CN114597856B - 传感器麦克风及其内置校准电路的保护电路、方法 - Google Patents

Abstract

本发明提出了一种传感器麦克风及其内置校准电路的保护电路、方法，其中，传感器麦克风内置校准电路的保护电路包括电压检测模块和低电触发模块，传感器麦克风包括电源端、第一电流源、第二电流源、负载以及FUSE电阻，电源端、FUSE电阻和第一电流源串联连接至地，电源端、负载和第二电流源串联连接至地，电压检测模块的检测端与电源端连接，低电触发模块分别与电压检测模块、第一电流源和第二电流源电连接。本发明旨在提高传感器麦克风生产的良品率。

Description

传感器麦克风及其内置校准电路的保护电路、方法

技术领域

本发明涉及传感器麦克风技术领域，特别涉及一种传感器麦克风及其内置校准电路的保护电路、方法。

背景技术

随着现代智能手机、TWS智能耳机与智能居家等消费市场的扩展，传感器麦克风(MEMS–Micro Electro Mechanical System)的需求相对大幅增加。但是现在的传感器麦克风受FAB工艺制作与其他因素影响，在大批量生产时，传感器的输出信号存在些许的误差，需要经由芯片针对每颗传感器做定制化调整，一般使用芯片内置的校准电路并采用Fuse烧录的方式，以记录并提供校准后的定制化偏置工作电压给传感器，使输出信号灵敏度变化能降低并控制在更小范围(比如灵敏度变化由±3dBV降低为±1dBV)，达成符合高端产品规格。然而在传感器麦克风中的FUSE烧录校准电路中(参考图1)，在未烧录时，若电源发生静电放电情况，则会导致FUSE电阻被误损毁，使后级电路错误认为当前已经完成烧录，从而造成传感器麦克风在实际大批量生产时不良率较高。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种传感器麦克风及其内置校准电路的保护电路、方法，旨在提高传感器麦克风生产的良品率。

本发明提供了一种传感器麦克风内置校准电路的保护电路，传感器麦克风内置校准电路的保护电路，应用于传感器麦克风，所述传感器麦克风包括电源端、第一电流源、第二电流源、负载以及FUSE电阻，所述电源端、所述FUSE电阻和所述第一电流源串联连接至地，所述电源端、所述负载和所述第二电流源串联连接至地，所述传感器麦克风内置校准电路的保护电路包括：

电压检测模块，所述电压检测模块的检测端与所述电源端连接；

低电触发模块，所述低电触发模块分别与所述电压检测模块、所述第一电流源和所述第二电流源电连接；

所述电压检测模块，用于检测所述电源端接入的供电电压，并输出相应的电压检测信号；

所述低电触发模块，用于在所述电压检测信号的电压值达到预设静电保护电压值时，控制所述第一电流源和所述第二电流源停止工作。

可选的，所述电压检测模块包括：第一电阻、第二电阻，所述第一电阻的第一端与所述电源端连接，所述第一电阻的第二端与所述第二电阻连接，所述第二电阻的第二端接地。

可选的，所述第一电流源包括第一开关管，所述第二电流源包括第二开关管，所述第一开关管的输入端与所述FUSE电阻电连接，所述第二开关管的输入端与所述负载电连接，所述第一开关管的输出端和所述第二开关管的输出端均接地，其特征在于，所述低电触发模块包括：

第三开关管，所述第三开关管的输入端分别与所述第一开关管的受控端和所述第二开关管的受控端连接，所述第三开关管的输出端接地。

可选的，所述第三开关管为NMOS管。

可选的，所述低电触发模块，还用于在所述电压检测信号的电压低于所述预设静电保护电压值时，控制所述第一电流源和所述第二电流源处于正常工作状态。

本发明还提出了一种传感器麦克风内置校准电路的保护方法，应用于传感器麦克风，所述传感器麦克风包括电源端、第一电流源、第二电流源、负载以及FUSE电阻，所述电源端、所述FUSE电阻和所述第一电流源串联连接至地，所述电源端、所述负载和所述第二电流源串联连接至地，所述传感器麦克风内置校准电路的保护方法包括：

步骤S100、检测并获取所述电源端的供电电压；

步骤S200、当确定所述供电电压达到预设静电电压时，控制所述第一电流源与所述第二电流源停止工作。

可选的，所述第一电流源包括第一开关管、所述第二电流源包括第二开关管，所述电源端、FUSE电阻、第一开关管串联电连接，所述电源端、负载、第二开关管串联电连接，所述第一开关管和所述第二开关管的第二端接地，所述当确定所述供电电压达到预设静电电压时，控制所述第一电流源与所述第二电流源停止工作具体为：

步骤S210、当确定所述供电电压达到预设静电电压时，控制所述第一开关管和所述第二开关管处于关断状态。

可选的，所述传感器麦克风内置校准电路的保护方法还包括：

步骤S300、当确定所述供电电压低于预设静电电压时，控制所述第一电流源与所述第二电流源正常工作。

本发明还提出了一种传感器麦克风，所述传感器麦克风包括电源端、第一电流源、第二电流源、负载以及FUSE电阻，所述电源端、所述FUSE电阻和所述第一电流源串联连接至地，所述电源端、所述负载和所述第二电流源串联连接至地；

其中，所述第一电流源包括第一开关管、所述第二电流源包括第二开关管，所述电源端、FUSE电阻、第一开关管串联电连接，所述电源端、负载、第二开关管串联电连接，所述第一开关管和所述第二开关管的第二端接地；

所述传感器麦克风还包括如上述任一项所述的传感器麦克风内置校准电路的保护电路；或者，

存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的传感器麦克风内置校准电路的保护程序，所述传感器麦克风内置校准电路的保护程序被所述处理器执行时实现如上述任一项所述的传感器麦克风内置校准电路的保护方法的步骤。

本发明传感器麦克风内置校准电路的保护电路包括电压检测模块和低电触发模块，电压检测模块用于检测所述电源端接入的供电电压，并输出相应的电压检测信号，低电触发模块用于在所述电压检测信号的电压值达到预设静电保护电压值时，控制所述第一电流源和所述第二电流源停止工作。如此，在实际应用中，若传感器内部发生静电放电情况导致电源端接入的供电电压急速上升时，能够及时停止第一电流源和第二电流源工作，以使FUSE电阻上无电流流过，从而使得在静电放电时，FUSE电阻不被误损毁，后级电路不会误认为当前已经烧录完成，并且在供电电压恢复正常时，传感器麦克风中的FUSE烧录校准电路也能够恢复到正常的待烧录状态，从而有效地提高了传感器麦克风生产的良品率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为传感器麦克风中的FUSE烧录校准电路；

图2为本发明传感器麦克风内置校准电路的保护电路一实施例的功能模块示意图；

图3为本发明传感器麦克风内置校准电路的保护电路一实施例的具体电路示意图；

图4为本发明传感器麦克风内置校准电路的保护方法一实施例的步骤流程图；

图5为本发明传感器麦克风内置校准电路的保护方法另一实施例的步骤流程图；

图6为本发明传感器麦克风内置校准电路的保护方法又一实施例的步骤流程图。

附图标号说明：

标号	名称	标号	名称
				10	电压检测模块	20	低电触发模块

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

另外，若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

随着现代智能手机、TWS智能耳机与智能居家等消费市场的扩展，传感器麦克风(MEMS–Micro Electro Mechanical System)的需求相对大幅增加。但是现在的传感器麦克风受FAB工艺制作与其他因素影响，在大批量生产时，传感器的输出信号存在些许的误差，需要经由芯片针对每颗传感器做定制化调整，一般使用芯片内置的校准电路并采用Fuse烧录的方式，以记录并提供校准后的定制化偏置工作电压给传感器，使输出信号灵敏度变化能降低并控制在更小范围(比如灵敏度变化由±3dBV降低为±1dBV)，达成符合高端产品规格。然而在传感器麦克风中的FUSE烧录校准电路中(参考图1)，在未烧录时，若电源发生静电放电情况，则会导致FUSE电阻被误损毁，使后级电路错误认为当前已经完成烧录，从而造成传感器麦克风在实际大批量生产时不良率较高。

需要理解的是，在传感器麦克风中的FUSE烧录校准电路中，参考图1，VN的电压为烧录电压，VN＝VDD-I(第一电流源设定的电流)*R(FUSE电阻的阻值)，VP的电压为比较参考电压，由负载器件和第二电流源形成。当烧录完成时，会关闭烧录开关SW，此时第一电流源被短路，流过FUSE电阻上的电流增加，导致FUSE电阻被熔断，进而导致VN电压变为0V，此时VP>VN，使比较器输出高电平信号作为校准码以使后级电路确定当前传感器麦克风内部分程序已经烧录校准完毕。

当未烧录时，烧录开关SW保持打开状态，此时流过FUSE电阻的电流为第一电流源设置的电流，由于电流较小，所以不会时FUSE电阻烧断，同时也因为FUSE电阻的阻值较低，即FUSE电阻上的电压为一微小的电压，所以VN点的电压会比较接近电源端的供电电压VDD，此时VP<VN，使比较器输出底电平信号，以使后级电路确定当前传感器麦克风内部分程序还未烧录完毕。

但是，若传感器在运输、测试、待烧录过程中，出现了静电放电的情况，此时会导致供电电压VDD突然增大，导致第一电流源产生的电流突然变大，进而造成流过的FUSE电阻的电流变大，这就有可能对FUSE电阻造成损害，可能会使其未完全烧断形成以较大阻值的电阻或者是直接烧断。如此，都会导致VN电压降低，致使VP＞VN，从而造成后级电路误认为当前传感器麦克风内部分程序已经烧录校准完毕。同时，FUSE烧录也是一次性烧录，其过程不可逆，这就导致当前产品报废，大大降低了传感器麦克风出厂的良品率。

为此，本发明提出一种传感器麦克风内置校准电路的保护电路，应用于传感器麦克风，以使得传感器麦克风中的FUSE烧录校准电路不会因静电放电而导致FUSE电阻被误损害，传感器麦克风包括电源端、第一电流源、第二电流源、负载以及FUSE电阻，电源端、FUSE电阻和第一电流源串联连接至地，电源端、负载和第二电流源串联连接至地，传感器麦克风内置校准电路的保护电路包括：

电压检测模块10，电压检测模块10的检测端与电源端连接；

低电触发模块20，低电触发模块20分别与电压检测模块10、第一电流源和第二电流源电连接；

电压检测模块10，用于检测电源端接入的供电电压，并输出相应的电压检测信号；

低电触发模块20，用于在电压检测信号的电压值达到预设静电保护电压值时，控制第一电流源和第二电流源停止工作。

在本实施例中，可选的，电压检测模块10可以采用电阻分压电路来实现，低电触发模块20可以采用主控制器，例如MCU、DSP(Digital Signal Process，数字信号处理芯片)、FPGA(Field Programmable Gate Array，可编程逻辑门阵列芯片)等，主控制器内可以设置有ADC检测模块、计算模块和处理模块。如此，主控制器便能够通过检测电阻分压电路分压输出的电压值和电阻分压电路中的电阻比确定当前电源端接入的供电电压的电压值。可以理解的是，电流源大都由多个开关管组成，例如图3中的第一电流源和第二电流源，均是由开关管组成，传感器麦克风中的FUSE烧录校准电路中往往会设置一偏置模块(图中未画出)，以使第一电流源的开关管和第二电流源的开关管处于饱和区工作，以使整条支路上流过的电流保持在设计值。如此，在实际应用中，主控制器可以同时与第一电流源和第二电流源的受控端，即其内部开关管的受控端连接，当主控制器确定电压检测信号的电压值达到预设静电保护电压值时，则可以确定当前实际的供电电压已经高于了预设静电电压值，即确认整个电路处于静电放电状态，(需要说明的是，在本实施例中，预设静电电压值可以根据研发人员的实际需求来选择，可以选择一远小于实际静电值但大于正常供电电压值的一电压，例如传感器正常供电电压上限，以起到提前保护的作用。同时，预设静电保护电压值为预设静电电压值经过电阻分压电路后的电压值)便会控制第一电流源和第二电流源中的开关管处于关断状态，进而控制第一电流源和第二电流源停止工作。此时，FUSE电阻上不会产生任何电流，如此，FUSE电阻就不会因为过流而部分损毁或者是完全烧断，也就不会造成后级电路误判当前烧录已经完成，并且，当主控制器确定电压检测信号的电压值小于预设静电保护电压值时，则可以确定当前实际的供电电压已经恢复正常时，会重新控制第一电流源和第二电流源处于工作状态，以使传感器麦克风中的FUSE烧录校准电路恢复到未烧录状态以待烧录。

可选的，在另一实施例中，参考图3，电压检测模块10包括：第一电阻R1、第二电阻R2，第一电阻R1的第一端与电源端连接，第一电阻R1的第二端与第二电阻R2连接，第二电阻R2的第二端接地。

第一电流源包括第一开关管Q1，第二电流源包括第二开关管Q2，第一开关管Q1的输入端与FUSE电阻电连接，第二开关管Q2的输入端与负载电连接，第一开关管Q1的输出端和第二开关管Q2的输出端均接地，低电触发模块20包括第三开关管Q3，第三开关管Q3的输入端分别与第一开关管Q1的受控端和第二开关管Q2的受控端连接，第三开关管Q3的输出端接地。传感器麦克风还包括一比较器U1，比较器U1的输出端为校准电路输出端，用于连接后级电路，比较器U1分别与第二开关管Q2的输入端、FUSE电阻的第二端和电源端连接。

其中，第一开关管Q1、第二开关管Q2、第三开关管Q3均为NMOS管，第一电阻R1和第二电阻R2的阻值比可以由研发人员根据第三管管Q3的开启电压来决定，预设静电保护电压值需要不小于第三开关管Q3的开启电压。同时，需要理解的是，静电放电时，供电电压往往会在几微妙内达到kV级别，所以在参数设计时，实际的异常电压(即电压检测信号的电压值达到预设静电保护电压值时)可以略大于传感器正常供电电压极限，从而起到提前保护的作用。此外，在供电电压VDD正常时，电压检测信号的电压值(即供电电压经过第一电阻R1和第二电阻R2的阻值比分压后的电压值)需要小于第三开关管Q3的开启电压。

以VDD正常为2V，异常为10V，第一电阻R1和第二电阻R2的电压比为9：1，预设静电保护电压值为1V，第三开关管Q3开启电压为1V，参考电压VP为1.7V为例进行说明。

在未烧录时，当供电电压VDD为正常2V时，分压后输出的电压检测信号的电压值为0.2V，无法开启第三开关管Q3，第一开关管Q1的受控端和第二开关管Q2的受控端被一偏置模块(图上并未画出)上拉至0.8V，以使第一开关管Q1和第二开关管Q2处于饱和区，按照设计的电流形成电流源。此时，由上述内容可知，VN电压接近供电电压VDD，VN大于VP，比较器U1持续输出低电平信号。

当传感器麦克风中的FUSE烧录校准电路发生静电放电时，VDD达到异常电压10V，并且持续在几微妙内指数级增加达到Kv级，当VDD达到异常电压10V时，电压检测信号的电压值达到了1V，此时便会使得第三开关管Q3处于导通状态，进而将第一开关管Q1的受控端和第二开关管Q2的受控端的电压拉低到低电平，即使第一开关管Q1和第二开关管Q2处于关断状态，此时FUSE电阻上无电流，FUSE电阻也就不会在静电放电时造成损坏。

可以理解的是，在另一实施例中，低电触发模块20还用于在电压检测信号的电压低于预设静电保护电压值时，控制第一电流源和第二电流源处于正常工作状态。

具体地，以上述实施例为例说明，当静电放电结束时，供电电压VDD恢复至2V，此时电压检测信号的电压值也会恢复到0.2V，第三开关管Q3会重新关断，进而使第一开关管Q1和第二开关管Q2恢复到正常工作状态，以待烧录。相较于上述实施例中采用主控制器的方案，本实施中的电路结构更加简单，电路板上布线面积小，并且硬件开关管的反应速度更加灵敏，能够进一步提高内置校准电路的保护电路工作的可靠性。

本发明传感器麦克风内置校准电路的保护电路包括电压检测模块10和低电触发模块20，电压检测模块10用于检测所述电源端接入的供电电压，并输出相应的电压检测信号，低电触发模块20用于在所述电压检测信号的电压值达到预设静电保护电压值时，控制所述第一电流源和所述第二电流源停止工作。如此，在实际应用中，若传感器内部发生静电放电情况导致电源端接入的供电电压急速上升时，能够及时停止第一电流源和第二电流源工作，以使FUSE电阻上无电流流过，从而使得在静电放电时，FUSE电阻不被误损毁，后级电路不会误认为当前已经烧录完成，并且在供电电压恢复正常时，传感器麦克风中的FUSE烧录校准电路也能够恢复到正常的待烧录状态，从而有效地提高了传感器麦克风生产的良品率。

本发明还提出了一种传感器麦克风内置校准电路的保护方法，应用于传感器麦克风，传感器麦克风包括电源端、第一电流源、第二电流源、负载以及FUSE电阻，电源端、FUSE电阻和第一电流源串联连接至地，电源端、负载和第二电流源串联连接至地。

参考图1、图4，在本发明一实施中，传感器麦克风内置校准电路的保护方法包括：

步骤S100、检测并获取电源端的供电电压；

步骤S200、当确定供电电压达到预设静电电压时，控制第一电流源与第二电流源停止工作。

在本实施例中，可以采用处理器的ADC端口配合电压检测电路例如电阻分压电路、电压检测芯片等来实现对电源端的供电电压的电压检测，同时，处理器分别于第一电流源和第二电流源的受控端连接，参考图3和图5，第一电流源包括第一开关管、第二电流源包括第二开关管，电源端、FUSE电阻、第一开关管串联电连接，电源端、负载、第二开关管串联电连接，第一开关管和第二开关管的第二端接地，步骤S200当确定供电电压达到预设静电电压时，控制第一电流源与第二电流源停止工作具体为：

步骤S210、当确定供电电压达到预设静电电压时，控制第一开关管和第二开关管处于关断状态。

需要理解的是，电流源一般采用开关管来实现，处理器可以根据电压检测的结果，确定当前的供电电压达到预设静电电压时(预设静电电压可以由研发人员根据实际情况进行预设)，控制电流源中的开关管处于关断状态。如此，在实际应用中，若传感器内部发生静电放电情况导致电源端接入的供电电压急速上升时，能够及时停止第一电流源和第二电流源工作，以使FUSE电阻上无电流流过，从而使得在静电放电时，FUSE电阻不被误损毁，后级电路不会误认为当前已经烧录完成。

在本发明一实施例中，参考图6，传感器麦克风内置校准电路的保护方法还包括：

步骤S300、当确定供电电压低于预设静电电压时，控制第一电流源与第二电流源正常工作。

当处理器根据电压检测结果，确定当前供电电压恢复正常，即低于预设静电电压时，则控制第一电流源和第二电流源恢复工作，即控制第一电流源和第二电流源中的开关管重新处于饱和区，从而将传感器麦克风中的FUSE烧录校准电路恢复到正常的待烧录状态。

本发明技术方案中，会先检测并获取所述电源端的供电电压；并在确定所述供电电压达到预设静电电压时，控制所述第一电流源与所述第二电流源停止工作。如此，在实际应用中，若传感器内部发生静电放电情况导致电源端接入的供电电压急速上升时，能够及时停止第一电流源和第二电流源工作，以使FUSE电阻上无电流流过，从而使得在静电放电时，FUSE电阻不被误损毁，后级电路不会误认为当前已经烧录完成，并且在供电电压恢复正常时，传感器麦克风中的FUSE烧录校准电路也能够恢复到正常的待烧录状态，从而有效地提高了传感器麦克风生产的良品率。

本发明还提出了一种传感器麦克风，传感器麦克风包括电源端、第一电流源、第二电流源、负载以及FUSE电阻，电源端、FUSE电阻和第一电流源串联连接至地，电源端、负载和第二电流源串联连接至地；

其中，第一电流源包括第一开关管、第二电流源包括第二开关管，电源端、FUSE电阻、第一开关管串联电连接，电源端、负载、第二开关管串联电连接，第一开关管和第二开关管的第二端接地；

传感器麦克风还包括如上述任一项的传感器麦克风内置校准电路的保护电路；或者，

存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的传感器麦克风内置校准电路的保护程序，传感器麦克风内置校准电路的保护程序被处理器执行时实现如上述任一项的传感器麦克风内置校准电路的保护方法的步骤。

值得注意的是，由于本发明传感器麦克风基于上述的传感器麦克风内置校准电路的保护电路或者传感器麦克风内置校准电路的保护方法，因此，本发明传感器麦克风的实施例包括上述传感器麦克风内置校准电路的保护电路或者传感器麦克风内置校准电路的保护方法全部实施例的全部技术方案，且所达到的技术效果也完全相同，在此不再赘述。

以上仅为本发明的可选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (9)

1.一种传感器麦克风内置校准电路的保护电路，应用于传感器麦克风，所述传感器麦克风包括电源端、第一电流源、第二电流源、负载以及FUSE电阻，所述电源端、所述FUSE电阻和所述第一电流源串联连接至地，所述电源端、所述负载和所述第二电流源串联连接至地，其特征在于，所述传感器麦克风内置校准电路的保护电路包括：

电压检测模块，所述电压检测模块的检测端与所述电源端连接；

低电触发模块，所述低电触发模块分别与所述电压检测模块、所述第一电流源和所述第二电流源电连接；

所述电压检测模块，用于检测所述电源端接入的供电电压，并输出相应的电压检测信号；

所述低电触发模块，用于在所述电压检测信号的电压值达到预设静电保护电压值时，控制所述第一电流源和所述第二电流源停止工作。

2.如权利要求1所述的传感器麦克风内置校准电路的保护电路，其特征在于，所述电压检测模块包括：第一电阻、第二电阻，所述第一电阻的第一端与所述电源端连接，所述第一电阻的第二端与所述第二电阻连接，所述第二电阻的第二端接地。

3.如权利要求2所述的传感器麦克风内置校准电路的保护电路，所述第一电流源包括第一开关管，所述第二电流源包括第二开关管，所述第一开关管的输入端与所述FUSE电阻电连接，所述第二开关管的输入端与所述负载电连接，所述第一开关管的输出端和所述第二开关管的输出端均接地，其特征在于，所述低电触发模块包括：

第三开关管，所述第三开关管的输入端分别与所述第一开关管的受控端和所述第二开关管的受控端连接，所述第三开关管的输出端接地。

4.如权利要求3所述的传感器麦克风内置校准电路的保护电路，其特征在于，所述第三开关管为NMOS管。

5.如权利要求1所述的传感器麦克风内置校准电路的保护电路，其特征在于，所述低电触发模块，还用于在所述电压检测信号的电压低于所述预设静电保护电压值时，控制所述第一电流源和所述第二电流源处于正常工作状态。

6.一种传感器麦克风内置校准电路的保护方法，应用于传感器麦克风，所述传感器麦克风包括电源端、第一电流源、第二电流源、负载以及FUSE电阻，所述电源端、所述FUSE电阻和所述第一电流源串联连接至地，所述电源端、所述负载和所述第二电流源串联连接至地，其特征在于，所述传感器麦克风内置校准电路的保护方法包括：

步骤S100、检测并获取所述电源端的供电电压；

步骤S200、当确定所述供电电压达到预设静电电压时，控制所述第一电流源与所述第二电流源停止工作。

7.如权利要求6所述的传感器麦克风内置校准电路的保护方法，所述第一电流源包括第一开关管、所述第二电流源包括第二开关管，所述电源端、FUSE电阻、第一开关管串联电连接，所述电源端、负载、第二开关管串联电连接，所述第一开关管和所述第二开关管的第二端接地，其特征在于，所述当确定所述供电电压达到预设静电电压时，控制所述第一电流源与所述第二电流源停止工作具体为：

步骤S210、当确定所述供电电压达到预设静电电压时，控制所述第一开关管和所述第二开关管处于关断状态。

8.如权利要求6所述的传感器麦克风内置校准电路的保护方法，其特征在于，所述传感器麦克风内置校准电路的保护方法还包括：

步骤S300、当确定所述供电电压低于预设静电电压时，控制所述第一电流源与所述第二电流源正常工作。

9.一种传感器麦克风，其特征在于，所述传感器麦克风包括电源端、第一电流源、第二电流源、负载以及FUSE电阻，所述电源端、所述FUSE电阻和所述第一电流源串联连接至地，所述电源端、所述负载和所述第二电流源串联连接至地；

其中，所述第一电流源包括第一开关管、所述第二电流源包括第二开关管，所述电源端、FUSE电阻、第一开关管串联电连接，所述电源端、负载、第二开关管串联电连接，所述第一开关管和所述第二开关管的第二端接地；

所述传感器麦克风还包括如权利要求1-5任一项所述的传感器麦克风内置校准电路的保护电路；或者，

存储器、处理器及存储在所述存储器上并在所述处理器上运行的传感器麦克风内置校准电路的保护程序，所述传感器麦克风内置校准电路的保护程序被所述处理器执行时实现如权利要求6-8任一项所述的传感器麦克风内置校准电路的保护方法的步骤。