CN114656135A - 刻划轮以及刻划方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够提高被截断的基板的端面强度的刻划轮以及刻划方法。刻划轮具备：多个刃部(110)，它们沿着外周缘形成；以及多个槽部(120)，它们设置于在周向上相邻的刃部之间，并向中心轴(L0)侧凹陷。槽部在最深部(120a)的两侧具有从刃部的棱线(111)起连续并延伸到最深部的棱线(121、122)。槽部的各棱线具有变化点(Q)，其中，相对于该变化点成为最深部侧的棱线(121b、122b)与刃部的棱线所成的第二角度(θ2)大于相对于该变化点成为刃部侧的棱线(121a、122a)与刃部的棱线所成的第一角度(θ1)。变化点设置于在通过在基板形成肋状纹且基板不破损的范围的载荷进行了刻划动作时陷入基板的内部的位置。

Description

刻划轮以及刻划方法

技术领域

本发明涉及用于在玻璃基板等脆性材料基板形成刻划线的刻划轮以及刻划方法。

背景技术

玻璃基板等脆性材料基板的截断通过在基板表面形成刻划线的刻划工序、以及沿着所形成的刻划线将基板截断的断开工序来进行。在刻划工序中，一边将刻划轮按压于基板表面，一边使刻划轮沿着规定的线移动。由此，使刻划轮在基板表面滚动，并形成刻划线。

在以下的专利文献1中公开了如下结构：在棱线上沿周向以恒定的间隔形成有槽部的刻划轮中，通过使槽部在沿周向进行观察时呈V字状，从而在槽部也形成棱线。在该结构中，当一边对刻划轮赋予加压力一边使刻划轮在基板表面滚动时，在刻划线上形成具有六个角的六边形形状的齿形(压痕)。通过在刻划线上设置的两个角，加压力不会集中于在刻划线上以外设置的四个角，由此能够抑制从刻划线偏离的裂纹的产生，断开工序中的切割品质提高。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-132542号公报

发明内容

发明要解决的课题

在被截断的基板的端面上残留有在刻划线上以外设置的角。当对基板施加了外力时，在基板的端面中，应力容易集中于角，而容易在角产生裂纹。由于该裂纹的产生会导致基板的端面的破坏，因此若能够抑制角处的裂纹的产生，则能够提高基板的端面强度。

鉴于这样的课题，本发明的目的在于提供能够提高被截断的基板的端面强度的刻划轮以及刻划方法。

用于解决课题的方案

本发明的第一方案涉及用于在基板形成刻划线的刻划轮。该方案的刻划轮具备：多个刃部，它们沿着外周缘形成；以及多个槽部，它们设置于在周向上相邻的所述刃部之间，并向中心轴侧凹陷。在此，所述槽部在最深部的两侧具有从所述刃部的棱线起连续并延伸到该最深部的棱线。所述槽部的各棱线具有至少一个变化点，相对于该变化点成为所述最深部侧的棱线与所述刃部的棱线所成的第二角度大于相对于该变化点成为所述刃部侧的棱线与所述刃部的棱线所成的第一角度。所述变化点设置于在通过载荷进行了刻划动作时陷入所述基板的内部的位置，所述载荷为在所述基板形成肋状纹且所述基板不破损的范围。

根据本方案的刻划轮，能够在基板的刻划线上形成角较多的(更多边的形状的)压痕，从而能够增多在截断后的基板的端面形成的角。由此，应力容易分散从而集中于一个角的应力降低，因此能够抑制裂纹在角的产生。因此，能够提高截断后的基板的端面强度。

在本方案的刻划轮中，可以是，所述变化点设置在比所述槽部的深度方向上的中央远离所述中心轴的方向上。

根据该结构，在进行了刻划动作时，变化点容易陷入基板的内部，因此容易提高基板的端面强度。

在本方案的刻划轮中，可以是，所述第一角度为10°以下。

根据该结构，能够更显著地提高基板的端面强度。

本发明的第二方案涉及用于在基板形成刻划线的刻划方法。该方案的刻划方法一边对刻划轮赋予使变化点陷入所述基板的内部的范围的载荷，一边使所述刻划轮在所述基板的表面移动，所述刻划轮具备：多个刃部，它们沿着外周缘形成；以及多个槽部，它们设置于在周向上相邻的所述刃部之间，并向中心轴侧凹陷，所述槽部在最深部的两侧具有从所述刃部的棱线起连续并延伸到该最深部的棱线，所述槽部的各棱线具有至少一个所述变化点，相对于该变化点成为所述最深部侧的棱线与所述刃部的棱线所成的第二角度大于相对于该变化点成为所述刃部侧的棱线与所述刃部的棱线所成的第一角度。

根据本方案的刻划方法，能够起到与第一方案相同的效果。

发明效果

如上所述，根据本发明，可以提供能够提高被截断的基板的端面强度的刻划轮以及刻划方法。

本发明的效果以及意义通过以下所示的实施方式的说明来进一步进行明确。但是，以下所示的实施方式只不过是实施本发明时的一个示例，本发明不受以下的实施方式所记载的内容的任何限制。

附图说明

图1的(a)是示意性地示出实施方式的刻划轮的侧视图，图1的(b)是示意性地示出实施方式的刻划轮的主视图。图1的(c)是将实施方式的刻划轮的外周附近的一部分放大示出的立体图。

图2的(a)是实施方式的在刻划轮的棱线的位置以与中心轴垂直的平面进行剖切而得到的槽部附近的放大剖视图。图2的(b)是用于对实施方式的在槽部的第一棱线以及第二棱线设置的变化点进行说明的图。

图3是示意性地示出实施方式的刻划装置的结构的图。

图4的(a)是示意性地示出在刻划动作中实施方式的刻划轮陷入基板的状态的图。图4的(b)以及图4的(c)是用于对实施方式的刻划轮陷入基板的结果即在刻划线上形成的压痕进行说明的图。

图5的(a)是示意性地示出在刻划动作中比较例的刻划轮陷入基板的状态的图。图5的(b)以及图5的(c)是用于对比较例的刻划轮陷入基板的结果即在刻划线上形成的压痕进行说明的图。

图6的(a)是示出轮1～轮7的各刻划轮的规格的表，图6的(b)以及图6的(c)是用于对规格进行说明的图。图6的(d)是示出使用轮1～轮7并通过7N(牛顿)的载荷在基板进行了刻划动作时的、槽角度和变化点深度与压痕深度的差量之间的关系的图。

图7的(a)是示出使用轮1～轮7并通过7N、9N、11N的载荷进行了刻划动作时的、槽角度与截断后的基板的端面强度之间的关系的图。图7的(b)是示出使用轮1～轮7并通过7N、9N、11N的载荷进行了刻划动作时的、第一角度与截断后的基板的端面强度之间的关系的图。

图8的(a)以及图8的(b)是用于对变更例的刻划轮的结构进行说明的图。

附图标记说明

100 刻划轮

110 刃部

111 棱线

120 槽部

121 第一棱线(棱线)

121a 成为刃部侧的棱线

121b 成为最深部侧的棱线

122 第二棱线(棱线)

122a 成为刃部侧的棱线

122b 成为最深部侧的棱线

F 基板

Q 变化点

θ1 第一角度

θ2 第二角度

L0 中心轴。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。需要说明的是，在各图中，为了方便起见而标记了相互正交的X轴、Y轴以及Z轴。Y轴与刻划轮的中心轴平行。

图1的(a)是示意性地示出刻划轮100的结构的侧视图，图1的(b)是示意性地示出刻划轮100的结构的主视图。图1的(c)是将刻划轮100的外周附近的一部分放大示出的立体图。

刻划轮100具有将外周部两侧的边缘斜着切去而得到的圆板形状。在主视观察下，在刻划轮100的外周部形成有向互不相同的方向倾斜的两个倾斜面101。通过两个倾斜面101交叉而形成多个刃部110，并且，在周向上相邻的刃部110之间形成有向中心轴L0侧凹陷的槽部120。周向上的各刃部110的长度彼此相等。另外，周向上的各槽部120的长度也彼此相等。因此，周向上的刃部110的节距恒定，另外，周向上的槽部120的节距也恒定。

刻划轮100由硬质合金、烧结金刚石、单晶金刚石或多晶金刚石等形成。在刻划轮100的中央形成有供成为旋转轴的轴插入的圆形的孔102。

如图1的(c)所示，刃部110在沿周向进行观察时具有V字的截面形状。

如图1的(c)所示，槽部120从刻划轮100的棱线朝向刻划轮100的两侧的端面沿着两侧的倾斜面101延伸，且在沿周向进行观察时具有V字的截面形状。由此，槽部120具有：第一棱线121，其从相邻的一方的刃部110的棱线111起连续，并向槽部120的最深部120a延伸；以及第二棱线122，其从相邻的另一方的刃部110的棱线111起连续，并向最深部120a延伸。第一棱线121与第二棱线122在最深部120a相连，并以最深部120a为中心而对称。

槽部120例如通过对在整周的范围内形成有刃部110的刻划轮100实施使用激光的切割加工而形成。

图2的(a)是在刻划轮100的棱线的位置以与中心轴L0垂直的平面(X-Z平面)进行剖切而得到的槽部120附近的放大剖视图。图2的(b)是用于对在槽部120的第一棱线121以及第二棱线122设置的变化点Q进行说明的图。

如图2的(a)所示，槽部120的第一棱线121以及第二棱线122从与刃部110的棱线111之间的边界位置在相对于刃部110的棱线111倾斜的方向上呈大致直线状(直线状、接近于直线的圆弧状)延伸，然后，一边描绘圆弧一边向下方改变朝向，并呈大致直线状(直线、或接近于直线的圆弧状)延伸而到达最深部120a。即，如图2的(b)所示，第一棱线121以及第二棱线122具有变化点Q，相对于该变化点Q成为最深部120a侧的棱线121b、122b与刃部110的棱线111所成的第二角度θ2大于相对于该变化点Q成为刃部110侧的棱线121a、122a与刃部110的棱线111所成的第一角度θ1。

沿着第一棱线121以及第二棱线122进行测绘，并取得各测绘点的切线的倾斜度。将切线的倾斜度的变化变大的刃部110侧的点P1与最深部120a侧的点P2之间设为变化范围，并将该变化范围(从P1到P2)的中间点设为变化点Q。

根据到刃部110侧的棱线121a、122a的点P1为止的各测绘点求出近似直线Ln1，将刃部110的棱线111与近似直线Ln1所成的角设为第一角度θ1。另外，根据到最深部120a侧的棱线121b、122b的点P2为止的各测绘点求出近似直线Ln2，将刃部110的棱线111与近似直线Ln2所成的角设为第二角度θ2。

将变化点Q的深度d2(刃部110的棱线111与变化点Q在径向上的距离)设为比槽的深度d1(刃部110的棱线111与槽部120的最深部120a在径向上距离)的一半小。即，变化点Q设置在比槽部120的深度方向上的中央远离中心轴L0的方向上。

如图1的(c)所示，槽部120在周向上的最深部120a的两侧具有：第一槽面123，其以与第一棱线121相同的形状弯曲；以及第二槽面124，其以与第二棱线122相同的形状弯曲。由于第一棱线121以及第二棱线122具有变化点Q，因此第一槽面123以及第二槽面124以与变化点Q相对应的位置(图1的(c)的虚线)为边界被分为坡度相对较缓的刃部110侧的面123a、124a(以下，称为第一缓斜面123a、第二缓斜面124a)、以及坡度相对较陡的最深部120a侧的面123b、124b(以下，称为第一陡斜面123b、第二陡斜面124b)。

需要说明的是，槽部120为非常小的尺寸(微米级)。因此，在通过使用激光的切割加工形成槽部120的情况下，难以通过规整的直线或圆弧形成第一棱线121以及第二棱线122。因此，实际上，第一棱线121以及第二棱线122通过以细微变形的线描绘出的直线或圆弧形成。

本实施方式的刻划轮100用于刻划装置1。

图3是示意性地示出刻划装置1的结构的图。

如图3所示，刻划装置1具备移动台2和刻划头10。

移动台2与滚珠丝杠3螺合。另外，移动台2被一对导轨4支承为能够在Y轴方向上移动。当通过未图示的马达的驱动使滚珠丝杠3旋转时，移动台2沿着一对导轨4在Y轴方向上移动。

在移动台2的上表面设置有马达5。马达5使配置在其上方的载置部6在XY平面内旋转并将该载置部6定位于规定角度。在载置部6载置由玻璃等脆性材料构成的基板F。载置部6具备未图示的真空吸附机构，通过该真空吸附机构将基板F保持在载置部6上。

在刻划装置1中，桥7以跨过移动台2和该移动台2之上的载置部6的方式架设于在该移动台2以及该载置部6的两侧设置的一对支柱8a、8b。在桥7安装有导轨9。

刻划头10经由移送部11而与导轨9连接。移送部11在导轨9进行滑动移动，由此刻划头10在X轴方向上移动。

在使用刻划装置1在基板F的表面形成刻划线的情况下，刻划轮100以能够以中心轴L0为中心旋转的方式安装于保持器单元12。并且，保持有刻划轮100的保持器单元12安装于刻划头10。

当刻划动作开始时，刻划装置1使刻划头10向下方移动，一边对刻划轮100施加规定的载荷，一边使刻划轮100与基板F接触。然后，刻划装置1使刻划头10在X轴方向上移动。由此，刻划轮100在基板F的表面滚动，并在基板F形成刻划线。施加于刻划轮100的载荷设定为在基板F形成肋状纹且基板F不破损的范围。该载荷范围能够根据基板F的厚度等而发生变动。以下，为了便于说明，将“在基板F形成肋状纹且基板F不破损的范围”称为“允许范围”。

根据需要，一边使载置部6在Y轴方向上移动一边反复进行刻划动作。并且，根据需要，在使载置部6转动了规定角度、例如90°后，一边使载置部6在Y轴方向上移动一边反复进行刻划动作。

图4的(a)是示意性地示出在刻划动作中本实施方式的刻划轮100陷入基板F的状态的图。图4的(b)以及图4的(c)是用于对刻划轮100陷入基板F的结果即在刻划线上形成的压痕130进行说明的图。

如图4的(a)所示，在本实施方式的刻划轮100中，槽部120的第一棱线121以及第二棱线122所具有的变化点Q设置于在通过允许范围的载荷进行了刻划动作时陷入基板F的内部的位置。

在刻划轮100向图4的(a)的箭头方向旋转并向与该方向相反的方向滚动的情况下，刻划轮100的外周部以第一陡斜面123b→第一缓斜面123a→刃部110→第二缓斜面124a→第二陡斜面124b的顺序与基板F的表面接触，并陷入基板F的内部。由此，在基板F的表面形成压痕130。通过刻划轮100在基板F的表面滚动，从而压痕130在刻划线上以刃部110的节距的间隔排成一列。

如图4的(c)所示，通过第一陡斜面123b陷入基板F，而在基板F的刻划线上形成角131，通过第一缓斜面123a陷入基板F，而在刻划线的两侧形成两个角132。接着，通过刃部110陷入基板F，而在刻划线的两侧形成四个角133。接着，通过第二缓斜面124a陷入基板F，而在刻划线的两侧形成两个角134，通过第二陡斜面124b陷入基板F，而在刻划线上形成角135。由此，如图4的(b)以及图4的(c)所示，压痕130成为大致十边形。

图5的(a)是示意性地示出在刻划动作中比较例的刻划轮200陷入基板F的状态的图。图5的(b)以及图5的(c)是用于对刻划轮200陷入基板F的结果即在刻划线上形成的压痕230进行说明的图。

如图5的(a)所示，在比较例的刻划轮200中，槽部220的第一棱线221以及第二棱线222所具有的变化点Q设置于在通过允许范围的载荷进行了刻划动作时不陷入基板F的内部的位置。

在刻划轮200向图5的(a)的箭头方向旋转并向与该方向相反的方向滚动的情况下，刻划轮200的外周部以第一槽面223的第一缓斜面223a→刃部210→第二槽面224的第二缓斜面224a的顺序与基板F的表面接触，并陷入基板F的内部。由此，在基板F的表面形成压痕230。在刻划轮200中，第一槽面223的第一陡斜面223b和第二槽面224的第二陡斜面224b不陷入基板F。

如图5的(c)所示，通过第一缓斜面223a陷入基板F，而在基板F的刻划线上形成角231。接着，通过刃部210陷入基板F，而在刻划线的两侧形成四个角232。接着，通过第二缓斜面224a陷入基板F，而在刻划线上形成角233。由此，如图5的(b)以及图5的(c)所示，压痕230成为大致六边形。

需要说明的是，即使在槽部的第一棱线以及第二棱线不存在变化点、即第一棱线以及第二棱线成为直线状、接近于直线的圆弧状的刻划轮中，压痕也与比较例的刻划轮200同样地成为大致六边形。

在形成刻划线的刻划工序后，进行断开工序。在断开工序中，基板F在刻划线处被截断。由此，制作出规定尺寸的基板F。在基板F中的由于截断而形成的端面残留有形成于压痕的刻划线上的角以外的角。在使用比较例的刻划轮200而得到的基板F中，相对于一个压痕而在端面残留有两个角232、232，在使用本实施方式的刻划轮100而得到的基板F中，相对于一个压痕而在端面残留有四个角132、133、133、134。

当对截断后的基板F施加了外力时，在基板F的端面，应力容易集中于角，从而容易在角产生裂纹。并且，该裂纹的产生能够导致基板F的端面的破坏。

在本实施方式的刻划轮100中，与变化点Q不陷入基板F的内部的比较例的刻划轮200相比，能够在基板F形成角较多的压痕，因此能够增多在截断后的基板F的端面形成的角。由此，应力容易分散从而集中于一个角的应力降低，因此能够抑制裂纹在角的产生。因此，能够提高截断后的基板F的端面强度。

<实验>

本申请的发明人们通过实验对使用上述结构的刻划轮100的情况下的效果进行了确认。在实验中，对于具有本实施方式的刻划轮100的结构的轮1～轮4的这个刻划轮、以及不具有刻划轮10的结构的轮5～轮7这三个刻划轮，验证了使用这些刻划轮截断的基板F的端面强度。以下，参照附图对该实验以及实验结果进行说明。

图6的(a)是示出轮1～轮7的各刻划轮的规格的表，图6的(b)以及图6的(c)是用于对规格进行说明的图。

为了制作轮1～轮7，如下述那样定义槽角度β。即，如图6的(c)所示，在从刃部110的棱线111起为槽的深度d1的规定比例的位置设定基准线Lr。求出到基准线Lr为止的第一棱线121的近似直线Ln3和第二棱线122的近似直线Ln4，将两个近似直线Ln3、Ln4所成的角设为槽角度β。

轮1～轮7以槽角度β每次变化5°的方式制作。对于各刻划轮而言，槽部120的周向上的宽度W1以及槽的深度d1相等，其中，以取得各自的槽角度β的方式确定第一角度θ1、第二角度θ2以及变化点Q的位置。槽角度β越大，则第一角度θ1越小而第二角度θ2越大，且径向上的从刃部110的棱线111到变化点Q的距离(以下，称为“变化点深度”)越小。需要说明的是，在轮7不存在变化点Q，将第一棱线121以及第二棱线122的近似直线与刃部110的棱线111所成的角设为第一角度θ1。

另外，对于轮1～轮7而言，使直径D、刃部110的角度(两个倾斜面101所成的角)α、刃部110的个数n以及刃部110的周向上的宽度W2相等。

图6的(d)是示出使用轮1～轮7并通过7N(牛顿)的载荷在基板F进行了刻划动作时的、槽角度β和变化点深度与压痕深度的差量之间的关系的图。需要说明的是，在不存在变化点Q的轮7中，将槽深度与压痕深度的差量视为变化点深度与压痕深度的差量。

在刻划动作时变化点Q陷入基板F的内部的情况下，压痕深度大于变化点深度，上述差量取负的值。

图6的(d)示出如下情况：即，在槽角度β分别为163.0°、158.0°、153.0°、148.0°且第一角度θ1分别为7.0°、11.0°、12.5°、15.5°的轮1～轮4中，变化点Q陷入基板F的内部，在槽角度β分别为143.0°、138.0°、133.0°且第一角度θ1分别为17.2°、20.2°、22.3°的轮5～轮7中，变化点Q不陷入基板F的内部。

需要说明的是，虽然未进行图示，但使用轮1～轮7并分别通过9N、11N的载荷在基板F进行了刻划动作时的、槽角度β和变化点深度与压痕深度的差量之间的关系也呈与图6的(d)相同的趋势。因此，认为对9N、11N的载荷而言，在槽角度β分别为163.0°、158.0°、153.0°、148.0°的轮1～轮4中，变化点Q陷入基板F的内部，在槽角度β分别为143.0°、138.0°、133.0°的轮5～轮7中，变化点Q不陷入基板F的内部。

所使用的基板F的厚度为0.4mm。载荷7N、9N、11N是轮1～7的允许范围所共同包含的载荷，7N为允许范围中的低载荷侧的值，11N为允许范围中的高载荷侧的值。

图7的(a)是示出使用轮1～轮7并通过7N、9N、11N的载荷进行了刻划动作时的、槽角度β与截断后的基板F的端面强度之间的关系的图。基板F的端面强度通过四点弯曲端面强度试验而测定出。

如图7的(a)所示，在变化点Q未陷入基板F的内部的轮5～轮7之间，基板F的端面强度大致相等，但在变化点Q陷入基板F的内部的轮1～轮4中，与轮5～轮7相比，基板F的端面强度显著提高。另外，在轮1～轮4之间，槽角度β越大，则基板F的端面强度越大。

图7的(b)是示出使用轮1～轮7并通过7N、9N、11N的载荷进行了刻划动作时的、第一角度θ1与截断后的基板F的端面强度之间的关系的图。

如图7的(b)所示，在变化点Q陷入基板F的内部的轮1～轮4中，第一角度θ1越小，则基板F的端面强度越大。特别是，在载荷为7N和9N的情况下，示出在第一角度θ1为12.5°与11.0°之间端面强度大幅提高的状态，在载荷为1 1N的情况下，也示出在第一角度小于11.0°时端面强度大幅提高的状态。

因此，根据图7的(b)所示的结果判断为，通过以使第一角度θ1为10°以下的方式构成刻划轮100，能够更显著地提高基板F的端面强度。

以上，根据上述的实验结果可知，根据本实施方式的刻划轮100的结构，能够提高截断后的基板F的端面强度。

<实施方式的效果>

根据本实施方式，能够起到以下效果。

如图4的(a)所示，对于刻划轮100而言，槽部120的第一棱线121以及第二棱线122所具有的变化点Q设置于在通过在基板F形成肋状纹且基板F不破损的范围的载荷进行了刻划动作时陷入基板F的内部的位置。由此，如图4的(b)以及图4的(c)所示，与变化点Q不陷入基板F的内部的结构或不存在变化点Q的结构相比，能够在基板F的刻划线上形成角较多的(更多边的形状的)压痕130，从而能够增多在截断后的基板F的端面形成的角。由此，应力容易分散从而集中于一个角的应力降低，因此能够抑制裂纹在角的产生。因此，能够提高截断后的基板F的端面强度。

并且，变化点Q设置在比槽部120的深度方向上的中央远离中心轴L0的方向上。由此，在进行了刻划动作时，变化点Q容易陷入基板F的内部，因此容易提高基板F的端面强度。

并且，在刻划轮100采用第一角度θ1为10°以下的结构的情况下，如图7的(b)所示，能够更显著地提高基板F的端面强度。

<变更例>

本发明的实施方式除上述以外还能够进行各种变更。

例如，在上述实施方式中，在槽部120的第一棱线121以及第二棱线122中，在通过允许范围的载荷进行了刻划动作时陷入基板F的内部的位置设置有一个变化点Q。但是，如图8的(a)所示，也可以在第一棱线121以及第二棱线122的陷入基板F的内部的位置设置两个变化点Q1、Q2。在该情况下，对于刃部110侧的变化点Q1而言，相对于该变化点Q1成为最深部120a侧的(变化点Q1与变化点Q2之间的)棱线121b、122b与刃部110的棱线111所成的角(相当于本发明的第二角度)大于相对于该变化点Q1成为刃部110侧的棱线121a、122a与刃部110的棱线111所成的角(相当于本发明的第一角度)。并且，对于最深部120a侧的变化点Q2而言，相对于该变化点Q2成为最深部120a侧的棱线121c、122c与刃部110的棱线111所成的角(相当于本发明的第二角度)大于相对于该变化点Q2成为刃部110侧的(变化点Q1与变化点Q2之间的)棱线121b、122b与刃部110的棱线111所成的角(相当于本发明的第一角度)。如图8的(b)所示，在基板F中，在刻划线上形成大致十四边形的压痕130。

并且，在第一棱线121以及第二棱线122中，也可以在通过允许范围的载荷进行了刻划动作时陷入基板F的内部的位置设置三个以上的变化点Q。

并且，如上所述，在第一棱线121以及第二棱线122设置有多个变化点Q的情况下，也可以将其中至少一个变化点Q设置于在通过允许范围的载荷进行了刻划动作时不陷入基板F的内部的位置。

并且，在上述实施方式中，变化点Q设置在比槽部120的深度方向上的中央远离中心轴L0的方向上。但是，对于变化点Q而言，只要是在通过允许范围的载荷进行了刻划动作时陷入基板F的内部的位置，则也可以设置在比槽部120的深度方向上的中央接近中心轴L0的方向上。

此外，本发明的实施方式能够在技术方案所示的技术思想的范围内适当地进行各种变更。

Claims (4)

1.一种刻划轮，其用于在基板形成刻划线，其特征在于，

所述刻划轮具备：

多个刃部，它们沿着外周缘形成；以及

多个槽部，它们设置于在周向上相邻的所述刃部之间，并向中心轴侧凹陷，

所述槽部在最深部的两侧具有从所述刃部的棱线起连续并延伸到该最深部的棱线，

所述槽部的各棱线具有至少一个变化点，相对于该变化点成为所述最深部侧的棱线与所述刃部的棱线所成的第二角度大于相对于该变化点成为所述刃部侧的棱线与所述刃部的棱线所成的第一角度，

所述变化点设置于在通过载荷进行了刻划动作时陷入所述基板的内部的位置，所述载荷为在所述基板形成肋状纹且所述基板不破损的范围。

2.根据权利要求1所述的刻划轮，其特征在于，

所述变化点设置在比所述槽部的深度方向上的中央远离所述中心轴的方向上。

3.根据权利要求1或2所述的刻划轮，其特征在于，

所述第一角度为10°以下。

4.一种刻划方法，其用于在基板形成刻划线，其特征在于，

所述刻划方法一边对刻划轮赋予使变化点陷入所述基板的内部的范围的载荷，一边使所述刻划轮在所述基板的表面移动，

所述刻划轮具备：多个刃部，它们沿着外周缘形成；以及多个槽部，它们设置于在周向上相邻的所述刃部之间，并向中心轴侧凹陷，所述槽部在最深部的两侧具有从所述刃部的棱线起连续并延伸到该最深部的棱线，所述槽部的各棱线具有至少一个所述变化点，相对于该变化点成为所述最深部侧的棱线与所述刃部的棱线所成的第二角度大于相对于该变化点成为所述刃部侧的棱线与所述刃部的棱线所成的第一角度。

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