CN114654605A - 一种角度调节结构、刀具调节组件及具有其的裂片机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及晶圆加工领域，具体涉及一种角度调节结构、刀具调节组件及具有其的裂片机。角度调节结构，包括：固定板，设有第一通孔和第二通孔；转动板，与固定板转动连接，转动板背离固定板设有劈刀，以及分别与第一通孔和第二通孔对应设置的第三通孔和第四通孔；第一固定件，依次贯穿第三通孔和第一通孔，且第三通孔中预留有允许转动板相对于固定板转动后，第一固定件贯穿且将固定板与转动板固定的转动余量；第二固定件，依次贯穿第四通孔和第二通孔，且第四通孔中预留有允许转动板相对于固定板转动后，第二固定件贯穿且将固定板与转动板固定的转动余量。本发明解决了裂片机刀具在调整角度后无法完全固定，刀头与Bar条接触因反作用力发生松动。

Description

一种角度调节结构、刀具调节组件及具有其的裂片机

技术领域

本发明涉及晶圆加工技术领域，具体涉及一种角度调节结构、刀具调节组件及具有其的裂片机。

背景技术

近些年来，芯片产业受到国家的重视，我国芯片产业呈现蓬勃发展的态势。虽然芯片产业有所发展，但国内芯片制造技术水平与世界先进水平有着很大差距。

芯片的制造过程需要经历一系列特定的加工工艺技术，其中，裂片工序属于封装环节很重要的一个步骤。现有的裂片机在裂片前需要调整刀头的角度，使刀头与受台表面成平行或夹角设置，以适应不同的裂片工艺要求。但是，调整完的刀头组件由于无法进行完全固定，使刀头在与Bar条接触后将Bar条裂解为块状芯片过程中，刀头组件会受到Bar条的反作用力而出现松动，影响到已调整好的刀具角度，严重者出现刀具角度的改变进而导致在裂片过程中容易出现废品。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的裂片机刀具组件调整完角度后无法完全固定，使刀头在与Bar条接触后出现反作用力而发生松动，影响到裂片良品率的缺陷，从而提供一种角度调节结构、刀具调节组件及具有其的裂片机。

为了解决上述问题，本发明提供了一种角度调节结构，包括：

固定板，所述固定板上设有第一通孔和第二通孔；

转动板，与所述固定板转动连接，所述转动板背离所述固定板的面上设有劈刀，以及分别与所述第一通孔和第二通孔对应设置的第三通孔和第四通孔；

第一固定件，依次贯穿第三通孔和第一通孔设置，且第三通孔中预留有允许所述转动板相对于固定板转动后，第一固定件仍能贯穿且将所述固定板与转动板固定的转动余量；

第二固定件，依次贯穿第四通孔和第二通孔设置，且第四通孔中预留有允许所述转动板相对于固定板转动后，第二固定件仍能贯穿且将所述固定板与转动板固定的转动余量。

可选地，所述第三通孔的内径大于第一通孔的内径，所述第四通孔的内径大于第三通孔的内径。

可选地，还包括转动杆，所述固定板设有第一转动孔，所述转动板设有第二转动孔，所述转动杆穿过第二转动孔和第一转动孔。

可选地，所述第一通孔和第二通孔分设于所述劈刀两侧且为对角设置，所述第三通孔和第四通孔分设于所述劈刀两侧。

可选地，所述固定板上还固定设有伸缩调节件，所述转动板上相应位置固定设有与所述伸缩调节件抵接的球头柱销。

可选地，所述伸缩调节件为手动微分头。

可选地，还包括分设于所述劈刀两侧的一对弹性复位件，每一所述弹性复位件的一端与固定板连接、另一端与转动板连接。

一种刀具调节组件，包括上述的角度调节结构。

一种裂片机，包括上述的刀具调节组件。

可选地，还包括与所述刀具调节组件相对设置的受台。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的角度调节结构，包括：固定板，固定板上设有第一通孔和第二通孔；转动板，与固定板转动连接，转动板上背离固定板的面上设有劈刀，以及分别与第一通孔和第二通孔对应设置的第三通孔和第四通孔；第一固定件，依次贯穿第三通孔和第一通孔设置，且第三通孔中预留有允许转动板相对于固定板转动后，第一固定件仍能贯穿且将固定板与转动板固定的转动余量，第一固定件以将固定板和转动板进行固定；第二固定件，依次贯穿第四通孔和第二通孔设置，且第四通孔中预留有允许转动板相对于固定板转动后，第二固定件仍能贯穿且将固定板与转动板固定的转动余量，第二固定件以将固定板和转动板进行固定。第一固定件和第二固定件的设置，相较于只设置一个固定件的结构，避免了固定板和转动板可能出现因反作用力以固定点为中心进行转动的情况，两个固定件在固定板和转动板上的两点进行固定，实现了刀具组件在调整完角度进行了完全固定，避免刀头在与Bar条接触后受到反作用力而出现松动，使刀头可以将力传递给Bar条；且第三通孔和第四通孔中转动余量的设置既保证了转动板和固定板在劈刀使用时状态的稳定性，又保证了转动板可以相对固定板在一定范围内发生转动。

2.本发明提供的角度调节结构，第三通孔的内径大于第一通孔的内径，在第一固定件穿过第三通孔后，第三通孔内依然留有供第一固定件调整的转动余量。第四通孔的内径大于第二通孔的内径，在第二固定件穿过第四通孔后，第四通孔内依然留有供第二固定件调整的转动余量，方便调整劈刀的角度。

3.本发明提供的角度调节结构，还包括转动杆，固定板设有第一转动孔，转动板设有第二转动孔，转动杆穿过第二转动孔和第一转动孔，使固定板和转动板围绕转动杆进行转动。第一通孔和第二通孔分设于劈刀两侧且为对角设置，第三通孔和第四通孔分设于劈刀两侧，使第一固定件、第二固定件和转动杆实现了三角形设置，进一步稳固固定板和转动板，还可便于使转动板和固定板成一定角度设置，以使与转动板连接的劈刀的刀刃与水平面平行或成锐角设置。

4.本发明提供的角度调节结构，固定杆上设有伸缩调节件，伸缩调节件为手动微分头，转动板上相应位置固定设有与伸缩调节件抵接的球头柱销，手动微分头可进行精密调节，实现了转动板相对于固定板的精密角度调节。此外，球头柱销的球头与伸缩调节件为点接触，相较于调节件与被调节件间的面接触，点接触有着调节范围更加广泛，以实现固定板和转动板间三维空间内任意角度的调节，也符合转动板相对于固定板精密调节的需求。

5.本发明提供的角度调节结构，还包括设于劈刀两侧的一对弹性复位件，每一弹性复位件的一端与固定板连接、另一端与转动板连接，以在伸缩调节件在伸缩后需要回调固定板和转动板时，通过弹性复位件使固定板和转动板进行复位。同时，弹性复位件在伸缩调节件伸出时给予一定数值反向力，使伸缩调节件伸出时的幅度更小，从而保证每一次调节的精密性。

6.本发明提供的刀具调节组件，由于采用了上述任一项所述的角度调节结构，因此具有上述任一项所述的优点。

7.本发明提供的裂片机，由于采用了上述任一项所述的刀具调节组件，因此具有上述任一项所述的优点。还包括与刀具调节组件相对设置的受台，以使劈刀朝向受台进行运动。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的实施方式中提供的角度调节结构的结构示意图；

图2为本发明的实施方式中提供的角度调节结构的主视图。

附图标记说明：1、劈刀；2、伸缩调节件；3、球头柱销；4、转动杆；5、弹性复位件；6、转动板；7、第一固定件；8、固定板；9、第二固定件。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图1－图2所示的角度调节结构的一种具体实施方式，包括：相互转动连接的固定板8和转动板6，转动板6背离固定板8的面上设有劈刀1，其中，固定板8上设有分设于劈刀1两侧的第一通孔和第二通孔，转动板6上设有与第一通孔对应设置的第三通孔、与第二通孔对应设置的第四通孔。具体的，第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔均为圆形孔。

为固定固定板8和转动板6，如图1、图2所示，还包括第一固定件7和第二固定件9，其中，第一固定件7依次穿过第三通孔和第一通孔、第二固定件9依次穿过第四通孔和第二通孔。具体的，第一固定件7和第二固定件9均为螺杆。为使第一固定件7穿过第三通孔后仍有转动余量，第三通孔的内径大于第一通孔；为使第二固定件9穿过第四通孔后仍有转动余量，第四通孔的内径大于第二通孔。

为实现固定板8和转动板6的相对转动，如图1、图2所示，还包括转动杆4，固定板8上设有第一转动孔、转动板6上设有第二转动孔，转动杆4穿过第二转动孔和第一转动孔，以使固定板8和转动板6围绕转动杆4进行相对转动。

为调节固定板8和转动板6的转动，如图1、图2所示，固定板8上还固定设于伸缩调节件2，转动板6上的相应位置固定设有与伸缩调节件2抵接的球头柱销3。具体的，伸缩调节件2为手动微分头。

为使调节后转动板6回复到原位，如图1、图2所示，还包括分设于劈刀1两侧的一对弹性复位件5，每一弹性复位件5的一端与固定板8连接、另一端与转动板6连接。具体的，弹性复位件5为拉簧。

还提供了一种刀具调节组件，包括上述角度调节机构。

还提供了一种裂片机，包括上述刀具调节组件，还包括与刀具调节组件相对设置的受台。

具体实施过程中，调试人员先稍微松开紧固好的第一固定件7和第二固定件9，使固定板8和转动板6处于略微拧紧状态，拧动伸缩调节件2伸出朝向抵接的球头柱销3施加压力，固定板8和转动板6以转动杆4为中心进行转动。当调节到预定位置时，停止拧动伸缩调节件2，依次拧紧第一固定件7和第二固定件9。下压固定板8带动劈刀1向下运动，使劈刀1接触到受台上的Bar条后对其进行裂解。

作为替代的实施方式，第三通孔和第四通孔还可为弧形孔。

作为替代的实施方式，第一通孔的内径还可大于第三通孔、第二通孔的内径还可大于第四通孔。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种角度调节结构，其特征在于，包括：

固定板(8)，所述固定板(8)上设有第一通孔和第二通孔；

转动板(6)，与所述固定板(8)转动连接，所述转动板(6)背离所述固定板(8)的面上设有劈刀(1)，以及分别与所述第一通孔和第二通孔对应设置的第三通孔和第四通孔；

第一固定件(7)，依次贯穿第三通孔和第一通孔设置，且第三通孔中预留有允许所述转动板(6)相对于固定板(8)转动后，第一固定件仍能贯穿且将所述固定板(8)与转动板(6)固定的转动余量；

第二固定件(9)，依次贯穿第四通孔和第二通孔设置，且第四通孔中预留有允许所述转动板(6)相对于固定板(8)转动后，第二固定件仍能贯穿且将所述固定板(8)与转动板(6)固定的转动余量。

2.根据权利要求1所述的角度调节结构，其特征在于，所述第三通孔的内径大于第一通孔的内径，所述第四通孔的内径大于第三通孔的内径。

3.根据权利要求1所述的角度调节结构，其特征在于，还包括转动杆(4)，所述固定板(8)设有第一转动孔，所述转动板(6)设有第二转动孔，所述转动杆(4)穿过第二转动孔和第一转动孔。

4.根据权利要求3所述的角度调节结构，其特征在于，所述第一通孔和第二通孔分设于所述劈刀(1)两侧且为对角设置，所述第三通孔和第四通孔分设于所述劈刀(1)两侧。

5.根据权利要求1－4任一项所述的角度调节结构，其特征在于，所述固定板(8)上还固定设有伸缩调节件(2)，所述转动板(6)上相应位置固定设有与所述伸缩调节件(2)抵接的球头柱销(3)。

6.根据权利要求5所述的角度调节结构，其特征在于，所述伸缩调节件(2)为手动微分头。

7.根据权利要求1－6任一项所述的角度调节结构，其特征在于，还包括分设于所述劈刀(1)两侧的一对弹性复位件(5)，每一所述弹性复位件(5)的一端与固定板(8)连接、另一端与转动板(6)连接。

8.一种刀具调节组件，其特征在于，包括权利要求1－7任一项所述的角度调节结构。

9.一种裂片机，其特征在于，包括权利要求8所述的刀具调节组件。

10.根据权利要求9所述的裂片机，其特征在于，还包括与所述刀具调节组件相对设置的受台。

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