CN114815522A - 一种对称式双滚筒结构的光刻机设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种对称式双滚筒结构的光刻机设备，包括底座，底座上设置有安装架，安装架上设置有滚筒，安装架上设置有固定板，固定板上设置有滚轮结构和压板结构，滚轮结构和压板结构设置在滚筒的上方，固定板的顶端通过滑动结构与送板平台连接，送板平台上设置有用于输送板材的输送结构，底座上设置有用于扫描板材的扫描平台。本发明采用上述结构的对称式双滚筒结构的光刻机设备，能够解决现有的光刻制版效率低的问题。

Description

一种对称式双滚筒结构的光刻机设备

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，尤其是涉及一种对称式双滚筒结构的光刻机设备。

背景技术

光刻机是半导体生产制造的主要生产设备之一，也是决定整个半导体生产工艺水平高低的核心技术机台。光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机一般根据操作的简便性分为手动、半自动和全自动三种，其中全自动指的是从基板的上下板到曝光时长和循环都是通过程序控制，此种生产方式能够满足工厂对于处理量的需要。现有技术中的光刻制版通常采用一个真空吸附鼓，一次只能对一个板材进行处理，制版数量低，上下板效率受到影响，进而影响制版的效率，制版效率达不到要求，将影响整个工作的进行。

发明内容

本发明的目的是提供一种对称式双滚筒结构的光刻机设备，解决现有的光刻制版效率低的问题。

为实现上述目的，本发明提供了一种对称式双滚筒结构的光刻机设备，包括底座，底座上设置有安装架，安装架上设置有滚筒，安装架上设置有固定板，固定板上设置有滚轮结构和压板结构，滚轮结构和压板结构设置在滚筒的上方，固定板的顶端通过滑动结构与送板平台连接，送板平台上设置有用于输送板材的输送结构，底座上设置有用于扫描板材的扫描平台。

优选的，滚筒为真空吸附鼓，滚筒设置有两个，两个滚筒对称设置，每个滚筒的上方设置有两个滚轮结构和一个压板结构，压板结构设置在两个滚轮结构的中间。

优选的，滚筒通过转轴与安装架转动连接，转轴上设置有转动轮一，底座上设置有传动电机，传动电机上设置有转动轮二，转动轮二通过皮带与转动轮一传动连接。

优选的，滚轮结构包括压臂一，压臂一的两端与气缸一的气缸杆连接，气缸一设置在固定板上，压臂一的底端转动设置有滚轮，滚轮与压臂一转动连接。

优选的，压板结构包括压臂二，压臂二的两端与气缸二的气缸杆连接，气缸二设置在固定板上，压臂二的底端固定设置有压板。

优选的，滑动结构包括滑块，送板平台的两端设置有滑动板，滑块设置在滑动板上，固定板的顶端设置有与滑块相适配的滑道，滑块设置在滑道上并与滑道滑动连接。

优选的，送板平台一端的滑动板上设置有旋转电机，旋转电机上设置有齿轮一，送板平台通过转动柱与滑动板转动连接，转动柱的一端设置有齿轮二，旋转电机通过齿轮一和齿轮二与转动柱传动连接。

优选的，输送结构包括转动杆，转动杆设置在送板平台的两侧，转动杆与送板平台转动连接，转动杆上固定设置有若干个转轮，送板平台两侧的转轮通过传送带传动连接，转动杆的一端与用于带动转动杆转动的输送电机连接。

优选的，底座上设置有轨道，扫描平台的底端设置有与轨道相适配的滑槽，轨道设置在滑槽内，扫描平台与轨道滑动连接。

因此，本发明采用上述结构的对称式双滚筒结构的光刻机设备，采用双滚筒可以对两组板材进行加工，不仅节省了时间，而且提高了上下板效率，双倍提升制版数量，极大的提高了制版效率。传动电机上转动轮二通过皮带带动转动轮一转动，进而带动滚筒转动，气缸一可以带动压臂一上升下降，板材可以在滚轮和滚筒的作用下进行输送，使板材的输送更加方便，气缸二可以带动压板上升或下降，通过压板与滚筒的相互配合可以实现板材的固定。送板平台可以在固定板上滑动，便于板材的输送，送板平台可以对两个对称滚筒进行板材输送，送板平台上的输送结构通过传送带对板材自动输送，更加便利。扫描平台可以在轨道上滑动进而改变位置，同时扫描平台可以进行180°旋转，因此可以对两个滚筒上的板材进行光刻制版。

下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1为本发明一种对称式双滚筒结构的光刻机设备实施例的结构示意图；

图2为本发明一种对称式双滚筒结构的光刻机设备实施例的侧视图；

图3为本发明一种对称式双滚筒结构的光刻机设备实施例的滚轮结构图；

图4为本发明一种对称式双滚筒结构的光刻机设备实施例的压板结构示意图。

附图标记

1、底座；2、安装架；3、滚筒；4、固定板；5、转轴；6、转动轮一；7、转动轮二；8、皮带；9、传动电机；10、压臂一；11、压臂二；12、气缸一；13、气缸二；14、滚轮；15、压板；16、送板平台；17、滑动板；18、滑块；19、滑道；20、旋转电机；21、齿轮一；22、齿轮二；23、转动柱；24、传送带；25、转动杆；26、转轮；27、扫描平台；28、轨道。

具体实施方式

以下通过附图和实施例对本发明的技术方案作进一步说明。

除非另外定义，本发明使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

实施例

图1为本发明一种对称式双滚筒结构的光刻机设备实施例的结构示意图；图2为本发明一种对称式双滚筒结构的光刻机设备实施例的侧视图；图3为本发明一种对称式双滚筒结构的光刻机设备实施例的滚轮结构图；图4为本发明一种对称式双滚筒结构的光刻机设备实施例的压板结构示意图。

如图所示，本发明所述的一种对称式双滚筒结构的光刻机设备，包括底座1，底座1上设置有安装架2。安装架2上设置有滚筒3，滚筒3为真空吸附鼓，真空吸附鼓采用现有的结构。滚筒3通过转轴5与安装架2转动连接，转轴5上设置有转动轮一6。底座1上设置有传动电机9，传动电机9上设置有转动轮二7，转动轮二7通过皮带8与转动轮一6传动连接。转动轮二7设置在传动电机9的输出轴上，传动电机9的输出轴带动转动轮二7转动，转动轮二7转动通过皮带8带动转动轮一6转动，进而带动滚筒3转动。

安装架2上设置有固定板4，固定板4上设置有滚轮结构和压板结构，滚轮结构和压板结构设置在滚筒3的上方。滚轮结构包括压臂一10，压臂一10的两端与气缸一12的气缸杆连接。气缸一12设置在固定板4上，压臂一10的底端转动设置有滚轮14，滚轮14与压臂一10转动连接。气缸一12通过气缸杆可以带动压臂一10上升或者下降，滚轮14可以在压臂一10上转动，板材在滚轮14和滚筒3之间进行输送移动。压板结构包括压臂二11，压臂二11的两端与气缸二13的气缸杆连接。气缸二13设置在固定板4上，压臂二11的底端固定设置有压板15。气缸二13通过气缸杆可以带动压臂二11上升或者下降，压板15与滚筒3相互配合可以夹紧板材。滚筒3设置有两个，两个滚筒3对称设置。每个滚筒3的上方设置有两个滚轮结构和一个压板结构，压板15结构设置在两个滚轮14结构的中间。

固定板4的顶端通过滑动结构与送板平台16连接。滑动结构包括滑块18，送板平台16的两端设置有滑动板17，滑块18设置在滑动板17上。固定板4的顶端设置有与滑块18相适配的滑道19，滑块18设置在滑道19上并与滑道19滑动连接。滑道19在固定板4的顶端，滑块18在滑道19上滑动，进而带动滑动板17移动，使送板平台16可以在固定板4上滑动。送板平台16一端的滑动板17上设置有旋转电机20，旋转电机20上设置有齿轮一21。送板平台16通过转动柱23与滑动板17转动连接。转动柱23的一端设置有齿轮二22，旋转电机20通过齿轮一21和齿轮二22与转动柱23传动连接。旋转电机20的输出轴带动齿轮一21转动，齿轮一21转动带动齿轮二22转动，进而带动转动柱23转动，使送板平台16可以倾斜。送板平台16上设置有用于输送板材的输送结构。输送结构包括转动杆25，转动杆25设置在送板平台16的两侧，转动杆25与送板平台16转动连接。转动杆25上固定设置有若干个转轮26，送板平台16两侧的转轮26通过传送带24传动连接，转动杆25的一端与输送电机连接。输送电机的输出轴带动转动杆25转动进而带动传送带24转动，板材可以通过传送带24进行输送。

底座1上设置有用于扫描板材的扫描平台27。底座1上设置有轨道28，扫描平台27的底端设置有与轨道28相适配的滑槽，轨道28设置在滑槽内，扫描平台27与轨道28滑动连接。滑道19和轨道28采用机器人移动轨道，机器人移动轨道采用现有结构，使送板平台16可以在滑道19上移动，使扫描平台27可以在轨道28上移动。扫描平台27可以进行旋转，扫描平台27的扫描角度为0°-180°，扫描平台27采用现有的结构，通过扫描平台27可以对两个滚筒3上的板材进行光刻制版。

使用时，首先将板材放到送板平台16上，由传送带24把板材输送到滚筒3上。滚筒3上设置有板夹，板夹包括首板夹和尾板夹，尾板夹可以在滚筒3上的燕尾槽内滑动。

使用方法：

1、气缸二13带动压臂二11下降，使压板15压开首板夹，板材输送到首板夹与滚筒3之间，首板夹夹紧板材，压板15上升。

2、气缸一12带动压臂一10下降，滚轮14下压压住板材使板材紧贴滚筒3，同时滚筒3逆时针方向转动转到板材设定的尺寸大小。

3、气缸二13带动压板15将滚筒3上的尾板夹压开，滚筒3顺时针转动约6mm使板材尾端进入尾板夹与滚筒3之间，压板15上升，尾板夹夹紧板材，滚筒3转动，扫描平台27旋转开始扫描光刻制板，扫描过程中同时对称滚筒3重复之前上板动作。

4、制完板之后尾板夹停到压板15的位置，压板15下压，尾板夹张开，滚筒3逆时针转动约6mm使板材尾端离开尾板夹与滚筒3之间；滚轮14下压接着滚筒3逆时针转动，使首板夹转到压板15的位置，压板15下压，首板夹张开，最后板材通过输送结构送出滚筒3回到送板平台16上，送板平台16移动将板材送出机器，然后继续放板上板，同时扫描平台27镜头旋转180度扫描对称滚筒3，一直重复上面动作。

因此，本发明采用上述结构的对称式双滚筒结构的光刻机设备，能够解决现有的光刻制版效率低的问题。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本发明技术方案的精神和范围。

Claims (9)

1.一种对称式双滚筒结构的光刻机设备，其特征在于：包括底座，底座上设置有安装架，安装架上设置有滚筒，安装架上设置有固定板，固定板上设置有滚轮结构和压板结构，滚轮结构和压板结构设置在滚筒的上方，固定板的顶端通过滑动结构与送板平台连接，送板平台上设置有用于输送板材的输送结构，底座上设置有用于扫描板材的扫描平台。

2.根据权利要求1所述的对称式双滚筒结构的光刻机设备，其特征在于：滚筒为真空吸附鼓，滚筒设置有两个，两个滚筒对称设置，每个滚筒的上方设置有两个滚轮结构和一个压板结构，压板结构设置在两个滚轮结构的中间。

3.根据权利要求1所述的对称式双滚筒结构的光刻机设备，其特征在于：滚筒通过转轴与安装架转动连接，转轴上设置有转动轮一，底座上设置有传动电机，传动电机上设置有转动轮二，转动轮二通过皮带与转动轮一传动连接。

4.根据权利要求1所述的对称式双滚筒结构的光刻机设备，其特征在于：滚轮结构包括压臂一，压臂一的两端与气缸一的气缸杆连接，气缸一设置在固定板上，压臂一的底端转动设置有滚轮，滚轮与压臂一转动连接。

5.根据权利要求1所述的对称式双滚筒结构的光刻机设备，其特征在于：压板结构包括压臂二，压臂二的两端与气缸二的气缸杆连接，气缸二设置在固定板上，压臂二的底端固定设置有压板。

6.根据权利要求1所述的对称式双滚筒结构的光刻机设备，其特征在于：滑动结构包括滑块，送板平台的两端设置有滑动板，滑块设置在滑动板上，固定板的顶端设置有与滑块相适配的滑道，滑块设置在滑道上并与滑道滑动连接。

7.根据权利要求6所述的对称式双滚筒结构的光刻机设备，其特征在于：送板平台一端的滑动板上设置有旋转电机，旋转电机上设置有齿轮一，送板平台通过转动柱与滑动板转动连接，转动柱的一端设置有齿轮二，旋转电机通过齿轮一和齿轮二与转动柱传动连接。

8.根据权利要求1所述的对称式双滚筒结构的光刻机设备，其特征在于：输送结构包括转动杆，转动杆设置在送板平台的两侧，转动杆与送板平台转动连接，转动杆上固定设置有若干个转轮，送板平台两侧的转轮通过传动带传动连接，转动杆的一端与用于带动转动杆转动的输送电机连接。

9.根据权利要求1所述的对称式双滚筒结构的光刻机设备，其特征在于：底座上设置有轨道，扫描平台的底端设置有与轨道相适配的滑槽，轨道设置在滑槽内，扫描平台与轨道滑动连接。

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