CN114870537A - 过滤除尘器及过滤除尘系统 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种过滤除尘器及过滤除尘系统，在该过滤除尘器的过滤容腔内进气口和出气口的下方设置第一过滤网，使得进入过滤容腔的气体中的杂质在重力作用下到达第一过滤网进行过滤，同时在过滤容腔内进气口和出气口的上方设置吹扫装置，利用吹扫装置从过滤容腔顶部喷洒气体，增加进入过滤容腔的气体中的杂质向第一过滤网的下沉量，并且，通过设置第一过滤网的直径，使得排放气体中金、银或铝等贵金属透过第一过滤网收集到第一回收部件中，并使得排放气体中可回收利用砂被第一过滤网过滤后收集到第二回收部件中，即可在对半导体制造过程中产生的排放气体进行过滤的同时，将贵金属和可回收利用砂分别回收，从而减少成本，提高生产效率。

Description

过滤除尘器及过滤除尘系统

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种过滤除尘器及过滤除尘系统。

背景技术

在半导体制造过程中，不可避免地会产生排放气体，且排放气体中常常掺杂有金、银或铝等贵金属、可回收利用砂以及不可回收利用砂，具体例如，在对LED芯片蒸镀重金属(如金)时，需要将LED芯片放置在镀锅上进行蒸镀，那么，在对LED芯片蒸镀重金属的同时，必然会将重金属蒸镀在镀锅上，后续就需要利用喷砂机对镀锅进行喷砂清洗，这样喷砂机的排放气体中就会掺杂有重金属、可回收利用砂以及不可回收利用砂。因此，在对半导体制造过程中产生的排放气体进行过滤时，需要尽可能地回收贵金属以及可回收利用砂。

然而，现有的过滤除尘器在对半导体制造过程中产生的排放气体进行过滤时，通常是将排放气体中的各种杂质一起过滤出来，然后再对过滤出的杂质进行筛选，才能分别得到贵金属和可回收利用砂，这样无疑成本较高，且费时费力。

发明内容

为解决上述技术问题，本申请实施例提供了一种过滤除尘器及过滤除尘系统，以在对半导体制造过程中产生的排放气体进行过滤的同时，将贵金属和可回收利用砂分别分离出来，减少成本，提高生产效率。

为实现上述目的，本申请实施例提供了如下技术方案：

一种过滤除尘器，包括：

过滤容腔，所述过滤容腔的侧壁上设置有进气口和出气口，所述进气口与进气管道相连接，所述出气口与出气管道相连接；

第一过滤网，所述第一过滤网位于所述过滤容腔内所述进气口和所述出气口的下方，所述第一过滤网的直径等于预设直径，使得进入所述过滤容腔的气体中直径不大于所述预设直径的杂质被所述第一过滤网透过，直径大于所述预设直径的杂质被所述第一过滤网过滤，所述第一过滤网具有第一端和第二端，所述第一过滤网的第一端高于其第二端；

第一回收部件，所述第一回收部件位于所述过滤容腔内所述第一过滤网的下方，用于收集被所述第一过滤网透过的杂质；

第二回收部件，所述第二回收部件位于所述过滤容腔外，且与所述第一过滤网的第二端相连接，用于收集被所述第一过滤网过滤的杂质；

吹扫装置，所述吹扫装置位于所述过滤容腔内所述进气口和所述出气口的上方，并延伸至所述过滤容腔外，所述吹扫装置位于所述过滤容腔内的部分用于向所述过滤容腔内喷洒气体。

可选的，所述第一回收部件包括：

锥形收集器，所述锥形收集器位于所述过滤容腔内所述第一过滤网的下方，所述锥形收集器的底部开口处设置有第一电动阀门，所述第一电动阀门用于控制所述锥形收集器的底部开口的打开和关闭；

第一回收箱，所述第一回收箱位于所述锥形收集器的底部开口的下方，用于承载从所述锥形收集器的底部开口处流出的杂质。

可选的，所述第二回收部件包括：

回收管道，所述回收管道具有第一端和第二端，所述回收管道的第一端与所述第一过滤网的第二端相连接，所述回收管道的第二端设置有第二电动阀门，所述第二电动阀门用于控制所述回收管道的第二端的打开和关闭；

第二回收箱，所述第二回收箱位于所述回收管道的第二端的下方，用于承载从所述回收管道的第二端流出的杂质。

可选的，所述吹扫装置包括：

吹扫气体主管道，所述吹扫气体主管道位于所述过滤容腔内所述进气口和所述出气口的上方，并延伸至所述过滤容腔外，所述吹扫气体主管道位于所述过滤容腔外的部分设置有第三电动阀门，所述第三电动阀门用于控制所述吹扫气体主管道的打开、关闭及吹扫气体的流量，所述吹扫气体主管道位于所述过滤容腔内的部分设置有多个吹扫气体子管道；

多个喷头，所述喷头与所述吹扫气体子管道一一对应连接，以在所述第三电动阀门控制所述吹扫气体主管道打开时，使得吹扫气体从所述吹扫气体主管道进入各个所述吹扫气体子管道，并由各个所述喷头喷洒出。

可选的，所述喷头与所述吹扫气体子管道通过快插方式相连接。

可选的，所述喷头表面设置有微型过滤器。

可选的，所述喷头为全铜高雾化喷头。

可选的，所述出气管道上设置有至少一层第二过滤网。

一种过滤除尘系统，包括：依次连接的第一级过滤除尘器和第二级过滤除尘器，使得排放气体先经过所述第一级过滤除尘器进行过滤后，再经过所述第二级过滤除尘器进行过滤；

所述第一级过滤除尘器为权利要求1-8任一项所述的过滤除尘器。

可选的，所述过滤除尘系统还包括：

与所述第一级过滤除尘器互为并行备用的旁通管道，所述旁通管道具有第一端和第二端，所述旁通管道的第一端和所述第一级过滤除尘器的进气管道均与所述过滤除尘系统的输入端相连通，所述旁通管道的第二端和所述第一级过滤除尘器的出气管道均与所述第二级过滤除尘器的输入端相连通；

所述旁通管道的第一端设置有第一控制阀门，所述旁通管道的第二端设置有第二控制阀门；

所述第一级过滤除尘器的进气管道上设置有第三控制阀门，所述第一级过滤除尘器的出气管道上设置有第四控制阀门；

当所述第一级过滤除尘器正常使用时，所述第一控制阀门和所述第二控制阀门关闭，所述第三控制阀门和所述第四控制阀门打开；当所述第一级过滤除尘器需要清理或维修时，所述第三控制阀门和所述第四控制阀门关闭，所述第一控制阀门和所述第二控制阀门打开。

与现有技术相比，上述技术方案具有以下优点：

本申请实施例所提供的过滤除尘器，在过滤容腔内进气口和出气口的下方设置第一过滤网，使得进入过滤容腔的气体中的杂质在重力作用下到达第一过滤网进行过滤，同时在过滤容腔内进气口和出气口的上方设置吹扫装置，利用吹扫装置从过滤容腔顶部喷洒气体，增加进入过滤容腔的气体中的杂质向第一过滤网的下沉量，并且，设置第一过滤网的直径等于预设直径，从而使得进入过滤容腔的气体中直径不大于预设直径的杂质被第一过滤网透过，进而收集到第一回收部件中，直径大于预设直径的杂质被第一过滤网过滤，进而收集到第二回收部件中。由于金、银或铝等贵金属的直径较小，可回收利用砂的直径较大，因此，本申请实施例所提供的过滤除尘器，可以设置第一过滤网的直径，使得金、银或铝等贵金属透过第一过滤网收集到第一回收部件中，并使得可回收利用砂被第一过滤网过滤后收集到第二回收部件中，即可在对半导体制造过程中产生的排放气体进行过滤的同时，将贵金属和可回收利用砂分别回收，从而减少成本，提高生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为目前对喷砂机的排放气体进行过滤的流程示意图；

图2为本申请实施例所提供的过滤除尘器的结构示意图；

图3为本申请实施例所提供的过滤除尘系统的流程示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请，但是本申请还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似推广，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

其次，本申请结合示意图进行详细描述，在详述本申请实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本申请保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。

正如背景技术部分所述，现有的过滤除尘器在对半导体制造过程中产生的排放气体进行过滤时，通常是将排放气体中的各种杂质一起过滤出来，然后再对过滤出的杂质进行筛选，才能分别得到金、银或铝等贵金属以及可回收利用砂，这样无疑成本较高，且费时费力。

例如，图1给出了目前对喷砂机的排放气体进行过滤的流程示意图，如图1所示，喷砂机100包括喷砂操作区域110、第一锥形集砂装置120和可定期抽出的第一集砂回收箱130，正如背景技术部分所述，喷砂机100的排放气体中掺杂有金、银或铝等贵金属、可回收利用砂和不可回收利用砂，喷砂机100的排放气体经过第一风阀200进入目前常用的过滤除尘器300中，进入过滤除尘器300的气体在第一离心风机310的抽气作用下向上传输，从而经过自洁式过滤器320进行过滤，由于杂质会在第一离心风机310上粘附，因此，在第一离心风机310和自洁式过滤器320之间设置反吹扫装置(图中未画出)的气源区域330，以定期将粘附在第一离心风机310上的杂质向自洁式过滤器320进行反吹扫，过滤除尘器300中还设置有第二锥形集砂装置340和可定期抽出的第二集砂回收箱350，最后经过过滤后的气体通过设置在风机底座400上的第二离心风机410抽送到烟囱500，进而排放到大气当中。

发明人研究发现，利用目前常用的过滤除尘器300对喷砂机100的排放气体进行过滤时，各种杂质全部在自洁式过滤器320中被过滤出来，要想将贵金属和可回收利用砂进行分别回收，就需要对自洁式过滤器320过滤出的杂质进行再次筛选，这样无疑成本较高，费时费力。

并且，发明人还发现，目前在对喷砂机100的排放气体进行过滤时，通常只采用图1所示的单级过滤(即过滤除尘器300这一级过滤)，这样过滤效果不佳，使得过滤除尘器300的后端管道内仍存在较多未过滤的杂质，这会导致第一离心风机310和/或第二离心风机410的轴承频繁磨损，管道经常堵塞；在与其他工艺机台使用相同的后端管道时，后端管道中未过滤的杂质还可能进入到其他工艺机台中，影响其他工艺机台的正常工作，所以只能单独增配离心风机；含有较多未过滤的杂质的气体直接排放到大气当中，不仅不符合环保规范，还容易引起爆炸；另外，由于反吹扫装置的气源区域330需要定期进行反吹扫，因此，这会对压缩空气的需求量较大。

由此可见，对喷砂机100进行图1所示的过滤流程，不仅需要对自洁式过滤器320过滤出的杂质进行再次筛选，而且维护清理频率高，设备稼动率较低，且耗费人力财力。

有鉴于此，本申请实施例提供了一种过滤除尘器，如图2所示，该过滤除尘器600包括：

过滤容腔610，过滤容腔610的侧壁上设置有进气口611和出气口612，进气口611与进气管道700相连接，出气口612与出气管道710相连接；

第一过滤网620，第一过滤网620位于过滤容腔610内进气口611和出气口612的下方，第一过滤网620的直径等于预设直径，使得进入过滤容腔610的气体中直径不大于预设直径的杂质被第一过滤网620透过，直径大于预设直径的杂质被第一过滤网620过滤，第一过滤网620具有第一端621和第二端622，第一过滤网620的第一端621高于其第二端622；

第一回收部件630，第一回收部件630位于过滤容腔610内第一过滤网620的下方，用于收集被第一过滤网620透过的杂质；

第二回收部件640，第二回收部件640位于过滤容腔610外，且与第一过滤网620的第二端622相连接，用于收集被第一过滤网620过滤的杂质；

吹扫装置650，吹扫装置650位于过滤容腔610内进气口611和出气口612的上方，并延伸至过滤容腔610外，吹扫装置650位于过滤容腔610内的部分用于向过滤容腔610内喷洒气体。

具体工作时，半导体制造过程中产生的排放气体通过进气管道700及过滤容腔610侧壁上的进气口611进入过滤容腔610内，由于第一过滤网620设置在过滤容腔610内进气口611和出气口612的下方，因此，进入过滤容腔610的气体中的杂质在重力作用下到达第一过滤网620进行过滤，同时在过滤容腔610内进气口611和出气口612的上方设置吹扫装置650，利用吹扫装置650从过滤容腔610顶部喷洒气体，增加进入过滤容腔610的气体中的杂质向第一过滤网620的下沉量。

并且，设置第一过滤网620的直径等于预设直径，从而使得进入过滤容腔610的气体中直径不大于预设直径的杂质被第一过滤网620透过，进而收集到第一回收部件630中，直径大于预设直径的杂质被第一过滤网620过滤，进而收集到第二回收部件640中；由于在半导体制造过程中，排放气体内金、银或铝等贵金属的直径较小，可回收利用砂的直径较大，因此，本申请实施例所提供的过滤除尘器，可以设置第一过滤网620的直径，使得金、银或铝等贵金属透过第一过滤网620收集到第一回收部件630中，并使得可回收利用砂被第一过滤网620过滤后收集到第二回收部件640中，即可在对半导体制造过程中产生的排放气体进行过滤的同时，将贵金属和可回收利用砂分别回收，从而减少成本，提高生产效率。

在过滤容腔610内经过过滤后的气体通过过滤容腔610侧壁上的出气口612及出气管道710，进入其他过滤装置或排出。

在上述实施例的基础上，可选的，在本申请的一个实施例中，如图2所示，第一过滤网620在过滤容腔610内横跨过滤容腔610，以最大化第一过滤网620的过滤面积。

需要说明的是，第一过滤网620具有第一端621和第二端622，且第一过滤网620的第一端621高于第二端622，那么，被第一过滤网620过滤的杂质在第一过滤网620上受重力作用向其第二端622聚集，进而被与第一过滤网620的第二端622相连接的第二回收部件640所收集，此时，过滤容腔610的侧壁除设置有进气口621和出气口622外，还设置有过滤出口，以使得第二回收部件640通过过滤容腔610侧壁上的过滤出口与第一过滤网620的第二端622相连接。

在上述任一实施例的基础上，可选的，在本申请的一个实施例中，如图2所示，第一过滤网620的第一端621位于过滤容腔610侧壁上的进气口611的下端口，第一过滤网620的第二端622位于过滤容腔610侧壁上的出气口612的下方，与过滤容腔610侧壁上的出气口612具有一定距离；

可选的，在本申请的另一个实施例中，第一过滤网620的第一端621位于过滤容腔610侧壁上的出气口612的下端口，第一过滤网620的第二端622位于过滤容腔610侧壁上的进气口611的下方，与过滤容腔610侧壁上的进气口611具有一定距离；

可选的，在本申请的又一个实施例中，第一过滤网620的第一端621和第二端622均位于过滤容腔610侧壁上的进气口611及出气口612的下方；

可选的，在本申请的再一个实施例中，第一过滤网620的第一端621位于过滤容腔610侧壁上的进气口611的下端口，第一过滤网620的第二端622位于过滤容腔610侧壁上的出气口612的下端口，此时，过滤容腔610侧壁上的进气口611高于出气口612，以使得第一过滤网620的第一端621高于其第二端622；

可选的，在本申请的又一个实施例中，第一过滤网620的第一端621位于过滤容腔610侧壁上的出气口612的下端口，第一过滤网620的第二端622位于过滤容腔610侧壁上的进气口611的下端口，此时，过滤容腔610侧壁上的出气口612高于进气口611，以使得第一过滤网620的第一端621高于其第二端622。

需要说明的是，在上述各实施例中，无论第一过滤网620的第一端621和第二端622与过滤容腔610侧壁上的进气口611和出气口612的位置关系如何，均是为了排放气体从过滤容腔610侧壁上的进气口611进入过滤容腔610后，在自重力作用下及吹扫装置喷洒气体作用下下沉至第一过滤网620进行过滤，且过滤后的杂质在自重力作用下聚集在第一过滤网620的第二端，进而进行收集。

在上述任一实施例的基础上，可选的，在本申请的一个实施例中，第一过滤网620为不锈钢过滤网，但本申请对此并不做限定，在本申请的其他实施例中，第一过滤网620也可以是其他材质的过滤网，具体视情况而定。

在上述任一实施例的基础上，可选的，在本申请的一个实施例中，如图2所示，第一回收部件630包括：

锥形收集器631，锥形收集器631位于过滤容腔610内第一过滤网620的下方，锥形收集器631的底部开口处设置有第一电动阀门632，第一电动阀门632用于控制锥形收集器631的底部开口的打开和关闭；

第一回收箱633，第一回收箱633位于锥形收集器631的底部开口的下方，用于承载从锥形收集器631的底部开口处流出的杂质。

需要说明的是，在本实施例中，锥形收集器631在过滤容腔610内横跨过滤容腔610，以将透过第一过滤网620的杂质全部收集到锥形收集器631的底部，在第一电动阀门632控制锥形收集器631的底部开口打开时，使得收集到锥形收集器631底部的杂质通过锥形收集器631的底部开口流入第一回收箱633中回收。

还需要说明的是，在实际应用中，由于第一回收箱633承载杂质的量是有限的，因此，当第一回收箱633满载后，需要将第一回收箱633清空，此时，需要使得第一电动阀门632控制锥形收集器631的底部开口关闭，以避免第一回收箱633承载的杂质溢出。

可选的，第一电动阀门632可以定期控制锥形收集器631的底部开口打开，以定期将第一过滤网620透过的杂质收集到第一回收箱633中；

可选的，第一电动阀门632也可以控制锥形收集器631的底部开口为常开状态，而在需要清理第一回收箱633时，再使得第一电容阀门632控制锥形收集器631的底部开口为关闭状态；

可选的。第一电动阀门632还可以根据半导体制造过程中排放气体所含杂质的多少控制锥形收集器631的底部开口打开的频次，以能够及时将第一回收箱633内的杂质清理出来，本申请对第一电容阀门632控制锥形收集器631的底部开口打开和关闭的时间及频次并不做限定，具体视情况而定。

再需要说明的是，由前述已知，在半导体制造过程中，排放气体内金、银或铝等贵金属的直径较小，可回收利用砂的直径较大，因此，在本实施例中，可以设置第一过滤网620的直径大小，使得直径较小的金、银或铝等贵金属透过第一过滤网620收集在第一回收箱633中，即被第一回收箱633回收的杂质中贵金属的含量较高，具有很大利用价值。

在上述任一实施例的基础上，可选的，在本申请的一个实施例中，如图2所示，第二回收部件640包括：

回收管道641，回收管道641具有第一端10和第二端20，回收管道的第一端10与第一过滤网620的第二端622相连接，回收管道的第二端20设置有第二电动阀门642，第二电动阀门642用于控制回收管道641的第二端的打开和关闭；

第二回收箱643，第二回收箱643位于回收管道641的第二端20的下方，用于承载从回收管道641的第二端20流出的杂质。

需要说明的是，在实际应用中，由于第二回收箱643承载杂质的量也是有限的，因此，当第二回收箱643满载后，需要将第二回收箱643清空，此时，需要使得第二电动阀门642控制回收管道641的第二端20关闭，以避免第二回收箱643承载的杂质溢出。

可选的，第二电动阀门642可以定期控制回收管道641的第二端20打开，以定期将第一过滤网620过滤的杂质收集到第二回收箱643中；

可选的，第二电动阀门642也可以控制回收管道641的第二端20为常开状态，而在需要清理第二回收箱643时，再使得第二电容阀门642控制回收管道641的第二端20为关闭状态；

可选的，第二电动阀门642还可以根据半导体制造过程中排放气体所含杂质的多少控制回收管道641的第二端20打开的频次，以能够及时将第二回收箱643内的杂质清理出来，本申请对第二电容阀门642控制回收管道641的第二端20打开和关闭的时间及频次并不做限定，具体视情况而定。

再需要说明的是，由前述已知，在半导体制造过程中，排放气体内金、银或铝等贵金属的直径较小，可回收利用砂的直径较大，因此，在本实施例中，可以设置第一过滤网620的直径大小，使得直径较大的可回收利用砂被第一过滤网620透过后收集在第二回收箱643中，即被第二回收箱643回收的杂质中可回收利用砂的含量较高，具有很大回收利用价值。

在上述任一实施例的基础上，可选的，在本申请的一个实施例中，如图2所示，吹扫装置650包括：

吹扫气体主管道651，吹扫气体主管道651位于过滤容腔610内进气口611和出气口612的上方，并延伸至过滤容腔610外，吹扫气体主管道651位于过滤容腔610外的部分设置有第三电动阀门652，第三电动阀门652用于控制吹扫气体主管道651的打开、关闭及吹扫气体的流量，吹扫气体主管道651位于过滤容腔610内的部分设置有多个吹扫气体子管道653；

多个喷头654，喷头654与吹扫气体子管道653一一对应连接，以在第三电动阀门652控制吹扫气体651主管道打开时，使得吹扫气体从吹扫气体主管道651进入各个吹扫气体子管道653，并由各个喷头654喷洒出。

需要说明的是，吹扫气体主管道651位于过滤容腔610外的部分与吹扫气体供应装置(图中未画出)相连通，以在第三电动阀门652控制吹扫气体主管道651打开时，使得吹扫气体能够从吹扫气体主管道651进入各个吹扫气体子管道653，并由各个喷头654喷洒出。

还需要说明的是，吹扫气体可以是清洁空气，也可以是氮气等其他气体，本申请对此并不做限定，具体视情况而定。

可选的，第三电动阀门652可以定期控制吹扫气体主管道651打开和关闭，以定期在过滤容腔610顶部喷洒气体；

可选的，第三电动阀门652也可以控制吹扫气体主管道651为常开状态，即持续在过滤容腔610顶部喷洒气体；

可选的，第三电动阀门652还可以根据半导体制造过程中排放气体所含杂质的多少控制吹扫气体主管道651中吹扫气体的流量，例如，对于喷砂机的排放气体，在喷砂的开始阶段、中间阶段以及结尾阶段，第三电动阀门652可以控制吹扫气体主管道651中吹扫气体的流量不同。

在上述任一实施例的基础上，可选的，在本申请的一个实施例中，如图2所示，吹扫气体主管道651位于过滤容腔610内的部分横跨过滤容腔610，以便于最大化喷头的可设置范围，即可以在过滤容腔610顶部的各个方位上设置喷头，从而能够提高在过滤容腔610顶部喷洒气体的均匀性。

在上述任一实施例的基础上，可选的，在本申请的一个实施例中，如图2所示，吹扫气体主管道651位于过滤容腔610内的部分与第一过滤网620平行设置，以提高第一过滤网620上方各位置处喷洒气流的均匀性，使得第一过滤网620各位置处均能够对杂质进行过滤，而不是集中在第一过滤网620的有些区域进行过滤。

在上述任一实施例的基础上，可选的，在本申请的一个实施例中，喷头654与吹扫气体子管道653通过快插方式相连接，以在喷头654需要清理或更换时，可方便快捷地将喷头654从吹扫气体子管道653上拆卸掉。当然，在本申请的其他实施例中，喷头654和吹扫气体子管道653也可以采用焊接、旋拧等其他方式进行连接，具体视情况而定。

可以理解的是，由于喷头654位于过滤容腔610内，会直接与进入过滤容腔610的含有杂质的气体所接触，因此，在实际应用中，喷头654可能会被杂质(如石英砂)所堵塞，影响吹扫气体的喷洒，鉴于此，在上述任一实施例的基础上，在本申请的一个实施例中，在喷头654表面设置微型过滤器，以防止喷头654被杂质堵塞。

在上述任一实施例的基础上，可选的，在本申请的一个实施例中，上述喷头654为全铜高雾化喷头，全铜高雾化喷头的喷洒半径可调，且采用360度全方位喷雾式结构，喷洒流量、喷洒范围均可根据实际情况进行控制和调节。

在上述任一实施例的基础上，可选的，在本申请的一个实施例中，与过滤容腔610的出气口612相连接的出气管道710上设置有至少一层第二过滤网660，以对从过滤容腔610流出的气体进行二次或多次过滤，减少过滤容腔610排出气体中的杂质量。

需要说明的是，在本实施例中，在出气管道710上的至少一层第二过滤网为活动设置的，以便于及时抽出清理和更换。

具体的，在本申请的一个实施例中，与过滤容腔610的出气口612相连接的出气管道710上设置有第一层第二过滤网661和第二层第二过滤网662，即设置两层第二过滤网。

可选的，第二过滤网660可以是无纺布过滤网，无纺布过滤网成本低，且便于更换，当然也可以是其他材质过滤网，本申请对此并不做限定，具体视情况而定。

本申请实施例还提供了一种过滤除尘系统，结合图2和图3所示，该过滤除尘系统包括：依次连接的第一级过滤除尘器600和第二级过滤除尘器300，使得排放气体先经过第一级过滤除尘器600进行过滤后，再经过第二级过滤除尘器300进行过滤；

第一级过滤除尘器为上述任一实施例所提供的过滤除尘器600，第二级过滤除尘器可以是目前市面上常用的过滤除尘器，例如图1所示的过滤除尘器300。

下面以对喷砂机100的排放气体进行过滤为例，对本申请实施例所提供的过滤除尘系统的工作过程进行说明。

具体工作时，如图3所示，喷砂机100的排放气体先进入第一级过滤除尘器600的过滤容腔610内，在自重力作用以及吹扫装置650喷洒气体的作用下被第一过滤网620所过滤，通过设置第一过滤网620的直径的大小，可将排放气体中直径较小的金、银或铝等贵金属杂质透过第一过滤网620，进而收集到第一回收部件630中，同时可将排放气体中直径较大的可回收利用砂被第一过滤网620所过滤，进而收集到第二回收部件640中，即在第一级过滤除尘器600中对喷砂机100的排放气体中的有用杂质进行了回收，且是在对喷砂机100的排放气体进行过滤的同时，对喷砂机100的排放气体中的重金属和可回收利用砂进行了分别回收，因此，从第一级过滤除尘器600排出的气体中所包含的杂质基本上都是不可回收利用的杂质了，且从第一级过滤除尘器排出的气体中所包含的杂质量也大大减少了。

接下来，从第一级过滤除尘器600排出的气体再进入目前市面上常用的过滤除尘器，例如图1所示的过滤除尘器300，那么，由于本申请实施例所提供的过滤除尘系统中，在进入第二级过滤除尘器300之前，已利用第一级过滤除尘器600进行了一次过滤，因此，首先可以大大降低第二级过滤除尘器300中反吹扫的频次，其次，这样形成了两级过滤，过滤效果更好，大大增加了第二级过滤除尘器中滤芯、离心风机的使用寿命，同时也增加了最后排放到大气中的气体的清洁度和安全性。

此时，被第二级过滤除尘器300中自洁式过滤器320过滤后的杂质基本上是不可回收利用的杂质了，由此可见，本申请实施例所提供的过滤除尘系统，在对半导体制造过程中产生的排放气体进行过滤的同时，对过滤的杂质进行了分层回收。

需要说明的是，本申请实施例所提供的过滤除尘系统，不限于对喷砂机的排放气体进行分层过滤及回收，也适用于对各种半导体制造过程中产生的排放气体中不同直径大小的杂质的分层过滤及回收。

在上述实施例的基础上，可选的，在本申请的一个实施例中，如图2和图3所示，该过滤除尘系统还包括：

与第一级过滤除尘器600互为并行备用的旁通管道800，旁通管道800具有第一端和第二端，旁通管道800的第一端和第一级过滤除尘器600的进气管道700均与过滤除尘系统的输入端相连通，旁通管道800的第二端和第一级过滤除尘器600的出气管道710均与第二级过滤除尘器300的输入端相连通；

旁通管道800的第一端设置有第一控制阀门811，旁通管道800的第二端设置有第二控制阀门812；

第一级过滤除尘器600的进气管道700上设置有第三控制阀门711，第一级过滤除尘器600的出气管道710上设置有第四控制阀门712；

当第一级过滤除尘器600正常使用时，第一控制阀门811和第二控制阀门812关闭，第三控制阀门711和第四控制阀门712打开，此时，旁通管道800为关闭状态，排放气体经过第三控制阀门711进入第一级过滤除尘器600，在第一级过滤除尘器600过滤后，再经过第四控制阀门712进入第二级过滤除尘器300；

当第一级过滤除尘器600需要清理或维修时，第三控制阀门711和第四控制阀门712关闭，第一控制阀门811和第二控制阀门812打开，此时，第一级过滤除尘器600停止工作，排放气体通过第一控制阀门811进入旁通管道800，再经过第二控制阀门812进入第二级过滤除尘器300，从而保证对排放气体过滤的持续性。

需要说明的是，在本实施例所提供的过滤除尘系统中，设置与第一级过滤除尘器600互为并行备用的旁通管道800，从而在第一级过滤除尘器600需要维护保养时切换至旁通管道800运行，保证半导体制造的持续进行，例如保证喷砂机的正常持续工作。

综上，本申请实施例所提供的过滤除尘器及过滤除尘系统，在过滤除尘器的过滤容腔内进气口和出气口的下方设置第一过滤网，使得进入过滤容腔的气体中的杂质在重力作用下到达第一过滤网进行过滤，同时在过滤容腔内进气口和出气口的上方设置吹扫装置，利用吹扫装置从过滤容腔顶部喷洒气体，增加进入过滤容腔的气体中的杂质向第一过滤网的下沉量，通过设置第一过滤网的直径，使得排放气体中金、银或铝等贵金属透过第一过滤网收集到第一回收部件中，并使得排放气体中可回收利用砂被第一过滤网过滤后收集到第二回收部件中，即可在对半导体制造过程中产生的排放气体进行过滤的同时，将贵金属和可回收利用砂分别回收，从而减少成本，提高生产效率。

本说明书中各个部分采用并列和递进相结合的方式描述，每个部分重点说明的都是与其他部分的不同之处，各个部分之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明，本说明书中各实施例中记载的特征可以相互替换或组合，使本领域专业技术人员能够实现或使用本申请。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本申请将不会被限制于本文所示的实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种过滤除尘器，其特征在于，包括：

过滤容腔，所述过滤容腔的侧壁上设置有进气口和出气口，所述进气口与进气管道相连接，所述出气口与出气管道相连接；

第一过滤网，所述第一过滤网位于所述过滤容腔内所述进气口和所述出气口的下方，所述第一过滤网的直径等于预设直径，使得进入所述过滤容腔的气体中直径不大于所述预设直径的杂质被所述第一过滤网透过，直径大于所述预设直径的杂质被所述第一过滤网过滤，所述第一过滤网具有第一端和第二端，所述第一过滤网的第一端高于其第二端；

第一回收部件，所述第一回收部件位于所述过滤容腔内所述第一过滤网的下方，用于收集被所述第一过滤网透过的杂质；

第二回收部件，所述第二回收部件位于所述过滤容腔外，且与所述第一过滤网的第二端相连接，用于收集被所述第一过滤网过滤的杂质；

吹扫装置，所述吹扫装置位于所述过滤容腔内所述进气口和所述出气口的上方，并延伸至所述过滤容腔外，所述吹扫装置位于所述过滤容腔内的部分用于向所述过滤容腔内喷洒气体。

2.根据权利要求1所述的过滤除尘器，其特征在于，所述第一回收部件包括：

锥形收集器，所述锥形收集器位于所述过滤容腔内所述第一过滤网的下方，所述锥形收集器的底部开口处设置有第一电动阀门，所述第一电动阀门用于控制所述锥形收集器的底部开口的打开和关闭；

第一回收箱，所述第一回收箱位于所述锥形收集器的底部开口的下方，用于承载从所述锥形收集器的底部开口处流出的杂质。

3.根据权利要求1所述的过滤除尘器，其特征在于，所述第二回收部件包括：

回收管道，所述回收管道具有第一端和第二端，所述回收管道的第一端与所述第一过滤网的第二端相连接，所述回收管道的第二端设置有第二电动阀门，所述第二电动阀门用于控制所述回收管道的第二端的打开和关闭；

第二回收箱，所述第二回收箱位于所述回收管道的第二端的下方，用于承载从所述回收管道的第二端流出的杂质。

4.根据权利要求1所述的过滤除尘器，其特征在于，所述吹扫装置包括：

吹扫气体主管道，所述吹扫气体主管道位于所述过滤容腔内所述进气口和所述出气口的上方，并延伸至所述过滤容腔外，所述吹扫气体主管道位于所述过滤容腔外的部分设置有第三电动阀门，所述第三电动阀门用于控制所述吹扫气体主管道的打开、关闭及吹扫气体的流量，所述吹扫气体主管道位于所述过滤容腔内的部分设置有多个吹扫气体子管道；

多个喷头，所述喷头与所述吹扫气体子管道一一对应连接，以在所述第三电动阀门控制所述吹扫气体主管道打开时，使得吹扫气体从所述吹扫气体主管道进入各个所述吹扫气体子管道，并由各个所述喷头喷洒出。

5.根据权利要求4所述的过滤除尘器，其特征在于，所述喷头与所述吹扫气体子管道通过快插方式相连接。

6.根据权利要求4所述的过滤除尘器，其特征在于，所述喷头表面设置有微型过滤器。

7.根据权利要求4所述的过滤除尘器，其特征在于，所述喷头为全铜高雾化喷头。

8.根据权利要求1所述的过滤除尘器，其特征在于，所述出气管道上设置有至少一层第二过滤网。

9.一种过滤除尘系统，其特征在于，包括：依次连接的第一级过滤除尘器和第二级过滤除尘器，使得排放气体先经过所述第一级过滤除尘器进行过滤后，再经过所述第二级过滤除尘器进行过滤；

所述第一级过滤除尘器为权利要求1-8任一项所述的过滤除尘器。

10.根据权利要求9所述的过滤除尘系统，其特征在于，还包括：

与所述第一级过滤除尘器互为并行备用的旁通管道，所述旁通管道具有第一端和第二端，所述旁通管道的第一端和所述第一级过滤除尘器的进气管道均与所述过滤除尘系统的输入端相连通，所述旁通管道的第二端和所述第一级过滤除尘器的出气管道均与所述第二级过滤除尘器的输入端相连通；

所述旁通管道的第一端设置有第一控制阀门，所述旁通管道的第二端设置有第二控制阀门；

所述第一级过滤除尘器的进气管道上设置有第三控制阀门，所述第一级过滤除尘器的出气管道上设置有第四控制阀门；

当所述第一级过滤除尘器正常使用时，所述第一控制阀门和所述第二控制阀门关闭，所述第三控制阀门和所述第四控制阀门打开；当所述第一级过滤除尘器需要清理或维修时，所述第三控制阀门和所述第四控制阀门关闭，所述第一控制阀门和所述第二控制阀门打开。

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