CN114602866B - 一种带孔产品的高压清洗装置及其清洗方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种带孔产品的高压清洗装置及其清洗方法，属于液晶面板零部件生产技术领域，清洗装置包括装置本体、均匀间隔排布在所述装置本体上的至少一列若干喷嘴，所述喷嘴包括混合喷头、送液管、送液喷头、送气管、送气喷头，旋转板上还固定有若干所述送液喷头，所述送液喷头与所述送液管连通，所述送液喷头以送气喷头为中心呈圆周均布在所述送气喷头的外侧，干燥气体和清洗液分别通过送气喷头和送液喷头排出后混合，再通过喷头混合后喷出。本发明清洗装置和方法，洗净效果更好，能够解决因孔内残留药液清洗不净带来的ParticleIssue的问题，同时也可延长产品在客户端的使用寿命。

Description

一种带孔产品的高压清洗装置及其清洗方法

技术领域

本发明属于液晶面板零部件生产技术领域，具体涉及一种带孔产品的高压清洗装置及其清洗方法。

背景技术

CVD工艺中使用的Diffuser产品的作用是让Plasma通过Diffuser产品上的通孔，均匀的射到Glass表面上。Dry Etcher中的带孔产品有上部电极等，以10.5G-Diffuser产品为例，该产品上有11万个左右的通孔。产品在阳极氧化后，孔内还会残留一些药液，如果不能洗净孔内残留药液的话，产品干燥完上机测试时发生Particle Issue的风险很大。目前行业内常用的清洗方法为用高压水枪人工冲洗，但10.5G产品的平均尺寸为3.5m*3.2m(长*宽)，加上高压水枪喷嘴射出的水压不足(一般为小于300bar)，经常会发生洗不净的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种带孔产品的高压清洗装置及其清洗方法，洗净效果更好，能够解决因孔内残留药液清洗不净带来的ParticleIssue的问题，同时也可延长产品在客户端的使用寿命。

为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：

本发明一种带孔产品的高压清洗装置，包括装置本体、均匀间隔排布在所述装置本体上的至少一列若干喷嘴，所述喷嘴包括混合喷头、送液管、送液喷头、送气管、送气喷头，所述混合喷头固定连接至所述送液管的一端，所述送液管靠近混合喷头的一端内侧密封转动设置有旋转板，所述旋转板能够沿轴向转动，所述送气管同轴连接至送液管的中心，所述送气管的端部连通至所述送气喷头，所述旋转板的中心开设有与所述送气喷头转动配合的中心孔，所述旋转板上还固定有若干所述送液喷头，所述送液喷头与所述送液管连通，所述送液喷头以送气喷头为中心呈圆周均布在所述送气喷头的外侧，干燥气体和清洗液分别通过送气喷头和送液喷头排出后混合，再通过喷头混合后喷出。

进一步，所述送气喷头的侧壁上开设有侧气孔，所述旋转板的中心孔孔壁上开设有能够与所述测气孔连通的斜孔，所述斜孔的倾斜方向相同且沿圆周方向均匀分布在中心孔的孔壁上，所述斜孔的末端连接有透气孔，所述透气孔延伸至旋转板的外端面。

进一步，所述送液管靠近送液喷头一端的内侧还设置有固定板，所述固定板的外端开设有与所述送液喷头对应的环槽，所述送液喷头的端部能够在所述环槽内滑动，所述环槽的底部开设有若干通孔，所述通孔能够与所述送液喷头连通。

进一步，所述送液喷头内设置有L型的送液通道，旋转板相对于固定板旋转，清洗液能够通过通孔进入送液通道内，送液通道能够将清洗液引导至送气喷头一侧。

进一步，所述混合喷头的内侧端面上开设有第一卡齿，与所述第一卡齿在所述旋转板的端面上开设有第二卡齿，所述混合喷头与所述送液管螺纹连接，通过旋转所述混合喷头能够轴向调节混合喷头的位置，所述第一卡齿在轴向与第二卡齿结合后，所述混合喷头能够将所述旋转板卡紧。

进一步，所述固定板的侧面还固定有把手，所述送液管的侧壁上还开设有供所述把手通过的开口槽，通过控制所述把手能将所述固定板沿轴向转动一定角度。

进一步，所述混合喷头的内侧开设有直线引导段和锥形扩散段，所述锥形扩散段的内侧壁于混合喷头的轴线之间的倾斜角度为0～10°。

一种带孔产品的高压清洗装置的清洗方法，采用上述所述的高压清洗装置，首先分别在送液管和送气管内通入清洗液和压缩空气，压缩空气经过送气喷头时同时驱动旋转板旋转，清洗液能够通过通孔进入送液通道内，送液通道将清洗液引导至送气喷头一侧，压缩空气在送气喷头处形成负压从而将清洗液从送液通道带出，压缩空气和清洗液在混合喷头进行混合后喷出，经过混合喷头形成实心圆锥形的水流形状，同时射出的水流角度为不大于10°；通过竖排一字型排列喷嘴，通过设定好的程序，沿横向和竖向两个方向清洗产品；在洗完一面后，通过反转固定产品，再清洗另一面；每一面清洗6～10次；清洗完成后，旋转混合喷头后将所述旋转板卡紧，调整把手的位置后让通孔与送液通道错开，确保混合喷头中只出气体，然后再对带孔产品进行干燥喷吹。

本发明的有益效果在于：

本发明一种带孔产品的高压清洗装置，通过设置能够转动的旋转板，并且将送液喷头固定在旋转板上跟随旋转，干燥气体和清洗液分别通过送气喷头和送液喷头排出后混合，再通过喷头混合后喷出，能够形成实心锥形的水流形状，相比于以前直接采用直水流进行冲洗，本发明装置可以将孔内的残余药业清洗干净，洗净效果更好，能够解决因孔内残留药液清洗不净带来的ParticleIssue的问题，同时也可延长产品在客户端的使用寿命。

本发明装置中，通过将高压气体与清洗液进行混合，使得清洗液具有一定的压力，解决了传统高压水枪带来的水压不足的技术问题，能够彻底地对产品进行清洗，清洗效果更加。

本发明的其他优点、目标和特征将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上对本领域技术人员而言是显而易见的，或者本领域技术人员可以从本发明的实践中得到教导。本发明的目标和其他优点可以通过下面的说明书来实现和获得。

附图说明

为了使本发明的目的、技术方案和有益效果更加清楚，本发明提供如下附图进行说明：

图1为本发明实施例喷嘴的结构示意图；

图2为本发明实施例喷嘴的局部放大图；

图3为本发明实施例喷嘴的排列示意图；

图4为本发明实施例旋转板的结构示意图；

图5为本发明实施例清洗装置的接线示意图；

图6为本发明实施例水流形状示意图。

附图中标记如下：喷嘴1、混合喷头2、送液管3、送液喷头4、送气管5、送气喷头6、旋转板7、中心孔8、侧气孔9、斜孔10、透气孔11、固定板12、环槽13、通孔14、送液通道15、第一卡齿16、第二卡齿17、把手18、直线引导段19、锥形扩散段20、装置本体21。

具体实施方式

如图3所示，本发明一种带孔产品的高压清洗装置，包括装置本体21、均匀间隔排布在装置本体21上的至少一列若干喷嘴1，装置本体21呈矩形，能够连接至机器人的机械臂整体进行动作，根据设定好的程序进行动作即可。本发明装置一个装置本体21对应有一列共6个喷嘴1，相邻两个喷嘴1之间的间隔为10mm。

具体的，如图1～2所示，喷嘴1包括混合喷头2、送液管3、送液喷头4、送气管5、送气喷头6，图5为本发明实施例清洗装置的接线示意图，送液管3和送气管5均为直管，分别连接至储水箱和储气箱。混合喷头2固定连接至送液管3的一端，送液管3靠近混合喷头2的一端内侧密封转动设置有旋转板7，旋转板7能够沿轴向转动，并且在两端均能够通过送液管3的内壁台阶进行限位。送气管5同轴连接至送液管3的中心，送气管5的端部连通至送气喷头6，旋转板7的中心开设有与送气喷头6转动配合的中心孔8，旋转板7上还固定有若干送液喷头4，送液喷头4至少为两个，且所述送液喷头4能够与送液管3连通，送液喷头4以送气喷头6为中心呈圆周均布在送气喷头6的外侧，干燥气体和清洗液分别通过送气喷头6和送液喷头4排出后混合，再通过喷头混合后喷出。

本实施例中，如图2和4所示，送气喷头6的侧壁上开设有侧气孔9，旋转板7的中心孔8孔壁上开设有能够与测气孔连通的斜孔10，各斜孔10的轴线位于同一平面内，斜孔10的轴线与旋转板7的中心呈一定夹角，旋转板7采用轻质的树脂材料制成，高压气体能够通过测气孔对斜孔10进行喷吹，使得旋转板7能够进行旋转。各斜孔10的倾斜方向相同且沿圆周方向均匀分布在中心孔8的孔壁上，斜孔10的末端连接有透气孔11，能够使得高压气体通过，更方便旋转板7的受力，透气孔11延伸至旋转板7的外端面，朝向混合喷头2的出口喷出。

本实施例中，送液管3靠近送液喷头4一端的内侧还设置有固定板12，固定板12并非完全与送液管3固定，在轴向是相对固定的，但是在周向，单纯的液压或气压还不能将其转动或者移动，本装置中，通过外部的把手18能够转动固定板12的位置。固定板12的外端开设有与送液喷头4对应的环槽13，送液喷头4的端部能够在环槽13内滑动，环槽13的底部开设有若干通孔14，通孔14能够与送液喷头4连通，当通孔14与送液喷头4的送液通道15错开时，环槽13也能对送液通道15起到一定的密封效果。避免清洗液溢出，本发明装置中，通孔14未必是圆形的孔，其也可能是弧形的，即便送液喷头4相对于固定板12旋转，也能在一定角度上能够与送液喷头4保持连通，根据需要设定弧形的长度即可。

本实施例中，送液喷头4内设置有L型的送液通道15，旋转板7相对于固定板12旋转，清洗液能够通过通孔14进入送液通道15内，送液通道15能够将清洗液引导至送气喷头6一侧，能够让位于中心高压气体喷吹时，也能夹杂一定的清洗液，使得形成的实心圆锥形的水流密度更为紧密，加大了清洗效果。

本实施例中，混合喷头2的内侧端面上开设有第一卡齿16，与第一卡齿16在旋转板7的端面上开设有第二卡齿17，第一卡齿16和第二卡齿17均沿着圆周方向布置，其具体结构和设置方式属于现有技术。其中，混合喷头2与送液管3螺纹连接，通过旋转混合喷头2能够轴向调节混合喷头2的位置，不断向内旋紧混合喷头2后，第一卡齿16在轴向与第二卡齿17结合后，混合喷头2能够将旋转板7卡紧，避免旋转板7再转动，定板的侧面还固定有把手18，送液管3的侧壁上还开设有供把手18通过的开口槽，通过控制把手18能将固定板12沿轴向转动一定角度，能够将固定板12上的通孔14与送液喷头4错开，实现单独的干燥喷吹。

本发明装置能够通过在送液管3的末端对送液喷头4的送液通道15进行控制，从而实现液-气混合喷吹改为单独气体喷吹的转变，控制方便。替代了原有控制阀对清洗液的控制方式，该种方式容易导致清洗液残留在送液管3内，导致后续干燥过程仍然会夹杂有少许液体。而本发明的控制方式直接可以对送液喷头4的末端进行控制，减少清洗液残留夹杂问题，因此，本发明的控制转变方式更优，更能提高喷吹的效率。

本实施例中，混合喷头2的内侧开设有直线引导段19和锥形扩散段20，锥形扩散段20的内侧壁于混合喷头2的轴线之间的倾斜角度a的角度范围为0～10°，对于上部电极内孔的清洗效果更好，清洗更为彻底，彻底杜绝了Particle Issue的问题。

一种带孔产品的高压清洗装置的清洗方法，采用上述的高压清洗装置，首先分别在送液管3和送气管5内通入清洗液和压缩空气，压缩空气经过送气喷头6时同时驱动旋转板7旋转，清洗液能够通过通孔14进入送液通道15内，送液通道15将清洗液引导至送气喷头6一侧，压缩空气在送气喷头6处形成负压从而将清洗液从送液通道15带出，压缩空气和清洗液在混合喷头2进行混合后喷出，经过混合喷头2形成实心圆锥形的水流形状，同时射出的水流角度为不大于10°，图6为本发明实施例水流形状示意图；通过竖排一字型排列喷嘴1，通过设定好的程序，沿横向和竖向两个方向清洗产品；在洗完一面后，通过反转固定产品，再清洗另一面；每一面清洗6～10次；清洗完成后，旋转混合喷头2后将旋转板7卡紧，调整把手18的位置后让通孔14与送液通道15错开，确保混合喷头2中只出气体，然后再对带孔产品进行干燥喷吹，能够彻底将残余药液清理干净。

最后说明的是，以上优选实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管通过上述优选实施例已经对本发明进行了详细的描述，但本领域技术人员应当理解，可以在形式上和细节上对其作出各种各样的改变，而不偏离本发明权利要求书所限定的范围。

Claims (3)

1.一种带孔产品的高压清洗装置，其特征在于：包括装置本体、均匀间隔排布在所述装置本体上的至少一列若干喷嘴，所述喷嘴包括混合喷头、送液管、送液喷头、送气管、送气喷头，所述混合喷头固定连接至所述送液管的一端，所述送液管靠近混合喷头的一端内侧密封转动设置有旋转板，所述旋转板能够沿轴向转动，所述送气管同轴连接至送液管的中心，所述送气管的端部连通至所述送气喷头，所述旋转板的中心开设有与所述送气喷头转动配合的中心孔，所述旋转板上还固定有若干所述送液喷头，所述送液喷头与所述送液管连通，所述送液喷头以送气喷头为中心呈圆周均布在所述送气喷头的外侧，干燥气体和清洗液分别通过送气喷头和送液喷头排出后混合，再通过喷头混合后喷出；所述送气喷头的侧壁上开设有侧气孔，所述旋转板的中心孔孔壁上开设有能够与所述侧气孔连通的斜孔，所述斜孔的倾斜方向相同且沿圆周方向均匀分布在中心孔的孔壁上，所述斜孔的末端连接有透气孔，所述透气孔延伸至旋转板的外端面；所述送液管靠近送液喷头一端的内侧还设置有固定板，所述固定板的外端开设有与所述送液喷头对应的环槽，所述送液喷头的端部能够在所述环槽内滑动，所述环槽的底部开设有若干通孔，所述通孔能够与所述送液喷头连通；所述送液喷头内设置有L型的送液通道，旋转板相对于固定板旋转，清洗液能够通过通孔进入送液通道内，送液通道能够将清洗液引导至送气喷头一侧；所述混合喷头的内侧端面上开设有第一卡齿，与所述第一卡齿在所述旋转板的端面上开设有第二卡齿，所述混合喷头与所述送液管螺纹连接，通过旋转所述混合喷头能够轴向调节混合喷头的位置，所述第一卡齿在轴向与第二卡齿结合后，所述混合喷头能够将所述旋转板卡紧；所述固定板的侧面还固定有把手，所述送液管的侧壁上还开设有供所述把手通过的开口槽，通过控制所述把手能将所述固定板沿轴向转动一定角度。

2.根据权利要求1所述的带孔产品的高压清洗装置，其特征在于：所述混合喷头的内侧开设有直线引导段和锥形扩散段，所述锥形扩散段的内侧壁于混合喷头的轴线之间的倾斜角度为0~10°。

3.一种带孔产品的高压清洗装置的清洗方法，其特征在于：采用如权利要求2所述的高压清洗装置，首先分别在送液管和送气管内通入清洗液和压缩空气，压缩空气经过送气喷头时同时驱动旋转板旋转，清洗液能够通过通孔进入送液通道内，送液通道将清洗液引导至送气喷头一侧，压缩空气在送气喷头处形成负压从而将清洗液从送液通道带出，压缩空气和清洗液在混合喷头进行混合后喷出，经过混合喷头形成实心圆锥形的水流形状，同时射出的水流角度为不大于10°；通过竖排一字型排列喷嘴，通过设定好的程序，沿横向和竖向两个方向清洗产品；在洗完一面后，通过反转固定产品，再清洗另一面；每一面清洗6~10次；清洗完成后，旋转混合喷头后将所述旋转板卡紧，调整把手的位置后让通孔与送液通道错开，确保混合喷头中只出气体，然后再对带孔产品进行干燥喷吹。

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