术方案做进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

本实施例提供了一种清洁装置。具体地，如图1-图6所示，清洁装置包括转盘2、清洁组件3、驱动件4和支撑组件5。转盘2的转动轴线沿水平设置的第一方向延伸，待清洁基板10能够固定在转盘2上；清洁组件3位于转盘2沿第一方向的一侧，清洁组件3包括清洁头31和连接臂32，清洁头31设置在连接臂32的一端并位于连接臂32朝向转盘2的一侧；驱动件4连接于连接臂32的另一端并能够驱动清洁组件3沿水平设置的第二方向移动，第一方向与第二方向垂直；支撑组件5包括滑轨51和滑块52，滑轨51沿第二方向延伸，滑块52与滑轨51滑动连接，滑块52连接于连接臂32相背转盘2的一侧，滑块52与清洁头31设置在连接臂32的同一端。

本实施例提供的清洁装置，其包括转盘2、清洁组件3、驱动件4和支撑组件5。清洁组件3包括连接臂32和清洁头31，清洁头31设置在朝向转盘2的一侧并位于连接臂32的一端，连接臂32的另一端连接于驱动件4，连接臂32相背于转盘2的一侧连接有滑块52，滑块52与清洁头31位于连接臂32的同一侧，滑轨51与滑块52滑动连接。当清洁头31清洁待清洁基板10时，转盘2固定待清洁基板10并绕第一方向转动，驱动件4驱动连接臂32沿第二方向移动，以使清洁头31沿第二方向接触待清洁基板10并摩擦清洁待清洁基板10，滑轨51能够支撑在连接臂32相背于待清洁基板10的一侧，减少了连接臂32的形变量，降低了清洁头31与待清洁基板10之间产生缝隙的可能性，保证了清洁头31能够与待清洁基板10完全接触，保证了清洁装置的清洁效果，同时保证了清洁装置运行一次即可完成待清洁基板10的一端端面的清洁，避免了二次返工，保证了生产效率，滑轨51能够分担驱动件4受到的压力，避免了驱动件4受到的压力过大而损坏，保证了驱动件4的耐用性，从而保证了清洁装置的耐用性，也降低了连接臂32变形的可能性，降低了维护成本。同时，设置滑轨51和滑块52，也能够保证清洁头31沿第二方向清洁待清洁基板10，保证了清洁过程的顺利进行。

为了便于描述，第一方向为图1和图2中所示的X方向的正方向或反方向，第二方向为图1和图2中所示的Y方向的正方向或反方向。

作为优选方案，清洁装置还包括箱体1，转盘2、清洁租件3和支撑组件5均位于箱体1内。箱体1的顶端开口，便于被外部的机械手夹持待清洁基板10通过开口进入箱体1，也便于外部机械手通过开口取出待清洁基板10。

具体地，转盘2的第一端端面上开设有多个吸附孔21，吸附孔21的孔壁上开设有吸附凹槽(图中未示出)，吸附凹槽贯通转盘2的第一端端面，转盘2的第一端端面上设置有塑料孔板22，塑料孔板22上开设有多个通孔221，多个通孔221与多个吸附孔21一一正对设置，且塑料孔板22能够遮挡吸附凹槽。上述结构设置，使得转盘2能够通过吸附的方式固定待清洁基板10，待清洁基板10与转盘2之间设置塑料孔板22，塑料孔板22的洁净度较高，避免了待清洁基板10接触其他的杂质颗粒，降低了待清洁基板10被划伤的可能性，同时也避免了其他杂质颗粒存留在待清洁基板10表面上，保证了待清洁基板10的清洁效果。而且通过开设的吸附凹槽能够将塑料孔板22固定在转盘2上，避免了塑料孔板22窜动，从而也降低了待清洁基板10在清洁过程中移动的可能性，避免了待清洁基板10脱离转盘2，降低了待清洁基板10损坏的几率，保证了待清洁基板10的合格率，也保证了对于待清洁基板10的清洁效果，同时也避免了在塑料孔板22上涂覆胶水或在塑料孔板22与转盘2之间设置连接结构，简化了装置结构和生产装配的过程，提高了清洁装置的生产效率，降低清洁装置的生产成本。在本实施例中，转盘2上连接有管路，管路的一端与真空泵的吸入端连通，另一端与转盘2上的各个吸附孔21连通。

进一步地，吸附孔21的数量与通孔221的数量及形状可适应性调整，在此不作限定。任意相邻两个吸附孔21的吸附凹槽可朝向彼此延伸并连通，增大了对于塑料孔板22的吸附面积，进一步避免了塑料孔板22发生窜动和脱离转盘2等情况，保证了对于待清洁基板10的清洁效果。

在本实施例中，转盘2与塑料孔板22均为圆形。转盘2的直径与塑料孔板22的直径相同。且待清洁基板10的直径大于转盘2的直径。即待清洁基板10同轴固定在转盘2上时，待清洁基板10的边缘凸出于转盘2和塑料孔板22的边缘，便于取放待清洁基板10。

在本实施例中，转盘2相背于第一端的第二端同轴固定连接有沿第一方向延伸的转轴，转轴转动连接于箱体1且转轴远离转盘2的一端穿出箱体1连接于转动组件23，转动组件23能够驱动转轴绕第一方向转动。转动组件23包括驱动电机233、同步带232和带轮231，驱动电机233的壳体固定在箱体1外侧，带轮231沿第二方向间隔设置有两个，两个带轮231的轴线以及驱动电机233的输出轴均沿第一方向延伸，其中一个带轮231与驱动电机233的输出轴同轴连接，另一个带轮231与转盘2的转轴同轴可拆卸连接。两个带轮231上张紧有同步带232，实现驱动电机233驱动转盘2转动。且上述结构设置，便于通过设置两个直径不同的带轮231，实现转盘2与驱动电机233的转速不同，便于根据待清洁基板10的清洁需求，调整转盘2的转速，利用同一驱动电机233即可实现驱动转盘2以不同速度转动，降低了对于驱动电机233的数量需求，降低了成本。

进一步地，连接于转盘2的带轮231上连接有旋转接头24，便于与外部结构连接，便于通过驱动电机233同时驱动转盘2以及外部结构转动，丰富了清洁装置的功能性，提高了实用性，同时也进一步降低了对于驱动电机233的数量需求，降低了成本。

优选地，清洁装置还包括沿第二方向延伸的喷淋管8，喷淋管8设置在转盘2上方，喷淋管8上沿轴向间隔设置有多个喷淋头81，喷淋头81的一端与喷淋管8连通，另一端向下倾斜设置并能够向待清洁基板10喷淋清洁液。设置沿第二方向延伸的喷淋管8，能够由上至下向待清洁基板10喷淋清洁液，保证了待清洁基板10能够完全湿润并保持湿润的状态，提高了对于待清洁基板10上残留的化学物质以及颗粒的冲洗的作用，避免了清洁头31带动待清洁基板10上的残留颗粒摩擦待清洁基板10，降低了待清洁基板10被划伤的可能性，保证了待清洁基板10的合格率，同时也避免了待清洁基板10上存在干燥的位置，使得清洁头31始终与湿润的待清洁基板10接触，从而保证了清洁效果。其中，喷淋头81的结构可参考现有技术，在此不再赘述。本实施例中的清洁液可为酸碱溶液或超纯水，根据清洁需求而定，在此不作限定。

在本实施例中，喷淋管8设置有两个，沿第一方向间隔设置，两个喷淋管8分别位于转盘2沿第一方向的两侧，且喷淋管8的底部连接有喷淋头81，喷淋头81的顶部连通于喷淋管8，任一喷淋管8上的喷淋头81的底部朝向另一喷淋管8倾斜，使得两个喷淋管8上的喷淋头81分别向待清洁基板10的两端喷淋清洁液，待清洁基板10的两个端面均能够被清洁液冲洗，进一步保证了待清洁基板10的清洁效果。可以理解的是，对于待清洁基板10被吸附转盘2的面而言，由于待清洁基板10的直径大于转盘2的直径，故喷淋头81能够向待清洁基板10被吸附转盘2的面的边缘喷淋清洁液。

在本实施例中，两个喷淋管8均设置在箱体1内的顶端。且两个喷淋管8之间的间隔需要保证被机械手夹持的待清洁基板10能够通过。

作为优选方案，清洁组件3还包括喷嘴33，喷嘴33设置在连接臂32朝向转盘2的一侧，喷嘴33能够向待清洁基板10喷出清洁液。在连接臂32上设置喷嘴33，能够实现淋湿待清洁基板10，而且喷嘴33距离清洁头31较近，能够保证清洁头31清洁的位置上具有清洁液，保证了清洁效果。

优选地，喷嘴33与清洁头31沿第二方向排布。连接臂32沿第二方向移动，当喷嘴33位于清洁头31的前侧时，喷嘴33能够在清洁头31接触待清洁基板10前，喷出清洁液，淋湿待清洁基板10，保证了清洁效果。

进一步地，清洁头31沿第二方向的两侧均可设置喷嘴33，保证连接臂32沿第二方向往复移动时，喷嘴33均能够在清洁头31接触待清洁基板10前，喷出清洁液，淋湿待清洁基板10，进一步保证了清洁效果。在图5中仅示出了其中一个喷嘴33。

在本实施例中，连接臂32沿竖直方向延伸，驱动件4连接于连接臂32的上端，清洁头31设置在连接臂32的下端。连接臂32位于转盘2沿第一方向的一侧。即连接臂32沿第一方向的一侧设置清洁头31，另一侧侧壁的顶端连接有转接部35，转接部35呈块状沿第一方向朝向相背于转盘2的方向延伸，并与驱动件4的输出端41连接。

进一步地，清洁组件3还包括转动电机34，转动电机34连接于连接臂32并能够驱动清洁头31绕第一方向转动。使得清洁头31在清洁待清洁基板10时，待清洁基板10与清洁头31均转动，提高了清洁效果。本实施例中，清洁头31呈圆柱状，轴线沿第一方向延伸，转动电机34能够驱动清洁头31绕自身的轴线转动。

在本实施例中，连接臂32内部中空，转动电机34的壳体固定连接于连接臂32相背于转盘2的侧壁，转动电机34的输出轴转动穿设上述的侧壁，延伸至连接臂32内部。连接臂32内部设置有主动轮、从动轮36以及张紧于主动轮和从动轮36上的皮带37。主动轮与从动轮36的轴线均沿第一方向延伸，且主动轮与从动轮36沿上下方向间隔设置，主动轮位于连接臂32内部的顶端，从动轮36位于连接臂32内部的底端。主动轮与转动电机34的输出轴同轴连接，从动轮36朝向转盘2的一侧同轴连接有转动柱，转动柱远离从动轮36的一端转动穿设连接臂32朝向转盘2一侧的侧壁并同轴连接于清洁头31。上述结构设置，便于通过设置直径不同的主动轮和从动轮36，实现清洁头31与转动电机34的转速不同，便于根据待清洁基板10的清洁需求，调整清洁头31的转速，利用同一转动电机34即可实现驱动清洁头31以不同速度转动，降低了对于转动电机34的数量需求，降低了成本。连接臂32包括两个半壳，两个半壳扣合形成连接臂32。两个半壳之间通过卡扣或螺栓可拆卸连接。具体地，转接部35连接于转动电机34的壳体上。

在本实施例中，清洁头31采用聚氨酯材料。清洁头31的端部固定有转接板，转接板连接于转动柱，转动柱与转接板之间可拆卸连接，以实现清洁头31与连接臂32之间可拆卸连接，便于更换不同材质的清洁头31。具体地，转接板与转动柱之间通过卡扣或螺栓等结果实现可拆卸连接。

再进一步地，连接臂32相背于转盘2一侧的侧壁连接于滑块52，且滑块52与清洁头31沿第一方向排布，即滑块52与清洁头31分别位于连接臂32的相背两侧且正对设置。提高了支撑组件5的支撑作用，清洁头31受到来自待清洁基板10的反作用力均传递至支撑组件5的滑轨51上，进一步避免了连接臂32的变形，降低了维护成本，也避免了驱动件4受到的压力过大而损坏，保证了驱动件4的耐用性，从而保证了清洁装置的耐用性。

作为优选方案，清洁装置还包括抵压组件9。抵压组件9包括抵压件91和连接架92，滑轨51固定在连接架92上，抵压件91连接于连接臂32与驱动件4之间，抵压件91能够驱动连接臂32沿第一方向移动。设置抵压组件9，能够在清洁头31清洁待清洁基板10时，推动清洁头31，以增加清洁头31对待清洁基板10施加的压力，保证了清洁效果，同时进一步保证了清洁装置运行一次即可完成待清洁基板10的一端端面的清洁，避免了二次返工，保证了生产效率，同时也能够使清洁组件3远离待清洁基板10，便于从转盘2上取放待清洁基板10，更换待清洁基板10，提高了使用便利性。通常滑块52上设置有凸起，滑轨51上开设有凹槽，当抵压件91驱动连接臂32沿第一方向移动时，滑块52上的凸起与滑轨51的凹槽槽壁抵接，以使滑轨51和连接架92与连接臂32同步移动。

具体地，连接架92呈板状，与第一方向垂直设置。连接架92上开设有条形孔922，条形孔922沿第二方向延伸。连接臂32位于连接架92朝向转盘2的一侧，转接部35和抵压件91位于连接架92相背于转盘2的一侧，转动电机34的壳体穿设于条形孔922。

在本实施例中，抵压件91为气缸，气缸的缸体连接于驱动件4的输出端41，气缸的活塞杆设置在缸体朝向转盘2的一侧，活塞杆的末端连接于转接部35，以实现驱动件4驱动连接臂32沿第二方向移动。

具体地，驱动件4为电缸，电缸的输出端41能够沿第二方向移动。电缸固定在箱体1的外侧壁上，箱体1上沿第二方向开设有条形开口，抵压件91穿设于条形开口内。此种结构设置，能够简化箱体1内的结构，利于缩小箱体1的体积，提高清洁装置的结构紧凑程度。

现有技术中，电缸带动清洁头的单程移动距离为待清洁基板的半径长度，导致电缸的输出端41需要不断的往返移动，移动节拍过快，导致电缸易出现发热量异常的情况，影响使用寿命。在本实施例中，清洁头31与转盘2的圆心位于同一高度位置，且驱动件4带动清洁头31的单程移动距离不小于待清洁基板10的直径长度，使得待清洁基板10同轴固定在转盘2上时，清洁头31能够沿待清洁基板10的直径方向移动，降低了输出端41的移动节拍，降低驱动件4发热量异常的可能性，降低了对于驱动件4使用寿命的影响。

再进一步地，驱动件4的上、下两侧均设置有导向件42，导向件42为滑动轨道，导向件42固定在箱体1的外侧壁上并沿第二方向延伸，驱动件4的输出端41的上、下两端分别连接有一个滑动件，滑动件与对应的导向件42滑动配合。设置导向件42，进一步保证了输出端41能够沿第二方向移动，保证了清洁头31沿待清洁基板10的直径方向移动，保证了对于待清洁基板10的清洁效果。

进一步地，抵压组件9还包括导轨93，导轨93固定设置且沿第一方向延伸，连接架92与导轨93滑动配合。设置导轨93，实现了对于连接架92的导向作用，保证了连接架92与连接臂32能够准确地沿第一方向靠近或远离待清洁基板10，保证了清洁头31能够准确地抵压在待清洁基板10上，使得清洁头31施加在待清洁基板10上的压力沿第一方向，即压力与待清洁基板10垂直，避免了清洁头31将待清洁基板10推离转盘2，保证了清洁过程的顺利进行，也保证了清洁效果，同时进一步保证了清洁装置运行一次即可完成待清洁基板10的一端端面的清洁，避免了二次返工，保证了生产效率。

在本实施例中，连接架92上固定连接有连接块94，连接块94与导轨93滑动配合。导轨93设置有两个，两个导轨93分别位于连接架92沿第二方向的两侧，连接架92沿第二方向的两侧壁上均固定有连接块94，两个连接块94分别与对应的导轨93滑动配合。具体地，两个导轨93固定在箱体1沿第二方向的两个内侧壁上。

进一步地，连接架92沿第二方向的两侧侧壁上均开设有容纳槽921，连接块94置于容纳槽921内，并通过胶层与容纳槽921的侧壁粘接。设置容纳槽921，利于缩小箱体1沿第二方向的尺寸，提高了结构的紧凑程度，利于实现清洁装置的小型化。

优选地，清洁装置还包括移动组件6，移动组件6包括支架61和驱动组件62，支架61上开设有用于容纳待清洁基板10底部的凹槽611，驱动组件62能够驱动支架61沿水平和/或竖直方向移动。设置移动组件6，支架61便于承接来自外部机械手的待清洁基板10，并利用驱动组件62驱动支架61移动以带动待清洁基板10移动至转盘2处，避免了外部机械手直接带动待清洁基板10移动至转盘2。

具体地，驱动组件62包括第一气缸621和第二气缸622，第一气缸621的活塞杆连接于支架61，第一气缸621用于驱动支架61沿第一方向移动，第二气缸622的活塞杆连接于第一气缸621的缸体，第二气缸622用于驱动支架61沿竖直方向移动。箱体1上开设有穿孔12，穿孔12沿竖直方向延伸，第二气缸622的缸体固定在箱体1外部，第一气缸621穿设于穿孔12内。此种结构设置，能够进一步简化箱体1内的结构，利于缩小箱体1的体积，提高清洁装置的结构紧凑程度。

进一步地，箱体1内侧壁上凸出设置有护边121，护边121沿穿孔12的周向围设，且护边121呈倒U型，护边121的内侧壁与穿孔12的孔壁平齐。设置护边121，若第一气缸621与箱体1发生碰撞时，增大第一气缸621与箱体1之间的接触面积，减小压强，保护第一气缸621，保证了耐用性。

优选地，清洁装置还包括修整件7，驱动件4能够驱动清洁头31移动至与修整件7抵触，以使修整件7与清洁头31摩擦。设置修整件7，清洁头31能够通过与修整件7摩擦，能够清理清洁头31上的碎屑或其他杂质颗粒，便于进行后续的清洁过程，保证了清洁效果，而且也进一步降低了待清洁基板10被杂质颗粒划伤的可能性，保证了待清洁基板10的合格率。本实施例中，修整件7固定在箱体1的内壁上。修整件7可为毛刷，或整块的金刚石，具体材质根据实际需求而定。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种清洁装置，其特征在于，包括：

转盘(2)，所述转盘(2)的转动轴线沿水平设置的第一方向延伸，待清洁基板(10)能够固定在所述转盘(2)上；

清洁组件(3)，位于所述转盘(2)沿所述第一方向的一侧，所述清洁组件(3)包括清洁头(31)和连接臂(32)，所述清洁头(31)设置在所述连接臂(32)的一端并位于所述连接臂(32)朝向所述转盘(2)的一侧；

驱动件(4)，连接于所述连接臂(32)的另一端并能够驱动所述清洁组件(3)沿水平设置的第二方向移动，所述第一方向与所述第二方向垂直；

支撑组件(5)，包括滑轨(51)和滑块(52)，所述滑轨(51)沿所述第二方向延伸，所述滑块(52)与所述滑轨(51)滑动连接，所述滑块(52)连接于所述连接臂(32)相背所述转盘(2)的一侧，所述滑块(52)与所述清洁头(31)设置在所述连接臂(32)的同一端。

2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括抵压组件(9)，所述抵压组件(9)包括抵压件(91)和连接架(92)，所述滑轨(51)固定在所述连接架(92)上，所述抵压件(91)连接于所述连接臂(32)与所述驱动件(4)之间，所述抵压件(91)能够驱动所述连接臂(32)沿所述第一方向移动。

3.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述抵压组件(9)还包括导轨(93)，所述导轨(93)固定设置且沿所述第一方向延伸，所述连接架(92)与所述导轨(93)滑动配合。

4.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁组件(3)还包括喷嘴(33)，所述喷嘴(33)设置在所述连接臂(32)朝向所述转盘(2)的一侧，所述喷嘴(33)能够向所述待清洁基板(10)喷出清洁液。

5.根据权利要求4所述的清洁装置，其特征在于，所述喷嘴(33)与所述清洁头(31)沿所述第二方向排布。

6.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁组件(3)还包括转动电机(34)，所述转动电机(34)连接于所述连接臂(32)并能够驱动所述清洁头(31)绕所述第一方向转动。

7.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述转盘(2)的第一端端面上开设有多个吸附孔(21)，所述吸附孔(21)的孔壁上开设有吸附凹槽，所述吸附凹槽贯通所述转盘(2)的第一端端面，所述转盘(2)的第一端端面上设置有塑料孔板(22)，所述塑料孔板(22)上开设有多个通孔(221)，多个所述通孔(221)与多个所述吸附孔(21)一一正对设置，且所述塑料孔板(22)能够遮挡所述吸附凹槽。

8.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括移动组件(6)，所述移动组件(6)包括支架(61)和驱动组件(62)，所述支架(61)上开设有用于容纳所述待清洁基板(10)底部的凹槽(611)，所述驱动组件(62)能够驱动所述支架(61)沿水平和/或竖直方向移动。

9.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括修整件(7)，所述驱动件(4)能够驱动所述清洁头(31)移动至与所述修整件(7)抵触，以使所述修整件(7)与所述清洁头(31)摩擦。

10.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括沿所述第二方向延伸的喷淋管(8)，所述喷淋管(8)设置在所述转盘(2)上方，所述喷淋管(8)上沿轴向间隔设置有多个喷淋头(81)，所述喷淋头(81)的一端与所述喷淋管(8)连通，另一端向下倾斜设置并能够向所述待清洁基板(10)喷淋清洁液。

Images